KR20240072360A - 인라인 증착 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 서로 인라인으로 배치된 어태치 챔버, 얼라인 챔버, 증착 챔버를 포함하는 복수의 공정 챔버와; 기판의 고정을 위한 고정척 모듈이 착탈 가능하게 탑재되며, 상기 어태치 챔버에서 기판을 상기 고정척 모듈에 부착시켜 자기 부상 방식을 통해 상기 얼라인 챔버로 이송시키는 기판 캐리어와; 상기 얼라인 챔버에 설치되며, 상기 고정척 모듈을 상기 기판 캐리어로부터 분리하여 상기 기판과 마스크를 얼라인시키는 얼라인 모듈; 및 상기 얼라인의 완료 후 상기 고정척 모듈이 탑재되는 탑재 공간을 제공하며, 상기 기판과 상기 마스크가 합착된 상태의 상기 고정척 모듈을 상기 증착 챔버로 이송시켜 상기 기판 상에 증착 공정이 수행되도록 하는 마스크 캐리어;를 포함하는 인라인 증착 시스템에 관한 것이다.

Description

인라인 증착 시스템 {In-line deposition system}

본 발명은 복수의 공정 챔버가 인라인으로 배치된 형태로서, 기판이 탑재된 캐리어가 각 공정 챔버 간을 이동하여 공정을 수행하도록 구성된 인라인 증착 시스템 에 관한 것이다.

유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

유기 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공 증착법 등에 의해 기판 상에 형성될 수 있다.

진공 증착법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크를 기판에 얼라인시킨 후, 증착 재료가 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 증발되는 증착 재료를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.

유기 발광 소자의 양산성 향상을 위하여 기판의 로딩 챔버, 기판 마스크의 얼라인을 위한 얼라인 챔버, 유기물 증착 또는 전극 형성 등을 위한 증착 챔버 등을 일렬로 배치한 인라인 증착 시스템이 적용되고 있다. 이에 따르면, 기판이 로딩된 캐리어(또는 셔틀)을 각 챔버 간에 이동시켜 각 챔버에서의 공정을 수행한다.

이와 같은 캐리어의 이송 방법으로 롤러를 이용한 방식이 일반적이나, 이와 같은 롤러 이송 방식은 캐리어의 이송 과정에서 파티클이나 먼지가 많이 발생하는 문제가 있다. 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 캐리어의 이송 방식으로 자기 부상 방식이 검토 및 고려 중에 있다. 자기 부상 이송 방식이 적용된 캐리어(이하, ‘자기 부상 캐리어’라 함)는 챔버의 내벽에 설치된 자기 부상 레일에 연결되어 이송되는데, 자기 부상 레일은 자기 부상 캐리어에 자기 부상력 및 추진 동력을 제공하도록 구성된다.

기판이 부착된 자기 부상 캐리어는 자기 부상 레일에 연결된 상태로 얼라인 챔버로 이송되어 얼라인 과정을 수행하게 되는데, 얼라인을 위해서는 자기 부상 캐리어를 자기 부상 레일로부터 분리하는 과정이 필요하다. 자기 부상 캐리어의 분리를 위해서는 자기 부상 레일을 이동시키는 이동 장치 및 이를 구동시키는 구동 장치가 필요하며, 이는 얼라인 챔버의 구성을 복잡하게 하는 문제를 발생시킨다.

공개특허공보 제10-2015-0003584호 (2015.01.09)

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 얼라인 공정시 자기 부상 캐리어를 자기 부상 레일로부터 분리하지 않고 얼라인 공정의 수행이 가능하게 하여 얼라인 챔버의 구성을 단순화할 수 있는 인라인 증착 시스템을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 서로 인라인으로 배치된 어태치 챔버, 얼라인 챔버, 증착 챔버를 포함하는 복수의 공정 챔버와; 기판의 고정을 위한 고정척 모듈이 착탈 가능하게 탑재되며, 상기 어태치 챔버에서 기판을 상기 고정척 모듈에 부착시켜 자기 부상 방식을 통해 상기 얼라인 챔버로 이송시키는 기판 캐리어와; 상기 얼라인 챔버에 설치되며, 상기 고정척 모듈을 상기 기판 캐리어로부터 분리하여 상기 기판과 마스크를 얼라인시키는 얼라인 모듈; 및 상기 얼라인의 완료 후 상기 고정척 모듈이 탑재되는 탑재 공간을 제공하며, 상기 기판과 상기 마스크가 합착된 상태의 상기 고정척 모듈을 상기 증착 챔버로 이송시켜 상기 기판 상에 증착 공정이 수행되도록 하는 마스크 캐리어;를 포함하는 인라인 증착 시스템이 개시된다.

