CN114875363A - 蒸镀装置及显示面板的制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种蒸镀装置及显示面板的制作方法。其包括第一蒸镀腔室、传送轨道以及面板传送机构；第一蒸镀腔室包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于第一底面和第一顶面之间的第一侧面；传送轨道通过第一蒸镀腔室；面板传送机构包括承载件，承载件可移动地连接于传送轨道上并用于承载面板，承载件处于第一状态，以使面板的蒸镀面垂直于第一底面，承载件处于第二状态，以使面板的蒸镀面与第一底面之间的夹角大于90°或小于90°，至少当承载件移动至第一蒸镀腔室内时，承载件处于第一状态，且蒸镀面与第一侧面相平行且相对设置。本发明可以减少面板进行蒸镀时占用的水平面积，以减少第一蒸镀腔室的占地面积，节省空间和成本。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及采用该蒸镀装置的显示面板的制作方法。
背景技术
有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)是一种自发光器件，具有电压低、视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势。从使用的有机电致发光材料的分子量来看，有机电致发光器件分为小分子有机电致发光器件(Organic Light-EmittingDiode，OLED)和高分子电致发光器件(Polymer Light-Emitting Diode，PLED)，由于分子量的不同，有机电致发光器件的制程也有很大的区别，PLED通过旋涂或者喷墨打印的方式制备，而OLED则主要通过热蒸镀的方式制备。
在现有的蒸镀设备中，基板通常为水平传送、以及水平放置于载台上，然后进行水平蒸镀，由于基板水平放置时，其面积较大，进而需要设置水平面积较大的载台来放置基板，进而增加了蒸镀设备的占地面积，使得蒸镀设备的成本增加。
发明内容
本发明实施例提供一种蒸镀装置及显示面板的制作方法，能够节省面板进行蒸镀时的占用面积，减少第一蒸镀腔室的占地面积，以节省空间和成本。
本发明实施例提供一种蒸镀装置，其包括：
第一蒸镀腔室，包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于所述第一底面和所述第一顶面之间的第一侧面和至少一第二侧面，所述第一蒸镀腔室还包括设置于所述第一侧面上的蒸镀件、设置于至少一所述第二侧面上的第一入口以及第一出口；
传送轨道，穿过所述第一入口以及所述第一出口，以使所述传送轨道通过所述第一蒸镀腔室；
面板传送机构，包括承载件以及旋转件，所述承载件可移动地连接于所述传送轨道上并用于承载面板，所述旋转件驱动所述承载件在第一状态与第二状态之间进行切换，所述承载件处于所述第一状态，以使所述面板的蒸镀面垂直于所述第一底面，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面与所述第一底面之间的夹角大于90°或小于90°，至少当所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第一侧面相对设置。
在本发明的一种实施例中，所述蒸镀装置还包括第一往复轨道，所述第一往复轨设置于所述传送轨道的一侧并用于传送第一掩膜板，且当所述第一掩膜板置于所述第一往复轨道上时，所述第一掩膜板垂直于所述第一底面。
在本发明的一种实施例中，在沿所述传送轨道的传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一入口一侧的第一组装机构以及设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一出口一侧的第一分离机构，所述传送方向为所述传送轨道由所述第一入口指向所述第一出口的方向，所述传送轨道穿过所述第一组装机构以及所述第一分离机构，所述第一往复轨道连接于所述第一组装机构和所述第一分离机构之间，以使得所述面板与所述第一掩膜板在所述第一组装机构内对位贴合，在所述第一分离机构内分离。
