CN114684642A - 一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于高真空的材料辐照实验装置，包括真空室和薄膜材料传输机，薄膜材料传输机包括放料轴和收卷机构，收卷机构包括收卷轴，放料轴和收卷轴一上一下竖直设置；放料轴上套设有放料筒，放料筒上预先卷有准备进行辐照实验的薄膜材料，收卷轴上套设有收卷筒；薄膜材料从放料筒上放料后，加速后的高能粒子束穿过真空室持续辐照薄膜材料，最后被高能粒子束辐照后的薄膜材料缠绕到收卷筒上。本发明公开了一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，在高真空环境下连续输送薄膜材料，且保证辐照过程中膜的平整无褶皱，通入高能粒子束进行薄膜材料辐照实验，可用于薄膜材料的连续辐照实验，效率高，性能稳定、可靠。

Description

一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置

技术领域

本发明属于高能粒子束辐照技术领域，具体涉及一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置。

背景技术

随着核科学技术的发展，辐射在材料科学中的应用日益广泛。辐射应用于材料上，可在材料改性、抗辐射特性等多个方面开展研究。粒子束对材料进行辐照已是当下的研究热点之一，在新材料的研究开发中发挥越来越重要的作用。

薄膜材料辐照实验采用经加速器加速的高能粒子束对薄膜材料进行辐照，并要求在真空环境中进行。然而，薄膜材料在输送过程容易出现起皱、跑偏和缠绕，如果不及时地纠正，就会越缠越多，直接影响到辐照射域膜材料的平整性，导致辐照过程不能进行，从而不得不停机调整，严重影响实验结果和降低实验效率。

总之，现有的传送机构只能在一般大气环境下进行薄膜材料的传输，而不能满足在真空环境下进行薄膜材料的辐照实验，同时无法保证辐照射域薄膜材料在运输过程中的平整性。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，用于解决不能在真空环境下进行薄膜材料的辐照实验且保证辐照射域膜材料的平整性的问题。

本发明提供一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，包括真空室，所述真空室内设置有薄膜材料传输机，所述薄膜材料传输机包括放料轴和收卷机构，所述收卷机构包括收卷轴，所述放料轴和所述收卷轴一上一下竖直设置；所述放料轴上套设有放料筒，所述放料筒上预先卷有准备进行辐照实验的薄膜材料，所述收卷轴上套设有收卷筒；薄膜材料从放料筒上放料后，加速后的高能粒子束穿过所述真空室对薄膜材料进行持续辐照，最后被高能粒子束辐照后的薄膜材料缠绕到收卷筒上。

优选地，所述薄膜材料传输机还包括舒展张平机构，所述舒展张平机构包括上滚筒和下滚筒，其中所述上滚筒靠近所述放料轴设置，所述下滚筒靠近所述收卷轴设置；薄膜材料从放料筒上放料后，进入舒展张平机构的上滚筒和下滚筒并舒展张平，最后缠绕到收卷筒上；高能粒子束穿过所述真空室内对所述上滚筒和所述下滚筒之间舒展张平的薄膜材料进行持续辐照。

优选地，所述舒展张平机构还包括上水平杆和下水平杆，所述上水平杆和所述下水平杆垂直固定于支架的真空室固定板上，且上水平杆位于放料轴之后、下水平杆位于收卷轴之前；所述上滚筒和所述下滚筒分别套设于上水平杆和下水平杆上。

优选地，所述放料轴位于上滚筒的下方，且所述放料轴和所述上滚筒之间设置有过度轴。

优选地，所述薄膜材料传输机还包括支架，所述支架包括一块真空室固定板、一块支架连接板和一块悬臂板，所述真空室固定板的底边与所述支架连接板的侧边垂直固定连接，所述悬臂板与所述支架连接板位于同一平面且所述悬臂板的端部与所述支架连接板的端部垂直固定连接；其中，所述支架的真空室固定板通过螺栓固定于真空室的内壁上；所述放料轴和所述收卷轴垂直设置有所述支架的真空室固定板的上下两端。