또한, 상기 기판 캐리어는, 상기 어태치 챔버로부터 상기 얼라인 챔버까지 연장된 제1 이송 레일을 따라 자기 부상 방식으로 이송 가능한 이송 프레임; 및 상기 이송 프레임과 상기 고정척 모듈의 사이에 구비되며, 상기 이송 프레임에 상기 고정척 모듈을 착탈 가능하게 결합시키는 착탈 결합부;를 포함할 수 있다.

또한, 상기 이송 프레임은, 상기 고정척 모듈을 지지하는 프레임 본체; 및 상기 프레임 본체의 양측에 형성되며, 상기 제1 이송 레일에 의해 가이드되는 가이드부를 포함할 수 있다.

또한, 상기 고정척 모듈은, 기판 고정척이 설치되는 바디와; 상기 바디 상에서 승강 가능하게 설치되며, 상기 마스크의 프레임과의 부착을 위한 자력을 발생시키는 마그넷 플레이트; 및 상기 바디에 설치되며, 상기 마스크의 프레임과 부착 가능한 마스크 부착 유닛;을 포함할 수 있다.

또한, 상기 마스크 부착 유닛은, 상기 고정척 모듈이 상기 마스크 캐리어 상에 탑재된 상태에서 상기 마스크의 프레임과 부착되도록 동작될 수 있다.

또한, 상기 기판 캐리어는 상기 얼라인 챔버에서 상기 고정척 모듈이 분리된 후 상기 어태치 챔버로 반송되도록 동작될 수 있다.

또한, 상기 얼라인 모듈은, 상기 고정척 모듈에 착탈 가능하게 연결되며, 상기 고정척 모듈을 홀딩하는 홀딩 샤프트; 및 상기 홀딩 샤프트의 위치를 제어하는 위치 제어부;를 포함할 수 있다.

또한, 상기 기판 캐리어의 이송 공간으로부터 하부 방향으로 이격된 위치에는, 상기 얼라인 챔버로부터 상기 증착 챔버까지 연장되게 설치되는 제2 이송 레일이 설치될 수 있다.

또한, 상기 마스크 캐리어는, 상기 마스크를 지지하는 캐리어 본체부; 및 상기 캐리어 본체부의 양측에 형성되며, 상기 제2 이송 레일을 따라 자기 부상 방식으로 이송 가능한 자기 부상 가이드부;를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 얼라인 공정시 자기 부상 캐리어(기판 캐리어)로부터 고정척 모듈만을 분리하여 기판과 마스크의 얼라인 후 마스크 캐리어에 탑재할 수 있게 구성함으로써, 얼라인 공정시 기판 캐리어를 자기 부상 레일로부터 분리하지 않아도 되며, 이에 따라 자기 부상 캐리어와 자기 부상 레일을 분리하기 위한 별도의 장치가 설치하지 않아도 되는바, 얼라인 챔버의 장비 구성을 단순화 할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 측면도.
도 3은 도 1 및 2에 도시된 얼라인 챔버의 내부 구조를 나타낸 단면도.
도 4 내지 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 작동 과정을 나타내는 작동 상태도.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명에 의한 인라인 증착 시스템의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 측면도이다. 그리고, 도 3은 도 1 및 2에 도시된 얼라인 챔버의 내부 구조를 나타낸 단면도이다.

도 1 내지 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 인라인 증착 시스템은 복수의 공정 챔버(10 내지 14), 기판 캐리어(20), 얼라인 모듈(50) 및 마스크 캐리어(22)를 포함한다.

복수의 고정 챔버(10 내지 14)는 서로 인라인으로 배치된 어태치 챔버(12), 얼라인 챔버(13) 및 증착 챔버(14)를 포함한다. 어태치 챔버(12)의 전단에는 로드락 챔버(10)와 이송 챔버(11)가 배치될 수 있다.

