CN114800398A - 一种一体化隔膜阀加工平台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种一体化隔膜阀加工平台，包含平台板、纵向驱动机构、横向驱动机构、若干隔膜阀夹具和隔膜阀夹具径向驱动机构，平台板设置在纵向驱动机构上由纵向驱动机构驱动沿水平面纵向移动，纵向驱动机构设置在横向驱动机构上由横向驱动机构驱动沿水平面横向移动，若干隔膜阀夹具呈环形分布在隔膜阀夹持工位外侧平台板上并且由隔膜阀夹具径向驱动机构驱动沿平台板的径向移动，隔膜阀夹具的上端设置有上侧压板，上侧压板由上侧压板驱动机构驱动沿竖直方向升降。本发明通过径向夹持与竖直方向同时压紧夹持的方式，从而减少了对进行夹持力度的需求，从而解决了现有技术夹持力度大影响加工精度的问题。

Description

一种一体化隔膜阀加工平台

技术领域

本发明涉及一种加工平台，特别是一种一体化隔膜阀加工平台，属于隔膜阀加工技术领域。

背景技术

在集成电路行业中，湿法清洗是集成电路芯片制备过程中的重要工艺步骤，主要是用化学溶液清洗晶圆，去除一些颗粒和金属杂质污染。而高纯液体隔膜阀是湿法清洗的核心零部件之一，隔膜阀介质接触面小，几乎没有产品沉积的机会，非常容易清洁且所需密封力较小。然而高纯液体隔膜阀的加工精度要求很高，加工精度的高低直接影响最终产品的效果。

现有技术中，对于隔膜阀这种圆形阀体，常规加工是通过三爪夹具对隔膜阀进行固定，其通过螺旋线结构对三爪驱动从而使其将阀体抓紧固定。为了保证加工的稳定性，三爪夹具对隔膜阀的夹持力度较大，容易使隔膜阀的表面损伤且对隔膜阀内部应力产生一定影响，进而影响最终的加工精度和效果。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种一体化隔膜阀加工平台，其对隔膜阀的夹持力度需求较小，解决了现有技术夹持力度大影响加工精度的问题。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：包含平台板、纵向驱动机构、横向驱动机构、若干隔膜阀夹具和隔膜阀夹具径向驱动机构，平台板设置在纵向驱动机构上由纵向驱动机构驱动沿水平面纵向移动，纵向驱动机构设置在横向驱动机构上由横向驱动机构驱动沿水平面横向移动，若干隔膜阀夹具呈环形分布在隔膜阀夹持工位外侧平台板上并且由隔膜阀夹具径向驱动机构驱动沿平台板的径向移动，隔膜阀夹具的上端设置有上侧压板，上侧压板由上侧压板驱动机构驱动沿竖直方向升降。

进一步地，所述隔膜阀夹具包含L型夹具本体和夹具弹性垫，L型夹具本体下侧与隔膜阀夹具径向驱动机构连接，夹具弹性垫固定在L型夹具本体面向隔膜阀的内侧面上。

进一步地，所述上侧压板包含L型压板板体和压板弹性垫，隔膜阀夹具上端开有沿竖直方向的压板槽，L型压板板体的一侧竖直插入隔膜阀夹具上端压板槽内并且与压板槽滑动连接，L型压板板体与隔膜阀夹具内的上侧压板驱动机构驱动，压板弹性垫固定在L型压板板体另一侧的下侧面上。

进一步地，所述上侧压板驱动机构包含驱动块，隔膜阀夹具的内侧面上开有贯穿隔膜阀夹具内侧面以及压板槽的驱动块槽道，驱动块的外侧设置有凸起于驱动块的驱动块凸环，驱动块槽道为阶梯状槽道且驱动块槽道分别与驱动块凸环以及驱动块的本体匹配，驱动块位于隔膜阀夹具内的一端为楔形结构，L型压板板体对应驱动块端部位置开有与驱动块端部楔形结构匹配的楔形凹槽，L型压板板体的下端设置有凸起于L型压板板体的压板凸环，压板槽也为阶梯槽且分别与L型压板板体和压板凸环匹配，L型压板板体的下端套设有一个弹簧，弹簧位于压板凸环与压板槽底部之间。

