KR200310597Y1

KR200310597Y1 - 유기물 증착장치의 기판이송장치

Info

Publication number: KR200310597Y1
Application number: KR20-2003-0001964U
Authority: KR
Inventors: 윤연
Original assignee: 윤연
Priority date: 2003-01-22
Filing date: 2003-01-22
Publication date: 2003-04-23

Abstract

본 고안은 유기전광표시기 장비에서 인라인 크로스방식의 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 여러 개의 챔버로 동시에 여러 장의 기판을 투입할 수 있음으로 1 장의 디스플레이를 제조하는 시간을 현저히 단축시킬 수 있어 생산성이 향상되어지는 유기물 증착장치의 기판이송장치에 관한 것이다.

이를 위한 본 고안은, 프로세스용 챔버(20)상에 소형 이송용 로봇(30)이 설치되고, 이 프로세스용 챔버(20)와 이송용 로봇(30)외 다른 챔버(21 - 25)와 로봇(31 - 35)이 순차적으로 배치되며, 이들 프로세스용 챔버(20 - 25)들과 이송용 로봇(30 - 35)들사이에 이송모듈(40)과 레일이 각기 설치된 것을 그 특징으로 한다.

Description

유기물 증착장치의 기판이송장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS OF ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DEPOSITION APPARATUS}

통상 유기EL(Electro Luminescence)이라 불리우는 유기전광표시기는 면발광의 고체 표시소자로서 시야각이 넓고, 박막화가 가능하여 벽걸이형 표시기로의 응용이 가능하며, 고휘도의 발광을 얻을 수 있어 옥외용으로 사용이 가능할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다. 또한, 구동전압이 낮아 휴대폰이나 노트북의 표시기로 사용될 경우 배터리의 소모량을 절감할 수 있으며, RGB의 발광 선택이 용이하여 컬러 표현이 가능하므로 최근에 들어 지속적인 연구가 진행되고 있다.

이러한 유기전광표시기는 발광물질에 고전기장을 인가하여 고전기장에 의해 가속된전자가 발광층 내부에 첨가된 발광중심의 전자를 충돌 여기시키고, 여기된 전자가 다시 바닥상태로 전환될 때 빛이 방출되는 현상을 이용한 소자로서, 글라스기재 위에 순차적으로 양극인 ITO(Indium Tin Oxides) 투명전극, 이 투명전극의 완충층, 전공수송층, 전자수송층(발광층) 및 음극의 금속전극으로 형성된 다층구조를 이루어져 있다.

한편, 유기전광표시기의 컬러발광을 위한 발광층으로의 색소 도핑(Doping)이며, 이를 위해서는 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue)인 빛의 삼원색이 반복 순차적으로 도핑되어야 한다. 그래서, 충분한 화면구현을 위한 각 착색점 간의 간격은 약 5㎛ 이하 이며, 상기 ITO 투명전극이 형성된 글라스기재로써 적색, 녹색, 청색의 착색은 진공 증착에 의하게 된다.

상기 적색, 녹색, 청색의 진공증착은 순차적으로 수행되며, 이를 위하여는 각 색의 진공증착을 위한 진공챔버인 진공증착장치가 개별로 구비되고 있다. 이 진공챔버는 진공상태에서 로봇암등에 의해 글라스기재를 자동 운반시키는 운송장치를 매개로 연결되어 있어, 글라스기재가 각 진공챔버로 이동되면서 진공증착이 순차적으로 수행되도록 되어 있다.

도 6 은 종래 유기물 증착장치의 기판이송장치를 설명하기 위한 설치도이고, 도 7 은 종래 유기물 증착장치의 기판이송장치 동작을 설명하기 위한 이송프로세스를 도시해 놓은 도면이다. 종래의 클러스터(Cluster)방식에서는 여러 개의 챔버(2 - 9)에 이송용 로봇이 하나이기 때문에, 기판이 이송할 때 한번에 한 장씩 이송하도록 구성되어 있다.

즉, 종래의 기판이송장치는 클러스터방식으로 대형로봇이 포함된 6 각의 트랜스챔버(1)를 중심으로 각마다 프로세스용 챔버(2 - 9)들이 설치되어 있다. 즉, 일렬로 챔버(2), 트랜스챔버(1) 및 다른 챔버(3 - 5)가 배치되는 한편 상기 트랜스챔버(1)를 통해 대칭으로 챔버(6, 9)와 다른 챔버(7, 8)가 각기 배치되게 된다.

이상과 같이 구성되는 유기EL 박막 증착장치에서 클러스터방식의 이송프로세스는 도 7(a) - 도 7(f) 순으로 동작되는 바, 먼저 도 7(a)에 도시된 바와 같이 1 번 기판(10)이 첫번째 챔버(7)로 투입되어 공정이 시작되고, 도 7(b)에 도시된 바와 같이 트랜스챔버(1)를 통해 상기 1 번 기판(10)이 두 번째 챔버(6)로 이동하여 공정이 진행된다.