优选地，所述上水平杆和所述下水平杆的内端固定于支架的真空室固定板上，所述上水平杆和所述下水平杆的外端之间通过连接板相连，所述上水平杆、所述真空室固定板、所述下水平杆和所述连接板共同形成平行四边形，以保证薄膜材料经过舒展张平机构时舒展张平。

优选地，所述放料轴的固定端与所述真空室固定板的连接处设置有制动器，所述制动器固定于支架的真空室固定板上，所述放料轴的固定端设置于制动器内。

优选地，所述收卷机构还包括收卷电机、收卷齿轮组、固定板和收卷筒，收卷电机和固定板均固定于支架上，其中，收卷电机固定于支架连接板的外侧面，固定板固定于支架连接板的内侧面；所述收卷轴的动力输入端穿过固定板，所述收卷轴的动力输入端与所述固定板通过轴承连接；收卷齿轮组包括第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮固定在收卷电机的输出轴上，收卷轴的动力输入端设置有第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮相互啮合；收卷筒套设在收卷轴上，收卷电机通过收卷齿轮组带动收卷轴转动，促使薄膜材料被不断的缠绕到收卷筒上。

优选地，所述薄膜材料传输机还包括纠偏机构，所述纠偏机构设置于放料轴的外侧，包括浮动板、纠偏电机、纠偏齿轮组、丝杠螺母调节组件、导轨滑块组件、光信号传感器和控制器，纠偏电机固定于支架的悬臂板的外侧面，纠偏电机的输出轴上固定有第三齿轮，支架的悬臂板的纠偏电机的安装处设置有齿轮穿孔，第三齿轮部分穿过该齿轮穿孔，丝杠螺母调节组件包括丝杠、螺母和调节座，丝杠的两端通过支撑座固定于支架的悬臂板的内表面，丝杠的动力输入端设置有第四齿轮，第三齿轮和第四齿轮相互啮合组成所述纠偏齿轮组；丝杠上设置有螺母，螺母通过法兰连接有调节座；调节座至少有一面为平面作为纠偏面，调节座的纠偏面紧贴于浮动板的外侧面且纠偏面与浮动板固定连接；浮动板平行设置于支架的悬臂板；导轨滑块组件包括两根导轨，每个导轨配置有两个滑块，所述滑块固定于浮动板的外侧面，每个导轨平行固定于支架的水平部的内表面，且导轨与丝杠相互平行；光信号传感器设置于支架的真空室固定板上，且光信号传感器的信号发射口与薄膜材料边缘对齐；光信号传感器和纠偏电机均与控制器相连。

优选地，所述螺母和所述调节座一体成型。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

(1)本发明公开的一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，能在真空环境下连续输送薄膜材料，通过自由滚动的四边形框架式的舒展张平机构保证对辐照区域的薄膜材料充分的舒展张平，保证辐照区域薄膜材料的平整无褶皱，以实现在辐照实验中对薄膜材料进行连续的输送，一次安装可进行长时间的辐照实验，节省束流时间，提高辐照实验效率。

(2)本发明公开了一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，纠偏机构可以带动放料轴和过度轴实时的移动纠偏，有效保证薄膜材料输送过程的跑偏和褶皱，从而保证薄膜材料输送过程中的均匀平整。

(3)本发明公开了一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，在收卷电机的带动下收料轴可连续旋转收料实现薄膜材料的连续辐照，放料轴和收卷筒便于拆卸，保证辐照和实验研究可同时进行，大大提高了辐照实验效率。

(4)本发明公开了一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，在高真空环境下对薄膜材料进行平整连续输送，并通入高能粒子束进行薄膜材料辐照实验，能够保证薄膜材料辐照实验的顺利进行，且拥有较高的辐照实验效率，可用于薄膜材料的连续辐照实验，效率高，性能稳定、可靠。