进一步地，所述隔膜阀夹具径向驱动机构包含上侧圆盘、下侧圆盘和下侧圆盘驱动机构，上侧圆盘通过支架固定在平台板的上方，下侧圆盘位于上侧圆盘的下侧并且与上侧圆盘同心设置，下侧圆盘通过中心转轴转动设置在平台板上侧，下侧圆盘与下侧圆盘驱动机构连接由下侧圆盘驱动机构驱动以中心转轴为圆形转动，上侧圆盘上开有数量与隔膜阀夹具相等的若干径向滑槽，径向滑槽沿上侧圆盘的径向设置并且若干径向滑槽沿着上侧圆盘的周向均匀分布，下侧圆盘上开有数量与隔膜阀夹具相等的若干弧形滑槽并且若干弧形滑槽沿着下侧圆盘的周向均匀分布，隔膜阀夹具的下端固定有一根竖直销轴，竖直销轴下端分别穿过上侧圆盘的径向滑槽和下侧圆盘的弧形滑槽并且竖直销轴滑动设置在径向滑槽和弧形滑槽内。

进一步地，所述下侧圆盘驱动机构包含伸缩气缸，伸缩气缸水平设置在下侧圆盘的下侧，伸缩气缸缸体端部通过铰轴铰接在平台板上，伸缩气缸的活塞杆端部通过铰轴铰接在下侧圆盘下侧面的边沿位置。

进一步地，所述平台板上隔膜阀夹持工位设置有若干根与隔膜阀阀体下端螺孔一一对应的定位销轴。

进一步地，所述定位销轴竖直设置且定位销轴的下端固定在平台板上侧，定位销轴的上端为半球形结构，定位销轴为上端封闭的空心管状结构，定位销轴内设置有气囊，定位销轴的侧面开有若干个条形孔，条形孔沿定位销轴的长度方向设置并且若干个条形孔沿着定位销轴的周向等间距分布。

进一步地，所述纵向驱动机构包含纵向螺杆、两根纵向滑竿、纵向第一固定板、纵向第二固定板、纵向螺杆驱动电机、两根纵向滑轨和纵向底板，纵向螺杆沿水平面纵向设置并且纵向螺杆的两端分别转动设置在纵向第一固定板和纵向第二固定板上，两根纵向滑竿平行设置在纵向螺杆的两侧并且纵向滑竿的两端分别固定在纵向第一固定板和纵向第二固定板上，纵向螺杆的一端与纵向螺杆驱动电机连接由纵向螺杆驱动电机驱动，平台板的下侧套设在纵向螺杆上与纵向螺杆螺纹连接，平台板的下侧还套设在两根纵向滑竿上与纵向滑竿滑动连接，两根纵向滑轨平行固定在纵向第一固定板和纵向第二固定板的两端，平台板的下侧通过滑套滑动设置在两根纵向滑轨上，纵向第一固定板、纵向第二固定板、纵向螺杆驱动电机和两根纵向滑轨分别固定在纵向底板上。

进一步地，所述横向驱动机构包含横向螺杆、两根横向滑竿、横向第一固定板、横向第二固定板、横向螺杆驱动电机和两根横向滑轨，横向螺杆沿水平面横向设置并且横向螺杆的两端分别转动设置在横向第一固定板和横向第二固定板上，两根横向滑竿平行设置在横向螺杆的两侧并且横向滑竿的两端分别固定在横向第一固定板和横向第二固定板上，横向螺杆的一端与横向螺杆驱动电机连接由横向螺杆驱动电机驱动，纵向底板的下侧套设在横向螺杆上与横向螺杆螺纹连接，纵向底板的下侧还套设在两根横向滑竿上与横向滑竿滑动连接，两根横向滑轨平行固定在横向第一固定板和横向第二固定板的两端，纵向底板的下侧通过滑套滑动设置在两根横向滑轨上。

本发明与现有技术相比，具有以下优点和效果：

1、本发明的一体化隔膜阀加工平台通过径向夹持与竖直方向同时压紧夹持的方式，从而减少了对进行夹持力度的需求，从而解决了现有技术夹持力度大影响加工精度的问题；

2、本发明还通过定位销轴对隔膜阀的圆周自由度进行限制，从而进一步减少了夹具径向夹持力度的需求，同时定位销轴内置气囊，可以通过气囊膨胀对隔膜阀进行自动位置校准，提高了隔膜阀在平台上的定位精度；

