CN114814288B - 传感器模块 - Google Patents

Abstract

本发明公开了传感器模块，其具备：印刷基板，具有设置于第一边的第一凹部、设置于与第一边(2A)对置的第二边的第二凹部、设置于第三边的第三凹部以及设置于与第三边对置的第四边的第四凹部；金属帽，具有与第一至第四凹部分别粘接的凸部；以及第一惯性传感器和第二惯性传感器，设置于印刷基板的主面。第一惯性传感器和第二惯性传感器配置于被将第一凹部与第二凹部各自的两端连接的线段包围的区域以及被将第三凹部与第四凹部各自的两端连接的线段包围的区域的外侧。

Description

传感器模块

技术领域

本发明涉及传感器模块。

背景技术

以往，如专利文献1所示，已知为了以覆盖印刷基板等绝缘基板上搭载的电子部件的方式配置金属帽而通过焊料等将设置于金属帽的裙部的突片与绝缘基板面连接的电子器件。

专利文献1：日本特开2004-31787号公报

但是，在专利文献1所记载的电子器件中，由于将从金属帽的2个对置的裙部的中央部突出的突片与绝缘基板连接，因此在电子器件的安装工序、电子器件的使用环境的热循环中，由金属帽与绝缘基板的热膨胀率之差引起的应力会施加于绝缘基板。由于该应力在将金属帽的2个对置的突片连接的直线状区域中较强地施加于绝缘基板，因此在搭载于绝缘基板上的压电振子等电子部件配置于将金属帽的2个对置的突片连接的直线状的区域的情况下，应力也施加于电子部件，使得电子部件的特性发生变化。

这种电子部件的特性的变化在振荡器以外的电子部件、例如利用在水晶等的压电基板、硅等的半导体基板的基础上使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术而形成的惯性元件的振动等的传感器中也是同样的。在这种传感器中，存在由于对传感器施加应力从而传感器的特性发生变化、传感器的检测精度降低这一问题。

发明内容

传感器模块具备：矩形形状的印刷基板，具有主面、在所述主面中设置于第一边的第一凹部、设置于与所述第一边对置的第二边的第二凹部、设置于与所述第一边和所述第二边相邻的第三边的第三凹部以及设置于与所述第三边对置的第四边的第四凹部；金属帽，具有与所述印刷基板的所述第一凹部粘接的第一凸部、与所述第二凹部粘接的第二凸部、与所述第三凹部粘接的第三凸部以及与所述第四凹部粘接的第四凸部；第一惯性传感器，设置于所述印刷基板的所述主面，且被收容于所述主面与所述金属帽之间；以及第二惯性传感器，设置于所述印刷基板的所述主面，且被收容于所述主面与所述金属帽之间，当从与所述印刷基板的所述主面正交的方向俯视时，所述第一惯性传感器和所述第二惯性传感器配置于被将所述印刷基板的所述第一凹部的宽度方向的两端与所述第二凹部的宽度方向的两端连接的线段包围的区域以及被将所述第三凹部的宽度方向的两端与所述第四凹部的两端连接的线段包围的区域的外侧。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的传感器模块的俯视图。

图2是实施方式1所涉及的传感器模块的仰视图。

图3是图1中的A-A线处的剖视图。

图4是示出图1中的E部的俯视图。

图5是示出图1中的F部的俯视图。

图6是实施方式2所涉及的传感器模块的俯视图。

图7是示出图6中的G部的俯视图。

图8是示出图6中的H部的俯视图。

附图标记说明

1、1a…传感器模块，2…印刷基板，2A…第一边，2B…第二边，2C…第三边，2D…第四边，3…第一惯性传感器，4…第二惯性传感器，7…金属帽，21…主面，22…下表面，23A…第一凹部，23B…第二凹部，23C…第三凹部，23D…第四凹部，30…第一加速度传感器元件，33…第一内部电极，40…第二加速度传感器元件，43…第二内部电极，72A…第一凸部，72B…第二凸部，72C…第三凸部，72D…第四凸部，L1…连接第一凹部23A的宽度方向的两端和第二凹部23B的宽度方向的两端的线段，L2…连接第三凹部23C的宽度方向的两端和第四凹部23D的宽度方向的两端的线段，243…被线段L1包围的区域，244…被线段L2包围的区域。

