KR20240012985A - 인라인 증착 시스템 - Google Patents

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KR20240012985A
KR20240012985A KR1020220090629A KR20220090629A KR20240012985A KR 20240012985 A KR20240012985 A KR 20240012985A KR 1020220090629 A KR1020220090629 A KR 1020220090629A KR 20220090629 A KR20220090629 A KR 20220090629A KR 20240012985 A KR20240012985 A KR 20240012985A
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levitation rail
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KR1020220090629A
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강승현
황도훈
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주식회사 선익시스템
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Abstract

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 대한 개별 공정을 수행하며 서로 연통되도록 배치되는 복수의 공정 챔버 모듈과; 상기 기판이 탑재되어 상기 복수의 공정 챔버 모듈 내를 이동하는 기판 셔틀과; 상기 복수의 공정 챔버 모듈 내부를 따라 설치되며, 상기 기판 셔틀을 자력에 의해 부상시켜 상기 기판 셔틀의 이동을 유도하는 자기 부상 레일과; 상기 자기 부상 레일을 따라 서로 이격되어 설치되며 상기 기판 셔틀의 근접여부를 판단하는 근접 센서와; 상기 자기 부상 레일을 커버하도록 배치되며, 상기 근접 센서의 검출에 따라 상기 자기 부상 레일을 개폐하는 증착 쉴드 유닛을 포함하는, 인라인 증착 시스템이 제공된다.

Description

인라인 증착 시스템{Inline deposition system}
본 발명은 인라인 증착 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 자기 부상 이송 시스템을 갖춘 인라인 증착 시스템에 있어서, 기체 상태의 증착 물질이 자기 부상 이송 시스템에 기생 증착되는 것을 방지할 수 있는 인라인 증착 시스템에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두되고 있다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 유기층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.
진공열증착방법에 의하여 유기 박막이나 금속 박막을 형성하기 위한 장비 시스템으로 클러스터형 증착 시스템이나 인라인 증착 시스템이 적용되고 있는데, 인라인 증착 시스템은 복수의 공정 챔버를 일렬로 배열한 상태에서 복수의 기판을 셔틀에 각각 장착하여 연속적으로 이송시키면서 증착 공정을 수행하는 것인 반면, 클러스터형 증착 시스템은 여러 유기박막을 형성하기 위하여 복수의 진공 챔버를 클러스터형으로 만들어서 기판에 대한 유기박막을 증착하는 방식이다.
그런데, 최근에 기판이 대면적화되면서 고중량화되어 인라인 증착 시스템 내부에서 기판을 이송하는데 어려움이 있다.
예를 들면, 8세대 디스플레이용 유리 기판의 경우 2200㎜×2500㎜의 크기에 그 무게가 대략 300kg에 달하여 종래의 기판 이송 시스템으로 유리 기판을 원활히 이송하는데 어려움이 있다.
이에 대해, 최근에는 자력으로 고중량의 기판을 부상시켜 기판을 이송하기 위한 자기 부상 이송 시스템을 개발하고 있는데, 인라인 방식에 의해 기판을 이송하면서 기판에 대한 증착이 진행되는 동안 기체 상태의 증착 입자가 자기 부상 이송 시스템에 기생 증착되어 기판의 이송이 원활하지 못하는 문제점이 있다.
대한민국 등록실용신안공보 제20-0310597 호(2003.04.23 공개)
본 발명은 자기 부상 이송 시스템을 갖춘 인라인 증착 시스템에 있어서 기체 상태의 증착 물질이 자기 부상 이송 시스템에 기생 증착되는 것을 방지할 수 있는 인라인 증착 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 대한 개별 공정을 수행하며 서로 연통되도록 배치되는 복수의 공정 챔버 모듈과; 상기 기판이 탑재되어 상기 복수의 공정 챔버 모듈 내를 이동하는 기판 셔틀과; 상기 복수의 공정 챔버 모듈 내부를 따라 설치되며, 상기 기판 셔틀을 자력에 의해 부상시켜 상기 기판 셔틀의 이동을 유도하는 자기 부상 레일과; 상기 자기 부상 레일을 따라 서로 이격되어 설치되며 상기 기판 셔틀의 근접여부를 판단하는 근접 센서와; 상기 자기 부상 레일을 커버하도록 배치되며, 상기 근접 센서의 검출에 따라 상기 자기 부상 레일을 개폐하는 증착 쉴드 유닛을 포함하는, 인라인 증착 시스템이 제공된다.
