CN114574290A - 一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本申请涉及半导体材料技术领域，具体公开了一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法。磷化铟清洗用清洗液包括A组分和B组分，所述A组分包括以下重量份的原料：氨水6‑14份、双氧水16‑24份、脂肪醇聚乙烯醚1‑9份、羧甲基纤维素1‑9份、水450‑530份；所述B组分包括以下重量份的原料：硫酸6‑14份、双氧水6‑14份、二乙烯三胺五甲叉膦酸1‑9份、水490‑500份；其制备方法为：A组分的原料混合，制得A组分并包装,B组分的原料混合，制得B组分并包装。本申请的磷化铟清洗用清洗液可用于清洗半导体材料，其具有降低磷化铟粗糙度，提高产品质量的优点。

Description

一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法
技术领域
本申请涉及半导体材料技术领域，更具体地说，它涉及一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法。
背景技术
磷化铟是重要的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料之一，是继硅、砷化镓之后的新一代微电子、光电子功能材料，且磷化铟因电子迁移率高、禁带宽度大等特点，被广泛应用于微波及光电器件领域。
磷化铟表面覆有有机沾污、氧化物等杂质，因此利用磷化铟做半导体材料时，需先将磷化铟表面的氧化物除去，相关技术中通常采用如下方法：先将磷化铟放入乙醇中浸泡，然后放入丙酮中浸泡，用去离子水冲洗或者用小刷子刷洗去除表面黑胶；然后放入醋酸中浸泡去除粘胶；接着用砂纸去除所有痕迹，磨圆材料边，得到粗产品；将得到的粗产品放入由氨水、过氧化氢和去离子水组成的混合溶剂中浸泡，取出后用去离子水冲洗，超声波清洗，然后放入盛甲醇的容器中清洗，取出晾放得到清洗后的磷化铟衬底材料。
针对上述中的相关技术，发明人认为利用相关技术中的清洗方法对磷化铟表面的有机沾污去除不彻底，易造成磷化铟清洗不彻底，制得的产品质量差的情况发生。
发明内容
为了提高磷化铟表面的清洗效果，降低磷化铟表面的粗糙度，提高制得的产品质量，本申请提供一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法。
第一方面，本申请提供一种磷化铟清洗用清洗液，采用如下的技术方案：
一种磷化铟清洗用清洗液，包括A组分和B组分，所述A组分包括以下重量份的原料：氨水6-14份、双氧水16-24份、脂肪醇聚乙烯醚1-9份、羧甲基纤维素1-9份、水450-530份；
所述B组分包括以下重量份的原料：硫酸6-14份、双氧水6-14份、二乙烯三胺五甲叉膦酸1-9份、水490-500份。
通过采用上述技术方案，清洗磷化铟时先用磷化铟清洗用清洗液中的A组分进行清洗，A组分的氨水、双氧水和水相互作用，形成碱性环境，脂肪醇聚氧乙烯醚稳定性高，具有良好的去污力，脂肪醇聚氧乙烯醚作为湿润剂，强化磷化铟同碱溶液的接触，加快磷化铟表面有机沾污乳化，使氨水、双氧水和水能除去磷化铟表面的有机沾污，并通过电性相斥原理将表面颗粒除去。
羧甲基纤维素可作为反应中的分散剂和增溶剂，使各个物质更大程度的溶解、分散更均匀，羧甲基纤维素还可作为双氧水的稳定剂，使双氧水在碱性环境中更稳定，尽量避免双氧水在杂质离子的催化作用下无控制地分解，同时，羧甲基纤维素还具有增稠作用，而脂肪醇聚氧乙烯醚具有一定的降低黏度的效果，将脂肪醇聚氧乙烯醚和羧甲基纤维素协同，使溶液保持适宜的黏度，使清洗液不易因黏度低而在清洗过程中溅出，从而使清洗液能更好的将磷化铟清洗干净。
A组分反应后用B组分进行清洗，B组分的硫酸、双氧水和水可形成酸性环境，将A组分中的碱性物质中和后，去除A组分难以去除的磷化铟表面氧化物，同时二乙烯三胺五甲叉膦酸作为金属表面处理剂，可抑制污垢产生，从而尽量避免污垢附着在磷化铟表面，同时二乙烯三胺五甲叉膦酸也可作为过氧化氢稳定剂，使过氧化氢均匀、有效地分解，进一步达到降低磷化铟的粗糙度，提高制得的产品质量的效果。
优选的，所述A组分包括以下重量份的原料：氨水9-11份、双氧水19-21份、脂肪醇聚乙烯醚4-6份、羧甲基纤维素4-6份、水480-500份；
所述B组分包括以下重量份的原料：硫酸9-11份、双氧水9-11份、二乙烯三胺五甲叉膦酸4-6份、水494-496份。
通过采用上述技术方案，优化各组分的配比，进一步去除磷化铟表面的表面颗粒、有机沾污和表面氧化物，降低磷化铟的粗糙度，提高制得的产品质量。