在本发明的一种实施例中，当所述承载件移动至所述第一组装机构以及所述第一分离机构内时，所述承载件处于所述第一状态。
在本发明的一种实施例中，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一组装机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的面板放置机构以及所述第一分离机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的功能腔室，且所述传送轨道穿过所述面板放置机构和所述功能腔室，当所述承载件位于所述面板放置机构内和所述功能腔室内时，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面平行于所述第一底面。
在本发明的一种实施例中，所述传送轨道为闭合环路轨道，且所述承载件沿所述传送方向在所述闭合环路轨道上进行移动。
在本发明的一种实施例中，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述功能腔室远离所述第一分离机构一侧的第二蒸镀腔室，所述第二蒸镀腔室包括相对设置的第二底面和第二顶面、以及连接于所述第二底面和所述第二顶面之间的第三侧面和至少一第四侧面，所述第二蒸镀腔室还包括设置于所述第三侧面上的第二蒸镀件、设置于至少一所述第四侧面上的第二入口以及第二出口；
其中，所述传送轨道穿过所述第二入口以及所述第二出口，以使所述传送轨道通过所述第二蒸镀腔室，当所述承载件位于所述第二蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第三侧面相对设置。
在本发明的一种实施例中，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第二蒸镀腔室和所述功能腔室之间的第二组装机构以及设置于所述第二蒸镀腔室和所述面板放置机构之间的第二分离机构；
其中，所述蒸镀装置还包括设置于所述传送轨道一侧并连接于所述第二组装机构和所述第二分离机构之间的第二往复轨道，所述第二往复轨道用于传送第二掩膜板，且当所述第二掩膜板置于所述第二往复轨道上时，所述第二掩膜板垂直于所述第二底面。
在本发明的一种实施例中，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第二分离机构与所述面板放置机构之间的面板取出机构，所述传送轨道穿过所述面板取出机构；
其中，当所述承载件位于所述面板取出机构内时，所述承载件处于所述第二状态。
根据本发明的上述目的，本发明实施例还提供一种显示面板的制作方法，采用所述蒸镀装置，且所述显示面板的制作方法包括以下步骤：
提供所述面板，将所述面板置于所述承载件上；
所述旋转件控制所述承载件处于所述第一状态，以使所述面板的蒸镀面垂直于所述第一底面；
驱动所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内，所述蒸镀件对所述面板的所述蒸镀面进行蒸镀。
本发明的有益效果：本发明在传送轨道上设置可移动的面板传送机构用来承载面板，且面板传送机构包括用于承载面板的承载件以及驱动承载件在第一状态与第二状态之间进行切换的旋转件，当承载件传送面板至第一蒸镀腔室内时，旋转件驱动承载件切换至第一状态，即面板的蒸镀面垂直于第一底面，且使得面板的蒸镀面与第一蒸镀腔室的第一侧面相对设置，进而可以使得面板处于竖直状态，减少面板进行蒸镀时占用的水平面积，以减少第一蒸镀腔室的占地面积，节省空间和成本。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为本发明实施例提供的蒸镀装置的一种系统结构示意图；
图2为本发明实施例提供的传送轨道竖直传送的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的承载件处于第一状态下的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的承载件处于第二状态下的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的承载件吸附面板的一种结构示意图；
