CN102328929A - 一种碳化硅微粉提纯工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种碳化硅微粉提纯工艺，它包括以下步骤：步骤一，在带有滤网的反应釜中投入碳化硅粗品微粉、水和煤油，然后在常温下进行搅拌一段时间除去游离碳；步骤二，向反应釜中投入98％浓硫酸，升温并保温一段时间，保温结束后，在常温下加入氢氟酸并搅拌反应一段时间，然后用离心机离心，最后用水进行漂洗，得到湿品碳化硅；步骤三，对湿品碳化硅进行烘干，最后得到碳化硅干品。本发明提供的碳化硅微粉提纯工艺，生产出适合单晶硅切片使用要求的碳化硅微粉，适合工业规模生产，同时有利于生产的循环发展，节约成本，并且降低工业废弃物对环境造成的污染。
Description
技术领域
本发明涉及一种碳化硅微粉提纯工艺。
背景技术
碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、氯化钠为原料通过电阻炉高温冶炼而成。其中石英砂是天然产物，石油焦是石油提炼中的一种副产物，都含有大量的杂质，所以冶炼出来的碳化硅中含有大量的杂质，主要成分有游离碳、硅及二氧化硅、铁及氧化铁。单晶硅切片用的碳化硅微粉使用要求很高，质量指标为：碳化硅含量≥98.5％、游离碳≤0.5％、铁及氧化铁≤0.5％、硅及二氧化硅≤1％。单晶硅切片过程中，碳化硅中的游离碳、硅及二氧化硅、铁及氧化铁会对单晶硅片产生斑点、花印，严重影响单晶硅片质量。通过此工艺处理碳化硅，可以使碳化硅达到使用标准。
发明内容
本发明的目的是提供一种碳化硅微粉提纯工艺，生产出适合单晶硅切片使用要求的碳化硅微粉，适合工业规模生产，同时有利于生产的循环发展，节约成本，并且降低工业废弃物对环境造成的污染。
本发明采用了以下技术方案：一种碳化硅微粉提纯工艺，它包括以下步骤：步骤一，在带有滤网的反应釜中投入碳化硅粗品微粉、水和煤油，然后在常温下进行搅拌一段时间除去游离碳；步骤二，向反应釜中投入98％浓硫酸，升温并保温一段时间，保温结束后，在常温下加入氢氟酸并搅拌反应一段时间，然后用离心机离心，最后用水进行漂洗，得到湿品碳化硅；步骤三，对湿品碳化硅进行烘干，最后得到碳化硅干品。
所述步骤一中碳化硅微粉与水与煤油的质量比为1∶1∶0.001，所述滤网为200目的不锈钢滤网；所述步骤二中碳化硅微粉与浓硫酸与氢氟酸的质量比为1∶0.03∶0.02，加入浓硫酸后升温至60℃并保温4小时，加入氢氟酸后搅拌反应2小时；所述步骤三中采用闪蒸烘干设备进行烘干，进风口温度为250℃，出料口温度120℃。
本发明具有以下有益效果：本发明提供的碳化硅微粉提纯工艺，生产出适合单晶硅切片使用要求的碳化硅微粉，适合工业规模生产，同时有利于生产的循环发展，节约成本，并且降低工业废弃物对环境造成的污染。
具体实施方式
本发明提供了一种碳化硅微粉提纯工艺，它包括以下步骤：步骤一，在带有滤网的反应釜中投入碳化硅粗品微粉、水和煤油，碳化硅微粉与水与煤油的质量比为1∶1∶0.001，所述滤网为200目的不锈钢滤网，然后在常温下进行搅拌一段时间除去游离碳；步骤二，向反应釜中投入98％浓硫酸，升温至60℃并保温4小时，保温结束后，在常温下加入氢氟酸并搅拌反应2小时，碳化硅微粉与浓硫酸与氢氟酸的质量比为1∶0.03∶0.02，然后用离心机离心，最后用水进行漂洗，得到湿品碳化硅；步骤三，对湿品碳化硅进行烘干，最后得到碳化硅干品，所述步骤三中采用闪蒸烘干设备进行烘干，进风口温度为250℃，出料口温度120℃。
实施例
原料碳化硅微粉粗品1000kg，含杂质：游离碳1.1％、铁及氧化铁1.7％、硅及二氧化硅2.2％。
1、除游离碳，在3000L不锈钢带夹套反应釜中投入1000kg碳化硅粗品微粉和水1000kg和1kg煤油，常温下进行搅拌。在液面位置安装200目不锈钢滤网，煤油与水的密度不同，可以使游离碳浮在液面的表面，在搅拌条件下，游离碳被过滤在200目滤网上。捞碳2小时后，液面基本没有黑色游离碳。
2、除铁及氧化铁、硅及二氧化硅，在该反应釜中继续投入30kg98％浓硫酸，升温至60℃，并保温4小时，保温结束后，再降温至室温，加入氢氟酸20kg，搅拌反应2小时，离心机离心，并用30kg水漂洗，得湿品碳化硅1025kg。
3、闪蒸烘干及除灰尘，闪蒸烘干设备利用导热油加热鼓风机吹进的空气，进风口温度升温至250℃，将纯碳化硅湿品1025kg分批投入闪蒸机，出料口温度120℃，得到碳化硅干品948kg。
取样品检测：碳化硅含量99.28％、游离碳含量0.21％、铁及氧化铁含量0.16％、硅及二氧化硅含量0.35％，满足单晶硅切片使用标准。
Claims (4)
1.一种碳化硅微粉提纯工艺，其特征是它包括以下步骤：
步骤一，在带有滤网的反应釜中投入碳化硅粗品微粉、水和煤油，然后在常温下进行搅拌一段时间除去游离碳；
步骤二，向反应釜中投入98％浓硫酸，升温并保温一段时间，保温结束后，在常温下加入氢氟酸并搅拌反应一段时间，然后用离心机离心，最后用水进行漂洗，得到湿品碳化硅；
