CN114867609A - 液体喷出头以及记录装置 - Google Patents

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Abstract

液体喷出头具备：基座板；空腔板，其位于基座板上，且具有空腔；以及压电致动器基板，其位于空腔板上。空腔板具有：第一槽，其位于与压电致动器基板抵接的抵接区域的内侧，用于释放将空腔板与压电致动器基板接合的粘接剂；以及第二槽，其以包围与压电致动器基板抵接的抵接区域的方式配置，用于释放粘接剂。基座板具有用于将第一槽向大气开放的第三槽。第三槽通过与第一槽连通的第一孔、以及位于空腔板与压电致动器基板的抵接区域的外侧的第二孔而将第一槽与外部之间连通。

Description

液体喷出头以及记录装置
技术领域
本公开的实施方式涉及液体喷出头以及记录装置。
背景技术
作为印刷装置，已知有利用了喷墨记录方式的喷墨打印机、喷墨绘图仪。在上述那样的喷墨方式的印刷装置中搭载有用于使液体喷出的液体喷出头。
另外，在上述那样的液体喷出头中，形成压力室、歧管、喷嘴以及将它们连接的墨水流路的流路单元通过层叠具有用于形成压力室等的开口、孔等的多张板而构成。并且，在多张板中的、形成压力室的空腔板上，配设有使压力室的容积变化以从喷嘴喷出墨水的致动器单元。
然而，已知这样的流路单元以及致动器单元有时利用粘接剂粘接而相互层叠，沿着板的外周部形成有用于释放多余的粘接剂的避让槽。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005-59399号公报
发明内容
实施方式的一方式的液体喷出头具备：基座板；空腔板，其位于所述基座板上，且具有空腔；以及压电致动器基板，其位于所述空腔板上，所述空腔板具有：第一槽，其位于与所述压电致动器基板抵接的抵接区域的内侧，用于释放将所述空腔板与所述压电致动器基板接合的粘接剂；以及第二槽，其以包围与所述压电致动器基板抵接的抵接区域的方式配置，用于释放所述粘接剂，所述基座板具有用于将所述第一槽向大气开放的第三槽，所述第三槽通过与所述第一槽连通的第一孔、以及位于所述空腔板与所述压电致动器基板的抵接区域的外侧的第二孔而将所述第一槽与外部之间连通。
附图说明
图1是示意性地示出实施方式的打印机的概略的正面的主视图。
图2是示意性地示出实施方式的打印机的概略的顶面的俯视图。
图3是示出实施方式的液体喷出头的概要结构的分解立体图。
图4是实施方式的头主体的放大俯视图。
图5是图4所示的由单点划线圈起的区域的放大图。
图6是图4所示的VI-VI线的剖视图。
图7是将空腔板的一部分平面放大了的放大俯视图。
图8是将基座板的一部分平面放大了的放大俯视图。
图9是图7所示的IX-IX线的剖视图。
图10是示出流路构件的设置例的局部剖视图。
图11是将图7所示的虚线包围部放大了的局部放大俯视图。
图12是将图8所示的虚线包围部放大了的局部放大俯视图。
图13是示出避让槽的周边构造的详情的图。
图14是将变形例的空腔板的一部分平面放大了的放大俯视图。
图15是将变形例的基座板的一部分平面放大了的放大俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本申请公开的液体喷出头以及记录装置的实施方式进行详细说明。需要说明的是，本申请的发明并不被以下说明的实施方式所限定。
作为印刷装置，已知有利用了喷墨记录方式的喷墨打印机、喷墨绘图仪。在上述那样的喷墨方式的印刷装置中搭载有用于使液体喷出的液体喷出头。
另外，在上述那样的液体喷出头中，形成加压室、歧管、喷嘴、以及将它们连接的墨水流路的流路构件通过层叠具有用于形成加压室等的开口、孔等的多张板而构成。并且，在多张板中的、形成加压室的空腔板上，配设有使加压室的容积变化以从喷嘴喷出墨水的压电致动器基板。
然而，构成上述那样的流路构件以及压电致动器基板的多张板有时利用粘接剂粘接而相互层叠。例如，已知在利用粘接剂将压电致动器基板粘接于空腔板时，为了防止粘接剂从各板溢出，利用避让槽包围空腔板的致动器搭载区域。通常，避让槽通过将各板沿厚度方向半蚀刻而设置。
