CN114699851A - 一种多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多晶硅制备用的废气处理装置，包括安装架和固定在安装架顶部的支架，所述支架上固定安装有反应炉，所述反应炉的顶部连通有排气管，所述安装架的顶部从后至前依次固定有热回收罐、过滤罐、净化罐，所述热回收罐的左侧连通有高温引风机，所述高温引风机的进风口与排气管的一端连通，本发明涉及多晶硅制备技术领域。该多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法，通过抖动防堵机构的设置，便于利用高温引风机带动废气流动产生的气流作为动力，进而实现过滤网的往复震动，有效减少杂质堆积在过滤网上，减少工作人员的工作量，通过热量回收机构的设置，便于对废气中的热量进行回收利用，有效减少热量的流失。
Description
技术领域
本发明涉及多晶硅制备技术领域，具体为一种多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法。
背景技术
多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。利用价值:从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势。灰色金属光泽。密度2.32～2.34。熔点1410℃。沸点2355℃。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂。加热至800℃以上即有延性，1300℃时显出明显变形。常温下不活泼，高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，能与几乎任何材料作用。具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，但微量的杂质即可大大影响其导电性。电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。由干燥硅粉与干燥氯化氢气体在一定条件下氯化，再经冷凝、精馏、还原而得。
现有的多晶硅在进行制备时，会产生大量的废气，这些废气一般需要通过过滤才能排放，但在过滤过程中，废气中的杂质易造成滤网的堵塞，人工处理工作量大，且废气中的热量得不到很好的回收利用，且废气一般需要得不到很好的净化，因此，本发明提出一种多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法，以解决上述提到的问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法，解决了现有的多晶硅在进行制备时，会产生大量的废气，这些废气一般需要通过过滤才能排放，但在过滤过程中，废气中的杂质易造成滤网的堵塞，人工处理工作量大，且废气中的热量得不到很好的回收利用，且废气一般需要得不到很好的净化的问题。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种多晶硅制备用的废气处理装置，包括安装架和固定在安装架顶部的支架，所述支架上固定安装有反应炉，所述反应炉的顶部连通有排气管，所述安装架的顶部从后至前依次固定有热回收罐、过滤罐、净化罐，所述热回收罐的左侧连通有高温引风机，所述高温引风机的进风口与排气管的一端连通，所述热回收罐与过滤罐之间通过第一导管连通，所述过滤罐与净化罐之间通过第二导管连通，所述过滤罐的内壁滑动有过滤网，所述过滤罐的内部设置有抖动防堵机构，所述热回收罐的内部设置有热量回收机构，所述净化罐上设置有净化排气机构。
所述抖动防堵机构包括转动安装在过滤罐内壁两侧之间的轻质转轴，所述轻质转轴的表面固定有轻质拂板，所述第一导管位于过滤罐内部的一端连通有风力集中罩，所述轻质转轴的表面固定有第一皮带轮，所述过滤罐内壁的两侧之间还转动有轻质转杆，所述轻质转杆的表面固定有第二皮带轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮的表面之间通过皮带传动连接，所述轻质转杆的表面固定有凸轮，所述过滤网的后方固定有与凸轮相接触的连接杆，所述过滤网的前方固定有第一磁块，所述过滤网的内壁固定有与第一磁块配合使用的第二磁块。
优选的，所述热量回收机构包括设置在热回收罐内部的螺旋导热管，所述螺旋导热管的一端贯穿热回收罐并与高温引风机的出风口连通。
优选的，所述螺旋导热管的另一端与第一导管的一端连通，所述热回收罐的内壁固定有保温层。
优选的，所述保温层采用环氧树脂材料制成，所述螺旋导热管采用二氧化硅材料制成
优选的，所述净化排气机构包括固定在净化罐内壁上方和下方的净化板，所述净化板设置有多个。
优选的，多个所述净化板交错等距设置，所述净化板为缺口圆形状，所述净化罐的左侧连通有排放管。
优选的，所述轻质拂板设置有多个，所述轻质拂板为“亅”形状。
优选的，所述热回收罐表面的上方连通有进水管，所述热回收罐的右侧的下方连通有放水管。
本发明还公开了一种多晶硅制备用的废气处理装置的使用方法，具体包括以下步骤:
S1、启动高温引风机，反应炉中产生的废气通过排气管进入至螺旋导热管内部，由螺旋导热管将废气中的热量传递至热回收罐中的水中，并使得热回收罐中的水升温，通过保温层对水进行保温处理；