상기 복수의 공정 챔버 모듈 중 어느 하나 이상은 상기 기판에 대한 증착을 수행하는 증착 챔버 모듈을 포함하며, 이 경우, 상기 근접 센서 및 상기 증착 쉴드 유닛은 상기 증착 챔버 모듈 내부에 설치될 수 있다.
상기 증착 쉴드 유닛은, 상기 자기 부상 레일을 커버하도록 배치되며, 상기 근접 센서의 검출에 따라 상기 자기 부상 레일을 개폐하는 쉴드판과; 상기 자기 부상 레일을 개폐하도록 상기 쉴드판을 승가시키는 승강부를 포함할 수 있다.
상기 승강부는, 일단이 쉴드판에 각각 결합되고 타단이 상기 공정 챔버 모듈을 각각 관통하는 제1 업다운 로드 및 제2 업다운 로드와; 상기 제1 업다운 로드 및 제2 업다운 로드의 타단에 횡방향으로 결합되는 구동판과; 상기 구동판을 업다운 시키는 액추에이터부를 포함할 수 있다.
상기 액추에이터부는, 상기 구동판을 관통하는 한 쌍의 구동로드와; 상기 한 쌍의 구동로드의 일단이 각각 결합되고, 상기 공정 챔버 모듈의 외벽에 부착되는 지지판과; 상기 한 쌍의 구동로드의 타단이 각각 결합되는 고정판과; 신축로드가 상기 고정판을 관통하여 상기 지지판에 결합되는 상기 고정판에 결합되는 액추에이터(actuator)를 포함할 수 있다.
상기 증착 쉴드 유닛은 복수 개가 상기 자기 부착 레일을 따라 연속적으로 설치되되, 상기 쉴드판이 인접하여 연속되도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 자기 부상 이송 시스템을 갖춘 인라인 증착 시스템에 있어서 기판에 대한 증착 과정에서 기체 상태의 증착 물질이 자기 부상 이송 시스템에 기생 증착되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 자기 부상 기판 이송시스템을 간략히 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 평면 구성을 간략히 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 단면 구성을 간략히 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 증착 쉴드 유닛의 구성을 설명하기 위한 도면.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 증착 쉴드 유닛의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 인라인 증착 시스템의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 자기 부상 기판 이송시스템을 간략히 도시한 도면이다. 그리고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 평면 구성을 간략히 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 단면 구성을 간략히 도시한 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 증착 쉴드 유닛의 구성을 설명하기 위한 도면이고, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 증착 쉴드 유닛의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 6에는, 공정 챔버 모듈(12), 기판(13), 기판 셔틀(14), 증착 챔버 모듈(16), 증발원(18), 증착 물질(19), 자기 부상 레일(20), 근접 센서(22), 증착 쉴드 유닛(24), 쉴드판(26), 승강부(28), 제1 업다운 로드(30), 제2 업다운 로드(32), 구동판(34), 액추에이터부(36), 구동로드(38), 고정 플랜지(40), 지지판(42), 고정판(44), 액추에이터(46), 신축로드(48)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 인라인 증착 시스템은, 기판(13)에 대한 개별 공정을 수행하며 서로 연통되도록 배치되는 복수의 공정 챔버 모듈(12)과; 기판(13)이 탑재되어 복수의 공정 챔버 모듈(12) 내를 이동하는 기판 셔틀(14)과; 복수의 공정 챔버 모듈(12) 내부를 따라 설치되며, 기판 셔틀(14)을 자력에 의해 부상시켜 기판 셔틀(14)의 이동을 유도하는 자기 부상 레일(20)과; 자기 부상 레일(20)을 따라 서로 이격되어 설치되며 기판 셔틀(14)의 근접여부를 판단하는 근접 센서(22)와; 자기 부상 레일(20)을 커버하도록 배치되며, 근접 센서(22)의 검출에 따라 자기 부상 레일(20)을 개폐하는 증착 쉴드 유닛(24)을 포함한다.