步骤三，对湿品碳化硅进行烘干，最后得到碳化硅干品。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅微粉提纯工艺，其特征是所述步骤一中碳化硅微粉与水与煤油的质量比为1∶1∶0.001，所述滤网为200目的不锈钢滤网。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅微粉提纯工艺，其特征是所述步骤二中碳化硅微粉与浓硫酸与氢氟酸的质量比为1∶0.03∶0.02，加入浓硫酸后升温至60℃并保温4小时，加入氢氟酸后搅拌反应2小时。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅微粉提纯工艺，其特征是所述步骤三中采用闪蒸烘干设备进行烘干，进风口温度为250℃，出料口温度120℃。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102923706A (zh) * | 2012-11-29 | 2013-02-13 | 江苏乐园新材料集团有限公司 | 一种提高分散性的碳化硅微粉的制备方法 |
| CN105004642A (zh) * | 2015-06-19 | 2015-10-28 | 山田研磨材料有限公司 | 线切割刃料中碳化硅微粉大颗粒的检查方法 |
| CN105948755A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-09-21 | 山田研磨材料有限公司 | 无压烧结用碳化硅微粉的生产方法 |
| CN105948055A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-09-21 | 山田研磨材料有限公司 | 半导体用高纯碳化硅微粉的提纯方法 |
| CN107021489A (zh) * | 2017-06-18 | 2017-08-08 | 新郑市宝德高技术有限公司 | 一种回收碳化硅微粉的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1689718A (zh) * | 2004-04-21 | 2005-11-02 | 尹克胜 | 晶体加工废砂处理方法 |
| CN101920959A (zh) * | 2009-06-15 | 2010-12-22 | 南京工业大学 | 一种线切割用碳化硅微粉的提纯净化工艺 |
-
2011
- 2011-07-22 CN CN201110210841A patent/CN102328929A/zh active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1689718A (zh) * | 2004-04-21 | 2005-11-02 | 尹克胜 | 晶体加工废砂处理方法 |
| CN101920959A (zh) * | 2009-06-15 | 2010-12-22 | 南京工业大学 | 一种线切割用碳化硅微粉的提纯净化工艺 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102923706A (zh) * | 2012-11-29 | 2013-02-13 | 江苏乐园新材料集团有限公司 | 一种提高分散性的碳化硅微粉的制备方法 |
| CN102923706B (zh) * | 2012-11-29 | 2015-04-29 | 江苏乐园新材料集团有限公司 | 一种提高分散性的碳化硅微粉的制备方法 |
| CN105004642A (zh) * | 2015-06-19 | 2015-10-28 | 山田研磨材料有限公司 | 线切割刃料中碳化硅微粉大颗粒的检查方法 |
| CN105948755A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-09-21 | 山田研磨材料有限公司 | 无压烧结用碳化硅微粉的生产方法 |
| CN105948055A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-09-21 | 山田研磨材料有限公司 | 半导体用高纯碳化硅微粉的提纯方法 |
| CN105948055B (zh) * | 2016-05-30 | 2017-12-22 | 山田研磨材料有限公司 | 半导体用高纯碳化硅微粉的提纯方法 |
| CN105948755B (zh) * | 2016-05-30 | 2018-07-13 | 山田研磨材料有限公司 | 无压烧结用碳化硅微粉的生产方法 |
| CN107021489A (zh) * | 2017-06-18 | 2017-08-08 | 新郑市宝德高技术有限公司 | 一种回收碳化硅微粉的方法 |
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