S2、降温后的废气通过第一导管进入至过滤罐内部，由过滤网对废气中的杂质进行过滤处理，然后由于风力集中罩可将废气集中在一起吹向轻质拂板上，进而带动轻质转轴快速旋转，进一步通过第一皮带轮、第二皮带轮、皮带配合带动轻质转杆转动，进而带动凸轮转动，通过第一磁块和第二磁块配合带动过滤网前后震动，使得其表面的杂质能抖动掉落；
S3、过滤后的废气通过第二导管进入至净化罐内部，通过净化板多重净化后再通过排放管排放即可。
有益效果
本发明提供了一种多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法。与现有技术相比具备以下有益效果：
(1)、该多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法，通过在抖动防堵机构包括转动安装在过滤罐内壁两侧之间的轻质转轴，轻质转轴的表面固定有轻质拂板，第一导管位于过滤罐内部的一端连通有风力集中罩，轻质转轴的表面固定有第一皮带轮，过滤罐内壁的两侧之间还转动有轻质转杆，轻质转杆的表面固定有第二皮带轮，第一皮带轮与第二皮带轮的表面之间通过皮带传动连接，轻质转杆的表面固定有凸轮，过滤网的后方固定有与凸轮相接触的连接杆，过滤网的前方固定有第一磁块，通过抖动防堵机构的设置，便于利用高温引风机带动废气流动产生的气流作为动力，进而实现过滤网的往复震动，有效减少杂质堆积在过滤网上，减少工作人员的工作量。
(2)、该多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法，通过在热量回收机构包括设置在热回收罐内部的螺旋导热管，螺旋导热管的一端贯穿热回收罐并与高温引风机的出风口连通，螺旋导热管的另一端与第一导管的一端连通，热回收罐的内壁固定有保温层，通过热量回收机构的设置，便于对废气中的热量进行回收利用，有效减少热量的流失。
(3)、该多晶硅制备用的废气处理装置及其使用方法，通过在净化排气机构包括固定在净化罐内壁上方和下方的净化板，净化板设置有多个，多个净化板交错等距设置，净化板为缺口圆形状，净化罐的左侧连通有排放管，通过净化排气机构的设置，便于对废气进行多重净化，延长净化时间，提高废气净化质量。
附图说明
图1为本发明结构的立体图；
图2为本发明过滤罐内部结构的示意图；
图3为本发明抖动防堵机构局部结构的示意图；
图4为本发明热回收罐内部结构的示意图；
图5为本发明净化罐内部结构的示意图。
图中：1-安装架、2-支架、3-反应炉、4-排气管、5-热回收罐、6-过滤罐、7-净化罐、8-高温引风机、9-第一导管、10-过滤网、11-抖动防堵机构、111-轻质转轴、112-轻质拂板、113-风力集中罩、114-第一皮带轮、115-轻质转杆、116-第二皮带轮、117-凸轮、118-连接杆、119-第一磁块、1110-第二磁块、1111-皮带、12-热量回收机构、121-螺旋导热管、122-保温层、13-净化排气机构、131-净化板、132-排放管、14-进水管、15-放水管、16-第二导管。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：一种多晶硅制备用的废气处理装置，包括安装架1和固定在安装架1顶部的支架2，支架2上固定安装有反应炉3，反应炉3的顶部连通有排气管4，安装架1的顶部从后至前依次固定有热回收罐5、过滤罐6、净化罐7，热回收罐5的左侧连通有高温引风机8，与外部电源电性连接并通过控制开关进行控制，高温引风机8的进风口与排气管4的一端连通，热回收罐5与过滤罐6之间通过第一导管9连通，过滤罐6与净化罐7之间通过第二导管16连通，过滤罐6的内壁滑动有过滤网10，过滤罐6的内部设置有抖动防堵机构11，热回收罐5的内部设置有热量回收机构12，净化罐7上设置有净化排气机构13。
抖动防堵机构11包括转动安装在过滤罐6内壁两侧之间的轻质转轴111，轻质转轴111的表面固定有轻质拂板112，第一导管9位于过滤罐6内部的一端连通有风力集中罩113，轻质转轴111的表面固定有第一皮带轮114，过滤罐6内壁的两侧之间还转动有轻质转杆115，轻质转杆115的表面固定有第二皮带轮116，第一皮带轮114与第二皮带轮116的表面之间通过皮带1111传动连接，轻质转杆115的表面固定有凸轮117，过滤网10的后方固定有与凸轮117相接触的连接杆118，过滤网10的前方固定有第一磁块119，过滤网10的内壁固定有与第一磁块119配合使用的第二磁块1110，第一磁块119与第二磁块1110相互靠近的一侧为同性磁极。
本发明实施例中，热量回收机构12包括设置在热回收罐5内部的螺旋导热管121，螺旋导热管121的一端贯穿热回收罐5并与高温引风机8的出风口连通。
本发明实施例中，螺旋导热管121的另一端与第一导管9的一端连通，热回收罐5的内壁固定有保温层122。
本发明实施例中，保温层122采用环氧树脂材料制成，螺旋导热管121采用二氧化硅材料制成
本发明实施例中，净化排气机构13包括固定在净化罐7内壁上方和下方的净化板131，净化板131设置有多个。
本发明实施例中，多个净化板131交错等距设置，净化板131为缺口圆形状，净化罐7的左侧连通有排放管132。
本发明实施例中，轻质拂板112设置有多个，轻质拂板112为“亅”形状，便于被气流带动。
本发明实施例中，热回收罐5表面的上方连通有进水管14，热回收罐5的右侧的下方连通有放水管15。