본 실시예에 있어서, 증착 챔버 모듈(16) 등의 공정 챔버 모듈(12)은, 기판(13)에 대한 프로세스 처리 시 내부가 진공으로 이루어지는 챔버 본체와, 기판(13)의 프로세스를 위한 챔버 본체 내부에 장착되는 각종 기구를 포함하여, 기판(13)에 대한 프로세스를 수행하는 챔버 형태의 모듈을 의미한다.
인라인 증착 시스템은, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기와 같은 복수 개의 공정 챔버 모듈(12)이 서로 연통되도록 연속적으로 배치된 형태로서, 각 공정 챔버 모듈(12) 내에서 기판(13)에 대한 개별 공정을 각각 수행한다.
인라인 증착 시스템에는 기판 셔틀(14)과 자기 부상 레일(20) 등으로 구성된 자기 부상 기판 이송시스템이 설치된다. 기판(13) 들은 인라인 증착 시스템을 순환하는 복수 개의 기판 셔틀(14)에 각각 탑재되어 기판 셔틀(14)이 각 공정 챔버 모듈(12)을 순차적으로 이동하면서 기판(13)에 대한 개별 공정이 수행되도록 구성된다.
기판 셔틀(14)은, 기판(13)이 탑재되어 복수의 공정 챔버 모듈(12) 내를 이동한다. 인라인 증착 시스템 내부에는 복수 개의 기판 셔틀(14)이 연속적으로 순환하는데, 기판 셔틀(14)에 기판(13)이 탑재되어 이동에 따라 각 공정 챔버 모듈(12) 내에서 기판(13)에 대한 개별 공정이 수행된다.
기판 셔틀(14)은, 기판(13)이 탑재되어 인라인 증착 시스템 내부를 이동하기 위한 구성으로서, 하면에 기판(13)이 부착되는 기판척과, 기판척의 상부에 배치되어 기판(13) 하부에 위치하는 마스크를 자력으로 부착하는 마그넷 플레이트를 포함할 수 있다.
기판척은 기판(13)의 상면이 부착되어 고정되는 장치로서, 정전척(Electrostatic Chuck)이나 점착척 등이 기판척으로 사용될 수 있다. 정전척과 점착척은 진공상태에서 기판(13)을 척킹할 수 있어 공정 진행 시 진공 상태가 유지되는 공정 챔버 모듈(12)의 내부에서도 사용할 수 있다.
본 실시예에서는 기판척으로서 정전척을 사용한 형태를 제시한다. 정전척(Electrostatic Chuck)은 정전기의 힘을 이용하여 기판(13)을 고정하는 척킹 장치로서, 정전척에 '+', '-'를 인가시키면 대상물에는 반대의 전위가 대전('-', '+')되고, 대전된 전위에 의하여 서로 끌어당기는 힘이 발생하는 원리를 이용하여 정전척에 기판(13)을 부착시켜 고정하게 된다.
한편, 기판 셔틀(14)에는 후술할 자기 부상 레일(20)의 부상용 자석(21)과 대응하여 인력에 의해 기판 셔틀(14)을 부상시키는 자성체(미도시)가 부착될 수 있다.
자기 부상 레일(20)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 공정 챔버 모듈(12) 내부를 따라 설치되며, 기판 셔틀(14)을 자력에 의해 부상시켜 기판 셔틀(14)의 이동을 유도한다.
자기 부상 레일(20)에는 기판 셔틀(14)의 자성체와 상응하는 부상용 자석(21)과, 자기 부상 레일(20)에 탑재된 기판 셔틀(14)을 이동시키는 추진용 리니어 모터(미도시) 등이 설치될 수 있다.
기판 셔틀(14)과 자기 부상 레일(20) 등으로 구성되는 자기 부상 기판 이송시스템은 공정 챔버 모듈(12)의 내부에 기판(13)을 이송하기 위한 시스템으로서, 대면적 고중량의 기판(13)을 원활히 이송하고 핸들링하여 양산성을 높일 수 있다.