具体实施方式

1.实施方式1

参照图1～图5对实施方式1所涉及的传感器模块1进行说明。需要说明的是，图1为了便于说明传感器模块1的内部构成而图示出将金属帽7的顶板部70拆下后的状态。图4和图5为了便于说明第一惯性传感器3和第二惯性传感器4的内部构成而将加速度传感器元件、角速度传感器元件以及内部电极以外的构成要素省略后图示。需要说明的是，各图的各构成要素的尺寸比率与实际不同。

在附图所标记的坐标中，将相互正交的3个轴设为X轴、Y轴以及Z轴进行说明。将沿着X轴的方向设为“X方向”，将沿着Y轴的方向设为“Y方向”，将沿着Z轴的方向设为“Z方向”，箭头的方向是正方向。另外，将Z方向的正方向设为“上”或“上方”，将Z方向的负方向设为“下”或“下方”进行说明。另外，当从Z方向俯视时，将Z方向正侧的面设为上表面、将成为与其相反的一侧的Z方向负侧的面设为下表面进行说明。

如图1～图3所示，传感器模块1具有：印刷基板2；金属帽7，与印刷基板2的上表面亦即主面21粘接；第一惯性传感器3、第二惯性传感器4以及角速度传感器5，设置于印刷基板2的主面21，收容于主面21与金属帽7之间；半导体装置8，搭载于印刷基板2的下表面22；以及引线组90，具备电连接到印刷基板2的下表面22的多个引线端子9。

当从与印刷基板2的主面21正交的Z方向俯视时，印刷基板2是外形为矩形形状的板状。作为印刷基板2，例如可以使用陶瓷基板、玻璃环氧基板等。需要说明的是，为了便于说明，对形成于印刷基板2的布线省略图示，仅图示出配置于下表面22的外部连接端子292。

当从Z方向俯视时，印刷基板2具有第一边2A、与第一边2A对置的第二边2B、与第一边2A和第二边2B相邻的第三边2C、以及与第三边2C对置的第四边2D。

需要说明的是，“矩形”是指包含正方形和长方形、进而包含在矩形的一部分具有与矩形不同的非矩形部分的形状的概念。非矩形部分例如是指矩形的角被按曲线状或直线状倒角的部分、包围矩形的边的一部分向矩形的外侧突出的凸部、或向矩形的内侧凹陷的切口等凹部等。这样，构成矩形的各边可以通过非矩形部断开。

另外，“相邻”是指不限于构成矩形的各边中的相互交叉的2个边直接接触的情况，而是包含经由非矩形部分间接接触的情况的概念。例如，第一边2A与第三边2C相邻是指，不限于第一边2A与第三边2C在矩形的角处接触的情况，也可以是经由矩形的角被倒角的部分等非矩形部分进行接触。

在印刷基板2的主面21，在第一边2A设置有第一凹部23A，在第二边2B设置有第二凹部23B，在第三边2C设置有第三凹部23C，在第四边2D设置有第四凹部23D。需要说明的是，在本实施方式中，凹部23A、23B、23C、23D分别设置于边2A、2B、2C、2D的中央部，但也可以设置于边2A、2B、2C、2D的中央部以外。

接着，对位于印刷基板2的主面21侧的各部进行说明。

如图1和图3所示，金属帽7与印刷基板2的主面21粘接。另外，在印刷基板2的主面21设置有第一惯性传感器3、第二惯性传感器4以及角速度传感器5。金属帽7与印刷基板2的主面21粘接，从而在印刷基板2的主面21与金属帽7之间收容第一惯性传感器3、第二惯性传感器4以及角速度传感器5。