优选的，所述脂肪醇聚氧乙烯醚为仲醇聚氧乙烯醚。
通过采用上述技术方案，仲醇聚氧乙烯醚可用于硬表面清洗，具有良好的渗透性和去污能力，与羧甲基纤维素协同，减少仲醇聚氧乙烯醚和羧甲基纤维素的使用消耗量，同时，仲醇聚氧乙烯醚为低温分散剂，从而尽量避免因温度过低而造成凝胶现象的发生，保证仲醇聚氧乙烯醚的稳定性。
优选的，所述二乙烯三胺五甲叉膦酸为改性二乙烯三胺五甲叉膦酸，改性二乙烯三胺五甲叉膦酸由以下步骤制得：
A1、将二乙烯三胺五甲叉膦酸冷冻成型，得到成型后的固体；
A2、将交联液喷涂在A1中制得的成型后的固体表面，交联液、二乙烯三胺五甲叉膦酸的重量比为（4-6）:100，得到改性后的固体；
A3、将A2制得的改性后的固体烘干，脱去水分，并冷却至室温，得到改性二乙烯三胺五甲叉膦酸。
通过采用上述技术方案，二乙烯三胺五甲叉膦酸具有抑制碳酸盐和硫酸盐垢生成的作用，为不影响硫酸和双氧水去除磷化铟表面氧化物，在二乙烯三胺五甲叉膦酸外包裹交联液,在B组分清洗磷化铟时，交联液在反应中逐渐溶解，使二乙烯三胺五甲叉膦酸暂时不发生反应，从而延缓二乙烯三胺五甲叉膦酸的反应开始时间，此时，硫酸和双氧水将磷化铟表面的氧化物去除，当硫酸和双氧水去除氧化物后，交联液溶解完全，二乙烯三胺五甲叉膦酸参与反应，尽量避免产生的污垢附着在磷化铟表面，降低磷化铟的粗糙度，提高制得的产品质量。
优选的，所述交联液为沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液，沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液由沸石粉、羧甲基淀粉钠、聚乙烯醇按重量比（4-6）：（59-61）:35制得，沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液由以下步骤制得：
B1、按重量比将聚乙烯醇加入水中，加热并搅拌，聚乙烯醇完全溶解后停止加热，继续搅拌，得到溶液；
B2、向B1制得的溶液中按重量比加入羧甲基淀粉钠，加热并搅拌，后停止加热并冷却至室温，得到羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液；
B3、将沸石粉按重量比加入B2制得的羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液中，加热并搅拌，沸石粉完全溶解后停止加热，继续搅拌后冷却，得到沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液。
通过采用上述技术方案，聚乙烯醇具有粘结性和乳化性，羧甲基淀粉钠黏度稳定，对酸碱盐条件耐性良好；膨润土、硅藻土和沸石粉均可改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液，本申请优选沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液，沸石粉晶体结构为多孔状，吸附性好，利用沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇，制得的沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液成膜后具有固化良好、有弹性形变、表面较光滑的特性，从而使沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液成膜后，在B组分清洗磷化铟表面时不易破裂，保证硫酸和双氧水去除表面氧化物的反应正常进行。
优选的，所述B1步骤中，加热温度为95-100℃。
通过采用上述技术方案，将加热温度控制在95-100℃的范围内，聚乙烯醇粉末在水中溶解速度较快，节省制备所需时间；温度低于95℃时，聚乙烯粉末不溶解，当温度高于100℃时，易造成聚乙烯粉末分解，影响沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液的制备，影响清洗液的清洗效果。
优选的，所述B2步骤中，加热温度为80-100℃。
通过采用上述技术方案，将加热温度控制在80-100℃，加速羧甲基淀粉钠溶解，节省反应时间；当加热温度低于80℃时，羧甲基淀粉钠溶解时间过长，影响制备时间；当加热温度高于100℃时，易造成羧甲基淀粉钠分解，影响沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液的制备。
第二方面，本申请提供一种磷化铟清洗用清洗液的制备方法，采用如下的技术方案：
一种磷化铟清洗用清洗液的制备方法，包括以下步骤：