另外，例如，还考虑为了防止粘接剂向设置于空腔板的加压室进入，在位于空腔板的表面(与压电致动器基板抵接的抵接区域)的加压室间设置粘接剂的避让槽。在该情况下，由于加压室被压电致动器基板覆盖，因此为了将粘接空腔板与压电致动器基板时产生的气体向外部排出，需要使设置于加压室间的避让槽与外部插通。
为了使设置于加压室间的避让槽与外部插通，例如考虑从背面对空腔板进行半蚀刻以确保使设置于加压室间的避让槽与外部插通的路线的方法。此时，由于用于确保使设置于加压室间的避让槽与外部插通的路线的半蚀刻加工而有可能将设置于空腔板的表面的避让槽分断开。如果未完全收纳于将致动器搭载区域包围的避让槽的粘接剂从板间漏出而搭在压电致动器墓板上，则也有可能成为引起加工不良的原因。
为此，鉴于上述那样的问题点，谋求用于防止将单元间粘接的粘接剂溢出的充分的应对。
<打印机的结构>
使用图1以及图2，对作为实施方式的记录装置的一例的打印机1的概要进行说明。图1是示意性地示出实施方式的打印机1的概略的正面的主视图。图2是示意性地示出实施方式的打印机1的概略的顶面的俯视图。
如图1所示，打印机1具备供纸辊2、引导辊3、涂布机4、头壳体5、多个输送辊6、多个框架7、多个液体喷出头8、输送辊9、干燥机10、输送辊11、传感器部12、以及回收辊13。
而且，打印机1具有对打印机1的各部分进行控制的控制部14。控制部14对供纸辊2、引导辊3、涂布机4、头壳体5、多个输送辊6、多个框架7、多个液体喷出头8、输送辊9、干燥机10、输送辊11、传感器部12以及回收辊13的动作进行控制。
打印机1通过使液滴着落于印刷用纸P来在印刷用纸P上进行图像、文字的记录。印刷用纸P在使用前以能够拉出的状态卷绕于供纸辊2。打印机1将印刷用纸P从供纸辊2经由引导辊3以及涂布机4在头壳体5的内部输送。
涂布机4将涂层剂均匀地涂布于印刷用纸P。由此，能够对印刷用纸P实施表面处理，因此能够提高打印机1的印刷品质。
头壳体5收容多个输送辊6、多个框架7、以及多个液体喷出头8。在头壳体5的内部，形成有在印刷用纸P进出的部分等一部分处与外部相连、除此之外与外部隔离的空间。
头壳体5的内部空间根据需要而由控制部14控制温度、湿度、以及气压等控制因素中的至少一个。输送辊6在头壳体5的内部将印刷用纸P输送至液体喷出头8的附近。
框架7是矩形状的平板，位于靠近由输送辊6输送的印刷用纸P的上方的位置。另外，如图2所示，框架7以长边方向与印刷用纸P的输送方向正交的方式在头壳体5的内部设置有多个(例如，4个)。并且，多个框架7分别沿着印刷用纸P的输送方向以规定的间隔配置。
在以下的说明中，有时将印刷用纸P的输送方向记载为“副扫描方向”、将与该副扫描方向正交且与印刷用纸P平行的方向记载为“主扫描方向”。
从未图示的液体罐向液体喷出头8供给液体、例如墨水。液体喷出头8将从该液体罐供给的液体喷出。
控制部14基于图像、文字等数据对液体喷出头8进行控制，朝向印刷用纸P喷出液体。液体喷出头8与印刷用纸P之间的距离例如为0.5～20mm左右。
液体喷出头8固定于框架7。液体喷出头8例如在长边方向的两端部处固定于框架7。液体喷出头8以长边方向与主扫描方向平行的方式固定于框架7。
即，实施方式的打印机1是在打印机1的内部固定有液体喷出头8的所谓的行式打印机。需要说明的是，实施方式的打印机1不局限于行式打印机，也可以是所谓的串行打印机。
串行打印机是交替地进行使液体喷出头8一边以沿着与印刷用纸P的输送方向交叉的方向例如大致正交的方向往复等方式移动一边进行记录的动作、以及印刷用纸P的输送的方式的打印机。
如图2所示，在一个框架7设置有多个(例如，5个)液体喷出头8。在图2中，示出了在副扫描方向的前方配置有2个液体喷出头8、在后方配置有3个液体喷出头8的例子，液体喷出头8以在副扫描方向上各个液体喷出头8的中心不重叠的方式配置。
并且，由设置于一个框架7的多个液体喷出头8构成头组8A。4个头组8A沿着副扫描方向设置。向属于相同头组8A的液体喷出头8供给相同颜色的墨水。由此，打印机1能够使用4个头组8A进行基于4种颜色的墨水的印刷。