附图说明

图1是本发明实施例1提供的薄膜材料辐照实验装置的正面视图；

图2是本发明实施例1提供的薄膜材料辐照实验装置的左视图，其中为了能看到粒子束辐照薄膜材料的状态，拆下了加速器对接口；

图3是本发明实施例1提供的薄膜材料辐照实验装置的右视图；

图4是本发明实施例1提供的真空室半剖状态的立体三维视图；

图5是本发明实施例1提供的有薄膜材料工作时的薄膜材料传输机的结构示意图；

图6是本发明实施例1提供的无薄膜材料工作时的薄膜材料传输机的结构示意图；

图7是本发明实施例1提供的支架的结构示意图；

图8是本发明实施例1提供的薄膜材料传输机的背面视图；

图9是本发明实施例1提供的纠偏机构的结构示意图。

附图标记说明：100-真空室，101-真空室支架，102-加速器对接口，103-粒子束出口，104-换料窗，105-真空计接口，106-离子泵对接口，107-第一分子泵对接口，108-第二分子泵对接口；200-支架，201-真空室固定板，202-支架连接板，203-悬臂板；300-薄膜材料；1-放料轴，11-放料筒，12-制动器；2-过度轴；3-舒展张平机构，31-上水平杆，32-下水平杆，33-上滚筒，34-下滚筒，35-连接板；4-收卷机构，40-收卷轴，41-收卷电机，42-收卷齿轮组；5-纠偏机构，50-浮动板，51-纠偏电机，52-纠偏齿轮组，53-丝杠丝母组件，531-丝杠，532-螺母，533-调节座；54-导轨滑块组件，55-光信号传感器。

具体实施方式

首先，需要说明的是，本文中的由“前”至“后”的方向指的是薄膜材料300从放料轴1发料至收卷轴40收料的方向。术语“上”、“下”、“前”、“后”“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的系统或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，使用术语“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对上述零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明公开的一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，通过自由滚动的四边形框架式的舒展张平机构对辐照区域的薄膜材料充分的舒展张平，保证辐照区域薄膜材料的平整无褶皱，通过真空室制造真空环境，实现了薄膜材料进行连续输送的同时进行辐照实验。

实施例1

实施例1提供一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，下面结合附图对其结构进行详细描述。

参考图1至图4，该用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置包括真空室100，真空室100内设置有薄膜材料传输机。

其中，真空室100用于制造真空环境。

具体地，真空室100下面配置有真空室支架101，该真空室支架101的高度可调，用于承载真空室100，以方便真空室100与加速器管道可调对接。

真空室100为箱体结构，具有六个面，其中真空室100两个相对的侧面分别设置有加速器对接口102和粒子束出口103，加速后的高能粒子束从加速器对接口102射入，穿过真空室100后，从粒子束出口103流出，形成对真空室100内持续辐照，粒子束出口103可安装束诊探测器，用于监测粒子束流的剖面和流强，也可以安装粒子束流收集桶，用于收集粒子束流。

真空室100另一相对的两个侧面中的一个侧面上分别设置有换料窗104，换料窗104可开启，用于观察真空室100的粒子束照射情况，以及收取完成辐射的薄膜材料300。

真空室100的底面上设置有第一分子泵对接口107、第二分子泵对接口108。第一分子泵对接口107、第二分子泵对接口108分别用于对接有分子泵，当需要获得高真空环境时，需要打开第一分子泵对接口107和第二分子泵对接口108的分子泵。

进一步地，真空室100的纠偏面上设置有真空计接口105和离子泵对接口106。真空计接口105用于设置真空计，以监测真空室100内部的真空状态，离子泵对接口106用于对接离子泵。当需要获得超高真空环境时，开启与离子泵对接口106对接的离子泵，可以获得更高的真空度。

具体地，换料窗104为可开启的密封玻璃门，当需要更换新或拆卸薄膜材料300时，打开换料窗104，从放料轴1上拆卸旧的放料筒11，重新安装卷有新薄膜材料300的新的放料筒11，同时拆卸已卷有薄膜材料300的收卷筒44，并更换新的收卷筒44，并将薄膜材料300前端少许卷到收卷筒44上，继续实验。