图6为本发明实施例提供的承载件吸附面板的另一种结构示意图；
图7为本发明实施例提供的传送轨道水平传送的结构示意图；
图8为本发明实施例提供的蒸镀装置的另一种系统结构示意图；
图9为本发明实施例提供的显示面板的制作方法流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
本发明实施例提供一种蒸镀装置，请结合图1、图2、图3以及图4，该蒸镀装置包括第一蒸镀腔室11、传送轨道20以及面板传送机构。
其中，第一蒸镀腔室11包括相对设置的第一底面101和第一顶面102、以及连接于第一底面101和第一顶面102的第一侧面103和至少一第二侧面104，且第一蒸镀腔室11还包括设置于第一侧面103上的蒸镀件、设置于至少一第二侧面104上的第一入口以及第一出口；而传送轨道20穿过第一入口以及第一出口，以使传送轨道20通过第一蒸镀腔室11。
进一步地，面板传送机构包括承载件31以及旋转件32，其中，承载件31可移动地连接于传送轨道上并用于承载面板201，旋转件32驱动承载件31在第一状态与第二状态之间进行切换，且承载件31处于第一状态，以使面板201的蒸镀面垂直于第一底面101，承载件31处于第二状态，以使面板201的蒸镀面与第一底面101之间的夹角大于90°或小于90°，至少当承载件31移动至第一蒸镀腔室11内时，承载件31处于第一状态，且面板201的蒸镀面与第一侧面103相对设置。
在实施应用过程中，本发明实施例在传送轨道20上设置可移动的面板传送机构用来承载面板201，且面板传送机构包括用于承载面板201的承载件31以及驱动承载件31在第一状态与第二状态之间进行切换的旋转件32，当承载件31传送面板201至第一蒸镀腔室11内时，旋转件32驱动承载件31切换至第一状态，即面板201的蒸镀面垂直于第一底面101，且使得面板201的蒸镀面与第一蒸镀腔室11的第一侧面103相对设置，进而可以使得面板201处于竖直状态，减少面板201进行蒸镀时占用的水平面积，以减少第一蒸镀腔室11的占地面积，节省空间和成本。
具体地，请继续参照图1、图2、图3以及图4，在本发明实施例中，第一蒸镀腔室11的第一底面101和第一顶面102皆平行于水平面或地面，且第一底面101为第一蒸镀腔室11靠近地面的一侧，而第一顶面102为第一蒸镀腔室11远离地面的一侧。进一步地，第一侧面103和第二侧面104为垂直连接于第一底面101和第一顶面102之间的两种侧面，且在本发明实施例中，第一蒸镀腔室11包括两个第二侧面104，两个第二侧面104相对设置，以使得第一入口以及第一出口位于第一蒸镀腔室11的相对两侧，而第一侧面103连接于两个第二侧面104之间，进而在传送轨道20穿过第一蒸镀腔室11时，传送轨道20的延伸方向平行于第一侧面103。
进一步地，在本发明实施例中，传送轨道20穿过第一入口以及第一出口，以使传送轨道20通过第一蒸镀腔室11，且传送轨道20为闭合环路轨道，且传送轨道20的传送方向X为在传送轨道的延伸路径上，由第一入口指向第一出口的方向。
面板传送机构包括可移动连接于传送轨道20上的承载件31以及旋转件32，其中，承载件31可沿闭合环路沿传送方向X进行移动，而旋转件32可驱动承载件31进行旋转以使得承载件31在第一状态与第二状态之间进行切换；具体地，当承载件31处于第一状态时，如图2以及图3所示，可使得面板201的蒸镀面平行于第一侧面103，当承载件31处于第二状态时，如图4所示，可使得面板201的蒸镀面与第一侧面103相交，在本发明实施例中，当承载件31处于第二状态时，可使得面板201与第一侧面103相垂直。即当承载件31处于第一状态时，可使得面板201处于竖直状态，且蒸镀面于第一底面101垂直，并与第一侧面103平行，当承载件31处于第二状态时，可使得面板201处于水平状态，且蒸镀面与第一底面101平行，并与第一侧面103垂直。
由于传送轨道20为闭合环路轨道，进而承载件31可在传送轨道20上进行闭合环路移动，可一直进行面板201的传送工作，不需要额外耗费工序来搬运承载件31，提高了蒸镀装置的自动化程度，简化了工序，节省了时间，降低了成本。
