CN114563603A - 一种探针卡承载用调平平台 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种探针卡承载用调平平台，包括底座、用于防止探针卡的测量台、用于驱动所述测量台靠近或远离所述底座的驱动机构和至少三个用于调平所述测量台的调平装置，多个所述调平装置与所述测量台的中心位置距离相等，所述调平装置位于所述测量台与所述底座之间，所述调平装置包括固定座、调平球和用于与所述测量台和所述调平球连接的连接组件；所述固定座安装在所述底座上方，所述固定座开设有调平槽，所述调平槽沿靠近所述测量台中心位置水平延伸，所述调平球滑移安装在所述固定座位于所述调平槽内，以使所述测量台调平。本申请具有降低检测探针卡性能出现误差的效果。
Description
技术领域
本申请涉及探针卡检测领域，尤其是涉及一种探针卡承载用调平平台。
背景技术
探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。
探针卡包括基板和设置基板上的探针，探针卡使用时，探针要与待测芯片抵靠，因此需要对探针的性能进行检测；检测探针卡时一般将探针卡放置在工作台上，通过传感器靠近并与探针卡接触，在多次测试后，探针表面会被磨损，因此需要打磨探针以保持探针表面光滑，探针打磨后也会进行相应的探针性能检测。检测探针卡的针与针之间的相对位置关系，针尖的直径大小和导电性、针尖压力的检测，通过显微镜观察探针卡的在制作过程中合格性；通过以上检查使得探针卡制作出厂时满足客户使用要求。
针对上述中的相关技术，发明人认为在检测过程中探针需要与传感器接触，容易导致工作台出现偏移，使检测探针卡的性能出现误差。
发明内容
为了降低检测探针卡性能出现误差，本申请提供一种探针卡承载用调平平台。
本申请提供一种探针卡承载用调平平台，采用如下的技术方案：
一种探针卡承载用调平平台，包括底座、用于防止探针卡的测量台、用于驱动所述测量台靠近或远离所述底座的驱动机构和至少三个用于调平所述测量台的调平装置，多个所述调平装置与所述测量台的中心位置距离相等，所述调平装置位于所述测量台与所述底座之间，所述调平装置包括固定座、调平球和用于与所述测量台和所述调平球连接的连接组件；所述固定座安装在所述底座上方，所述固定座开设有调平槽，所述调平槽沿靠近所述测量台中心位置水平延伸，所述调平球滑移安装在所述固定座位于所述调平槽内，以使所述测量台调平。
通过采用上述技术方案，当探针卡放置在测量台上时，驱动机构驱动测量台朝靠近底座方向移动，使测量台均与多个连接组件抵接，多个调平球均位于测量台的正下方，至少三个调平装置使测量台可以稳定的放置在一个平面上，多个调平球根据测量台的位置在调平槽内滑移调整位置，使探针卡平面与检测安装座平面平行，并且牢固可靠、不易出现倾斜晃动，从而提高检测探针卡的精确度。
优选的，所述底座固定安装有安装台，所述安装台设有开口向上的安装腔，所述固定座固定安装在所述安装腔内，所述安装台位于所述安装腔的开口处设有盖板，以使所述安装腔形成密闭空间。
通过采用上述技术方案，盖板盖设在安装台上，使安装腔形成密闭空间，外部的灰尘不易进入安装腔内，从而减少调平球被灰尘堵塞导致调平测量台出现误差的问题出现。
优选的，所述安装台的侧壁设有连接管，所述连接管与所述安装腔连通，所述连接管远离所述安装台的一端连接有抽气件，所述抽气件用于抽取所述安装腔内的空气，以使所述盖板对所述安装台负压吸附。
通过采用上述技术方案，抽气件通过连接管将安装腔内的空气抽取，使安装腔内真空，此时外部的压强比安装腔内大，从而使盖板更好的吸附在安装台上，提高测量台的调平精确度。
优选的，所述连接组件包括连接杆和抵接块，所述抵接块套设在所述连接杆上，所述抵接块固定安装在所述连接杆上，所述连接杆一端与所述调平球连接、另一端穿设于所述盖板且与所述测量台抵接。