S1、将氨水、双氧水、脂肪醇聚乙烯醚、羧甲基纤维素、水按重量份混合均匀，形成A组分，并将A组分包装备用；
S2、将硫酸、双氧水、二乙烯三胺五甲叉膦酸、水按重量份混合均匀，形成B组分，并将B组分包装备用。
通过采用上述技术方案，将氨水、双氧水、脂肪醇聚乙烯醚、羧甲基纤维素、水混合，并搅拌均匀，单独包装，得到A组分；将硫酸、双氧水、二乙烯三胺五甲叉膦酸、水混合，搅拌均匀后单独包装，得到B组分；A组分和B组分形成磷化铟清洗用清洗液，制得的磷化铟清洗用清洗液具有去除磷化铟表面颗粒、有机沾污和表面氧化物等杂质的作用，降低磷化铟的粗糙度，提高制得的产品质量。
第三方面，本申请提供一种磷化铟的清洗方法，采用上述任一清洗液，包括以下步骤：
C1、在20-25℃的温度下用A组分浸泡磷化铟，使磷化铟完全被浸没，浸泡时间为1-2min；
C2、将C1处理后的磷化铟用水冲洗；
C3、将C2冲洗后的磷化铟完全浸入B组分中浸泡0.5-1min；
C4、将C3处理后的磷化铟用水冲洗并干燥，制得清洗后的磷化铟产品。
通过采用上述技术方案，磷化铟清洗用清洗液清洗磷化铟，经A组分浸泡、冲洗、B组分浸泡、冲洗的步骤，除去磷化铟表面的表面颗粒、有机沾污和表面氧化物，降低磷化铟的粗糙度，提高制得的产品质量且控制清洗温度为20-25℃，控制A组分浸泡时间为1-2min，B组分浸泡时间为0.5-1min，在此温度范围和浸泡时间范围内取值，对本申请制得的清洗液清洗磷化铟的效果影响不大。
综上所述，本申请具有以下有益效果：
1、由于磷化铟清洗用清洗液中A组分的氨水、双氧水和水相互作用，除去磷化铟表面颗粒和有机沾污；磷化铟清洗用清洗液中B组分的硫酸、双氧水去除磷化铟表面氧化物，二乙烯三胺五甲叉膦酸尽量避免污垢附着在磷化铟表面，将磷化铟的粗糙度降低到0.15-0.169μm，提高制得的磷化铟产品质量。
2、本申请中优选采用仲醇聚氧乙烯醚，具有渗透性和去污能力，与羧甲基纤维素协同，减少仲醇聚氧乙烯醚和羧甲基纤维素的使用消耗量，同时，仲醇聚氧乙烯醚为低温分散剂，从而尽量避免因温度过低而造成凝胶现象的发生，保证仲醇聚氧乙烯醚的稳定性。
3、本申请的方法，选用聚乙烯醇粉末、羧甲基淀粉钠和沸石粉，制得的沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液成膜后具有固化良好、有弹性形变、表面较光滑的特性，成膜在B组分清洗磷化铟表面时不易破裂，保证硫酸和双氧水去除表面氧化物的反应正常进行。
具体实施方式
以下结合实施例对本申请作进一步详细说明。
原料
实施例中所使用的原料均可通过市售获得，其中羧甲基纤维素购自上海梵态生物科技有限公司的FT-R7544，二乙烯三胺五甲叉膦酸购自上海吉至生化科技有限公司的15827-60-8，仲醇聚氧乙烯醚购自郑州阿尔法化工有限公司的84133-50-6，羧甲基淀粉钠购自浙江隆飞腾一生物科技有限公司的9063-38-1，聚乙烯醇购自上海源叶生物科技有限公司的S30196-500g，酚基环氧树脂购自武汉链讯共创科技有限公司的24969-06-0，环氧乙烯基树脂购自济南远祥化工有限公司的38891-59-7，月桂醇聚氧乙烯醚购自上海源叶生物科技有限公司的S15024-250g，异构醇聚氧乙烯醚购自广州市君鑫化工科技有限公司的1561-92-8。
制备例
制备例1
羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液，其制备方法为：
A1、取35g聚乙烯醇粉末加入水中，加热至95℃并搅拌，聚乙烯醇完全溶解后停止加热，继续搅拌，得到溶液；
A2、取65g羧甲基淀粉钠加入B1制得的溶液中，加热至80℃并搅拌，后停止加热并冷却至室温，得到羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液。
制备例2
改性交联液，其制备方法为：
A1、取35g聚乙烯醇粉末加入水中，加热至95℃并搅拌，聚乙烯醇完全溶解后停止加热，继续搅拌，得到溶液；
A2、取61g羧甲基淀粉钠加入B1制得的溶液中，加热至80℃并搅拌，后停止加热并冷却至室温，得到羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液；
A3、将4g沸石粉加入B2制得的羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液中，加热并搅拌，沸石粉完全溶解后停止加热，继续搅拌后冷却，得到沸石粉改性交联液。
制备例3-6
与制备例2不同的是，制备例3-6中制备改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液的原料配比及加热温度不同，详见表1。