当从Z方向俯视时，金属帽7是呈与印刷基板2大致相似形状的矩形形状。作为金属帽7，例如可以使用作为铁-镍系合金的42合金。

金属帽7具有：顶板部70；从顶板部70的外周缘向下方延伸设置的侧壁71；由顶板部70和侧壁71形成的凹部711；以及从侧壁71的下端部向内侧突出的第一凸部72A、第二凸部72B、第三凸部72C、第四凸部72D。

金属帽7为了在凹部711内收容第一惯性传感器3、第二惯性传感器4以及角速度传感器5而配置于印刷基板2的主面21。

当从Z方向俯视时，金属帽7的凸部72A、72B、72C、72D配置成与印刷基板2的凹部23A、23B、23C、23D分别重叠。

金属帽7的第一凸部72A经由粘接构件74与印刷基板2的第一凹部23A粘接。同样地，金属帽7的第二凸部72B经由粘接构件74与印刷基板2的第二凹部23B粘接，第三凸部72C经由粘接构件74与第三凹部23C粘接，第四凸部72D经由粘接构件74与第四凹部23D粘接。

作为粘接构件74，可以使用由环氧系树脂、聚氨酯系树脂、硅系树脂等形成的树脂系粘接剂。需要说明的是，粘接构件74也可以具有导电性。另外，粘接构件74除了树脂系粘接剂之外还可以使用例如焊料等。

第一惯性传感器3和第二惯性传感器4是检测绕X轴、Y轴、Z轴这三轴的角速度和沿着三轴的方向的加速度的所谓六轴惯性传感器。

角速度传感器5是为了以高精度检测绕X轴、Y轴、Z轴这三轴中的所期望的检测轴的角速度而设置的。在本实施方式中，角速度传感器5检测绕Z轴的角速度。需要说明的是，也可以没有角速度传感器5。

在此，对本实施方式中的第一惯性传感器3和第二惯性传感器4的配置进行说明。

如图1所示，当从与印刷基板2的主面21正交的Z方向俯视时，第一惯性传感器3和第二惯性传感器4配置于被将印刷基板2的第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1包围的区域243以及被将第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的两端连接的线段L2包围的区域244的外侧。

当从Z方向俯视时，将印刷基板2的第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1具有：将第一凹部23A与第二凹部23B的宽度方向的Y方向正侧的端部连接的第一线段L11、以及将第一凹部23A与第二凹部23B的宽度方向的Y方向负侧的端部连接的第二线段L12。需要说明的是，第一线段L11与第二线段L12不交叉。

具体地说，当从Z方向俯视时，被将印刷基板2的第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1包围的区域243是被第一线段L11、第二线段L12、第一凹部23A的宽度方向的外缘、以及第二凹部23B的宽度方向的外缘包围的区域。

当从Z方向俯视时，将印刷基板2的第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的宽度方向的两端连接的线段L2具有：将第三凹部23C与第四凹部23D的宽度方向的X方向正侧的端部连接的第三线段L21、以及将第三凹部23C与第四凹部23D的宽度方向的X方向负侧的端部连接的第四线段L22。需要说明的是，第三线段L21与第四线段L22不交叉。

具体地说，被将印刷基板2的第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的宽度方向的两端连接的线段L2包围的区域244是被第三线段L21、第四线段L22、第三凹部23C的宽度方向的外缘以及第四凹部23D的宽度方向的外缘包围的区域。

当从Z方向俯视时，被将印刷基板2的第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1包围的区域243沿着X方向延伸。当从Z方向俯视时，被将印刷基板2的第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的宽度方向的两端连接的线段L2包围的区域244沿着Y方向延伸。

被将印刷基板2的第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1包围的区域243和被将印刷基板2的第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的宽度方向的两端连接的线段L2包围的区域244在印刷基板2的中央部处交叉，使被将第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1包围的区域243和被将第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的宽度方向的两端连接的线段L2包围的区域244重叠后的形状为十字形状。

