CN114572647B - 一种皮带轮自动清洁装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及硅片生产技术领域，公开了一种皮带轮自动清洁装置，包括主臂、副臂和擦拭件，主臂的第一端可拆卸地连接副臂，主臂的第二端设有连接孔和磁铁，副臂开设有放置槽，擦拭件安装于放置槽内。本清洁装置的主臂可以通过连接孔套接皮带轮的固定轴，并采用磁铁将主臂吸附固定在固定轴上，安装较为方便快捷。安装好主臂之后，副臂上的擦拭件抵接在皮带轮的表面，当皮带轮受到摩擦产生金属粉末时，将会马上被擦拭件擦拭清洁干净，以免金属粉末粘附到硅片上。本清洁装置在皮带轮转动的过程中，可以不断地擦拭皮带，无需停机操作，也无需消耗额外的动力，在保证生产效率的前提下，能够以较低的成本，对皮带轮进行清洁，具有较高的经济性。

Description

一种皮带轮自动清洁装置
技术领域
本发明涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种皮带轮自动清洁装置。
背景技术
在硅片的生产过程中，需要经过一道分选检测的流程。在硅片的分选检测过程中，硅片通过皮带传输进入分选机构和检测机构。而皮带传输过程中，皮带的主动轮和从动轮在摩擦时会产生金属粉末，这些金属粉末极易飘散粘附到硅片上，从而在硅片的表面形成粉尘污。
传统技术中，采用人工清洁的方法去除金属粉末。例如，生产人员每班清洁一次，以及月度保养时，人工对皮带轮进行全部清洁。但此种方法在清洁时需要停机处理，影响着生产的效率，并需要耗费大量的人力和物力。
当然，也可以对整个分选设备设计一套伺服控制清洁组件，去除金属粉末。但是，分选设备是一套复杂的自动化设备，包括几十个独立传输机构，几十条传输皮带和上百个皮带轮，设计一套伺服控制清洁组件的成本非常大，也不利于车间组装。
因此，急需一种能够在不影响生产效率的情况下，还能降低成本的清洁装置。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种皮带轮自动清洁装置，能够清洁皮带轮，并能保证生产效率，降低清洁成本。
为解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：一种皮带轮自动清洁装置，包括主臂、副臂和擦拭件，所述主臂的第一端可拆卸地连接所述副臂，所述主臂的第二端设有连接孔和磁铁，所述副臂开设有放置槽，所述擦拭件安装于所述放置槽内；所述主臂可通过所述连接孔套接皮带轮的固定轴，并通过所述磁铁吸附固定所述皮带轮的固定轴，所述擦拭件可抵接所述皮带轮的表面，当所述皮带轮转动时，所述擦拭件可擦拭所述皮带轮的表面。
相比现有技术，本发明的有益效果在于：本清洁装置的主臂可以通过连接孔套接皮带轮的固定轴，并采用磁铁将主臂吸附固定在固定轴上，安装较为方便快捷。安装好主臂之后，副臂上的擦拭件抵接在皮带轮的表面，当皮带轮转动时，擦拭件将会不断擦拭皮带轮的表面。因此，当皮带轮受到摩擦产生金属粉末时，将会马上被擦拭件擦拭清洁干净，以免金属粉末粘附到硅片上。本清洁装置在皮带轮转动的过程中，可以不断地擦拭皮带，无需停机操作，也无需消耗额外的动力，且结构较为简单，在保证生产效率的前提下，能够以较低的成本，对皮带轮进行清洁，具有较高的经济性。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述主臂的轴线垂直于所述副臂的轴线，所述主臂的第一端螺纹连接所述副臂，所述主臂的第一端开设有多个螺孔，多个所述螺孔沿所述主臂的第一端至第二端的方向分布，多个所述螺孔用于调节所述擦拭件与所述皮带轮的表面之间的距离。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述主臂的第一端设有导向槽，所述副臂插接所述导向槽，且所述副臂可沿所述导向槽活动至所需位置，并被穿过所述螺孔的螺纹连接件固定。