表1 制备例2-6的原料配比
Figure 791424DEST_PATH_IMAGE001
制备例7
与制备例5不同的是，制备例7中用等量的酚基环氧树脂代替羧甲基淀粉钠。
制备例8
与制备例5不同的是，制备例8中用等量的环氧乙烯基树脂代替羧甲基淀粉钠。
制备例9
与制备例5不同的是，制备例9中用等量的硅藻土代替沸石粉。
制备例10
与制备例5不同的是，制备例10中用等量的膨润土代替沸石粉。
制备例11
改性二乙烯三胺五甲叉膦酸，其制备方法为：
B1、取2500g二乙烯三胺五甲叉膦酸冷冻成型，得到成型后的固体；
B2、将100g制备例1中制得的交联液喷涂在A1中制得的成型后的固体表面，得到改性后的固体；
B3、将A5制得的改性后的固体烘干，脱去水分，并冷却至室温，得到改性二乙烯三胺五甲叉膦酸。
制备例12
与制备例11不同的是，制备例12中交联液用量为125g。
制备例13
与制备例11不同的是，制备例12中交联液用量为150g。
制备例14-22
与制备例12不同的是，制备例14-22中分别用等量来自制备例2-10的改性交联液替换交联液。
实施例
实施例1
一种磷化铟清洗用清洗液，其制备方法为：
S1、将600g氨水、1600g双氧水、900g仲醇聚氧乙烯醚、100g羧甲基纤维素、45000gA组分用水按重量份混合均匀，形成A组分，并将A组分包装备用；
S2、将600g硫酸、1400g双氧水、900g二乙烯三胺五甲叉膦酸、49000gB组分用水按重量份混合均匀，形成B组分，并将B组分包装备用。
实施例2-5
与实施例1不同的是，实施例2-5中制备清洗液的原料配比不同，详见表2。
表2 实施例1-5中的原料配比（100g）
Figure 505302DEST_PATH_IMAGE002
实施例6
与实施例3不同的是，实施例6中用等量的异构醇聚氧乙烯醚替换仲醇聚氧乙烯醚。
实施例7
与实施例3不同的是，实施例7中用等量的月桂醇聚氧乙烯醚替换仲醇聚氧乙烯醚。
实施例8-19
与实施例3不同的是，实施例8-19中分别用等量来自制备例11-22的改性二乙烯三胺五甲叉膦酸替换二乙烯三胺五甲叉膦酸。
对比例
对比例1
与实施例3不同的是，对比例1中的B组分中未添加二乙烯三胺五甲叉膦酸。
对比例2
与实施例3不同的是，对比例2中的B组分中二乙烯三胺五甲叉膦酸的添加量为100g。
对比例3
与实施例3不同的是，对比例3中的B组分中二乙烯三胺五甲叉膦酸的添加量为1000g。
应用例
应用例1
一种磷化铟清洗方法：
C1、在20℃的温度下取实施例1中制得的磷化铟清洗用清洗液的A组分浸泡磷化铟，使磷化铟完全被浸没，浸没时间为1min；
C2、将C1处理后的磷化铟用水冲洗；
C3、取实施例1中制得的磷化铟清洗用清洗液的B组分完全浸泡冲洗后的磷化铟0.5min；
C4、将C3处理后的磷化铟用水冲洗并干燥，制得清洗后的磷化铟产品。
应用例2-19
与应用例1不同的是，应用例2-19中分别用等量来自实施例2-19制得的磷化铟清洗用清洗液清洗相同体积的磷化铟。
对比应用例
对比应用例1-3
与应用例1不同的是，对比应用例1-3中分别用等量来自对比例1-3制得的磷化铟清洗用清洗液清洗相同体积的磷化铟。
性能检测试验
针对应用例1-19和对比应用例1-3中得到清洗后的磷化铟产品进行如下的性能检测。性能检测包括磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值，检测数据见表3。
1.表面粗糙度
根据国标GB/T 1031-2009《产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值》的检测标准来检测清洗后的磷化铟的表面粗糙度。检测环境为：23℃。
2.表面雾值
根据国标GB/T 6624-2009《硅抛光片表面质量目测检测方法》的检测标准来检测清洗后的磷化铟的表面雾值。检测环境为：23℃。
表3 性能检测数据表
表面粗糙度/μm 表面雾值/PPm
应用例1 0.179 1.10
应用例2 0.175 1.05
应用例3 0.171 1.00
应用例4 0.172 1.04
应用例5 0.178 1.09
应用例6 0.182 1.12
应用例7 0.181 1.11
应用例8 0.169 0.99
应用例9 0.168 0.97
应用例10 0.169 0.98
应用例11 0.162 0.91
应用例12 0.153 0.85
应用例13 0.155 0.86
应用例14 0.150 0.80
应用例15 0.154 0.85
应用例16 0.164 0.92
应用例17 0.165 0.93
应用例18 0.167 0.96
应用例19 0.166 0.94