这样，在本实施方式中，印刷基板2的主面21由被线段L1包围的区域243和被线段L2包围的区域244划分为十字形状。印刷基板2的主面21具有：被线段L1包围的区域243、被线段L2包围的区域244、被区域243和区域244区分的第一安装区域246、第二安装区域247、第三安装区域248以及第四安装区域249。当从Z方向俯视时，第一安装区域246、第二安装区域247、第三安装区域248以及第四安装区域249是位于被线段L1包围的区域243和被线段L2包围的区域244的外侧的区域。

具体地说，当从Z方向俯视时，第一安装区域246是位于比第一线段L11靠Y方向正侧并且位于比第三线段L21靠X方向正侧的区域。同样地，第二安装区域247是位于比第一线段L11靠Y方向正侧并且位于比第四线段L22靠X方向负侧的区域，第三安装区域248是位于比第二线段L12靠Y方向负侧并且位于比第四线段L22靠X方向负侧的区域，第四安装区域249是位于比第二线段L12靠Y方向负侧并且位于比第三线段L21靠X方向正侧的区域。

被将印刷基板2的第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1包围的区域243以及被将印刷基板2的第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的宽度方向的两端连接的线段L2包围的区域244是由金属帽7和印刷基板2各自的热膨胀率之差引起的应力较强地施加于印刷基板2的区域。

第一安装区域246、第二安装区域247、第三安装区域248以及第四安装区域249是由金属帽7和印刷基板2各自的热膨胀率之差引起的应力难以施加于印刷基板2的区域。即，第一安装区域246、第二安装区域247、第三安装区域248以及第四安装区域249是适于将第一惯性传感器3和第二惯性传感器4配置于印刷基板2的主面21的区域。

在本实施方式中，第一惯性传感器3配置于第一安装区域246，第二惯性传感器4配置于第三安装区域248。不过，第一惯性传感器3和第二惯性传感器4的配置不限于此，第一惯性传感器3和第二惯性传感器4可以配置于第一安装区域246、第二安装区域247、第三安装区域248以及第四安装区域249中的任意安装区域。

这样，当从Z方向俯视时，通过将第一惯性传感器3和第二惯性传感器4配置于被将印刷基板2的第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1包围的区域243以及被将第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的两端连接的线段L2包围的区域244的外侧亦即安装区域246、247、248、249，从而由金属帽7与印刷基板2各自的热膨胀率之差引起的应力难以施加于第一惯性传感器3和第二惯性传感器4。由此，即使传感器模块1的使用环境等发生变化，第一惯性传感器3和第二惯性传感器4的检测精度也不容易降低，能够得到高精度的传感器模块1。

接着，对第一惯性传感器3和第二惯性传感器4的基本构成进行说明。

如图4和图5所示，第一惯性传感器3和第二惯性传感器4的基本构成相互相同，当从Z方向俯视时，以将第一惯性传感器3逆时针旋转90度后的姿态安装第二惯性传感器4。

如图4所示，当从Z方向俯视时，第一惯性传感器3具有被长边31和与长边31的长度不同的短边32包围的长方形的外形。在本实施方式中，长边31与X方向平行，短边32与Y方向平行。

第一惯性传感器3具有：第一加速度传感器元件30、第一角速度传感器元件3r、以及通过未图示的布线电连接到第一加速度传感器元件30和第一角速度传感器元件3r的多个第一内部电极33。需要说明的是，在本实施方式中，第一加速度传感器元件30和第一角速度传感器元件3r是分别使用硅基板形成的，但也可以使用硅以外的半导体基板、水晶等的压电基板来形成。