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述副臂还开设有两组让位槽，两组所述让位槽均设于所述放置槽的槽口位置，并分别位于所述副臂轴线的两侧，且所述让位槽的槽深方向与所述放置槽的槽深方向相同。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述放置槽沿所述副臂的轴线方向上的两个侧壁分别开设有第一容纳槽和第二容纳槽，所述第一容纳槽靠近所述主臂，所述第二容纳槽远离所述主臂，所述放置槽内设有用于固定所述擦拭件的固定环，所述固定环的两端分别嵌入所述第一容纳槽和所述第二容纳槽内。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述第二容纳槽由所述放置槽贯穿所述副臂，所述固定环由弹性材料制成。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述固定环包括依次连接的第一直型段、第一弧形段、第二直型段和第二弧形段，所述第一弧形段和所述第二弧形段分别嵌入所述第一容纳槽和所述第二容纳槽，所述第一直型段和所述第二直型段均位于所述放置槽内。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述第一直型段、所述第一弧形段、所述第二直型段和所述第二弧形段之间均通过过渡段依次连接，所述过渡段朝向所述固定环的两端内折。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述连接孔与所述磁铁分别设于所述主臂第二端上相对的两侧，且所述磁铁的外径大于所述连接孔的内径。
上述的皮带轮自动清洁装置，所述擦拭件为海绵，所述海绵的孔径为1mm～2mm。
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
附图说明
图1为本发明实施例的清洁装置的结构示意图；
图2为本发明实施例的清洁装置和皮带轮的配合关系图；
图3为本发明实施例的固定环的结构示意图；
图4为本发明实施例的清洁装置的副臂的结构示意图；
图5为本发明实施例的副臂和固定环的配合关系图。
附图标号说明：100主臂、110连接孔、120磁铁、130螺孔、140导向槽、150螺纹连接件、200副臂、210放置槽、220让位槽、230第一容纳槽、240第二容纳槽、250第一连接段、260第二连接段、300擦拭件、400固定环、410第一直型段、420第一弧形段、430第二直型段、440第二弧形段、450过渡段、500皮带轮、600固定轴。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，参照图1至图5，本发明的实施例提供了一种皮带轮自动清洁装置，包括主臂100、副臂200和擦拭件300，主臂100的第一端可拆卸地连接副臂200，主臂100的第二端设有连接孔110和磁铁120，副臂200开设有放置槽210，擦拭件300安装于放置槽210内；主臂100可通过连接孔110套接皮带轮500的固定轴600，并通过磁铁120吸附固定皮带轮500的固定轴600，擦拭件300可抵接皮带轮500的表面，当皮带轮500转动时，擦拭件300可擦拭皮带轮500的表面。
相比现有技术，本清洁装置的主臂100可以通过连接孔110套接皮带轮500的固定轴600，并采用磁铁120将主臂100吸附固定在固定轴600上，安装较为方便快捷。安装好主臂100之后，副臂200上的擦拭件300抵接在皮带轮500的表面，当皮带轮500转动时，擦拭件300将会不断擦拭皮带轮500的表面。因此，当皮带轮500受到摩擦产生金属粉末时，将会马上被擦拭件300擦拭清洁干净，以免金属粉末粘附到硅片上。本清洁装置在皮带轮500转动的过程中，可以不断地擦拭皮带，无需停机操作，也无需消耗额外的动力，且结构较为简单，在保证生产效率的前提下，能够以较低的成本，对皮带轮500进行清洁，具有较高的经济性。