从各头组8A喷出的墨水的颜色例如是品红色(M)、黄色(Y)、青色(C)以及黑色(K)。控制部14对各个头组8A进行控制以向印刷用纸P喷出多种颜色的墨水，由此能够在印刷用纸P上印刷彩色图像。
需要说明的是，为了进行印刷用纸P的表面处理，也可以从液体喷出头8向印刷用纸P喷出涂层剂。
另外，一个头组8A所包含的液体喷出头8的个数、搭载于打印机1的头组8A的个数能够根据印刷的对象、印刷条件而适当变更。例如，如果在印刷用纸P上印刷的颜色为单色、并且对能够由一个液体喷出头8印刷的范围进行印刷，则搭载于打印机1的液体喷出头8的个数也可以是一个。
在头壳体5的内部进行了印刷处理的印刷用纸P被输送辊9输送至头壳体5的外部，并通过干燥机10的内部。干燥机10对印刷处理后的印刷用纸P进行干燥。由干燥机10干燥后的印刷用纸P由输送辊11输送，并由回收辊13回收。
在打印机1中，利用干燥机10对印刷用纸P进行干燥，由此能够抑制在回收辊13中重叠卷取的印刷用纸P彼此粘接、或未干燥的液体被刮擦。
传感器部12由位置传感器、速度传感器、温度传感器等构成。控制部14能够基于来自该传感器部12的信息来判断打印机1的各部分的状态，并对打印机1的各部分进行控制。
在以上所说明的打印机1中，示出了使用印刷用纸P作为印刷对象(即记录介质)的情况，但打印机1中的印刷对象不限于印刷用纸P，也可以将卷筒状的布等作为印刷对象。
另外，上述的打印机1也可以不直接输送印刷用纸P，而是将其载置在输送带上进行输送。通过使用输送带，打印机1能够将单张纸、裁断后的布、木材、瓷砖等作为印刷对象。
另外，上述的打印机1也可以以从液体喷出头8喷出含有导电性的粒子的液体的方式印刷电子设备的布线图案等。
另外，上述打印机1也可以从液体喷出头8向反应容器等喷出规定量的液体的化学药剂、含有化学药剂的液体，以制作化学药品。
另外，上述的打印机1也可以具备对液体喷出头8进行清洁的清洁部。清洁部例如通过擦拭处理或压盖处理以进行液体喷出头8的清洗。
擦拭处理是指如下处理：例如通过利用具有柔软性的擦拭器对被喷出液体的部位的表面、例如流路构件21(参照图3)的第二面21b(参照图6)进行擦拭，从而去除附着在该第二面21b上的液体。
压盖处理例如是指如下处理：通过用盖体覆盖被喷出液体的部位并反复进行液体的喷出，从而消除喷出孔63(参照图4)中的堵塞，该处理以如下方式实施。首先，以覆盖被喷出液体的部位、例如流路构件21的第二面21b的方式覆盖盖体(将其称为压盖)。由此，在第二面21b与盖体之间形成大致密闭的空间。接着，在该密闭的空间中反复进行液体的喷出。由此，能够去除堵塞于释放孔63的、粘度比标准状态高的液体、异物等。
<液体喷出头的结构>
使用图3，对实施方式的液体喷出头8的结构进行说明。图3是示出实施方式的液体喷出头8的概要结构的分解立体图。
液体喷出头8具备头主体20、布线部30、框体40、以及一对散热板50。头主体20具备流路构件21、压电致动器基板22(参照图4)、以及贮存部23。
在以下的说明中，为了方便，有时将在液体喷出头8中设置有头主体20的方向表述为“下”，将相对于头主体20而设置有框体40的方向表述为“上”。
头主体20的流路构件21为大致平板形状，并具有作为一个主面的第一面21a(参照图6)、以及位于该第一面21a的相反侧的第二面21b(参照图6)。第一面21a具有开口61a(参照图4)，从贮存部23经由该开口61a向流路构件21的内部供给液体。
在第二面21b设置有向印刷用纸P喷出液体的多个喷出孔63(参照图4)。在流路构件21的内部形成有从第一面21a向第二面21b流动液体的流路。
压电致动器基板22位于流路构件21的第一面21a上。压电致动器基板22具有多个位移元件70(参照图6)。另外，在压电致动器基板22电连接有布线部30的柔性基板31。
在压电致动器基板22上配置有贮存部23。在贮存部23的主扫描方向的两端部设置有开口23a。贮存部23在内部具有流路，被从外部经由开口23a供给液体。贮存部23具有向流路构件21供给液体的功能、以及储存所供给的液体的功能。