로드락 챔버(10)는 외부로부터 기판(1)을 투입된 기판(1)을 수용하도록 구성되며, 이송 챔버(11)에는 로드락 챔버(10)의 기판을 어태치 챔버(12)로 이송시키는 이송 로봇(15)이 설치된다. 얼라인 챔버(13)에는 기판(1)과 마스크(2) 사이를 얼라인하기 위한 얼라인 모듈(50)이 구비되고, 증착챔버(14)에는 증착 재료를 증발시키는 증발원(19)이 설치된다.

기판 캐리어(20)는 기판(1)의 고정을 위한 고정척 모듈(31)이 착탈 가능하게 탑재되는 구성을 갖는다. 기판 캐리어(20)는 어태치 챔버(12)에서 기판(1)을 고정척 모듈(31)에 부착시켜 자기 부상 방식을 통해 얼라인 챔버(13)로 이송시킨다. 기판 캐리어(20)는 제1 이송 레일(16)을 따라 주행하도록 구성되며, 제1 이송 레일(16)은 어태치 챔버(12)로부터 얼라인 챔버(13)까지 연장된 구성을 갖는다.

기판 캐리어(20)는 제1 이송 레일(16)을 따라 자기 부상 방식으로 이송 가능한 이송 프레임(24)과, 이송 프레임(24)과 고정척 모듈(31)의 사이에 구비되는 착탈 결합부를 포함할 수 있다.

이송 프레임(24)은 고정척 모듈(31)이 설치 및 지지되는 프레임 본체(26)와, 상기 프레임 본체(24)의 양측에 형성되는 가이드부(27)를 포함할 수 있다. 가이브부(27)는 제1 이송 레일(26)에 의해 가이드되며, 제1 이송 레일(16)이 제공하는 부상력 및 추진력에 의해 자기 부상 이동하도록 구성될 수 있다.

착탈 결합부는 이송 프레임(24)에 고정척 모듈(31)을 착탈 가능하게 결합시키며, 고정 홀 및 고정 핀과 같은 암수 결합 구조, 전자석을 이용한 자력에 의한 탈착 구조 등이 사용될 수 있다. 착탈 결합부는 고정척 모듈(31) 양측의 플랜지부(42)와 이송 프레임(24)의 프레임 본체부(26)의 사이에 구비될 수 있다.

고정척 모듈(31)은 기판 고정척(34)이 설치되는 바디(32)와, 바디(32) 상에서 승강 가능하게 설치되는 마그넷 플레이트(33)를 포함할 수 있다

기판 고정척(34)은 고정척 모듈(31)의 바디(32)의 하부에 설치될 수 있으며, 정전기력을 이용하여 기판을 고정시키는 정전척(Electrostatic Chuck)의 형태를 가질 수 있다. 다만 고정척(34)으로서 정전척 이외에 다른 방식의 고정척 또한 사용 가능하다.

바디(32)에는 이송 프레임(24)에 착탈 가능하게 결합될 수 있고, 이들 사이에 착탈 결합구가 구비될 수 있다. 바디(32)에는 기판 고정척(34)에 전원을 공급하기 위한 배터리, 인라인 증착 시스템의 컨트롤러와의 무선 통신을 위한 무선 통신 모듈, 기판 고정척(34)을 냉각하기 위한 냉각 모듈 등이 설치될 수 있다.

또한, 바디(32)에는 마스크(2)의 금속 재질 프레임과 부착 가능한 마스크 부착 유닛(46)이 설치될 수 있다. 마스크 부착 유닛(46)으로서, 전기 신호의 온/오프에 의해 자력 발생 여부가 제어되는 자기 부착 모듈이 사용될 수 있으며, 이는 영전자석, 전자석 등을 포함할 수 있다. 마스크 부착 유닛(46)은 바디(32)의 전단과 후단에 각각 복수 개로 설치 가능하다.

마그넷 플레이트(33)는 마스크의 금속 재질 프레임과의 부착을 위한 자력을 발생시킨다. 마그넷 플레이트(33)에는 영구자석, 전자석 등의 자력 발생 수단이 설치될 수 있다.

마그넷 플레이트(33)에는 연결부(60)가 연결되며, 본 실시예의 경우 이동 샤프트(58)에 의해 연결부(60)가 연결된 구성이 예시되어 있다. 연결부(60)는 얼라인 모듈(50)의 홀딩 샤프트(52)와 연결 또는 연결 해제 가능하게 구성되며, 연결부(60)로서 후킹 구조체, 자력 플레이트 등 다양한 연결 수단이 사용될 수 있다.