为了真空室100处于真空状态，且与加速器的真空度相近，通过真空室100上的第一分子泵对接口107、第二分子泵对接口108与分子泵、离子泵对接口106与离子泵相连获得真空。打开真空室100的上盖，安装薄膜材料传输机。

为了达到-3pa以上的真空，第一分子泵对接口107、第二分子泵对接口108分别安装分子泵，分子泵尾部串联有机械泵。为了获得真空先开启机械泵，当机械泵抽到真空度好于200mba时启动分子泵，分子泵工作时腔体内部真空度可达-3pa到-6pa，为了获得更高的真空度，需要在解决材料出气率的情况下开启离子泵最高可达-8pa。

参考图5和图6，薄膜材料传输机包括支架200、放料轴1、过度轴2、舒展张平机构3、收卷机构4和纠偏机构5，

支架200固定于真空室100的内壁上；

收卷机构4包括一收卷轴40，放料轴1和收卷轴40垂直固定于支架200的上下两端；

舒展张平机构3包括上滚筒33和下滚筒34，其中上滚筒33靠近放料轴1设置，下滚筒34靠近收卷轴40设置；

优选地，放料轴1位于上滚筒33的下方，为了使放料轴1的放料筒11上的薄膜材料300能够顺利达到上滚筒33，放料轴1和上滚筒33之间设置有过度轴2。

放料轴1上套设有放料筒11，放料筒11上预先卷有准备进行辐照实验的薄膜材料300，收卷轴40上套设有收卷筒44，薄膜材料300从放料筒11上放料后，经过过度轴2，进入舒展张平机构3的上滚筒33和下滚筒34并舒展张平，最后不断地缠绕到收卷轴40的收卷筒44上；期间，加速后的高能粒子束从加速器对接口102射入，并从粒子束出口103流出，穿过真空室100内对上滚筒33和下滚筒34之间舒展张平的薄膜材料300进行持续辐照。其中，被高能粒子束照射的薄膜材料300上的区域被称之为辐照区域301，如图2和图3所示。

具体地，参考图7，支架200包括一块真空室固定板201、一块支架连接板202和一块悬臂板203，

真空室固定板201的底边与支架连接板202的侧边垂直固定连接，悬臂板203与支架连接板202位于同一平面且悬臂板203的端部与支架连接板202的端部垂直固定连接。

其中，支架200的真空室固定板201通过螺栓固定于真空室100的内壁上。

继续参考图5和图6，放料轴1和收卷轴40垂直固定于支架200的真空室固定板201的上下两端。

为了保证薄膜材料300在输送过程中处于张紧状态，放料轴1的固定端与支架200的真空室固定板201的连接处设置有制动器12，制动器12包括磁粉制动器或弹簧机械式制动器。具体地，制动器12固定于支架200的真空室固定板201上，放料轴1的固定端设置于制动器12内。

为了方便拆卸，只需将卷有薄膜材料300的放料筒11套在放料轴1上并用螺纹进行紧固即可。为保证薄膜材料300的完整性，所有放料筒11外表面经过抛光处理，光滑无毛刺。

继续参考图5和图6，舒展张平机构3还包括上水平杆31和下水平杆32，上水平杆31和下水平杆32垂直固定于支架200的真空室固定板201上，且上水平杆31位于放料轴1之后、下水平杆32位于收卷轴40之前；

上滚筒33和下滚筒34分别套设于上水平杆31和下水平杆32上。

为了增强舒展张平机构3的稳定性，上水平杆31和下水平杆32的内端固定于支架200的真空室固定板201上，上水平杆31和下水平杆32的外端之间通过连接板35相连，上水平杆31、真空室固定板201、下水平杆32和连接板35共同形成平行四边形，可有效保证上滚筒33和下滚筒34之间的平行，从而保证薄膜材料300经过舒展张平机构3时舒展张平。