布线部30具有柔性基板31、布线基板32、多个驱动器IC33、按压构件34、以及弹性构件35。柔性基板31具有将从外部发送来的规定的信号传递给头主体20的功能。需要说明的是，如图3所示，实施方式的液体喷出头8具有两个柔性基板31。
柔性基板31的一端部与头主体20的压电致动器基板22电连接。柔性基板31的另一端部以插通贮存部23的狭缝部23b的方式被从上方拉出，并与布线基板32电连接。由此，能够将头主体20的压电致动器基板22与外部电连接。
布线基板32位于头主体20的上方。布线基板32具有向多个驱动器IC33分配信号的功能。
多个驱动器IC33设置于柔性基板31的一个主面。如图3所示，在实施方式的液体喷出头8中，驱动器IC33在一个柔性基板31上各设置有2个，但设置于一个柔性基板31的驱动器IC33的数量不限于2个。
驱动器IC33基于从控制部14(参照图1)发送来的信号，使头主体20的压电致动器基板22进行驱动。由此，驱动器IC33使液体喷出头8进行驱动。
按压构件34在剖视下具有大致U字形状，并朝向散热板50从内侧按压柔性基板31上的驱动器IC33。由此，在实施方式中，能够使在驱动器IC33进行驱动时产生的热高效地向外侧的散热板50散热。
弹性构件35设置为与按压构件34中的未图示的按压部的外壁接触。通过设置该弹性构件35，在按压构件34按压驱动器IC33时，能够降低按压构件34使柔性基板31破损的可能性。
弹性构件35例如由发泡体双面胶带等构成。另外，作为弹性构件35而例如使用非硅系的导热片，由此能够提高驱动器IC33的散热性。需要说明的是，弹性构件35并非必须设置。
框体40以覆盖布线部30的方式配置于头主体20上。由此，框体40能够密封布线部30。框体40例如由树脂、金属等构成。
框体40为在主扫描方向较长地延伸的箱形状，且在沿着主扫描方向对置的一对侧面具有第一开口40a以及第二开口40b。另外，框体40在下表面具有第三开口40c，在上表面具有第四开口40d。
散热板50中的一个以堵塞第一开口40a的方式配置于第一开口40a，散热板50中的另一个以堵塞第二开口40b的方式配置于第二开口40b。
散热板50以沿主扫描方向延伸的方式设置，由散热性高的金属、合金等构成。散热板50以与驱动器IC33接触的方式设置，具有将由驱动器IC33产生的热进行散热的功能。
一对散热板50通过未图示的螺钉分别固定于框体40。因此，固定有散热板50的框体40呈第一开口40a以及第二开口40b被堵塞、第三开口40c以及第四开口40d开口的箱形状。
第三开口40c以与贮存部23对置的方式设置。在第三开口40c中插通有柔性基板31以及按压构件34。
第四开口40d为了插通设置于布线基板32的连接器(未图示)而设置。该连接器与第四开口40d之间优选被树脂等密封。由此，能够抑制液体、垃圾等侵入框体40的内部。
另外，框体40具有隔热部40e。该隔热部40e以与第一开口40a以及第二开口40b相邻的方式配置，且以从沿着主扫描方向的框体40的侧面朝向外侧突出的方式设置。
另外，隔热部40e形成为沿主扫描方向延伸。即，隔热部40e位于散热板50与头主体20之间。这样，通过在框体40设置隔热部40e，从而能够抑制由驱动器IC33产生的热经由散热板50向头主体20传递的情况。
需要说明的是，图3是示出液体喷出头8的结构的一例的图，也可以还包括图3所示的构件以外的构件。
<头主体的结构>
使用图4～图6对实施方式的头主体20的结构进行说明。图4是实施方式的头主体20的放大俯视图。图5是图4所示的由单点划线圈起的区域的放大图。图6是图4所示的VI-VI线的剖视图。
如图4所示，头主体20具有流路构件21以及压电致动器基板22。流路构件21具有供给歧管61、多个加压室(空腔)62、以及多个喷出孔63。在以下的说明中，在头主体20中，有时将喷出液体的一侧称作前端，将与喷出液体的一侧相反的一侧称作后端。
多个加压室62与供给歧管61相连。多个喷出孔63与多个加压室62分别相连。
加压室62在流路构件21的第一面21a(参照图6)开口。另外，流路构件21的第一面21a具有与供给歧管61相连的开口61a。并且，从贮存部23(参照图2)经由该开口61a向流路构件21的内部供给液体。