对比应用例1 0.195 2.35
对比应用例2 0.193 2.20
对比应用例3 0.191 2.00
以下结合表3提供的检测数据，详细说明本申请。
结合对比应用例1-3和应用例1-19，结果发现，本申请应用例1-19中得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值均优于对比应用例1-3，说明本申请的清洗液在降低磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值方面表现更优。
应用例1-5中针对原料的添加配比进行了对比，结果发现，应用例3中得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值更低，这说明应用例3中清洗液的原料配比更优。
结合应用例3与对比应用例1-3发现，对比应用例1中，原料中没有加入二乙烯三胺五甲叉膦酸，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值高于应用例3；对比应用例2中，原料中二乙烯三胺五甲叉膦酸的加入量较少，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值高于应用例3；对比应用例3中，原料中二乙烯三胺五甲叉膦酸的加入量过多，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值高于应用例3；这说明在本申请范围内的二乙烯三胺五甲叉膦酸在降低清洗的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值方面达到的效果更优。
以应用例3为对照，本申请在应用例6、7中考察了不同脂肪醇聚氧乙烯醚对清洗磷化铟的影响，结果发现，应用例6中，将仲醇聚氧乙烯醚替换为等量的异构醇聚氧乙烯醚，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值较高；应用例7中，将仲醇聚氧乙烯醚替换为等量的月桂醇聚氧乙烯醚，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值较高，应用例3较优，说明脂肪醇聚氧乙烯醚优选为仲醇聚氧乙烯醚可以达到更好的清洗效果。
以应用例3为例，本申请应用例8-16考察了改性二乙烯三胺五甲叉膦酸的影响。结果发现，应用例8-16中得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值均优于应用例3，这可能是因为对二乙烯三胺五甲叉膦酸进行改性的同时还引入了新的物质，催化反应进行，进而更好的降低清洗的磷化铟的表面粗糙度和表面雾值。
本申请应用例8-10考察了交联液原料的不同配比及对羧甲基淀粉钠的不同加热温度的影响，结果发现，应用例9中得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值更低，这说明应用例9中交联液的原料配比及对羧甲基淀粉钠的加热温度制得的清洗液更优。
以应用例9为对照，本申请应用例11-13考察了改性交联液原料的不同配比及羧甲基淀粉钠的不同加热温度的影响，结果发现，应用例11-13中的清洗液均优于应用例9，且应用例12中得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值更低，这说明应用例12中改性二乙烯三胺五甲叉膦酸的原料配比及羧甲基淀粉钠的加热温度制得的清洗液更优。
以应用例12为对照，本申请在应用例14、15中考察了对聚乙烯醇的不同加热温度的影响，结果发现，应用例14中得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值更低，说明选用应用例14中对聚乙烯醇的加热温度制得的清洗液降低磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值的效果更好。
以应用例14为例，本申请在应用例16、17中考察了不同聚乙烯醇交联液的影响。结果发现，应用例16中由于用等量的酚基环氧树脂代替羧甲基淀粉钠，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值较高；应用例17中，用等量的环氧乙烯基树脂代替羧甲基淀粉钠，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值较高；应用例14较优，说明选用羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液可以达到更好的效果。