근접 센서(22)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 자기 부상 레일(20)을 따라 서로 이격되어 설치되며 기판 셔틀(14)의 근접 여부를 판단한다. 복수 개의 근접 센서(22)가 자기 부상 레일(20)을 따라 서로 이격되어 설치될 수 있으며, 기판 셔틀(14)이 이동 과정에서 기판 셔틀(14)의 근접여부를 판단한다. 근접 센서(22)로는 홀 센서, 포토 센서 등이 이용될 수 있다.
증착 쉴드 유닛(24)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 자기 부상 레일(20)을 커버하도록 배치되며, 기판 셔틀(14)의 이동에 따라 자기 부상 레일(20)을 개폐한다.
증착 쉴드 유닛(24)은 자기 부상 레일(20)에 증착 과정에서 발생하는 기체 상의 증착 물질(19)이 자기 부상 레일(20)에 부착되는 것을 방지하기 위한 구성으로서, 기판 셔틀(14)이 도착하기 전에는 자기 부상 레일(20)을 커버하고 있다가 해당 위치에 기판 셔틀(14)이 도착하면 근접 센서(22)가 미리 위치를 검출하고, 근접 센서(22)의 후단에 위치하는 자기 부상 레일(20)을 오픈한다. 근접 센서(22)에 의해 기판 셔틀(14)이 해당 위치를 지나갔다고 판단되면 기판 셔틀(14)의 후단부의 자기 부상 레일(20)을 폐합되도록 커버한다.
특히, 기판(13)에 대한 증착 공정이 수행되는 증착 챔버 모듈(16) 내에서는 자기 부상 레일(20)에 많은 기생 증착이 발생할 수 있으므로, 본 실시예에 따른 근접 센서(22) 및 증착 쉴드 유닛(24)이 증착 챔버 모듈(16) 내부에 설치될 수 있다.
도 3은 기판 셔틀(14)이 진입한 위치에서의 인라인 증착 시스템의 단면 구성을 간략히 도시한 도면이다. 도 3을 참조하면, 기판 셔틀(14)이 증착 챔버 모듈(16)로 진입하면 증발원(18)에서 분출되는 기체 상의 증착 물질(19)이 기판(13)에 증착이 이루어진다. 이때 증착 물질(19)이 기판(13) 이외의 자기 부상 레일(20)로 기생 증착이 이루어질 수 있다. 따라서, 기판 셔틀(14)이 이동 중인 위치에서는 증착 쉴드 유닛(24)의 쉴드판(26)을 상승시켜 자기 부상 레일(20)을 오픈하고, 기판 셔틀(14)의 이동 위치 이외에는 증착 쉴드 유닛(24)의 쉴드판(26)을 하강시켜 자기 부상 레일(20)을 커버하도록 한다.
이하에서는 증착 챔버 모듈(16) 내에 설치되는 증착 쉴드 유닛(24)을 중심으로 그 구성에 대해 설명하기로 한다.
도 4는 본 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 증착 쉴드 유닛(24)의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 쉴드 유닛(24)은, 자기 부상 레일(20)을 커버하도록 배치되며, 근접 센서(22)의 검출에 따라 자기 부상 레일(20)을 개폐하는 쉴드판(26)과; 자기 부상 레일(20)을 개폐하도록 쉴드판(30)을 승강시키는 승강부(28)를 포함한다.
쉴드판(26)은 자기 부상 레일(20)이 커버되도록 전면에 연속적으로 배치되어 증발원(18)에서 분출되는 기체 상의 증착 물질(19)이 자기 부상 레일(20)로 도달하는 것을 방지한다.
승강부(28)는, 자기 부상 레일(20) 전면에 위치하는 쉴드판(26)을 상승시키거나 하강시켜 자기 부상 레일(20)을 개폐한다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 승강부(28)의 작동에 따라 쉴드판(26)을 들어 올리면 자기 부상 레일(20)이 증착 물질(19)에 노출되고 쉴드판(26)을 하강시키면 자기 부상 레일(20)을 커버하여 증착 물질(17)의 도달을 차단한다.