3、本发明竖直方向的夹持结构通过与径向夹持的配合，通过隔膜阀的自动挤压形成竖直方向的自锁紧，竖直夹持无需额外的驱动结构，整体结构紧凑简单，成本较低；

4、本发明通过两个圆盘的径向滑槽和弧形滑槽的配合，并通过气缸进行压力控制，可以更好地控制夹具的径向夹持力度，与现有技术的螺旋线结构相比，控制更加精确，可以有效提高最终产品的加工精度。

附图说明

图1是本发明的一种一体化隔膜阀加工平台的示意图。

图2是本发明的隔膜阀夹具的示意图。

图3是本发明的隔膜阀夹具的另一状态的示意图。

图4是本发明的隔膜阀夹具径向驱动机构的侧视图。

图5是本发明的上侧圆盘的示意图。

图6是本发明的下侧圆盘的示意图。

图7是本发明的定位销轴的示意图。

具体实施方式

为了详细阐述本发明为达到预定技术目的而所采取的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的部分实施例，而不是全部的实施例，并且，在不付出创造性劳动的前提下，本发明的实施例中的技术手段或技术特征可以替换，下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

如图1所示，本发明的一种一体化隔膜阀加工平台，包含平台板1、纵向驱动机构、横向驱动机构、若干隔膜阀夹具2和隔膜阀夹具径向驱动机构，平台板1设置在纵向驱动机构上由纵向驱动机构驱动沿水平面纵向移动，纵向驱动机构设置在横向驱动机构上由横向驱动机构驱动沿水平面横向移动，若干隔膜阀夹具2呈环形分布在隔膜阀夹持工位外侧平台板1上并且由隔膜阀夹具径向驱动机构驱动沿平台板的径向移动。如图2所示，隔膜阀夹具2的上端设置有上侧压板3，上侧压板3由上侧压板驱动机构驱动沿竖直方向升降。

如图2和图3所示，隔膜阀夹具2包含L型夹具本体4和夹具弹性垫5，L型夹具本体4下侧与隔膜阀夹具径向驱动机构连接，夹具弹性垫5固定在L型夹具本体4面向隔膜阀的内侧面上。通过夹具弹性垫5可以避免L型夹具本体4余隔膜阀直接接触，从而形成有效的缓冲，可以有效降低夹具将隔膜阀的外侧压伤、划伤，提高最终加工工件的表面质量。

上侧压板3包含L型压板板体6和压板弹性垫7，隔膜阀夹具2上端开有沿竖直方向的压板槽8，L型压板板体6的一侧竖直插入隔膜阀夹具2上端压板槽8内并且与压板槽8滑动连接，L型压板板体6与隔膜阀夹具2内的上侧压板驱动机构驱动，压板弹性垫7固定在L型压板板体6另一侧的下侧面上。当L型夹具本体4的内侧面夹紧在隔膜阀侧面时，L型压板板体6在上侧压板驱动机构驱动下向下移动从而将隔膜阀的底部台阶面上侧面压住固定，从而形成径向和竖直方向的双重夹紧，减少了对进行夹持力度的需求，解决了现有技术夹持力度大影响加工精度的问题。

上侧压板驱动机构包含驱动块9，隔膜阀夹具2的内侧面上开有贯穿隔膜阀夹具2内侧面以及压板槽8的驱动块槽道10，驱动块9的外侧设置有凸起于驱动块9的驱动块凸环11，驱动块槽道10为阶梯状槽道且驱动块槽道10分别与驱动块凸环11以及驱动块9的本体匹配，驱动块9位于隔膜阀夹具2内的一端为楔形结构12，L型压板板体6对应驱动块9端部位置开有与驱动块9端部楔形结构12匹配的楔形凹槽13，L型压板板体6的下端设置有凸起于L型压板板体6的压板凸环14，压板槽8也为阶梯槽且分别与L型压板板体6和压板凸环14匹配，L型压板板体6的下端套设有一个弹簧15，弹簧15位于压板凸环14与压板槽8底部之间。如图2和图3所示，隔膜阀夹具2在隔膜阀夹具径向驱动机构的驱动下向着平台板1的中心隔膜阀工位将隔膜阀夹紧固定，当驱动块9接触到隔膜阀侧面时，驱动块9被向隔膜阀夹具2的内侧挤压从而沿着驱动块槽道10向内滑动，驱动块9端部的楔形结构12插入L型压板板体6的楔形凹槽13内，通过楔形面将L型压板板体6向下挤压，从而使L型压板板体6压在隔膜阀底部台阶面上侧面上。