在图4的例子中，头主体20的4个供给歧管61位于流路构件21的内部。供给歧管61具有沿着流路构件21的长边方向(即，主扫描方向)延伸的细长的形状，在其两端，供给歧管61的开口61a形成于流路构件21的第一面21a。
在流路构件21中，以二维展开的方式形成有多个加压室62。如图5所示，加压室62是具有在角部实施有圆弧的大致菱形的平面形状的中空的区域。加压室62在流路构件21的第一面21a开口，且通过在该第一面21a上接合压电致动器基板22而被闭塞。
加压室62构成沿长边方向排列的加压室行。加压室行的加压室62在相邻的两行加压室行之间呈锯齿状配置，构成一个加压室组。在图4的例子中，流路构件21具有8个该加压室组。
另外，各加压室组内的加压室62的相对配置相同，且各加压室组沿长边方向略微错开地配置。
喷出孔63配置于避开了与流路构件21中的供给歧管61对置的区域的位置。即，在从第一面21a侧透视观察流路构件21的情况下，喷出孔63不与供给歧管61重叠。
而且，在俯视下，喷出孔63以收纳于压电致动器基板22的搭载区域的方式配置。上述那样的喷出孔63作为一个组而占有与压电致动器基板22几乎相同的大小以及形状的区域。
并且，通过使对应的压电致动器基板22的位移元件70(参照图6)位移，从而从喷出孔63喷出液滴。
如图6所示，流路构件21具有层叠有多个板的层叠构造。这些板从流路构件21的上表面起依次为空腔板21A、基座板21B、孔隙(节流孔)板21C、供给板21D、歧管板21E、21F、21G、覆盖板21H、以及喷嘴板21I。
需要说明的是，图6是示出实施方式的各板的层叠构造的一例的图，在图6所示的例子中，无需特别限定。例如，歧管板21E、21F、21G也可以层叠3个以上的板而构成。另外，覆盖板21H也可以层叠多个板而构成。
在板上形成有大量的孔。板的厚度为10μm～300μm左右。由此，能够提高孔的形成精度。板以这些孔相互连通而构成规定的流路的方式对位且层叠。
另外，流路构件21与压电致动器基板22有时通过粘接剂相互贴合。此时，如使用图8～图11后述的那样，例如，空腔板21A在其表面(与压电致动器基板22抵接的抵接区域)具有用于释放多余的粘接剂的避让槽。避让槽避开大量的孔而设置。
在流路构件21中，供给歧管61与喷出孔63之间通过单独流路64相连。供给歧管61位于流路构件21内部的第二面21b侧，喷出孔63位于流路构件21的第二面21b。
单独流路64具有加压室62、以及单独供给流路65。加压室62位于流路构件21的第一面21a，单独供给流路65是将供给歧管61与加压室62相连的流路。
另外，单独供给流路65包括宽度比其他部分窄的节流孔66。节流孔66由于宽度比单独供给流路65的其他部分窄，因此流路阻力较高。这样，在节流孔66的流路阻力较高时，在加压至62中产生的压力小容易释放全供给歧管61。
压电致动器基板22具有压电陶瓷层22A、22B、共用电极71、独立电极72、连接电极73、虚设连接电极74、以及表面电极75(参照图4)。
另外，在压电致动器基板22中，压电陶瓷层22B、共用电极71、压电陶瓷层22A、以及独立电极72按照所列顺序依次层叠。
压电陶瓷层22A、22B均以横跨多个加压室62的方式在流路构件21的第一面21a上延伸。压电陶瓷层22A、22B分别具有20μm左右的厚度。压电陶瓷层22A、22B例如由具有铁电性的锆钛酸铅(PZT)系的陶瓷材料构成。
共用电极71在压电陶瓷层22A与压电陶瓷层22B之间的区域中遍及面方向的几乎整个面形成。即，共用电极71与和压电致动器基板22对置的区域内的全部的加压室62重叠。
共用电极71的厚度为2μm左右。共用电极71例如由Ag-Pd系等金属材料构成。
独立电极72包括主体电极72a、以及引出电极72b。主体电极72a位于压电陶瓷层22A上的与加压室62对置的区域。主体电极72a比加压室62小一圈，且具有与加压室62几乎相似的形状。
引出电极72b被从主体电极72a引出至与加压室62对置的区域。独立电极72例如由Au系等金属材料构成。