다음으로 도 7(c)에 도시된 바와 같이, 2 번 기판(11)이 첫번째 챔버(7)로 투입되어 공정 진행이 시작되고, 도 7(d)에 도시된 바와 같이 1 번기판(10)이 두 번째 챔버(8)에서 공정이 완료되면 트랜스챔버(1)를 통해 상기 1 번 기판(10)이 세 번째 챔버(2)로 이동하여 공정이 진행된다.

도 7(e)에 도시된 바와 같이 2 번 기판(11)이 트랜스챔버(1)를 통해 두 번째 챔버(8)로 이동되어 공정이 진행되고 있고, 도 7(f)에 도시된 바와 같이 3 번 기판(12)이 첫 번째 챔버(7)로 투입되어 공정이 진행되고 있다. 따라서, 도 7 에 도시된 바와 같이 트랜스챔버(1)의 로봇하나로 기판(10)을 각 챔버(7, 8, 2)로 분배해주기 때문에, 이송시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 대형 기판을 이송하기 위한 특수하면서 대형이고 고가의 로봇이 요구되도록 되어 있다.

본 고안은 상기한 바와 같이 종래의 클러스터방식이 가지고 있는 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로, 인라인 크로스 방식을 사용하면 유지 보수가 용이해지고, 기판이 대면적으로 되면서 무게가 증가해도 고가의 로봇시스템이 필요없게 되는 유기물 증착장치의 기판이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1 은 본 고안의 실시예에 관한 유기물 증착장치의 기판이송장치를 설명하기 위한 설치도,

도 2 및 도 3 은 도 1 에 도시된 개별챔버 및 각 개별챔버들을 연결하는 모양을 도시해 놓은 도면,

도 4 는 본 고안의 유기물 증착장치의 기판이송장치 동작을 설명하기 위한 이송프로세스를 도시해 놓은 도면,

도 5 는 본 고안의 유기물 증착장치의 기판이송장치 동작을 설명하기 위한 다른 이송프로세스를 도시해 놓은 도면,

도 6 은 종래 유기물 증착장치의 기판이송장치를 설명하기 위한 설치도,

도 7 은 종래 유기물 증착장치의 기판이송장치 동작을 설명하기 위한 이송프로세스를 도시해 놓은 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호 설명

20 - 25 : 프로세스용 챔버

30 - 35 : 이송용 로봇

40 : 이송모듈

50 - 52 : 기판

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 각 프로세스용 챔버(20)상에 소형 이송용 로봇(30)이 설치되고, 이 프로세스용 챔버(20)와 이송용 로봇(30)외 다른 챔버(21 - 25)와 로봇(31 - 35)이 순차적으로 배치되며, 이들 프로세스용 챔버(20 - 25)들과 이송용 로봇(30 - 35)들사이에 이송모듈(40)과 레일이 각기 설치된 것을 그 특징으로 한다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 1 은 본 고안의 실시예에 관한 유기물 증착장치의 기판이송장치를 설명하기 위한 설치도로서, 본 고안은 유기전광표시기 장비에서 인라인 크로스방식의 기판이송장치인 바, 이는 여러 개의 챔버(20 - 25)로 동시에 여러 장의 기판을 투입할 수 있음으로 1 장의 디스플레이를 제조하는 시간을 현저히 단축시킬 수 있어 생산성이 향상되어지도록 되어 있다.

즉, 도 2 에 도시된 프로세스용 챔버(20)상에는 소형 이송용 로봇(30)이 설치되고 있고, 이 프로세스용 챔버(20)와 이송용 로봇(30)외 다른 챔버(21 - 25)와 로봇(31 - 35)이 순차적으로 배치되어 있다. 이들 프로세스용 챔버(20 - 25)들과 이송용 로봇(30 - 35)들사이에는 도 3 에 도시된 이송모듈(40)과 레일이 각기 설치된다.

도 4 는 본 고안의 유기물 증착장치의 기판이송장치 동작을 설명하기 위한 이송프로세스를 도시해 놓은 도면이고, 도 5 는 본 고안의 유기물 증착장치의 기판이송장치 동작을 설명하기 위한 다른 이송프로세스를 도시해 놓은 도면이다. 그리고, 도 4(a) - 도 4(d)에 도시된 프로세스는 도 5 에서도 적용되기 때문에 이들 도면을 이용하여 설명한다.