具体地，主臂100的轴线垂直于副臂200的轴线，那么，当主臂100的第二端连接皮带轮500的固定轴600时，主臂100的轴线与皮带轮500的固定轴600的轴线垂直，而副臂200的轴线则与皮带轮500的固定轴600的轴线平行，擦拭件300则位于皮带轮500的周向位置，以便于更好地抵接皮带轮500的表面。具体地，主臂100的第一端通过螺纹连接件150螺纹连接副臂200，主臂100的第一端开设有多个螺孔130，多个螺孔130沿主臂100的第一端至第二端的方向分布，多个螺孔130用于调节擦拭件300与皮带轮500的表面之间的距离。这是因为，不同的检测机构中，皮带轮500的外形和尺寸可能会有差别，因此，在安装时，先调节擦拭件300与皮带轮500的表面之间的距离，保证擦拭件300抵接皮带轮500的表面之后，再采用螺纹连接件150将主臂100和副臂200固定。
具体地，主臂100的第一端设有导向槽140，副臂200插接导向槽140，且副臂200可沿导向槽140活动至所需位置，并被穿过螺孔130的螺纹连接件150固定。安装时，将副臂200的一端插接导向槽140，副臂200可以沿导向槽140移动，以便于调节擦拭件300和皮带轮500表面之间的距离，调节好距离之后，再将螺纹连接件150插接至对应的螺孔130内，将主臂100和副臂200固定连接。固定之后，在导向槽140侧壁的限位作用下，副臂200不易相对于主臂100发生晃动，因此，能够保证擦拭件300在擦拭皮带轮500表面的过程中，不发生滑动，保证擦拭件300始终抵接在皮带轮500的表面。具体地，安装时，导向槽140的底壁贴合连接副臂200，但是导向槽140的侧壁和副臂200之间具有一定间隙，可以避免副臂200受力时，因为刚性连接而产生不可逆转的形变。
具体地，如图1所示，副臂200包括相互垂直连接的第一连接段250和第二连接段260，第一连接段250滑动插接于导向槽140内，放置槽210开设于第二连接段260上。具体地，第一连接段250的第一端与主臂100螺纹连接，第一连接段250的第二端固定连接第二连接段260。第一连接段250的第一端比第一连接段250的第二端更加靠近主臂100的第二端。那么，当擦拭件300抵接皮带轮500的表面时，皮带轮500将会对擦拭件300产生反方向的作用力，该作用力会使得第一连接段250的第二端更加贴合导向槽140的底壁，此时，第一连接段250的第一端会有脱离导向槽140的趋势，而第一连接段250的第一端却是通过螺纹连接件150与主臂100连接的，因此不会脱离导向槽140，第一连接段250的第一端仍然能够保持与导向槽140的底壁贴合。由此可知，副臂200的此种结构，可以进一步地提高副臂200和主臂100的连接稳定性，避免副臂200带来“悬臂梁”的不良效果，例如振动等。
具体地，如图1所示，连接孔110与磁铁120分别设于主臂100第二端上相对的两侧，且磁铁120的外径大于连接孔110的内径。当连接孔110套接皮带轮500的固定轴600之后，磁铁120可以在背面将主臂100和皮带轮500的固定轴600吸附固定在一起。磁铁120的外径大于连接孔110的内径，当然也就大于皮带轮500连接轴的外径，那么可以保证连接孔110能够稳定地和皮带轮500的固定轴600固定在一起，以免发生晃动。磁铁120可以选择吸力较强的，以保证主臂100和固定轴600的固定效果。具体地，主臂100采用金属材料制成，例如钢材等，磁铁120吸附在主臂100的第二端，而不采用其它的固定件，以便于根据实际状态调整磁铁120的位置。
进一步地，如图3所示，副臂200还开设有两组让位槽220，两组让位槽220均设于放置槽210的槽口位置，并分别位于副臂200轴线的两侧，且让位槽220的槽深方向与放置槽210的槽深方向相同。这是因为，不同检测机构中，皮带轮500的外形和尺寸有所不同。有些时候，皮带轮500为圆柱形的，有些时候，皮带轮500却是鼓形的(也可以理解为椭圆柱形)。当皮带轮500为鼓形时，皮带轮500转动的时候，就有可能和副臂200发生碰撞等运动干涉，不仅会影响着皮带轮500的正常运转，还有可能会增加摩擦所产生的金属粉末，因此，本发明在副臂200开设有让位槽220，可以避免皮带轮500和副臂200发生运动干涉。具体地，让位槽220呈U型，易于加工成型。在此情况下，擦拭件300的中部可以裁切成向内稍微凹陷的。