需要说明的是，当承载件31承载面板201并传送至第一蒸镀腔室11内时，承载件31处于第一状态，以使得面板201处于竖直状态，且蒸镀面与第一侧面103平行并相对设置，以使得面板201可以在竖直状态进行蒸镀，进而可以节省第一蒸镀腔室11的占地面积。
进一步地，蒸镀装置还包括设置于第一蒸镀腔室11设有第一入口一侧的第一组装机构43、设置于第一蒸镀腔室11设有第一出口一侧的第一分离机构44、以及连接于第一组装机构43和第一分离机构44之间的第一往复轨道41，其中，第一往复轨道41可设置于传送轨道20的一侧并用于传送第一掩膜板301。其中，第一往复轨道41可由第一蒸镀腔室11的两个相对的第二侧面104穿过第一蒸镀腔室11，并分别到达第一组装机构43以及第一分离机构44内，且传送轨道20同时穿过第一组装机构43以及第一分离机构44。需要说明的是，当第一往复轨道41也穿过第一蒸镀腔室时，可采用隔板将第一往复轨道41与传动轨道20隔开，如图2所示，且传送轨道20位于隔板朝向第一侧面103的一侧，而第一往复轨道41位于隔板背向第一侧面103的一侧。
在本发明实施例中，第一往复轨道41为竖直轨道，即第一掩膜板301在第一往复轨道41上为竖直状态进行传送，并垂直于第一底面101和第一顶面102，如图2所示，且第一掩膜板301与第一侧面103相平行。
具体地，在第一组装机构43和第一分离机构44内，承载件31皆处于第一状态，即面板201处于竖直传送状态，且在第一组装机构43内，面板201可与第一掩膜板301进行对位贴合，在第一分离机构44内，面板201可与第一掩膜板301进行分离。具体地，在第一组装机构43内时，可采用机械臂将第一往复轨道41上的第一掩膜板301取出，并置于承载件31上，与面板201对位贴合，并由承载件31运送至第一蒸镀腔室11内，进行竖直蒸镀，然后继续运送至第一分离机构44内，可再次采用机械臂将第一掩膜板301由承载件31上取下并置于第一往复轨道41上，并由第一往复轨道41传送回第一组装机构43。可理解的是，第一往复轨道41的运送方向为第一分离机构44指向第一组装机构43的方向。
在本发明实施例中，请结合图3、图4、图5以及图6，承载件31可包括静电吸盘组件311以及设置于静电吸盘组件311靠近用于承载面板201一侧的定位件312，其中，静电吸盘组件311包括用于承载面板201的静电吸盘3111以及设置于静电吸盘3111远离面板201一侧的电源3112，进而当电源3112通电后，静电吸盘3111可将面板201吸附住。相对于现有技术中采用夹持装置来固定面板，本发明实施例不需要夹持面板201的边框，在制程中可以减小面板201的边框尺寸和面积大小，进而减小蒸镀材料的使用，降低成本，此外，本发明实施例提供的蒸镀装置可以更适用于超窄边框的显示面板的制备。进一步地，定位件312可将第一掩膜板301固定与承载件31上，以使得第一掩膜板301与面板201对位贴合。
需要说明的是，第一掩膜板301可进行面板201上的至少一层膜层的蒸镀，即面板201上覆盖范围相同或相近的膜层皆可采用第一掩膜板301进行蒸镀。
本发明实施例提供的蒸镀装置还包括设置于第一组装机构43远离第一蒸镀腔室11一侧的第一旋转机构71以及设置于第一分离机构44远离第一蒸镀腔室11一侧的第二旋转机构72，且传送轨道20穿过第一旋转机构71以及第二旋转机构72。具体地，面板传送机构还包括旋转件32，旋转件32可同时设置于第一旋转机构71以及第二旋转机构72内，其中，在第一旋转机构71内，旋转件32驱动承载件31切换至第一状态，使得面板201处于竖直传送状态，而在第二旋转机构72内时，旋转件32驱动承载件31切砖至第二状态，使得面板201处于水平传送状态。
进一步地，蒸镀装置还包括设置于第一旋转机构71远离第一蒸镀腔室11一侧的面板放置机构51以及设置于第二旋转机构72远离第一蒸镀腔室11一侧的功能腔室。具体地，环形的传送轨道20穿过面板放置机构51以及功能腔室，且当承载件31移动至面板放置机构51内时，可将面板201放置于承载件31上，例如采用机械臂进行放置，且承载件31位于面板放置机构51和功能腔室内时，承载件31处于第二状态，即面板201垂直于第一侧面103，处于水平传送状态。其中，功能腔室包括第一功能腔室61、第二功能腔室62以及第三功能腔室63，当承载件31运送面板201至功能腔室内时，可对面板201进行打孔等制程，且由于打孔等制程需要面板201处于水平状态，进而承载件31在进入功能腔室之前，即可在第二旋转机构72内通过旋转件32切换至第二状态。其中，功能腔室的数量不限于三个，可以少于三个也可以多于三个，而本发明实施例以三个为例进行说明。