如图4所示，隔膜阀夹具径向驱动机构包含上侧圆盘16、下侧圆盘17和下侧圆盘驱动机构18，上侧圆盘16通过支架19固定在平台板1的上方，下侧圆盘17位于上侧圆盘16的下侧并且与上侧圆盘16同心设置，下侧圆盘17通过中心转轴20转动设置在平台板1上侧，下侧圆盘16与下侧圆盘驱动机构18连接由下侧圆盘驱动机构18驱动以中心转轴20为圆形转动，如图5所示，上侧圆盘16上开有数量与隔膜阀夹具2相等的若干径向滑槽21，径向滑槽21沿上侧圆盘16的径向设置并且若干径向滑槽21沿着上侧圆盘16的周向均匀分布。如图6所示，下侧圆盘17上开有数量与隔膜阀夹具2相等的若干弧形滑槽22并且若干弧形滑槽22沿着下侧圆盘17的周向均匀分布，隔膜阀夹具2的下端固定有一根竖直销轴23，竖直销轴23下端分别穿过上侧圆盘16的径向滑槽21和下侧圆盘17的弧形滑槽22并且竖直销轴23滑动设置在径向滑槽21和弧形滑槽22内。竖直销轴23的下端设置有限位块用于限定竖直销轴23避免竖直销轴从径向滑槽21和弧形滑槽22内脱出。下侧圆盘17在下侧圆盘驱动机构18的驱动下，沿着中心转轴20旋转，上侧圆盘16的径向滑槽21和下侧圆盘17的弧形滑槽22相交于一点，即隔膜阀夹具2下端的竖直销轴23的位置，通过下侧圆盘17的旋转可以驱动竖直销轴23沿着径向滑槽21滑动，使隔膜阀夹具2夹持在隔膜阀的侧面。

下侧圆盘驱动机构18包含伸缩气缸24，伸缩气缸24水平设置在下侧圆盘17的下侧，伸缩气缸24缸体端部通过铰轴铰接在平台板1上，伸缩气缸24的活塞杆端部通过铰轴铰接在下侧圆盘17下侧面的边沿位置。

平台板1上隔膜阀夹持工位设置有若干根与隔膜阀阀体下端螺孔一一对应的定位销轴25。当隔膜阀放置在平台板1上侧的隔膜阀工位时，几根定位销轴25插入到隔膜阀下端的螺孔内，可以有效防止隔膜阀在加工过程中的周向旋转，从而进一步减少了夹具径向夹持力度的需求。如图7所示，定位销轴25竖直设置且定位销轴25的下端固定在平台板1上侧，定位销轴25的上端为半球形结构，定位销轴25为上端封闭的空心管状结构，定位销轴25内设置有气囊26，定位销轴25的侧面开有若干个条形孔27，条形孔27沿定位销轴25的长度方向设置并且若干个条形孔27沿着定位销轴25的周向等间距分布。当隔膜阀下端螺孔插入到定位销轴25时，由于为了便于插入，定位销轴25的直径是略小于隔膜阀下端螺孔的直径的，此时通过气管向气囊26内填充空气使气囊26膨胀并从条形孔27中凸出，在膨胀过程中可以对螺孔位置进行自动校正定位，也能够进一步提高定位销轴25对隔膜阀的固定效果。