本发明还公开了一种多晶硅制备用的废气处理装置的使用方法，具体包括以下步骤:
S1、启动高温引风机8，反应炉3中产生的废气通过排气管4进入至螺旋导热管121内部，由螺旋导热管121将废气中的热量传递至热回收罐5中的水中，并使得热回收罐5中的水升温，通过保温层122对水进行保温处理；
S2、降温后的废气通过第一导管9进入至过滤罐6内部，由过滤网10对废气中的杂质进行过滤处理，然后由于风力集中罩113可将废气集中在一起吹向轻质拂板112上，进而带动轻质转轴111快速旋转，进一步通过第一皮带轮114、第二皮带轮116、皮带1111配合带动轻质转杆115转动，进而带动凸轮117转动，通过第一磁块119和第二磁块1110配合带动过滤网10前后震动，使得其表面的杂质能抖动掉落；
S3、过滤后的废气通过第二导管16进入至净化罐7内部，通过净化板131多重净化后再通过排放管132排放即可。
同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (9)
1.一种多晶硅制备用的废气处理装置，包括安装架(1)和固定在安装架(1)顶部的支架(2)，其特征在于：所述支架(2)上固定安装有反应炉(3)，所述反应炉(3)的顶部连通有排气管(4)，所述安装架(1)的顶部从后至前依次固定有热回收罐(5)、过滤罐(6)、净化罐(7)，所述热回收罐(5)的左侧连通有高温引风机(8)，所述高温引风机(8)的进风口与排气管(4)的一端连通，所述热回收罐(5)与过滤罐(6)之间通过第一导管(9)连通，所述过滤罐(6)与净化罐(7)之间通过第二导管(16)连通，所述过滤罐(6)的内壁滑动有过滤网(10)，所述过滤罐(6)的内部设置有抖动防堵机构(11)，所述热回收罐(5)的内部设置有热量回收机构(12)，所述净化罐(7)上设置有净化排气机构(13)；
所述抖动防堵机构(11)包括转动安装在过滤罐(6)内壁两侧之间的轻质转轴(111)，所述轻质转轴(111)的表面固定有轻质拂板(112)，所述第一导管(9)位于过滤罐(6)内部的一端连通有风力集中罩(113)，所述轻质转轴(111)的表面固定有第一皮带轮(114)，所述过滤罐(6)内壁的两侧之间还转动有轻质转杆(115)，所述轻质转杆(115)的表面固定有第二皮带轮(116)，所述第一皮带轮(114)与第二皮带轮(116)的表面之间通过皮带(1111)传动连接，所述轻质转杆(115)的表面固定有凸轮(117)，所述过滤网(10)的后方固定有与凸轮(117)相接触的连接杆(118)，所述过滤网(10)的前方固定有第一磁块(119)，所述过滤网(10)的内壁固定有与第一磁块(119)配合使用的第二磁块(1110)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述热量回收机构(12)包括设置在热回收罐(5)内部的螺旋导热管(121)，所述螺旋导热管(121)的一端贯穿热回收罐(5)并与高温引风机(8)的出风口连通。
3.根据权利要求2所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述螺旋导热管(121)的另一端与第一导管(9)的一端连通，所述热回收罐(5)的内壁固定有保温层(122)。
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述保温层(122)采用环氧树脂材料制成，所述螺旋导热管(121)采用二氧化硅材料制成。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述净化排气机构(13)包括固定在净化罐(7)内壁上方和下方的净化板(131)，所述净化板(131)设置有多个。
6.根据权利要求5所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：多个所述净化板(131)交错等距设置，所述净化板(131)为缺口圆形状，所述净化罐(7)的左侧连通有排放管(132)。
7.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述轻质拂板(112)设置有多个，所述轻质拂板(112)为“亅”形状。
8.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：所述热回收罐(5)表面的上方连通有进水管(14)，所述热回收罐(5)的右侧的下方连通有放水管(15)。
9.如根据权利要求1-8任意一项所述的一种多晶硅制备用的废气处理装置，其特征在于：其使用方法具体包括以下步骤:
S1、启动高温引风机(8)，反应炉(3)中产生的废气通过排气管(4)进入至螺旋导热管(121)内部，由螺旋导热管(121)将废气中的热量传递至热回收罐(5)中的水中，并使得热回收罐(5)中的水升温，通过保温层(122)对水进行保温处理；
S2、降温后的废气通过第一导管(9)进入至过滤罐(6)内部，由过滤网(10)对废气中的杂质进行过滤处理，然后由于风力集中罩(113)可将废气集中在一起吹向轻质拂板(112)上，进而带动轻质转轴(111)快速旋转，进一步通过第一皮带轮(114)、第二皮带轮(116)、皮带(1111)配合带动轻质转杆(115)转动，进而带动凸轮(117)转动，通过第一磁块(119)和第二磁块(1110)配合带动过滤网(10)前后震动，使得其表面的杂质能抖动掉落；