为了保证上滚筒33和下滚筒34分别在上水平杆31和下水平杆32上转动的灵活性和精准性，上水平杆31两端分别设置有轴承，上滚筒33设置于上水平杆31的轴承上，下水平杆32两端分别设置有轴承，下滚筒34设置于下水平杆32的轴承上，且轴承采用无油的自润滑陶瓷轴承，陶瓷轴承满足高真空要求。

参考图5、6和8，收卷机构4还包括收卷电机41、收卷齿轮组42、固定板43和收卷筒44，

收卷电机41和固定板43均固定于支架200上，具体地，收卷电机41固定于支架连接板202的外侧面，固定板43固定于支架连接板202的内侧面；

收卷轴40的动力输入端穿过固定板43，收卷轴40的动力输入端与固定板43通过轴承连接；

收卷齿轮组42包括第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮固定在收卷电机41的输出轴上，收卷轴40的动力输入端设置有第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮相互啮合。

收卷筒44套设在收卷轴40上，收卷电机41通过收卷齿轮组42带动收卷轴40及其上的收卷筒44转动，促使薄膜材料300被不断的缠绕到收卷筒44上。

当辐照实验完成后需要对已辐照完成的薄膜材料300进行测试时，拧松收卷轴40上的固定螺丝将收卷筒44取下，更换新的收卷筒44。可以对取下的收卷筒44上的被高能粒子束辐照后的薄膜材料300进行相关的测试研究。

继续参考图5和图6，纠偏机构5设置于放料轴1的外侧，并且放料轴1随着纠偏机构5一起移动。

具体地，参考图5、图8和图9，纠偏机构5包括浮动板50、纠偏电机51、纠偏齿轮组52、丝杠螺母调节组件53、导轨滑块组件54、光信号传感器55和控制器。

纠偏电机51固定于支架200的悬臂板203的外侧面，纠偏电机51的输出上固定有第三齿轮，支架200的悬臂板203的纠偏电机51的安装处设置有齿轮穿孔，第三齿轮部分穿过该齿轮穿孔，

丝杠螺母调节组件53包括丝杠531、螺母532和调节座533，为了满足真空中的无油、无润滑要求，选择丝杠螺母调节组件材料均为全金属。

丝杠531的两端通过支撑座固定于支架200的悬臂板203的内表面，丝杠531的动力输入端设置有第四齿轮，第三齿轮和第四齿轮相互啮合组成纠偏齿轮组52；

丝杠531上设置有螺母532，螺母532通过法兰连接有调节座533；调节座533至少有一面为平面作为纠偏面，调节座533的纠偏面紧贴于浮动板50的外侧面且纠偏面与浮动板50固定连接，具体地，纠偏面与浮动板50相焊接；

浮动板50平行设置于支架200的悬臂板203；

导轨滑块组件54包括两根导轨，每个导轨配置有两个滑块，滑块固定于浮动板50的外侧面，每个导轨平行固定于支架200的悬臂板203的内表面，且导轨与丝杠531相互平行；

其中这里的外侧面的“外”指的是背离放料筒11的方向，内表面的“内”指的是朝向放料筒11的方向。

光信号传感器55设置于支架200的真空室固定板201上，包括两个光纤头，两个光纤头的信号发射口与薄膜材料300边缘对齐，光信号传感器的光纤头两两相对，用于感应光信号；

光信号传感器55、纠偏电机51均与控制器相连。

优选地，螺母532和调节座533一体成型，优选六角螺栓。

纠偏机构5用于纠正薄膜材料300输送过程中因放料筒11上的薄膜材料300不齐造成的跑偏，跑偏会累积进而造成薄膜材料300的褶皱和不平整，以至于实验不能进行。

下面对纠偏机构5的工作原理进行说明，其工作包括以下步骤：

根据光信号传感器55通过对薄膜材料300边缘的感应，给出薄膜材料300位置的偏移信号，光纤传感器55将偏移信号发送至控制器；

控制器判断薄膜材料300偏移方向，一旦偏移位移超出设计值，则控制器向纠偏电机51发送启动指令；

纠偏电机51启动，纠偏电机51通过纠偏齿轮组52带动丝杠531转动，促使螺母532和调节座533发生沿着丝杠531水平移动；

调节座533在丝杠531带动下直线移动，调节座533的纠偏面紧贴并固定于浮动板50的外侧面，从而带动浮动板在导轨的限制下来回往返直线运动，从而带动浮动板来回运动。