第一加速度传感器元件30具有：X轴加速度传感器元件3x，检测沿着长边31的X方向的加速度；Z轴加速度传感器元件3z，检测与包含长边31和短边32的平面垂直的Z方向的加速度；以及Y轴加速度传感器元件3y，检测沿着短边32的Y方向的加速度。需要说明的是，在本实施方式中，第一加速度传感器元件30具有X轴加速度传感器元件3x、Z轴加速度传感器元件3z以及Y轴加速度传感器元件3y，而第一加速度传感器元件30只要具有其中的1个以上即可。

另外，在本实施方式中，在沿着短边32的Y方向上，从Y方向正侧朝向Y方向负侧，依次排列配置有X轴加速度传感器元件3x、Z轴加速度传感器元件3z以及Y轴加速度传感器元件3y。不过，X轴加速度传感器元件3x、Z轴加速度传感器元件3z、Y轴加速度传感器元件3y的配置不限于此，例如，也可以是在沿着长边31的X方向上排列配置有X轴加速度传感器元件3x、Z轴加速度传感器元件3z、Y轴加速度传感器元件3y。

第一角速度传感器元件3r是检测绕X轴、Y轴以及Z轴各轴的角速度的三轴角速度传感器元件。第一加速度传感器元件30和第一角速度传感器元件3r在沿着长边31的X方向上排列配置。需要说明的是，也可以没有第一角速度传感器元件3r。

在此，对第一加速度传感器元件30和第一内部电极33的配置进行说明。

在沿着长边31的X方向上排列配置有多个第一内部电极33。在沿着短边32的方向亦即Y方向上排列配置有第一加速度传感器元件30和多个第一内部电极33。

这样，在本实施方式中，在作为第一方向的Y方向上排列配置有第一加速度传感器元件30和多个第一内部电极33。并且，第一加速度传感器元件30在Y方向上配置于比第一内部电极33靠近印刷基板2的外缘亦即第三边2C的位置。由此，由金属帽7与印刷基板2各自的热膨胀率之差引起的应力不容易施加于第一加速度传感器元件30，进一步，第一惯性传感器3中的加速度的检测精度不容易降低。

如图5所示，当从Z方向俯视时，第二惯性传感器4具有被长边41和与长边长度不同的短边42包围的长方形的外形。在本实施方式中，长边41与Y方向平行，短边42与X方向平行。

第二惯性传感器4具有第二加速度传感器元件40、第二角速度传感器元件4r、以及通过未图示的布线电连接到第二加速度传感器元件40和第二角速度传感器元件4r的多个第二内部电极43。

第二加速度传感器元件40具有：Y轴加速度传感器元件4y，检测沿着长边41的Y方向的加速度；Z轴加速度传感器元件4z，检测与包含长边41和短边42的平面垂直的Z方向的加速度；以及X轴加速度传感器元件4x，检测沿着短边42的X方向的加速度。

另外，在本实施方式中，在沿着短边42的X方向上，从X方向负侧朝向X方向正侧，依次排列配置有Y轴加速度传感器元件4y、Z轴加速度传感器元件4z以及X轴加速度传感器元件4x。

第二角速度传感器元件4r是检测绕X轴、Y轴以及Z轴各轴的角速度的三轴角速度传感器元件。第二加速度传感器元件40和第二角速度传感器元件4r在沿着长边41的Y方向上排列配置。

在此，对第二加速度传感器元件40和第二内部电极43的配置进行说明。

多个第二内部电极43在沿着长边41的Y方向上排列配置。在沿着短边42的方向亦即X方向上排列配置有第二加速度传感器元件40和多个第二内部电极43。

这样，在本实施方式中，在作为第二方向的X方向上排列配置有第二加速度传感器元件40和多个第二内部电极43。并且，第二加速度传感器元件40在X方向上配置于比第二内部电极43靠近印刷基板2的外缘亦即第二边2B的位置。由此，由金属帽7和印刷基板2各自的热膨胀率之差引起的应力不容易施加于第二加速度传感器元件40，进一步，第二惯性传感器4中的加速度的检测精度不容易降低。