需要说明的是，蒸镀装置还包括设置于第一组装机构43和第一蒸镀腔室11之间的第一过渡段64以及设置于第一分离机构44和第一蒸镀腔室11之间的第二过渡段65，且传送轨道20以及第一往复轨道41皆换过第一过渡段64以及第二过渡段65。
承上，环形的传送轨道20依次穿过面板放置机构51、第一旋转机构71、第一组装机构43、第一过渡段64、第一蒸镀腔室11、第二过渡段65、第一分离机构44、第二旋转机构72以及功能腔室，以使得承载件31在面板放置机构51内承载面板201，在第一组装机构43内切换至第一状态，以使面板201竖直传送，在第一组装机构43内面板201与第一掩膜板301对位贴合，在第一蒸镀腔室11内进行蒸镀，在第一分离机构44内面板201与第一掩膜板301分离，且第一掩膜板301通过第一往复轨道41传送回第一组装机构43，在第二旋转机构72内承载件31切换至第二状态，以使面板201水平传送，并传送至功能腔室内进行打孔等制程。
进一步地，本发明实施例提供的蒸镀装置还包括依次设置于功能腔室远离第二旋转机构72一侧的第三旋转机构73、第二组装机构45、第三过渡段66、第二蒸镀腔室12、第四过渡段67、第二分离机构46、第四旋转机构74、面板取出机构52以及位于面板取出机构52与面板放置机构51之间的第五过渡段68，且环形的传送轨道20依次穿过第三旋转机构73、第二组装机构45、第三过渡段66、第二蒸镀腔室12、第四过渡段67、第二分离机构46、第四旋转机构74、面板取出机构52以及第五过渡段68。
具体地，本发明实施例提供的传送轨道20可为矩形传送轨道，第二蒸镀腔室12与第一蒸镀腔室11分别位于该矩形的相对两长边且对位设置，第二蒸镀腔室12包括相对设置的第二底面201和第二顶面202、以及连接于第二底面201和第二顶面202之间的第三侧面203以及至少一第四侧面204，且第三侧面203上设置第二蒸镀件，第四侧面204上设置有第二入口以及第二出口。
需要说明的是，第二蒸镀腔室12的第二底面201和第二顶面202皆平行于水平面或地面，且第二底面201为第二蒸镀腔室12靠近地面的一侧，而第二顶面202为第二蒸镀腔室12远离地面的一侧。进一步地，第三侧面203和第四侧面204为连接于第二底面201和第二顶面202之间的两种侧面，且在本发明实施例中，第二蒸镀腔室12包括两个第四侧面204，两个第四侧面204相对设置，以使得第二入口以及第二出口位于第二蒸镀腔室12的相对两侧，而第三侧面203连接于两个第四侧面204之间，进而在传送轨道20由第二入口至第二出口穿过第二蒸镀腔室12时，传送轨道20的延伸方向平行于第三侧面203，且第三侧面203与第一侧面103平行且相对设置；当承载件31位于第二蒸镀腔室12内时，面板201的蒸镀面平行于第三侧面203并与第三侧面203相对设置。
进一步地，该蒸镀装置还包括设置于传送轨道20一侧的第二往复轨道42，且第二往复轨道42用于传送第二掩膜板302，同理，第二往复轨道42也为竖直传送轨道，以使得第二掩膜板302平行于第三侧面203。第二往复轨道42连接于第二组装机构45与第二分离机构46之间并可由相对的两个第四侧面204穿过第二蒸镀腔室12，且第二往复轨道42与传送轨道20在第二蒸镀腔室12内可由隔板隔开，如图2所示，传送轨道20位于隔板朝向第三侧面203的一侧，而第二往复轨道42位于隔板背向第三侧面203的一侧；当承载件31位于第二组装机构45以及第二分离机构46内时，面板201皆为竖直传送，且蒸镀面垂直于第二底面201和第二顶面202，并平行于第三侧面203。
当承载件31移动至第二组装机构45内时，可采用机械臂将第二掩膜板302取下并与面板201对位贴合，当承载件31移动至第二分离机构46内时，可采用机械臂将第二掩膜板302与面板201分离，并放置于第二往复轨道42上，由第二往复轨道42传送回第二组装机构45内。