마그넷 플레이트(33)의 상면에는 마그넷 플레이트(33)의 상승을 제한하는 스토퍼(62)가 설치될 수 있다. 마그넷 플레이트(33)가 일정 거리 이상 상승하는 경우, 스토퍼(62)가 바디(32)의 천장면에 걸려 마그넷 플레이트(33)의 상승이 제한되게 된다.

또한, 바디(32)와 마그넷 플레이트(33)의 사이에는 마그넷 플레이트(33)의 승강 동작을 가이드하기 위한 승강 가이드부(27)가 구비될 수 있다. 가이드부(27)는 바디(32)에 형성되는 안내공(65)과, 마그넷 플레이트(33) 상에 구비되는 가이드 로드(64)를 포함할 수 있다. 가이드 로드(64)는 안내공(65)에 직선 이동 가능하게 삽입 설치되며, 안내공(65)을 따라 직선 이동하면서 마그넷 플레이트(33)가 직선 이동할 수 있게 안내한다.

얼라인 모듈(50)은 얼라인 챔버(13)에 설치되며, 고정척 모듈(31)을 기판 캐리어(20)로부터 분리하여 그 위치를 이동시켜 기판(1)과 마스크(2) 사이를 얼라인시키도록 구성된다. 얼라인 모듈(50)은 얼라인 챔버(13)의 상부에 설치될 수 있다.

얼라인 모듈(50)은 고정척 모듈(31)에 착탈 가능하게 연결되는 홀딩 샤프트(52)와, 홀딩 샤프트(52)의 위치를 제어하는 위치 제어부(54, 예를 들어, UVW 스테이지)를 포함할 수 있다. 홀딩 샤프트(52)는 고정척 모듈(31)을 홀딩하도록 고정척 모듈(31)의 연결부(60)와 연결 가능한 홀딩 수단(56)을 가질 수 있다. 홀딩 수단(56)으로서 회전 동작에 의해 후킹 구조체에 걸리거나 걸림이 해제되는 후킹 수단, 전기 신호의 온/오프에 따라 자력 플레이트와 결합 또는 결합 해제되는 자력 발생 수단(예를 들어, 전자석, 영전 자석 등)이 사용될 수 있다.

마스크 캐리어(22)는 기판(1)과 마스크(2) 사이의 얼라인의 완료 후, 고정척 모듈(31)이 탑재되는 탑재 공간을 제공하며, 기판(1)과 마스크(2)가 합착된 상태의 고정척 모듈(31)을 증착 챔버(14)로 이송시켜 기판(1) 상에 증착 공정이 수행되도록 한다.

마스크 캐리어(22)는 제1 이송 레일(16)과 별도로 구비된 제2 이송 레일(18) 상을 주행하도록 구성되며, 마스크 캐리어(22) 또한 자기 부상 방식에 의해 제2 이송 레일(18)을 이동하도록 구성 가능하다. 제2 이송 레일(18)은 기판 캐리어(20)의 이송 공간으로부터 하부 방향으로 이격된 위치에 설치되며, 얼라인 챔버(13)로부터 증착 챔버(14)까지 연장되게 설치될 수 있다.

마스크 캐리어(22)는 마스크(2)를 지지하는 캐리어 본체부(66)와, 캐리어 본체부(66)의 양측면에 설치되는 자기 부상 가이드부(68)를 포함한다. 캐리어 본체부(66)는 고정척 모듈(31)이 탑재되는 탑재 공간을 제공한다. 자기 부상 가이드부(68)는 자기 부상 방식에 의해 주행 가능하도록 제2 이송 레일(18)에 연결될 수 있다.

도 4 내지 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 작동 과정을 나타내는 작동 상태도이다. 참고로, 도 4, 6, 8 및 11은 공정 챔버의 내부 상태를 측면에서 바라본 것을 나타내고 있고, 도 5, 7, 9 및 10은 고정척 모듈 등의 내부 단면을 보이고 있다.

기판(1)이 로드락 챔버(10)로 투입되면, 이송 챔버(11)의 이송 로봇(15)이 기판(1)을 어태치 챔버(12)의 기판 로딩 모듈에 탑재한다. 기판 로딩 모듈에 의해 기판 캐리어(20)의 고정척 모듈(31)에 기판(1)이 부착되면, 도 4와 같이, 기판 캐리어(20)는 제1 이송 레일(16)을 주행하여 얼라인 챔버(13)로 이동한다.