连接电极73位于引出电极72b上，且以厚度为15μm左右形成为凸状。另外，连接电极73与设置于柔性基板31(参照图3)的电极电连接。连接电极73例如由包含玻璃料的银-钯构成。
虚设连接电极74位于压电陶瓷层22A上，且以不与独立电极72等各种电极重叠的方式配置。虚设连接电极74将压电致动器基板22与柔性基板31连接，提高连接强度。
另外，虚设连接电极74将压电致动器基板22与压电致动器基板22的接触位置的分布均匀化，使电连接稳定。虚设连接电极74可以由与连接电极73同等的材料构成，也可以通过与连接电极73同等工序形成。
图4所示的表面电极75在压电陶瓷层22A上形成于避开独立电极72的位置。表面电极75经由形成于压电陶瓷层22B的通孔与共用电极71相连。
由此，表面电极75接地，保持为接地电位。表面电极75可以由与独立电极72同等的材料构成，也可以通过与独立电极72同等的工序形成。
多个独立电极72为了单独地控制电位，分别经由柔性基板31以及布线单独地与控制部14(参照图1)电连接。并且，如果使独立电极72与共用电极71为不同的电位，并在压电陶瓷层22A的极化方向上施加电场，则该压电陶瓷层22A内的被施加了电场的部分作为因压电效应而变形的活性部进行动作。
即，在压电致动器基板22中，独立电极72、压电陶瓷层22A以及共用电极71中的与加压室62对置的部位作为位移元件70发挥功能。
并且，通过该位移元件70进行单压电片变形，从而加压室62被按压，从喷出孔63喷出液体。
接下来，对实施方式的液体喷出头8的驱动步骤进行说明。预先将独立电极72设为比共用电极71高的电位(以下，表述为高电位)。接着，每当存在喷出要求时，将独立电极72暂时设为与共用电极71相同的电位(以下，表述为低电位)，之后，在规定的时机将其再次设为高电位。
由此，在独立电极72处于低电位的时机，压电陶瓷层22A、22B恢复原始的形状，相比初始状态即高电位的状态而加压室62的容积增加。
此时，对加压室62内施加负压，供给歧管61内的液体被吸入加压室62的内部。
之后，在再次将独立电极72设为高电位的时机，压电陶瓷层22A、22B以向加压室62侧凸起的方式变形。
即，加压室62的容积减少，由此加压室62内的压力成为正压。由此，加压室62内部的液体的压力上升，从喷出孔63喷出液滴。
换句话说，控制部14为了从喷出孔63喷出液滴，使用驱动器IC33向给独立电极72供给包含以高电位为基准的脉冲的驱动信号。该脉冲的宽度只要设为压力波从节流孔66传播至喷出孔63的时间长度即AL(Acoustic Length)即可。
由此，在加压室62的内部从负压状态反转为正压状态时，两者的压力一致，能够以更强的压力使液滴喷出。
另外，在灰度印刷中，根据从喷出孔63连续喷出的液滴的数量、即按照液滴喷出次数调整的液滴量(体积)来进行灰度表现。因此，从与所指定的点区域对应的喷出孔63连续地进行与所指定的灰度表现对应的次数的液滴喷出。
通常，在连续进行液体喷出的情况下，也可以将为了使液滴喷出而供给的脉冲与脉冲的间隔设为AL。由此，在使在前喷出的液滴喷出时产生的压力的残余压力波与使在后喷出的液滴喷出时产生的压力的压力波的周期一致。
因此，能够使残余压力波与压力波叠加从而用于喷出液滴的压力增大。需要说明的是，在该情况下，在后喷出的液滴的速度变快，多个液滴的着落点靠近。
<板的详情>
使用图7～图11对实施方式的板的详情进行说明。图7是将空腔板21A的一部分平面放大了的放大俯视图。图8是将基座板21B的一部分平面放大了的放大俯视图。图9是图7所示的IX-IX线的剖视图。图10是示出流路构件的设置例的局部剖视图。图11是示出避让槽的周边构造的详情的图。
如图7所示，空腔板21A在空腔板21A的短边方向上具有多个由多个加压室(空腔)62沿空腔板21A的长边方向排列而成的空腔组(CG_A、CG_B、CG_C、CG_D)。另外，如图7所示，空腔板21A具有用于释放将空腔板21A与压电致动器基板22接合的粘接剂的第一槽CH1、以及第二槽CH2。