S3、过滤后的废气通过第二导管(16)进入至净化罐(7)内部，通过净化板(131)多重净化后再通过排放管(132)排放即可。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115178025A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-10-14 | 南通鑫聚集纺织科技有限公司 | 一种有机塑料纤维废料处理分离设备 |
| CN115463483A (zh) * | 2022-10-28 | 2022-12-13 | 江苏中研宜普科技有限公司 | 一种废气处理喷淋塔用离心除雾设备 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001087625A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-03 | Efutekku Kk | 排ガス処理装置 |
| CN211503741U (zh) * | 2020-01-15 | 2020-09-15 | 深圳东忠窑炉有限公司 | 一种高效处理废气的窑炉 |
| CN112044235A (zh) * | 2020-08-07 | 2020-12-08 | 潘兆声 | 一种基于voc废气治理技术用环保型废气净化机构 |
| CN212576002U (zh) * | 2020-05-11 | 2021-02-23 | 王媖 | 一种具有余热回收功能的环保用废气脱硫装置 |
| CN213699222U (zh) * | 2020-11-17 | 2021-07-16 | 连云港龙展环保科技有限公司 | 一种工业废气用安全性高的脱硝设备 |
| CN214276540U (zh) * | 2021-01-05 | 2021-09-24 | 石嘴山市长城碳素有限公司 | 一种环式培烧炉用余热回收再利用系统 |
| CN113499656A (zh) * | 2021-07-09 | 2021-10-15 | 杭州国泰环保科技股份有限公司 | 一种基于污泥干化的废气零排放系统及其控制方法 |
| CN215539269U (zh) * | 2021-06-24 | 2022-01-18 | 上海华励振环保科技有限公司 | 一种icr脱硝机组防堵塞装置 |
| CN215822721U (zh) * | 2021-08-16 | 2022-02-15 | 四川永祥新能源有限公司 | 一种多晶硅生产中尾气回收系统 |
-
2022
- 2022-03-21 CN CN202210276683.8A patent/CN114699851A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001087625A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-03 | Efutekku Kk | 排ガス処理装置 |
| CN211503741U (zh) * | 2020-01-15 | 2020-09-15 | 深圳东忠窑炉有限公司 | 一种高效处理废气的窑炉 |
| CN212576002U (zh) * | 2020-05-11 | 2021-02-23 | 王媖 | 一种具有余热回收功能的环保用废气脱硫装置 |
| CN112044235A (zh) * | 2020-08-07 | 2020-12-08 | 潘兆声 | 一种基于voc废气治理技术用环保型废气净化机构 |
| CN213699222U (zh) * | 2020-11-17 | 2021-07-16 | 连云港龙展环保科技有限公司 | 一种工业废气用安全性高的脱硝设备 |
| CN214276540U (zh) * | 2021-01-05 | 2021-09-24 | 石嘴山市长城碳素有限公司 | 一种环式培烧炉用余热回收再利用系统 |
| CN215539269U (zh) * | 2021-06-24 | 2022-01-18 | 上海华励振环保科技有限公司 | 一种icr脱硝机组防堵塞装置 |
| CN113499656A (zh) * | 2021-07-09 | 2021-10-15 | 杭州国泰环保科技股份有限公司 | 一种基于污泥干化的废气零排放系统及其控制方法 |
| CN215822721U (zh) * | 2021-08-16 | 2022-02-15 | 四川永祥新能源有限公司 | 一种多晶硅生产中尾气回收系统 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115178025A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-10-14 | 南通鑫聚集纺织科技有限公司 | 一种有机塑料纤维废料处理分离设备 |
| CN115463483A (zh) * | 2022-10-28 | 2022-12-13 | 江苏中研宜普科技有限公司 | 一种废气处理喷淋塔用离心除雾设备 |
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