以应用例14为例，本申请在应用例18、19中考察了不同物质改性交联液对磷化铟产品的影响。结果发现，应用例18中，用等量的硅藻土代替沸石粉，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值较高；应用例19中，用等量的膨润土代替沸石粉，得到的清洗后的磷化铟产品的表面粗糙度和表面雾值较高；应用例14较优，说明选用沸石粉改性交联液可以达到更好的效果。
本具体实施例仅仅是对本申请的解释，其并不是对本申请的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本申请的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (9)

1.一种磷化铟清洗用清洗液，其特征在于：包括A组分和B组分，所述A组分包括以下重量份的原料：
氨水6-14份、双氧水16-24份、脂肪醇聚乙烯醚1-9份、羧甲基纤维素1-9份、水450-530份；
所述B组分包括以下重量份的原料：硫酸6-14份、双氧水6-14份、二乙烯三胺五甲叉膦酸1-9份、水490-500份。
2.根据权利要求1所述的一种磷化铟清洗用清洗液，其特征在于：所述A组分包括以下重量份的原料：
氨水9-11份、双氧水19-21份、脂肪醇聚乙烯醚4-6份、羧甲基纤维素4-6份、水480-500份；
所述B组分包括以下重量份的原料：硫酸9-11份、双氧水9-11份、二乙烯三胺五甲叉膦酸4-6份、水494-496份。
3.根据权利要求1所述的一种磷化铟清洗用清洗液，其特征在于：所述脂肪醇聚氧乙烯醚为仲醇聚氧乙烯醚。
4.根据权利要求1所述的一种磷化铟清洗用清洗液，其特征在于：所述二乙烯三胺五甲叉膦酸为改性二乙烯三胺五甲叉膦酸，改性二乙烯三胺五甲叉膦酸由以下步骤制得：
A1、将二乙烯三胺五甲叉膦酸冷冻成型，得到成型后的固体；
A2、将交联液喷涂在A1中制得的成型后的固体表面，交联液、二乙烯三胺五甲叉膦酸的重量比为（4-6）:100，得到改性后的固体；
A3、将A2制得的改性后的固体烘干，脱去水分，并冷却至室温，得到改性二乙烯三胺五甲叉膦酸。
5.根据权利要求4所述的一种磷化铟清洗用清洗液，其特征在于：所述交联液为沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液，沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液由沸石粉、羧甲基淀粉钠、聚乙烯醇按重量比（4-6）：（59-61）:35制得，沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液由以下步骤制得：
B1、按重量比将聚乙烯醇加入水中，加热并搅拌，聚乙烯醇完全溶解后停止加热，继续搅拌，得到溶液；
B2、向B1制得的溶液中按重量比加入羧甲基淀粉钠，加热并搅拌，后停止加热并冷却至室温，得到羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液；
B3、将沸石粉按重量比加入B2制得的羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液中，加热并搅拌，沸石粉完全溶解后停止加热，继续搅拌后冷却，得到沸石粉改性羧甲基淀粉钠-聚乙烯醇交联液。
6.根据权利要求5所述的一种磷化铟清洗用清洗液，其特征在于：所述B1步骤中，加热温度为95-100℃。
7.根据权利要求5所述的一种磷化铟清洗用清洗液，其特征在于：所述B2步骤中，加热温度为80-100℃。
8.一种权利要求1-7任一所述的磷化铟清洗用清洗液的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1、将氨水、双氧水、脂肪醇聚乙烯醚、羧甲基纤维素、水按重量份混合均匀，形成A组分，并将A组分包装备用；
S2、将硫酸、双氧水、二乙烯三胺五甲叉膦酸、水按重量份混合均匀，形成B组分，并将B组分包装备用。
9.一种应用权利要求1-7任一所述的磷化铟清洗用清洗液的磷化铟清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：
C1、在20-25℃的温度下用A组分浸泡磷化铟，使磷化铟完全被浸没，浸泡时间为1-2min；
C2、将C1处理后的磷化铟用水冲洗；
C3、将C2冲洗后的磷化铟完全浸入B组分中浸泡0.5-1min；
C4、将C3处理后的磷化铟用水冲洗并干燥，制得清洗后的磷化铟产品。
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