JP2005147813A - レーザ超音波による材料非破壊検査方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】材料非破壊検査装置は、パルスレーザ20からのパルスレーザ光を可動ミラー7を介して被測定物の材料表面に照射して弾性波(超音波)を生じさせ、連続発振の信号用レーザ1からのレーザ光を偏光ビームスプリッタ4で分岐し、その一方をプローブ光として可動ミラー7を介してパルスレーザ光と同軸上で材料表面に照射し、反射された光が材料表面の散乱面及び弾性波の影響で波面形状の歪んだ、かつ位相変調を受けた信号光として転送され、信号光と参照光を所定の角度で交差してフォトリフラクティブ結晶9によるレーザ光干渉計に入射し、その干渉光の位相変調の変化により材料内部の欠陥の有無を検出するように構成している。
【選択図】図1
Description
2 濃度可変フィルタ
3 λ/2波長板
4 偏光ビームスプリッタ
5 λ/4波長板
6 望遠鏡ユニット
6a 拡大レンズ
6b 対物レンズ
7 可動ミラー
8 λ/2波長板
9 フォトリフラクティブ結晶
10 λ/4波長板
11 λ/2波長板
13a、13b 光検出器
14 オシロスコープ
15 偏光子
16 信号光モニタ
20 パルスレーザ
M0 〜M5 ミラー
W 被測定物
Claims (7)
- 被測定材料表面の所定領域に音響、プラズマ発光及び大気プラズマを伴わない最強レベルのパルスレーザ光を照射し、表面の熱応力に基づく弾性波を被測定材料内に生じさせると共に、連続出力のレーザ光をプローブ光として伝送して上記所定領域内に照射し、材料表面から反射される際にその表面状態に応じて空間的に変化した波面となり、かつ弾性波により周波数変調された信号光を反射させ、この信号光を位相共役鏡を用いたレーザ干渉計に入射して信号光の周波数成分の変化を検出し、これにより材料の内部欠陥を検出するようにしたレーザ超音波による材料非破壊検査方法。
- 前記信号光は、パルスレーザ光により材料表面に熱応力を生じさせた際に生じる表面波が消散した後の弾性波のみによる周波数変調を受けた信号光を測定に用いるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ超音波による材料非破壊検査方法。
- 被測定材料表面の所定領域にパルスレーザ光を音響、プラズマ発光及び大気プラズマを伴わない最強レベルで照射し、表面の熱応力に基づく弾性波を被測定材料内に生じさせる弾性波励起手段と、連続出力のレーザ光をプローブ光として伝送してパルスレーザ光と同軸上で上記所定領域内に照射し、材料表面から反射される際にその表面状態に応じて波面が変化し、かつ弾性波により周波数変調された信号光を転送する信号光伝送手段と、上記信号光と基準となる連続出力レーザからの参照光とを互いに交差して位相共役鏡に入射させ干渉光を生起するレーザ干渉計と、この干渉計から出力される干渉光を光検出器により検出し、信号光の周波数成分の変化により材料の内部欠陥を検出するように構成したレーザ超音波による材料非破壊検査装置。
- 前記パルスレーザ光と連続出力のレーザ光を同軸上で材料表面の所定領域へ伝送する共通ミラーを設け、この共通ミラーはパルスレーザ光を反射させ、連続出力レーザ光を透過させる偏光ミラーとし、かつこの共通ミラーを回転機構を設けて可動ミラーとして構成したことを特徴とする請求項3に記載のレーザ超音波による材料非破壊検査装置。
- 前記信号光伝送手段に望遠鏡手段を挿置し、プローブ光を所定領域内で材料表面に対し所定のスポット径で照射できるように望遠鏡手段により調整自在としたことを特徴とする請求項3又は4に記載のレーザ超音波による材料非破壊検査装置。
- 前記信号光伝送手段の系に偏光ビームスプリッタを設け、連続出力のレーザ光を2つに分岐して一方をプローブ光とし、他方を参照光として異なる方向へ伝送するように構成したことを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載のレーザ超音波による材料非破壊検査装置。
- 前記信号光伝送手段の系に濃度可変フィルタを設け、レーザ干渉計からの信号光の強度を検出する信号光モニタからの信号に基づいて濃度可変フィルタを変動させ、信号光と参照光の強度比を所定範囲内に保持するように構成したことを特徴とする請求項3乃至6のいずれかに記載のレーザ超音波による材料非破壊検査装置。
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