在本发明实施例中，第三旋转机构73以及第四旋转机构74内皆设置有旋转件32，且当承载件31移动至第三旋转机构73内时，旋转件32驱动承载件31由第二状态切换至第一状态，使得面板201由水平传送切换至竖直传送，当承载件31移动至第四旋转机构74内时，旋转件32驱动承载件31由第一状态切换至第二状态，使得面板201由竖直传送切换至水平传送。
当承载件31移动至面板取出机构52内时，可采用机械臂将面板201取出，而承载件31通过第五过渡段68继续移动至面板放置机构51内，继续承载下一块面板201。
承上，当面板201在第一蒸镀腔室11以及功能腔室内完成蒸镀以及打孔等制程之后，由承载件31继续传送，到达第三旋转机构73，且在第三旋转机构73内承载件31由第二状态切换为第一状态，面板201由水平传送切换为竖直传送，并由承载件31传送至第二组装机构45内，面板201与第二掩膜板302对位贴合，再由承载件31传送经过第三过渡段66到达第二蒸镀腔室12，并在第二蒸镀腔室12内完成竖直蒸镀，再由承载件31将面板201与第二掩膜板302进行传送，经过第四过渡段67并得到第二分离机构46，使得面板201与第二掩膜板302分离，承载件31传送面板201至第四旋转机构74，以将承载件31由第一状态切换至第二状态，面板201由竖直传送切换为水平传送，接着由承载件31传送至面板取出机构52，由承载件31上取出面板201，而承载件31经过第五过渡段68并移动至面板放置机构51，进行下一面板201的传送。
需要说明的是，在本发明实施例中，传送轨道20包括用于竖直传送的第一子轨道21(如图2所示)以及用于水平传送的第二子轨道22(如图7所示)。在沿传送轨道20的传送方向X上，第一子轨道21位于第一旋转机构71和第二旋转机构72之间以及位于第三旋转机构73和第四旋转机构74之间，第二子轨道22位于第四旋转机构74和第一旋转机构71之间以及位于第二旋转机构72和第三旋转机构73之间；进一步地，第一子轨道21与承载件31之间可通过磁悬浮技术进行传送，即第一子轨道21的下侧安装有凸起的磁性件，而承载件31的下端对应形成凹陷的部位并安装对应的磁性件，以使得凸起插入，而第一子轨到21的上侧对承载件31起到固定作用；同理，第一往复轨道41和第二往复轨道42也可采用磁悬浮技术进行传送，即第一往复轨道41和第二往复轨道42的下侧也安装有凸起的磁性件，而第一掩膜板301以及第二掩膜板302在对应的位置形成凹陷部并安装对应的磁性件，以使得凸起插入凹陷部位，而第一往复轨道41与第二往复轨道42的上侧分别对第一掩膜板301以及第二掩膜板302起到固定作用。
进一步地，请参照图2以及图8，在本发明的其他实施例中，还可以根据面板201需要进行蒸镀的次数和膜层种类，增加蒸镀腔室的数量，例如在第一蒸镀腔室和第二过渡段65之间增加第三蒸镀腔室80，在第二蒸镀腔室12和第三过渡段66之间增加第四蒸镀腔室90，且第一蒸镀腔室11与第三蒸镀腔室80可采用相同尺寸的第一掩膜板301，而第二蒸镀腔室12和第四蒸镀腔室90可采用相同尺寸的第二掩膜板302，以提高蒸镀装置的蒸镀效率。
另外，本发明实施例还提供一种显示面板的制作方法，请结合图1至图6以及图9，该显示面板的制作方法采用上述实施例中所述的蒸镀装置。
具体地，该显示面板的制作方法包括以下步骤：
S10、提供面板201，将面板201置于承载件31上。
首先，承载件31为第二状态，并移动至面板放置机构51内，可通过机械臂将面板201放置与承载件31上，且承载件31中的电源3112可通电，以使得静电吸盘3111将面板201吸附住。
S20、旋转件32控制承载件31处于第一状态，以使面板201的蒸镀面垂直于第一底面101。
承载件31带着面板201传送至第一旋转机构71，且旋转件32驱动承载件31切换至由第二状态切换至第一状态，使得面板201呈竖直状态传送。
接着，承载件31带着面板201沿传送轨道20到达第一组装机构43，在第一组装机构43内，第一掩膜板301置于第一往复轨道41上，并可采用机械臂将第一掩膜板301取下，并置于承载件31上，通过承载件31上的定位件312固定面板201，并使得面板201与第一掩膜板301对位贴合。