如上所述，在本实施方式中，通过将第一加速度传感器元件30配置于比多个第一内部电极33靠近印刷基板2的外缘亦即第三边2C的位置，进一步地使得第一惯性传感器3中的加速度的检测精度不容易降低。并且，同样地，通过将第二加速度传感器元件40配置于比多个第二内部电极43靠近印刷基板2的外缘亦即第二边2B的位置，进一步地使得第二惯性传感器4中的加速度的检测精度不容易降低。这样，在本实施方式中，能够进一步不容易降低第一惯性传感器3和第二惯性传感器4中的各自的加速度的检测精度，因此能够得到更高精度的传感器模块1。

以上，对位于印刷基板2的上表面亦即主面21侧的各部进行了说明。接着，对位于印刷基板2的下表面22侧的各部进行说明。

如图2和图3所示，在印刷基板2的下表面22搭载有半导体装置8。半导体装置8经由设置于印刷基板2的未图示的布线与第一惯性传感器3、第二惯性传感器4以及角速度传感器5电连接。半导体装置8是电路元件，例如是将作为半导体芯片的裸芯片模制而成的构成。半导体装置8控制第一惯性传感器3、第二惯性传感器4以及角速度传感器5的驱动，并且进行针对来自第一惯性传感器3、第二惯性传感器4以及角速度传感器5的检测信号的采样处理、零点校正、灵敏度调整、滤波处理、温度校正等各种处理，输出处理后的检测信号。

另外，半导体装置8能够通过将从第一惯性传感器3和第二惯性传感器4分别输出的检测轴相同的检测信号合成，从而减少检测信号所包含的噪声并提高信号质量。例如，半导体装置8能够通过将从第一惯性传感器3的X轴加速度传感器元件3x输出的X方向的检测信号与从第二惯性传感器4的X轴加速度传感器元件4x输出的X方向的检测信号合成，从而减少检测信号所包含的热噪声等与检测信号无关的噪声等，能够提高信号质量。

另外，在印刷基板2的下表面22设置有经由未图示的布线电连接到半导体装置8的外部连接端子292。外部连接端子292经由未图示的焊料等具有导电性的接合构件与引线组90电连接。

接着，对引线组90进行说明。如图1所示，引线组90在印刷基板2的下表面22具有：第一引线组90A，具备沿着第一边2A配置的多个引线端子9；第二引线组90B，具备沿着第二边2B配置的多个引线端子9；第三引线组90C，具备沿着第三边2C配置的多个引线端子9；以及第四引线组90D，具备沿着第四边2D配置的多个引线端子9。

引线组90所包含的多个引线端子9例如是在制造时通过对引线框架进行切断加工而形成的，例如，由铁系材料、铜系材料形成。如图2和图3所示，这种多个引线端子9分别具有连接到印刷基板2的连接部91。连接部91经由未图示的焊料等具有导电性的接合构件电连接到在印刷基板2的下表面22形成的外部连接端子292。

如上所述，根据本实施方式，能够得到以下的效果。

从与印刷基板2的主面21正交的Z方向俯视时，第一惯性传感器3和第二惯性传感器4配置于被将印刷基板2的第一凹部23A的宽度方向的两端与第二凹部23B的宽度方向的两端连接的线段L1包围的区域243以及被将第三凹部23C的宽度方向的两端与第四凹部23D的两端连接的线段L2包围的区域244的外侧。由此，由金属帽7与印刷基板2的热膨胀率之差引起的应力不容易施加于第一惯性传感器3和第二惯性传感器4，因此能够得到第一惯性传感器3和第二惯性传感器4的检测精度稳定且高精度的传感器模块1。

2.实施方式2

接着，参照图6～图8对实施方式2所涉及的传感器模块1a进行说明。需要说明的是，在以下的说明中，以与上述的实施方式1的不同点为中心进行说明，对与实施方式1相同的构成标注相同的附图标记，省略重复的说明。