进一步地，继续参照图3，放置槽210沿副臂200的轴线方向上的两个侧壁分别开设有第一容纳槽230和第二容纳槽240，第一容纳槽230靠近主臂100，第二容纳槽240远离主臂100，放置槽210内设有用于固定擦拭件300的固定环400，固定环400的两端分别嵌入第一容纳槽230和第二容纳槽240内。开设了让位槽220之后，擦拭件300在擦拭的过程中，有可能会发生晃动，或者从放置槽210内掉出，而安装了固定环400之后，可以将擦拭件300固定在放置槽210内，以免擦拭件300掉出。具体地，第二容纳槽240由放置槽210贯穿副臂200，固定环400由弹性材料制成。安装时，固定环400可以从第二容纳槽240顶出，可以增加固定环400的安装稳定性，避免固定环400掉出，同时，在拆下擦拭件300时，也可以从第二容纳槽240向内顶推，使固定环400发生弹性形变，进而松开擦拭件300，从而能够将擦拭件300取下。
具体地，如图4所示，固定环400包括依次连接的第一直型段410、第一弧形段420、第二直型段430和第二弧形段440，第一弧形段420和第二弧形段440分别嵌入第一容纳槽230和第二容纳槽240，第一直型段410和第二直型段430均位于放置槽210内。第一直型段410和第二直型段430均为直线型，可以最大程度地保证固定环400和擦拭件300的接触面积，增大固定环400固定擦拭件300的可靠性。第一弧形段420和第二弧形段440可以便于嵌入第一容纳槽230和第二容纳槽240内，同时，顶推第二弧形段440时，还能便于固定环400发生弹性形变，此外，安装时，第二弧形段440可以从第二容纳槽240内顶出，顶出部分为弧形，可以避免划伤工作人员，在顶推时，推力作用于弧形顶点，可以让固定环400易于发生形变。
具体地，第一直型段410、第一弧形段420、第二直型段430和第二弧形段440之间均通过过渡段450依次连接，过渡段450朝向固定环400的两端内折。第一容纳槽230和宽度和第二容纳槽240的宽度均小于放置槽210的宽度，过渡段450内折之后，第一弧形段420和第二弧形段440的宽度均小于固定环400中部的宽度，可以便于安装固定环400。此外，内折的过渡段450能够易于变形，当向内顶推第二弧形段440时，不会发生卡阻使得固定环400无法变形的现象。多次顶推变形时，固定环400也不会发生断裂的情况，第二弧形段440也不会产生毛刺。具体地，擦拭件300为海绵，普通海绵的孔径大小在50μm～100μm之间，本发明中的海绵的孔径设置在1mm～2mm之间，这样，在单位大小的海绵内，本发明中的海绵孔径远远小于普通海绵，在擦拭时，金属粉末不易于在海绵上积累。进一步地，安装时，使擦拭件300位于皮带轮500的下方，那么擦拭时，金属粉末在重力作用下，更易于掉落至擦拭件300的底部，或者是掉落至地上，而不会污染皮带或者硅片。擦拭件300为海绵，材质比较柔软，不会对皮带轮500的表面产生刮痕，韧性也比较好，可以根据需求，将海绵裁切为任意形状。
需要注意的是，在本发明的描述中，如有涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系的，均为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造或操作，不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个及两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一或第二等的，只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。
上述实施方式仅为本发明的优选实施方式，不能以此来限定本发明保护的范围，本领域的技术人员在本发明的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本发明所要求保护的范围。