S30、驱动所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内，所述蒸镀件对所述面板的所述蒸镀面进行蒸镀。
承载件31带着面板201以及第一掩膜板301经过第一过渡段64并传送至第一蒸镀腔室11，此时，面板201的蒸镀面与第一侧面103平行且相对设置，以完成蒸镀工艺。
然后，承载件31带着面板201以及第一掩膜板301经过第二过渡段65到达第一分离机构44，在第一分离机构44内，可采用机械臂将第一掩膜板301由承载件31上取下，使得面板201与第一掩膜板301分离，并将第一掩膜板301放置于第一往复轨道41上，由第一往复轨道41传送回第一组装机构43内。
承载件31带着面板201传送至第二旋转机构72内，旋转件32驱动承载件31由第一状态切换至第二状态，使得面板201由竖直传送状态切换至水平传送状态。
接着，承载件31带着面板201传送至功能腔室，以进行打孔等工艺。
然后，承载件31带着面板201传送至第三旋转机构73，旋转件32驱动承载件31由第二状态切换至第一状态，使得面板201由水平传送状态切换至竖直传送状态。
承载件31带着面板201传送至第二组装机构45内，在第二组装机构45内，第二掩膜板302置于第二往复轨道42上，并可采用机械臂将第二掩膜板302取出，并置于承载件31上，采用定位件312固定第二掩膜板302使得第二掩膜板302与面板201对位贴合。
然后，承载件31带着面板201以及第二掩膜板302经过第三过渡段66并传送至第二蒸镀腔室12内，且面板201的蒸镀面与第三侧面203平行并相对设置，以完成蒸镀工艺。
接着，承载件31带着面板201以及第二掩膜板302经过第四过渡段67达到第二分离机构46，可采用机械臂将第二掩膜板302取下并置于第二往复轨道42上，并由第二往复轨道42传送回第二组装机构45。
承载件31带着面板201传送至第四旋转机构74，旋转件32驱动承载件31由第一状态切换至第二状态。
然后，承载件31带着面板201传送至面板取出机构52，并可由机械臂将面板201由承载件31上取下。
最后，承载件31继续传送，并经过第五过渡段68到达面板放置机构51处，以进行下一面板201的蒸镀制程。
综上所述，本发明实施例在传送轨道20上设置可移动的面板传送机构用来承载面板201，且面板传送机构包括用于承载面板201的承载件31以及驱动承载件31在第一状态与第二状态之间进行切换的旋转件32，当承载件31传送面板201至第一蒸镀腔室11内时，旋转件32驱动承载件31切换至第一状态，可使得面板201的蒸镀面与第一蒸镀腔室11的第一侧面103平行且相对设置，进而可以使得面板201处于竖直状态，减少面板201进行蒸镀时占用的水平面积，以减少第一蒸镀腔室11的占地面积，节省空间和成本。且传送轨道20为闭合环路轨道，进而承载件31可在传送轨道20上一直进行环路移动，不需要其他手段对承载件31进行搬运，以进一步降低了成本，节省了工序。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
以上对本发明实施例所提供的一种蒸镀装置及显示面板的制作方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例的技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
第一蒸镀腔室，包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于所述第一底面和所述第一顶面之间的第一侧面和至少一第二侧面，所述第一蒸镀腔室还包括设置于所述第一侧面上的蒸镀件、设置于至少一所述第二侧面上的第一入口以及第一出口；
传送轨道，穿过所述第一入口以及所述第一出口，以使所述传送轨道通过所述第一蒸镀腔室；