如图8所示，本实施方式所涉及的传感器模块1a的第二惯性传感器4的姿态与实施方式1不同。具体地说，当从Z方向俯视时，以使第一惯性传感器3顺时针旋转90度后的姿态安装有第二惯性传感器4。需要说明的是，如图6所示，在本实施方式所涉及的传感器模块1a中，与实施方式1同样地，第一惯性传感器3配置于第一安装区域246，第二惯性传感器4配置于第三安装区域248。

首先，对第一惯性传感器3中的第一加速度传感器元件30和第一角速度传感器元件3r的配置进行说明。

如图7所示，第一惯性传感器3的构成和姿态与实施方式1相同，第一加速度传感器元件30和第一角速度传感器元件3r在沿着长边31的X方向上排列配置。

这样，在本实施方式中，在作为第三方向的X方向上排列配置有第一加速度传感器元件30和第一角速度传感器元件3r。并且，第一加速度传感器元件30在X方向上配置于比第一角速度传感器元件3r靠近印刷基板2的外缘亦即第一边2A的位置。由此，由金属帽7和印刷基板2各自的热膨胀率之差引起的应力不容易施加于第一加速度传感器元件30，进一步，第一惯性传感器3中的加速度的检测精度不容易降低。

接着，对第二惯性传感器4中的第二加速度传感器元件40和第二角速度传感器元件4r的配置进行说明。

如图8所示，第二加速度传感器元件40具有：Y轴加速度传感器元件4y，检测沿着长边41的Y方向的加速度；Z轴加速度传感器元件4z，检测与包含长边41和短边42的平面垂直的Z方向的加速度；以及X轴加速度传感器元件4x，检测沿着短边42的X方向的加速度，在沿着短边42的X方向上从X方向正侧朝向X方向负侧依次排列配置有Y轴加速度传感器元件4y、Z轴加速度传感器元件4z以及X轴加速度传感器元件4x。

第二加速度传感器元件40和第二角速度传感器元件4r在沿着长边41的Y方向上排列配置。

这样，在本实施方式中，在作为第四方向的Y方向上排列配置有第二加速度传感器元件40和第二角速度传感器元件4r。并且，第二加速度传感器元件40配置于比第二角速度传感器元件4r靠近印刷基板2的外缘亦即第四边2D的位置。由此，由金属帽7与印刷基板2各自的热膨胀率之差引起的应力不容易施加于第二加速度传感器元件40，进一步，第二惯性传感器4中的加速度的检测精度不容易降低。

根据本实施方式，除了实施方式1的效果之外，还能够得到以下的效果。

在第一加速度传感器元件30与第一角速度传感器元件3r排列配置的第三方向亦即X方向上，将第一加速度传感器元件30配置于比第一角速度传感器元件3r靠近印刷基板2的外缘亦即第一边2A的位置，进一步地使得第一惯性传感器3中的加速度的检测精度不容易降低。并且，同样地，在第二加速度传感器元件40与第二角速度传感器元件4r排列配置的第四方向亦即Y方向上，将第二加速度传感器元件40配置于比第二角速度传感器元件4r靠近印刷基板2的外缘亦即第四边2D的位置，进一步地使得第二惯性传感器4中的加速度的检测精度不容易降低。这样，能够进一步不容易降低第一惯性传感器3和第二惯性传感器4中的各自的加速度的检测精度，因此能够得到更高精度的传感器模块1a。

需要说明的是，传感器模块1、1a例如能够应用于建筑机械、农业机械等的车辆、机器人、无人机等移动体、智能手机、头戴显示器等电子设备等。

Claims (3)

1.一种传感器模块，其特征在于，具备：

矩形形状的印刷基板，具有主面、在所述主面中设置于第一边的第一凹部、设置于在所述矩形形状的印刷基板的X轴方向上与所述第一边对置的第二边的第二凹部、设置于与所述第一边和所述第二边相邻的第三边的第三凹部以及设置于在所述矩形形状的印刷基板的Y轴方向上与所述第三边对置的第四边的第四凹部；