Claims (8)

1.一种皮带轮自动清洁装置，其特征在于，包括主臂(100)、副臂(200)和擦拭件(300)，所述主臂(100)的第一端可拆卸地连接所述副臂(200)，所述主臂(100)的第二端设有连接孔(110)和磁铁(120)，所述副臂(200)开设有放置槽(210)，所述擦拭件(300)安装于所述放置槽(210)内；
所述主臂(100)可通过所述连接孔(110)套接皮带轮(500)的固定轴(600)，并通过所述磁铁(120)吸附固定所述皮带轮(500)的固定轴(600)，所述擦拭件(300)可抵接所述皮带轮(500)的表面，当所述皮带轮(500)转动时，所述擦拭件(300)可擦拭所述皮带轮(500)的表面；
其中，所述主臂(100)的轴线垂直于所述副臂(200)的轴线，所述主臂(100)的第一端螺纹连接所述副臂(200)，所述主臂(100)的第一端开设有多个螺孔(130)，多个所述螺孔(130)沿所述主臂(100)的第一端至第二端的方向分布，多个所述螺孔(130)用于调节所述擦拭件(300)与所述皮带轮(500)的表面之间的距离；
其中，所述主臂(100)的第一端设有导向槽(140)，所述副臂(200)插接所述导向槽(140)，且所述副臂(200)可沿所述导向槽(140)活动至所需位置，并被穿过所述螺孔(130)的螺纹连接件(150)固定；
其中，所述副臂(200)包括相互垂直连接的第一连接段(250)和第二连接段(260)，第一连接段(250)滑动插接于导向槽(140)内，放置槽(210)开设于第二连接段(260)上，第一连接段(250)的第一端与主臂(100)螺纹连接，第一连接段(250)的第二端固定连接第二连接段(260)，且第一连接段(250)的第一端比第一连接段(250)的第二端更加靠近主臂(100)的第二端。
2.根据权利要求1所述的皮带轮自动清洁装置，其特征在于，所述副臂(200)还开设有两组让位槽(220)，两组所述让位槽(220)均设于所述放置槽(210)的槽口位置，并分别位于所述副臂(200)轴线的两侧，且所述让位槽(220)的槽深方向与所述放置槽(210)的槽深方向相同。
3.根据权利要求1所述的皮带轮自动清洁装置，其特征在于，所述放置槽(210)沿所述副臂(200)的轴线方向上的两个侧壁分别开设有第一容纳槽(230)和第二容纳槽(240)，所述第一容纳槽(230)靠近所述主臂(100)，所述第二容纳槽(240)远离所述主臂(100)，所述放置槽(210)内设有用于固定所述擦拭件(300)的固定环(400)，所述固定环(400)的两端分别嵌入所述第一容纳槽(230)和所述第二容纳槽(240)内。
4.根据权利要求3所述的皮带轮自动清洁装置，其特征在于，所述第二容纳槽(240)由所述放置槽(210)贯穿所述副臂(200)，所述固定环(400)由弹性材料制成。
5.根据权利要求4所述的皮带轮自动清洁装置，其特征在于，所述固定环(400)包括依次连接的第一直型段(410)、第一弧形段(420)、第二直型段(430)和第二弧形段(440)，所述第一弧形段(420)和所述第二弧形段(440)分别嵌入所述第一容纳槽(230)和所述第二容纳槽(240)，所述第一直型段(410)和所述第二直型段(430)均位于所述放置槽(210)内。
6.根据权利要求5所述的皮带轮自动清洁装置，其特征在于，所述第一直型段(410)、所述第一弧形段(420)、所述第二直型段(430)和所述第二弧形段(440)之间均通过过渡段(450)依次连接，所述过渡段(450)朝向所述固定环(400)的两端内折。
7.根据权利要求1所述的皮带轮自动清洁装置，其特征在于，所述连接孔(110)与所述磁铁(120)分别设于所述主臂(100)第二端上相对的两侧，且所述磁铁(120)的外径大于所述连接孔(110)的内径。
8.根据权利要求1所述的皮带轮自动清洁装置，其特征在于，所述擦拭件(300)为海绵，所述海绵的孔径为1mm～2mm。
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