面板传送机构，包括承载件以及旋转件，所述承载件可移动地连接于所述传送轨道上并用于承载面板，所述旋转件驱动所述承载件在第一状态与第二状态之间进行切换，所述承载件处于所述第一状态，以使所述面板的蒸镀面垂直于所述第一底面，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面与所述第一底面之间的夹角大于90°或小于90°，至少当所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第一侧面相对设置。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括第一往复轨道，所述第一往复轨设置于所述传送轨道的一侧并用于传送第一掩膜板，且当所述第一掩膜板置于所述第一往复轨道上时，所述第一掩膜板垂直于所述第一底面。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一入口一侧的第一组装机构以及设置于所述第一蒸镀腔室设有所述第一出口一侧的第一分离机构，所述传送方向为所述传送轨道由所述第一入口指向所述第一出口的方向，所述传送轨道穿过所述第一组装机构以及所述第一分离机构，所述第一往复轨道连接于所述第一组装机构和所述第一分离机构之间，以使得所述面板与所述第一掩膜板在所述第一组装机构内对位贴合，在所述第一分离机构内分离。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，当所述承载件移动至所述第一组装机构以及所述第一分离机构内时，所述承载件处于所述第一状态。
5.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第一组装机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的面板放置机构以及所述第一分离机构远离所述第一蒸镀腔室一侧的功能腔室，且所述传送轨道穿过所述面板放置机构和所述功能腔室，当所述承载件位于所述面板放置机构内和所述功能腔室内时，所述承载件处于所述第二状态，以使所述面板的所述蒸镀面平行于所述第一底面。
6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述传送轨道为闭合环路轨道，且所述承载件沿所述传送方向在所述闭合环路轨道上进行移动。
7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述功能腔室远离所述第一分离机构一侧的第二蒸镀腔室，所述第二蒸镀腔室包括相对设置的第二底面和第二顶面、以及连接于所述第二底面和所述第二顶面之间的第三侧面和至少一第四侧面，所述第二蒸镀腔室还包括设置于所述第三侧面上的第二蒸镀件、设置于至少一所述第四侧面上的第二入口以及第二出口；
其中，所述传送轨道穿过所述第二入口以及所述第二出口，以使所述传送轨道通过所述第二蒸镀腔室，当所述承载件位于所述第二蒸镀腔室内时，所述承载件处于所述第一状态，且所述蒸镀面与所述第三侧面相对设置。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第二蒸镀腔室和所述功能腔室之间的第二组装机构以及设置于所述第二蒸镀腔室和所述面板放置机构之间的第二分离机构；
其中，所述蒸镀装置还包括设置于所述传送轨道一侧并连接于所述第二组装机构和所述第二分离机构之间的第二往复轨道，所述第二往复轨道用于传送第二掩膜板，且当所述第二掩膜板置于所述第二往复轨道上时，所述第二掩膜板垂直于所述第二底面。
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，在沿所述传送轨道的所述传送方向上，所述蒸镀装置还包括设置于所述第二分离机构与所述面板放置机构之间的面板取出机构，所述传送轨道穿过所述面板取出机构；
其中，当所述承载件位于所述面板取出机构内时，所述承载件处于所述第二状态。
10.一种显示面板的制作方法，其特征在于，采用如权利要求1至9任一项所述的蒸镀装置，且所述显示面板的制作方法包括以下步骤：
提供所述面板，将所述面板置于所述承载件上；
所述旋转件控制所述承载件处于所述第一状态，以使所述面板的蒸镀面垂直于所述第一底面；
驱动所述承载件移动至所述第一蒸镀腔室内，所述蒸镀件对所述面板的所述蒸镀面进行蒸镀。
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