金属帽，具有与所述印刷基板的所述第一凹部粘接的第一凸部、与所述第二凹部粘接的第二凸部、与所述第三凹部粘接的第三凸部以及与所述第四凹部粘接的第四凸部；

粘接构件，介于所述第一凸部与所述第一凹部、所述第二凸部与所述第二凹部、所述第三凸部与所述第三凹部以及所述第四凸部与所述第四凹部之间，并且所述粘接构件分别与所述第一凸部与所述第一凹部、所述第二凸部与所述第二凹部、所述第三凸部与所述第三凹部以及所述第四凸部与所述第四凹部接触；

第一惯性传感器，设置于所述印刷基板的所述主面，且被收容于所述主面与所述金属帽之间；以及

第二惯性传感器，设置于所述印刷基板的所述主面，且被收容于所述主面与所述金属帽之间，

当从与所述印刷基板的所述主面正交的Z轴方向俯视时，所述第一惯性传感器和所述第二惯性传感器配置于第一区域以及第二区域的外部，

所述第一区域被限定在第一线段与第二线段之间，所述第一线段将所述印刷基板的所述第一凹部在所述Y轴方向的一端与所述印刷基板的所述第二凹部在所述Y轴方向的一端连接，并且所述第二线段将所述印刷基板的所述第一凹部在所述Y轴方向的另一端与所述印刷基板的所述第二凹部在所述Y轴方向的另一端连接，

所述第二区域被限定在第三线段与第四线段之间，所述第三线段将所述第三凹部的在所述X轴方向的一端与所述第四凹部的在所述X轴方向的一端连接，并且所述第四线段将所述第三凹部的在所述X轴方向的另一端与所述第四凹部的在所述X轴方向的另一端连接，

所述第一区域和所述第二区域将第一安装区域和第二安装区域彼此分离，其中，所述第一惯性传感器设置在所述第一安装区域中，并且所述第二惯性传感器设置在所述第二安装区域中。

2.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述第一惯性传感器具备：

第一加速度传感器元件；以及

第一电极，与所述第一加速度传感器元件电连接，

在所述俯视时，所述第一加速度传感器元件和所述第一电极在所述Y轴方向上排列配置，所述第一加速度传感器元件在所述Y轴方向上配置于比所述第一电极靠近所述印刷基板的外缘的位置，所述外缘是所述印刷基板的在所述Y轴方向上距离所述第一惯性传感器最近的外缘，

所述第二惯性传感器具备：

第二加速度传感器元件；以及

第二电极，与所述第二加速度传感器元件电连接，

在所述俯视时，所述第二加速度传感器元件和所述第二电极在所述X轴方向上排列配置，

所述第二加速度传感器元件在所述X轴方向上配置于比所述第二电极靠近所述印刷基板的外缘的位置，所述外缘是所述印刷基板的在所述X轴方向上距离所述第二惯性传感器最近的外缘。

3.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述第一惯性传感器具备：

第一加速度传感器元件；以及

第一角速度传感器元件，

在所述俯视时，所述第一加速度传感器元件和所述第一角速度传感器元件在所述X轴方向上排列配置，

所述第一加速度传感器元件在所述X轴方向上配置于比所述第一角速度传感器元件靠近所述印刷基板的外缘的位置，所述外缘是所述印刷基板的在所述X轴方向上距离所述第一惯性传感器最近的外缘，

所述第二惯性传感器具备：

第二加速度传感器元件；以及

第二角速度传感器元件，

在所述俯视时，所述第二加速度传感器元件和所述第二角速度传感器元件在所述Y轴方向上排列配置，

所述第二加速度传感器元件在所述Y轴方向上配置于比所述第二角速度传感器元件靠近所述印刷基板的外缘的位置，所述外缘是所述印刷基板的在所述Y轴方向上距离所述第二惯性传感器最近的外缘。