도 4(a)에 도시된 바와 같이, 1 번 기판(50)이 첫 번째 챔버(20)로 투입되어 공정 진행이 시작되고, 이어 도 4(b)에 도시된 바와 같이 상기 1 번 기판(50)의 공정이 끝나면 도 3에 도시된 이송모듈(40)로 이동된다. 도 4(c)에 도시된 바와 같이 소형용 로봇(30)에 의해 상기 1 번 기판(50)은 두 번째 챔버(21)로 이동되어 공정이 진행된다.

도 4(d)에 도시된 바와 같이, 2 번 기판(51)이 첫 번째 챔버(20)로 투입되어 공정 진행이 시작되고, 이어 도 4(e)에 도시된 바와 같이 상기 1 번 기판(50)과 2 번 기판(51)의 공정이 끝나면 이송모듈(40)로 이동된다. 도 4(f)에 도시된 바와 같이 소형용 로봇(30, 31)에 의해 상기 1 번 기판(50)과 2 번 기판(51)은 두 번째 챔버(21)와 세 번째 챔버(22)로 동시에 이동시키게 된다.

이상과 같이 작동되는 본 고안은 이송모듈(40)에 여러 개의 단순한 로봇(30 - 35)이 각 프로세스용 챔버(20 - 25)로 동시에 기판(50, 51)을 이송할 수 있기 때문에 효율적인 공정이 이루어질 수 있다. 상기 이송모듈(40)에서의 기판이송에서 가로방향은 레일을 따라 기판이 이동되고, 세로방향의 이동은 각 프로세스용 챔버(20 - 25)로의 이동으로 소형 로봇에 의해 이송된다.

도 4 에 도시된 이송프로세스와 비교하여, 각 프로세스용 챔버(20 - 25)에서의 공정시간이 현저하게 다를 경우 도 4(a) - 도 4(d)와 도 5 와 같이 구동되어 종래의 클러스터 방식과 같은 프로세스를 진행할 수 있다.

먼저, 도 4(a)에 도시된 바와 같이 1 번 기판(50)이 첫 번째 챔버(20)로 투입되어공정 진행이 시작되고, 이어 도 4(b)에 도시된 바와 같이 상기 1 번 기판(50)의 공정이 끝나면 도 3에 도시된 이송모듈(40)로 이동된다. 도 4(c)에 도시된 바와 같이 소형용 로봇(30)에 의해 상기 1 번 기판(50)은 두 번째 챔버(21)로 이동되어 공정이 진행된다.

도 4(d)에 도시된 바와 같이, 2 번 기판(51)이 첫 번째 챔버(20)로 투입되어 공정 진행이 시작된다. 이어 도 5(a)에 도시된 바와 같이 1 번 기판(50)의 공정이 끝나면 이송모듈(40)로 이동되고 있고, 2 번 기판(51)은 계속 공정이 진행되는 중이다. 도 5(b)에 도시된 바와 같이 1 번 기판(50)만 다음 번 챔버(22)로 이송하여 공정을 진행한다.

따라서, 본 고안에서 기판의 이송은 공정이 끝나는 시간에 맞추어서 하나씩 이송할 수도 있고, 동시에 여러 개의 가판이 이송모듈내부의 레일에 의해 가로방향으로 이동되고 있으며, 각 프로세스용 챔버에 해당하는 이송용 로봇에 의해 프로세스용 챔버로 이동되어 공정을 진행할 수도 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 고안에 의하면, 종래의 클러스터 방식은 기판들을 이용하기 위한 로봇이 하나이기 때문에 인라인 크로스방식에 비해 공정시간, 특히 이송하는 데 시간이 많이 소요되는 반면, 인라인 크로스 방식은 여러 대(각 프로세스용 챔버앞에 하나씩 배치)의 간단한 로봇이 동시에 진행하는 것이 가능하기 때문에 공정시간의 단축을 효과적으로 발휘할 수 있는 장점이 있다.

본 고안은 유기물 증착장치의 기판이송장치에 대한 기술사상을 예시도면에의거하여 설명했지만, 이는 본 고안의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 고안의 실용신안등록청구범위를 한정하는 것은 아니다. 본 고안은 이 기술분야의 통상 지식을 가진 자라면 누구나 본 고안의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.

Claims

프로세스용 챔버(20)상에는 소형 이송용 로봇(30)이 설치되고, 이 챔버(20)와 로봇(30)외 다른 프로세스용 챔버(21 - 25)와 이송용 로봇(31 - 35)이 순차적으로 배치되며, 이들 프로세스용 챔버(20 - 25)들과 이송용 로봇(30 - 35)들사이에는 이송모듈(40)과 레일이 각기 설치된 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치의 기판이송장치.
제 1 항에 있어서,

상기 이송모듈(40)에서의 기판이송에서 가로방향은 레일을 따라 기판이 이동되고, 세로방향의 이동은 각 프로세스용 챔버로의 이동으로 소형 로봇에 의해 이송된 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치의 기판이송장치.