如图9所示，第一槽CH1位于与压电致动器基板22抵接的抵接区域的内侧。第一槽CH1通过半蚀刻设置于空腔板21A的表面(与压电致动器基板22抵接的抵接区域)。第一槽CH1例如以包围图7所示的空腔组(CG_A、CG_B、CG_C、CG_D)的方式配置。第一槽CH1在空腔组之间按照格子状的图案构成。通过该格子状的图案而增大表面积，从而确保收容尽可能多的粘接剂的空间。
另外，在第一槽CH1中穿设有通往设置于基座板21B的第三槽CH3(参照图8)的第一孔HL1。例如，第一孔HL1是从空腔板21A的表面(与压电致动器基板22抵接的抵接区域)沿与空腔板21A的长边方向垂直的方向(厚度方向)贯通空腔板21A的贯通孔。第一孔HL1沿着空腔板21A的短边方向与从后端供给液体的开口61a并排地配置。
第二槽CH2以包围空腔板21A中的与压电致动器基板22抵接的抵接区域的方式配置。第二槽CH2通过半蚀刻设置于空腔板21A的表面(与压电致动器基板22抵接的抵接区域)。
另外，如图7或者图9所示，在空腔板21A中，在与压电致动器基板22抵接的抵接区域的外侧穿设有通往设置于基座板21B的第三槽CH3(参照图8)的第二孔HL2。例如，第二孔HL2与第一孔HL1同样地是贯通空腔板21A的贯通孔。需要说明的是，只要没有特别的设计上的限制等，则只要是抵接区域的外侧，则第二孔HL2可以设置于空腔板21A上的任意位置。
另外，如图8所示，基座板21B具有用于将第一槽CH1向大气开放的第三槽CH3。第三槽CH3位于与空腔板21A抵接的抵接区域。第三槽CH3构成为至少具有连接第一孔HL1与第二孔HL2的长度。
第三槽CH3通过穿设于空腔板21A且与第一槽CH1连通的第一孔HL1、以及位于空腔板21A与压电致动器基板22抵接的抵接区域的外侧的第二孔HL2，将第一槽CH1与外部之间连通。利用粘接剂将压电致动器基板22与空腔板21A粘接时产生的气体通过第一孔HL1、第三槽CH3、以及第二孔HL2向外部排出。
另外，如图8所示，基座板21B在基座板21B的短边方向上具有多个由位于与空腔板21A的空腔组对应的区域的多个贯通孔HL3构成的贯通孔组(HG_A、HG_B、HG_C、HG_D)。并且，基座板21B具有多个以包围贯通孔组的方式配置的第四槽CH4。需要说明的是，贯通孔HL3通向喷出孔63(参照图6)。
另外，如图10所示，第二孔HL2被设置于包含空腔板21A、基座板21B在内的前端的流路构件BE密封。流路构件BE位于压电致动器基板22上。由此，能够防止供给至头主体20的液体(例如，从后端向前端供给的墨水)通过第二孔HL2侵入第三槽CL3、第一槽CH1。需要说明的是，第一孔HL1沿着空腔板21A的短边方向与从后端供给液体的开口61b并排地配置。由此，通过设置流路构件BE而必然地将第二孔HL2密封，因此在设置流路构件BE时无需注意第二孔HL2的位置，能够容易地将第二孔HL2密封。
使用图11以及图12，对第一孔HL1及第二孔HL2与第一槽CH1的宽度及第三槽CL3之间的大小关系的一例进行说明。图11是将图7所示的虚线包围部放大了的局部放大俯视图。图12是将图8所示的虚线包围部放大了的局部放大俯视图。如图11以及图12所示，第一孔HL1的孔径D1可以比第一槽CH1的宽度D以及第三槽CL3的宽度大。另外，第二孔HL2的孔径D2可以比第三槽CL3的宽度大。由此，即使存在第一孔HL1以及第二孔HL2的制造时的蚀刻偏差、空腔板21A与基座板21B的层叠偏差，也能够可靠地使第一孔HL1与第一槽CH1及第三槽CL3、第二孔HL2及第三槽CL3连通。
另外，如图13所示，第一孔HL1也可以以避开第一槽CH1的角部CH1_P的方式设置于第一槽CH1。角部CH1_P是粘接剂从两个方向流入、而粘接剂容易滞留的位置，但通过以避开角部CH1_P的方式设置第一孔HL1，能够可靠地防止由于粘接剂而第一孔HL1堵塞的情况。
<变形例>
图14是将变形例的空腔板的一部分平面放大了的放大俯视图。如图14所示，也可以是，第一槽CH1具有向空腔板21A的长边方向突出的突出部PP_CH1，第一孔HL1以避开突出部PP_CH1的方式配置。在该情况下，也能够防止由于粘接剂而第一孔HL1堵塞的情况。