如图1所示，纵向驱动机构包含纵向螺杆28、两根纵向滑竿29、纵向第一固定板30、纵向第二固定板31、纵向螺杆驱动电机32、两根纵向滑轨33和纵向底板34，纵向螺杆28沿水平面纵向设置并且纵向螺杆28的两端分别转动设置在纵向第一固定板30和纵向第二固定板31上，两根纵向滑竿29平行设置在纵向螺杆28的两侧并且纵向滑竿29的两端分别固定在纵向第一固定板30和纵向第二固定板31上，纵向螺杆28的一端与纵向螺杆驱动电机32连接由纵向螺杆驱动电机32驱动，平台板1的下侧套设在纵向螺杆28上与纵向螺杆28螺纹连接，平台板1的下侧还套设在两根纵向滑竿29上与纵向滑竿29滑动连接，两根纵向滑轨33平行固定在纵向第一固定板30和纵向第二固定板31的两端，平台板1的下侧通过滑套滑动设置在两根纵向滑轨33上，纵向第一固定板30、纵向第二固定板31、纵向螺杆驱动电机32和两根纵向滑轨33分别固定在纵向底板上。通过纵向螺杆驱动电机32驱动纵向螺杆28旋转，从而带动平台板1沿着两根纵向滑竿29和两根纵向滑轨33来回滑动，纵向滑竿29对平台板1滑动的横向进行支承限位，纵向滑轨33对平台板1的竖直方向进行支承，形成稳固的滑动支承结构，保证平台板1的结构的稳定性以及移动的精度。

横向驱动机构包含横向螺杆35、两根横向滑竿36、横向第一固定板37、横向第二固定板38、横向螺杆驱动电机39和两根横向滑轨40，横向螺杆35沿水平面横向设置并且横向螺杆35的两端分别转动设置在横向第一固定板37和横向第二固定板38上，两根横向滑竿36平行设置在横向螺杆35的两侧并且横向滑竿36的两端分别固定在横向第一固定板37和横向第二固定板38上，横向螺杆35的一端与横向螺杆驱动电机39连接由横向螺杆驱动电机39驱动，纵向底板34的下侧套设在横向螺杆35上与横向螺杆35螺纹连接，纵向底板34的下侧还套设在两根横向滑竿36上与横向滑竿36滑动连接，两根横向滑轨40平行固定在横向第一固定板37和横向第二固定板38的两端，纵向底板34的下侧通过滑套滑动设置在两根横向滑轨40上。通过横向螺杆驱动电机39驱动横向螺杆35旋转，从而带动纵向底板34沿着两根横向滑竿36和两根横向滑轨40来回滑动，横向滑竿36对纵向底板34滑动的横向进行支承限位，横向滑轨40对纵向底板34的竖直方向进行支承，形成稳固的滑动支承结构，保证纵向底板34的结构的稳定性以及移动的精度。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质，在本发明的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本发明技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：包含平台板、纵向驱动机构、横向驱动机构、若干隔膜阀夹具和隔膜阀夹具径向驱动机构，平台板设置在纵向驱动机构上由纵向驱动机构驱动沿水平面纵向移动，纵向驱动机构设置在横向驱动机构上由横向驱动机构驱动沿水平面横向移动，若干隔膜阀夹具呈环形分布在隔膜阀夹持工位外侧平台板上并且由隔膜阀夹具径向驱动机构驱动沿平台板的径向移动，隔膜阀夹具的上端设置有上侧压板，上侧压板由上侧压板驱动机构驱动沿竖直方向升降。

2.根据权利要求1所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述隔膜阀夹具包含L型夹具本体和夹具弹性垫，L型夹具本体下侧与隔膜阀夹具径向驱动机构连接，夹具弹性垫固定在L型夹具本体面向隔膜阀的内侧面上。

3.根据权利要求1或2所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述上侧压板包含L型压板板体和压板弹性垫，隔膜阀夹具上端开有沿竖直方向的压板槽，L型压板板体的一侧竖直插入隔膜阀夹具上端压板槽内并且与压板槽滑动连接，L型压板板体与隔膜阀夹具内的上侧压板驱动机构驱动，压板弹性垫固定在L型压板板体另一侧的下侧面上。

4.根据权利要求3所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述上侧压板驱动机构包含驱动块，隔膜阀夹具的内侧面上开有贯穿隔膜阀夹具内侧面以及压板槽的驱动块槽道，驱动块的外侧设置有凸起于驱动块的驱动块凸环，驱动块槽道为阶梯状槽道且驱动块槽道分别与驱动块凸环以及驱动块的本体匹配，驱动块位于隔膜阀夹具内的一端为楔形结构，L型压板板体对应驱动块端部位置开有与驱动块端部楔形结构匹配的楔形凹槽，L型压板板体的下端设置有凸起于L型压板板体的压板凸环，压板槽也为阶梯槽且分别与L型压板板体和压板凸环匹配，L型压板板体的下端套设有一个弹簧，弹簧位于压板凸环与压板槽底部之间。