그리고 기판(1)이 고정척(3$)에 부착된 상태로 자기 부상 캐리어(20)가 얼라인 챔버(12) 내로 진입하면, 도 5과 같이, 얼라인 모듈(50)의 위치 제어부(54)는 홀딩 샤프트(52)를 하강 동작시키고 홀딩 샤프트(52)의 홀딩 수단(56)과 고정척 모듈(31)의 연결부(60)가 연결되도록 한다.

그리고, 얼라인 모듈(50)의 위치 제어부(54)는, 홀딩 샤프트(52)를 상승 동작시켜 마그넷 플레이트(33)가 바디(32) 상에서 상승 이동하도록 한다. 스토퍼(62)가 바디(32)에 접촉하여 마그넷 플레이트(33)의 바디(32)에 대한 상대 이동이 제한되고, 홀딩 샤프트(52)가 더 상승함에 따라, 도 6 및 7과 같이, 고정척 모듈(31)은 이송 프레임(24)으로부터 분리되어 상부로 이동한다. 이에 따르면, 얼라인 공정을 위하여 기판 캐리어(20)를 제1 이송 레일(16)로부터 분리하지 않고, 고정척 모듈(31)만을 분리할 수 있다.

그리고, 고정척 모듈(31)이 분리된 기판 캐리어(20)은 어태치 챔버(12)로 반송되도록 동작된다(도 8 참조), 얼라인 모듈(50)의 위치 제어부(54)는 홀딩 샤프트(52)를 하강 이동시켜 고정척 모듈(31)을 마스크 캐리어(22)의 마스크(2)로 근접 이동시킨다. 이송 프레임(24)이 어태치 챔버(12)로 반송된 이후 고정척 모듈(31)의 하강이 이루어지므로, 고정척 모듈(31)의 하강시 이송 프레임(24)과 간섭되지 않게 된다.

고정척 모듈(31)의 기판(1)이 마스크 캐리어(22)의 마스크(2)에 근접 이동한 상태에서, 위치 제어부(54)는 고정척 모듈(31)을 수평 방향(예를 들어, X, Y, θ 방향 등)으로 이동시켜 기판(1)과 마스크(2) 사이의 얼라인을 수행한다.

기판(1)과 마스크(2) 사이의 얼라인이 완료되면, 얼라인 모듈(50)의 위치 제어부(54)는, 도 8과 같이, 홀딩 샤프트(52)를 하강시켜 고정척 모듈(31)이 마스크 캐리어(22)에 놓이게 하고, 도 9와 같이, 홀딩 샤프트(52)를 더 하강시켜 마그넷 플레이트(33)가 고정척 모듈(31)의 바디(32) 상에서 하강 이동하도록 한다. 이에 따라 마그넷 플레이트(33)의 자력이 마스크(2)의 금속 재질 프레임에 작용하여 마스크(2)가 기판(1)에 합착되게 된다. 그리고, 마스크 부착 유닛(46)은 마스크(2)의 프레임과 부착되도록 동작하여, 마스크(2)의 위치가 고정척 모듈(31)에 견고하게 고정될 수 있게 한다.

다음으로, 얼라인 모듈(50)의 위치 제어부(54)는 홀딩 샤프트(52)의 홀딩 수단(56)과 이동 샤프트(58)의 연결부(60) 사이의 연결을 해제하고, 도 10와 같이, 홀딩 샤프트(52)가 상승하도록 한다. 그리고, 도 11과 같이 고정척 모듈(31)이 탑재된 마스크 캐리어(22)는 제2 이송 레일(18) 상을 주행하여 증착 챔버(14)로 이동하며, 증착 탬버 내의 증발원(19)의 동작에 따라 마스크 캐리어(22)가 증착 챔버(14) 내를 이동하면서 기판(1)에 증착 재료가 증착되게 된다. 어태치 챔버(12)로 반송되었던 기판 캐리어(20)는 새로운 고정척 모듈(31)을 탑재하여 다시 얼라인 챔버(13)로 이송된다.