纠偏电机51带动浮动板50沿薄膜材料300偏移反方向移动，即浮动板50带动放料轴1和过度轴2移动，使得薄膜材料300重新回到预设位置，保证了放料轴1上不齐的薄膜材料300在进入舒展张平机构3的上滚筒33时膜边缘总处于预设的初始位置，从而保证辐照区域301的薄膜材料300的平齐无褶皱。

位于辐照区域301的薄膜材料300经过粒子束流轰击后会产生很多密密麻麻的小孔，这些被轰击过的薄膜材料300经过刻蚀处理后可用于测量束流均匀性，从而验证束流的相关性能。同时被束流辐照过的材料的性能、微观结构也会发生变化和重组，可以进一步研究开发新材料。

薄膜材料300平铺于舒展张平机构3上，并在上滚筒33和下滚筒34之间舒展张平形成平整的薄膜材料300，平整的薄膜材料300与高能粒子束流方向垂直并保证在高能粒子束流中心。

当前薄膜材料300被束流辐照，辐照完成时收卷筒44收卷，辐照完成的薄膜材料300被收卷，新的未辐照的薄膜材料300重新置于束流中心进行辐照。

通过收卷机构4的连续收卷实现对薄膜材料300的连续辐照实验，保证辐照过程中薄膜材料300的平整无褶皱状态，一次安装可进行长时间的辐照实验，节省束流时间，提高辐照实验效率。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。

Claims (10)

1.一种用于高真空环境下的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，包括真空室(100)，所述真空室(100)内设置有薄膜材料传输机，所述薄膜材料传输机包括放料轴(1)和收卷机构(4)，所述收卷机构(4)包括收卷轴(40)，所述放料轴(1)和所述收卷轴(40)一上一下竖直设置；

所述放料轴(1)上套设有放料筒(11)，所述放料筒(11)上预先卷有准备进行辐照实验的薄膜材料(300)，所述收卷轴(40)上套设有收卷筒(44)；

薄膜材料(300)从放料筒(11)上放料后，加速后的高能粒子束穿过所述真空室(100)对薄膜材料(300)进行持续辐照，最后被高能粒子束辐照后的薄膜材料(300)缠绕到收卷筒(44)上。

2.根据权利要求1所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，所述薄膜材料传输机还包括舒展张平机构(3)，

所述舒展张平机构(3)包括上滚筒(33)和下滚筒(34)，其中所述上滚筒(33)靠近所述放料轴(1)设置，所述下滚筒(34)靠近所述收卷轴(40)设置；

薄膜材料(300)从放料筒(11)上放料后，进入舒展张平机构(3)的上滚筒(33)和下滚筒(34)并舒展张平，最后缠绕到收卷筒(44)上；

高能粒子束穿过所述真空室(100)内对所述上滚筒(33)和所述下滚筒(34)之间舒展张平的薄膜材料(300)进行持续辐照。

3.根据权利要求2所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，所述舒展张平机构(3)还包括上水平杆(31)和下水平杆(32)，所述上水平杆(31)和所述下水平杆(32)垂直固定于支架(200)的真空室固定板(201)上，且上水平杆(31)位于放料轴(1)之后、下水平杆(32)位于收卷轴(40)之前；

所述上滚筒(33)和所述下滚筒(34)分别套设于上水平杆(31)和下水平杆(32)上。

4.根据权利要求3所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，

所述放料轴(1)位于上滚筒(33)的下方，且所述放料轴(1)和所述上滚筒(33)之间设置有过度轴(2)。

5.根据权利要求3所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，所述薄膜材料传输机还包括支架(200)，