승강부(28)를 작동시키기 위한 구동 부품들을 고진공의 공정 챔버 모듈(12)에 배치하는 경우 아웃 개싱이나 오작동일 발생할 우려가 있기 때문에 본 실시예에서는 승강부(28)를 공정 챔버 모듈(12)의 외부에 배치하였다.
이를 위해, 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 승강부(28)는, 일단이 쉴드판(26)에 각각 결합되고 타단이 공정 챔버 모듈(12)을 각각 관통하는 제1 업다운 로드(30) 및 제2 업다운 로드(32)와; 제1 업다운 로드(30) 및 제2 업다운 로드(32)의 타단에 횡방향으로 결합되는 구동판(34)과; 구동판(34)을 업다운 시키는 액추에이터부(36)를 포함한다.
제1 업다운 로드(30)와 제2 업다운 로드(32)의 일단은 각각 쉴드판(26)의 상단에 결합되어 있으며, 기류적으로 밀폐된 상태에서 공정 챔버 모듈(12)의 벽체를 관통하여 제1 업다운 로드(30) 및 제2 업다운 로드(32)의 타단은 공정 챔버 모듈(12)의 외부에 놓이게 된다.
제1 업다운 로드(30) 및 제2 업다운 로드(32)를 기류적으로 단절시키면서 공정 챔버 모듈(12)의 외부로 관통시키기 위해 고정 플랜지(40)가 공정 챔버 모듈(12)의 외부 벽체에 결합되고 고정 플랜지(40)를 관통한 제1 업다운 로드(30)와 제2 업다운 로드(32)의 일부는 밸로우즈 관에 의해 밀폐되어 상압의 외부 환경과 기류적으로 단절된다.
구동판(34)은, 공정 모듈 챔버를 관통한 제1 업다운 로드(30) 및 제2 업다운 로드(32)의 타단에 횡방향으로 결합되어 일체적으로 제1 업다운 로드(30) 및 제2 업다운 로드(32)를 거동하도록 한다. 액추에이터부(36)는 공정 모듈 챔버의 외부에서 제1 업다운 로드(30)와 제2 업다운 로드(32)가 결합된 구동판(34)을 승강시킴으로써 결과적으로 공정 챔버 모듈(12) 내부의 쉴드판(26)을 승강시키게 된다.
본 실시예에 따른 액추에이터부(36)는, 구동판(34)을 관통하는 한 쌍의 구동로드(38)와; 한 쌍의 구동로드(38)의 일단이 각각 결합되고, 공정 챔버 모듈(12)의 외벽에 부착되는 지지판(42)과; 한 쌍의 구동로드(38)의 타단이 각각 결합되는 고정판(44)과; 신축로드(48)가 고정판(44)을 관통하여 지지판(42)에 결합되는 고정판(44)에 결합되는 액추에이터(46)(actuator)를 포함한다.
도 4를 참조하면, 구동판(34)을 관통한 한 쌍의 구동로드(38)의 일단에는 공정 챔버 모듈(12)의 외벽에 부착되는 지지판(42)이 결합되며, 액추에이터(46)에 의해 공정 챔버 모듈(12)의 외부에 부착된 지지판(42)에 대해 상대적으로 구동판(34)을 승강시켜 구동판(34)에 결합된 제1 업다운 로드(30)와 제2 업다운 로드(32)의 승강이 이루어진다. 액추에이터(46)는 고정판(44)에 결합되어 있으며 액추에이터(46)의 신축로드(48)는 고정판(44)을 관통하여 구동판(34)에 결합된다.
액추에이터(46)의 신축로드(48)는 유압이나 공압에 의해 액추에이터(46)의 본체에서 인출되어 신장되거나 본체 내부로 인입되어 축소되는 부재로서, 액추에이터(46)의 신축로드(48)의 신장 및 축소에 따라 결과적으로 쉴드판(26)의 승강이 이루어진다. 이상과 같이 승강부(28)를 공정 챔버 모듈(12)의 외부에 배치함으로써 승강부(28)의 아웃 개싱이나 오작동을 방지할 수 있다.