5.根据权利要求1所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述隔膜阀夹具径向驱动机构包含上侧圆盘、下侧圆盘和下侧圆盘驱动机构，上侧圆盘通过支架固定在平台板的上方，下侧圆盘位于上侧圆盘的下侧并且与上侧圆盘同心设置，下侧圆盘通过中心转轴转动设置在平台板上侧，下侧圆盘与下侧圆盘驱动机构连接由下侧圆盘驱动机构驱动以中心转轴为圆形转动，上侧圆盘上开有数量与隔膜阀夹具相等的若干径向滑槽，径向滑槽沿上侧圆盘的径向设置并且若干径向滑槽沿着上侧圆盘的周向均匀分布，下侧圆盘上开有数量与隔膜阀夹具相等的若干弧形滑槽并且若干弧形滑槽沿着下侧圆盘的周向均匀分布，隔膜阀夹具的下端固定有一根竖直销轴，竖直销轴下端分别穿过上侧圆盘的径向滑槽和下侧圆盘的弧形滑槽并且竖直销轴滑动设置在径向滑槽和弧形滑槽内。

6.根据权利要求5所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述下侧圆盘驱动机构包含伸缩气缸，伸缩气缸水平设置在下侧圆盘的下侧，伸缩气缸缸体端部通过铰轴铰接在平台板上，伸缩气缸的活塞杆端部通过铰轴铰接在下侧圆盘下侧面的边沿位置。

7.根据权利要求1所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述平台板上隔膜阀夹持工位设置有若干根与隔膜阀阀体下端螺孔一一对应的定位销轴。

8.根据权利要求8所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述定位销轴竖直设置且定位销轴的下端固定在平台板上侧，定位销轴的上端为半球形结构，定位销轴为上端封闭的空心管状结构，定位销轴内设置有气囊，定位销轴的侧面开有若干个条形孔，条形孔沿定位销轴的长度方向设置并且若干个条形孔沿着定位销轴的周向等间距分布。

9.根据权利要求1所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述纵向驱动机构包含纵向螺杆、两根纵向滑竿、纵向第一固定板、纵向第二固定板、纵向螺杆驱动电机、两根纵向滑轨和纵向底板，纵向螺杆沿水平面纵向设置并且纵向螺杆的两端分别转动设置在纵向第一固定板和纵向第二固定板上，两根纵向滑竿平行设置在纵向螺杆的两侧并且纵向滑竿的两端分别固定在纵向第一固定板和纵向第二固定板上，纵向螺杆的一端与纵向螺杆驱动电机连接由纵向螺杆驱动电机驱动，平台板的下侧套设在纵向螺杆上与纵向螺杆螺纹连接，平台板的下侧还套设在两根纵向滑竿上与纵向滑竿滑动连接，两根纵向滑轨平行固定在纵向第一固定板和纵向第二固定板的两端，平台板的下侧通过滑套滑动设置在两根纵向滑轨上，纵向第一固定板、纵向第二固定板、纵向螺杆驱动电机和两根纵向滑轨分别固定在纵向底板上。

10.根据权利要求9所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述横向驱动机构包含横向螺杆、两根横向滑竿、横向第一固定板、横向第二固定板、横向螺杆驱动电机和两根横向滑轨，横向螺杆沿水平面横向设置并且横向螺杆的两端分别转动设置在横向第一固定板和横向第二固定板上，两根横向滑竿平行设置在横向螺杆的两侧并且横向滑竿的两端分别固定在横向第一固定板和横向第二固定板上，横向螺杆的一端与横向螺杆驱动电机连接由横向螺杆驱动电机驱动，纵向底板的下侧套设在横向螺杆上与横向螺杆螺纹连接，纵向底板的下侧还套设在两根横向滑竿上与横向滑竿滑动连接，两根横向滑轨平行固定在横向第一固定板和横向第二固定板的两端，纵向底板的下侧通过滑套滑动设置在两根横向滑轨上。

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