기판 캐리어(20)는 제1 이송 레일(16) 상에서 왕복 이동하며 이송 챔버(11)에서 전달된 기판(1)을 고정척 모듈(31)에 부착하여 얼라인 모듈(52)로 전달한다. 그리고 마스크 캐리어(22)는 얼라인 모듈(50)로부터 전달된 고정척 모듈(31)을 탑재하여 제2 이송 레일(18)을 따라 주행하면서 증착 공정을 수행하게 된다.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

1: 기판 2: 마스크
10: 로드락 챔버 11: 이송 챔버
12: 어태치 챔버 13: 얼라인 챔버
14: 증착 챔버 16: 제1 이송 레일
18: 제2 이송 레일 19: 증발원
20: 기판 캐리어 22: 마스크 캐리어
24: 이송 프레임 26: 프레임 본체
27: 가이드부 31: 고정척 모듈
32: 바디 34: 기판 고정척
42: 플랜지부 46: 마스크 부착 유닛
50: 얼라인 모듈 52: 홀딩 샤프트
54: 위치 제어부 56: 홀딩 수단
58: 이동 샤프트 60: 연결부
62: 스토퍼 64: 가이드 로드
65: 안내공 66: 캐리어 본체부
68: 자기 부상 가이드부

Claims (9)

1. 서로 인라인으로 배치된 어태치 챔버, 얼라인 챔버, 증착 챔버를 포함하는 복수의 공정 챔버;
   기판의 고정을 위한 고정척 모듈이 착탈 가능하게 탑재되며, 상기 어태치 챔버에서 기판을 상기 고정척 모듈에 부착시켜 자기 부상 방식을 통해 상기 얼라인 챔버로 이송시키는 기판 캐리어;
   상기 얼라인 챔버에 설치되며, 상기 고정척 모듈을 상기 기판 캐리어로부터 분리하여 상기 기판과 마스크를 얼라인시키는 얼라인 모듈; 및
   상기 얼라인의 완료 후 상기 고정척 모듈이 탑재되는 탑재 공간을 제공하며, 상기 기판과 상기 마스크가 합착된 상태의 상기 고정척 모듈을 상기 증착 챔버로 이송시켜 상기 기판 상에 증착 공정이 수행되도록 하는 마스크 캐리어;를 포함하는 인라인 증착 시스템.
   
2. 제1항에 있어서, 상기 기판 캐리어는,
   상기 어태치 챔버로부터 상기 얼라인 챔버까지 연장된 제1 이송 레일을 따라 자기 부상 방식으로 이송 가능한 이송 프레임; 및
   상기 이송 프레임과 상기 고정척 모듈의 사이에 구비되며, 상기 이송 프레임에 상기 고정척 모듈을 착탈 가능하게 결합시키는 착탈 결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
   
3. 제2항에 있어서, 상기 이송 프레임은,
   상기 고정척 모듈을 지지하는 프레임 본체; 및
   상기 프레임 본체의 양측에 형성되며, 상기 제1 이송 레일에 의해 가이드되는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
   
4. 제1항에 있어서, 상기 고정척 모듈은,
   기판 고정척이 설치되는 바디;
   상기 바디 상에서 승강 가능하게 설치되며, 상기 마스크의 프레임과의 부착을 위한 자력을 발생시키는 마그넷 플레이트; 및
   상기 바디에 설치되며, 상기 마스크의 프레임과 부착 가능한 마스크 부착 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
   
5. 제4항에 있어서, 상기 마스크 부착 유닛은,
   상기 고정척 모듈이 상기 마스크 캐리어 상에 탑재된 상태에서 상기 마스크의 프레임과 부착되도록 동작하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 기판 캐리어는 상기 얼라인 챔버에서 상기 고정척 모듈이 분리된 후 상기 어태치 챔버로 반송되도록 동작되는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
   
7. 제1항에 있어서, 상기 얼라인 모듈은,
   상기 고정척 모듈에 착탈 가능하게 연결되며, 상기 고정척 모듈을 홀딩하는 홀딩 샤프트; 및
   상기 홀딩 샤프트의 위치를 제어하는 위치 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 기판 캐리어의 이송 공간으로부터 하부 방향으로 이격된 위치에 설치되며, 상기 얼라인 챔버로부터 상기 증착 챔버까지 연장되게 설치되는 제2 이송 레일; 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
   
9. 제8항에 있어서, 상기 마스크 캐리어는,
   상기 마스크를 지지하는 캐리어 본체부; 및
   상기 캐리어 본체부의 양측에 형성되며, 상기 제2 이송 레일을 따라 자기 부상 방식으로 이송 가능한 자기 부상 가이드부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
   

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