图15是将变形例的基座板的一部分平面放大了的放大俯视图。如图15所示，也可以是，对于第四槽CH4，在将第三槽CH3与第一孔HL1相连的位置沿基座板21B的短边方向延伸了的位置处，相邻的第四槽CH4彼此连接。在上述那样的情况下，空气不容易残留于第四槽CH4的内部。
需要说明的是，相邻的第四槽CH4彼此在基座板21B的长边方向上的中央部既可以连接也可以不连接。
需要说明的是，示出了第三槽CH3以及第四槽CH4在基座板21B中位于在俯视下与空腔板21A抵接的抵接区域的内侧的例子，但并不局限于此。第三槽CH3以及第四槽CH4也可以位于基座板21B中的与和空腔板21A抵接的面相反一侧的面。
附图标记说明：
1…打印机；
4…涂布机；
6…输送辊；
7…框架；
8…液体喷出头；
10…干燥机；
14…控制部；
20…头主体；
21…流路构件；
22…压电致动器基板；
23…贮存部；
23a…开口；
23b…狭缝部；
31…柔性基板；
32…布线基板；
33…驱动器IC；
63…喷出孔；
P…印刷用纸；
CH1…第一槽；
CH2…第二槽；
CH3…第三槽；
HL1…第一孔；
HL2…第二孔；
CH1_P…角部；
PP_CH1…突出部。

Claims (12)

1.一种液体喷出头，其中，
所述液体喷出头具备：
基座板；
空腔板，其位于所述基座板上，且具有空腔；以及
压电致动器基板，其位于所述空腔板上，
所述空腔板具有：
第一槽，其位于与所述压电致动器基板抵接的抵接区域的内侧，用于释放将所述空腔板与所述压电致动器基板接合的粘接剂；以及
第二槽，其以包围与所述压电致动器基板抵接的抵接区域的方式配置，用于释放所述粘接剂，
所述基座板具有用于将所述第一槽向大气开放的第三槽，
所述第三槽通过与所述第一槽连通的第一孔、以及位于所述空腔板与所述压电致动器基板的抵接区域的外侧的第二孔而将所述第一槽与外部之间连通。
2.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，
所述第三槽位于与所述空腔板抵接的抵接区域。
3.根据权利要求1或2所述的液体喷出头，其中，
所述液体喷出头具备位于所述压电致动器基板上的流路构件，
所述第二孔被所述流路构件密封。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液体喷出头，其中，
所述第一孔的孔径比所述第一槽的宽度大。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的液体喷出头，其中，
所述第一孔的孔径比所述第三槽的宽度大。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的液体喷出头，其中，
所述第二孔的孔径比所述第三槽的宽度大。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的液体喷出头，其中，
所述第一孔以避开所述第一槽的角部的方式配置。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的液体喷出头，其中，
所述空腔板在所述空腔板的短边方向上具有多个由所述空腔沿所述空腔板的长边方向排列多个而成的空腔组，
所述第一槽以包围所述空腔组的方式配置。
9.根据权利要求7所述的液体喷出头，其中，
所述第一槽具有向所述空腔板的长边方向突出的突出部，
所述第一孔以避开所述突出部的方式配置。
10.根据权利要求8或9所述的液体喷出头，其中，
所述基座板在所述基座板的短边方向上具有多个位于与所述空腔组对应的区域的贯通孔组，
所述基座板具有多个以包围所述贯通孔组的方式配置的第四槽。
11.根据权利要求10所述的液体喷出头，其中，
对于所述第四槽，在将所述第三槽与所述第一孔相连的位置沿所述基座板的短边方向延伸了的位置处，相邻的所述第四槽彼此连接。
12.一种记录装置，其中，
所述记录装置具备权利要求1至11中任一项所述的液体喷出头。
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