所述支架(200)包括一块真空室固定板(201)、一块支架连接板(202)和一块悬臂板(203)，所述真空室固定板(201)的底边与所述支架连接板(202)的侧边垂直固定连接，所述悬臂板(203)与所述支架连接板(202)位于同一平面且所述悬臂板(203)的端部与所述支架连接板(202)的端部垂直固定连接；

其中，所述支架(200)的真空室固定板(201)通过螺栓固定于真空室(100)的内壁上；

所述放料轴(1)和所述收卷轴(40)垂直设置有所述支架(200)的真空室固定板(201)的上下两端。

6.根据权利要求5所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，

所述上水平杆(31)和所述下水平杆(32)的内端固定于支架(200)的真空室固定板(201)上，所述上水平杆(31)和所述下水平杆(32)的外端之间通过连接板(35)相连，

所述上水平杆(31)、所述真空室固定板(201)、所述下水平杆(32)和所述连接板(35)共同形成平行四边形，以保证薄膜材料(300)经过舒展张平机构(3)时舒展张平。

7.根据权利要求5所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，所述放料轴(1)的固定端与所述真空室固定板(201)的连接处设置有制动器(12)，

所述制动器(12)固定于支架(200)的真空室固定板(201)上，所述放料轴(1)的固定端设置于制动器(12)内。

8.根据权利要求5所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，

所述收卷机构(4)还包括收卷电机(41)、收卷齿轮组(42)、固定板(43)和收卷筒(44)，

收卷电机(41)和固定板(43)均固定于支架(200)上，其中，收卷电机(41)固定于支架连接板(202)的外侧面，固定板(43)固定于支架连接板(202)的内侧面；

所述收卷轴(40)的动力输入端穿过固定板(43)，所述收卷轴(40)的动力输入端与所述固定板(43)通过轴承连接；

收卷齿轮组(42)包括第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮固定在收卷电机(41)的输出轴上，收卷轴(40)的动力输入端设置有第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮相互啮合；

收卷筒(44)套设在收卷轴(40)上，收卷电机(41)通过收卷齿轮组(42)带动收卷轴(40)转动，促使薄膜材料(300)被不断的缠绕到收卷筒(44)上。

9.根据权利要求5所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，所述薄膜材料传输机还包括纠偏机构(5)，所述纠偏机构(5)设置于放料轴(1)的外侧，包括浮动板(50)、纠偏电机(51)、纠偏齿轮组(52)、丝杠螺母调节组件(53)、导轨滑块组件(54)、光信号传感器(55)和控制器，

纠偏电机(51)固定于支架(200)的悬臂板(203)的外侧面，纠偏电机(51)的输出轴上固定有第三齿轮，支架(200)的悬臂板(203)的纠偏电机(51)的安装处设置有齿轮穿孔，第三齿轮部分穿过该齿轮穿孔，

丝杠螺母调节组件(53)包括丝杠(531)、螺母(532)和调节座(533)，

丝杠(531)的两端通过支撑座固定于支架(200)的悬臂板(203)的内表面，丝杠(531)的动力输入端设置有第四齿轮，第三齿轮和第四齿轮相互啮合组成所述纠偏齿轮组(52)；

丝杠(531)上设置有螺母(532)，螺母(532)通过法兰连接有调节座(533)；调节座(533)至少有一面为平面作为纠偏面，调节座(533)的纠偏面紧贴于浮动板(50)的外侧面且纠偏面与浮动板(50)固定连接；

浮动板(50)平行设置于支架(200)的悬臂板(203)；

导轨滑块组件(54)包括两根导轨，每个导轨配置有两个滑块，所述滑块固定于浮动板(50)的外侧面，每个导轨平行固定于支架(200)的水平部的内表面，且导轨与丝杠(531)相互平行；

光信号传感器(55)设置于支架(200)的真空室固定板(201)上，且光信号传感器(55)的信号发射口与薄膜材料(300)边缘对齐；

光信号传感器(55)和纠偏电机(51)均与控制器相连。

10.根据权利要求9所述的薄膜材料辐照实验装置，其特征在于，

所述螺母(532)和所述调节座(533)一体成型。

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