도 5 및 도 6에는 본 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 증착 쉴드 유닛(24)의 작동 상태가 도시되어 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 기판 셔틀(14)이 진입 전에는 액추에이터(46)의 신축로드(48)가 신장되어 쉴드판(26)이 하강하여 자기 부상 레일(20)을 커버하고 있다가, 쉴드판(26)의 전단에서 근접 센서(22)에 의해 기판 셔틀(14)이 근접을 검출하면 액추에이터(46)의 신축로드(48)가 축소되면서 쉴드판(26)을 들어 올려 오픈한다. 근접 센서(22)에 의해 기판 쉴드가 지나간 것을 검출하면 액추에이터(46)의 신축로드(48)가 다시 신장되면서 쉴드판(26)을 하강시켜 자기 부상 레일(20)을 커버한다.
상술한 증착 쉴드 유닛(24)은 자기 부상 레일(20)을 따라 커버하도록 길이 방향을 따라 연속적으로 설치될 수 있는데, 쉴드판(26)의 측단이 인접하도록 연속적으로 배치될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
12: 공정 챔버 모듈 13: 기판
14: 기판 셔틀 16: 증착 챔버 모듈
18: 증발원 19: 증착 물질
20: 자기 부상 레일 22: 근접 센서
24: 증착 쉴드 유닛 26: 쉴드판
28: 승강부 30: 제1 업다운 로드
32: 제2 업다운 로드 34: 구동판
36: 액추에이터부 38: 구동로드
40: 고정 플랜지 42: 지지판
44: 고정판 46: 액추에이터
48: 신축로드

Claims (6)

  1. 기판에 대한 개별 공정을 수행하며 서로 연통되도록 배치되는 복수의 공정 챔버 모듈과;
    상기 기판이 탑재되어 상기 복수의 공정 챔버 모듈 내를 이동하는 기판 셔틀과;
    상기 복수의 공정 챔버 모듈 내부를 따라 설치되며, 상기 기판 셔틀을 자력에 의해 부상시켜 상기 기판 셔틀의 이동을 유도하는 자기 부상 레일과;
    상기 자기 부상 레일을 따라 서로 이격되어 설치되며 상기 기판 셔틀의 근접여부를 판단하는 근접 센서와;
    상기 자기 부상 레일을 커버하도록 배치되며, 상기 근접 센서의 검출에 따라 상기 자기 부상 레일을 개폐하는 증착 쉴드 유닛을 포함하는, 인라인 증착 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 공정 챔버 모듈 중 어느 하나 이상은 상기 기판에 대한 증착을 수행하는 증착 챔버 모듈을 포함하며,
    상기 근접 센서 및 상기 증착 쉴드 유닛은 상기 증착 챔버 모듈 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 증착 쉴드 유닛은,
    상기 자기 부상 레일을 커버하도록 배치되며, 상기 근접 센서의 검출에 따라 상기 자기 부상 레일을 개폐하는 쉴드판과;
    상기 자기 부상 레일을 개폐하도록 상기 쉴드판을 승가시키는 승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 승강부는,
    일단이 쉴드판에 각각 결합되고 타단이 상기 공정 챔버 모듈을 각각 관통하는 제1 업다운 로드 및 제2 업다운 로드와;
    상기 제1 업다운 로드 및 제2 업다운 로드의 타단에 횡방향으로 결합되는 구동판과;
    상기 구동판을 업다운 시키는 액추에이터부를 포함하는, 인라인 증착 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 액추에이터부는,
    상기 구동판을 관통하는 한 쌍의 구동로드와;
    상기 한 쌍의 구동로드의 일단이 각각 결합되고, 상기 공정 챔버 모듈의 외벽에 부착되는 지지판과;
    상기 한 쌍의 구동로드의 타단이 각각 결합되는 고정판과;
    신축로드가 상기 고정판을 관통하여 상기 지지판에 결합되는 상기 고정판에 결합되는 액추에이터(actuator)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 증착 쉴드 유닛은 복수 개가 상기 자기 부착 레일을 따라 연속적으로 설치되되, 상기 쉴드판이 인접하여 연속되도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.



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