通过采用上述技术方案，抵接块和连接杆均与测量台相抵接，从而增加了连接杆与测量台的接触面积，提高测量台的平稳性。
优选的，所述测量台靠近所述底座一侧开设有抵接槽，所述抵接槽开口向下，所述抵接块卡入所述抵接槽内，所述测量台位于所述抵接槽的槽底开设有连接孔，所述连接杆远离所述调平球的一端卡入所述连接孔内。
通过采用上述技术方案，当驱动机构驱动测量台靠近底座时，连接杆卡入连接孔，同时抵接块卡入抵接槽内，从而限定测量台的位置，方便调平球将测量台调整至水平位置。
优选的，所述盖板包括密封环和密封盖，所述密封环固定安装在所述固定座位于所述安装腔的开口处，所述密封盖套设在所述连接杆上且吸附在所述密封环上。
通过采用上述技术方案，密封盖和密封环将安装腔形成密闭空间，可以防止外界的灰尘进入安装腔内，减少调平球被灰尘堵塞导致调平测量台出现误差。
优选的，所述固定座位于所述调平槽的侧壁倾斜设置，所述调平槽相对的两侧壁的距离自靠近所述调平槽的槽底一侧朝远离所述调平槽的槽底一侧逐渐增大，所述调平球均与所述调平槽相对的两侧壁相抵接。
通过采用上述技术方案，调平槽相对的两侧壁倾斜设置，调平球均与两个侧壁相抵接，增加了调平球与固定座的接触面积，从而可以提高调平球对测量台调平时在调平槽移动的精确度。
优选的，所述连接杆上穿设有定位件，所述定位件转动安装在所述连接杆上，所述定位件与所述密封盖远离所述密封环的一侧相抵接。
通过采用上述技术方案，定位件与密封盖远离密封环的一侧相抵接，更好的将安装腔与外界空气隔绝，从而使外部空气不易进入安装腔内。
优选的，所述驱动机构包括连接板、第一驱动件和一对导轨，两条所述导轨均固定安装在所述底座上，所述导轨与所述底座垂直，所述连接板的相对两端分别滑移式安装在两所述导轨上，所述连接板与所述测量台连接，所述第一驱动件用于驱动所述连接板沿所述导轨的长度方向滑移；所述驱动机构还包括用于驱动所述测量台旋转的驱动组件，所述连接板与所述驱动组件连接。
通过采用上述技术方案，在测量探针卡前，第一驱动件驱动连接板滑移，连接板与驱动组件连接，从而带动测量台朝竖直方向移动，方便试验员将探针卡放置在测量台上。
优选的，所述驱动组件包括固定块、安装座和第二驱动件，所述固定块固定安装在所述连接板上，所述安装座一侧与所述固定块转动连接、另一侧与所述测量台固定连接，所述第二驱动件用于驱动所述安装座转动。
通过采用上述技术方案，第二驱动件驱动安装座转动，安装座带动测量台转动，从而可以调整测量台的角度，方便试验员将探针卡放置在测量台上。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1. 当探针卡放置在测量台上时，驱动机构驱动测量台朝靠近底座方向移动，使测量台均与多个连接组件抵接，多个调平球均位于测量台的正下方，至少三个调平装置使测量台可以稳定的放置在一个平面上，多个调平球根据测量台的位置在调平槽内滑移调整位置，使探针卡平面与检测安装座平面平行，并且牢固可靠、不易出现倾斜晃动，从而提高检测探针卡的精确度；
2. 抽气件通过连接管将安装腔内的空气抽取，使安装腔内真空，此时外部的压强比安装腔内大，从而使盖板更好的吸附在安装台上，提高测量台的调平精确度；
3. 第二驱动件驱动安装座转动，安装座带动测量台转动，从而可以调整测量台的角度，方便试验员将探针卡放置在测量台上。
附图说明
图1是本申请实施例的整体结构示意图。
图2是本申请实施例的整体结构剖视图。
图3是本申请实施例的安装台结构爆炸图。
图4是本申请实施例的调平装置结构示意图.
图5是本申请实施例的安装台结构示意图。
附图标记说明：
1、测量台；11、测量孔；12、抵接槽；13、连接孔；2、底座；21、支撑柱；22、导轨；23、连接板；24、第一驱动件；25、固定块；26、安装座；27、第二驱动件；3、安装台；31、安装腔；32、固定座；321、调平槽；33、调平球；34、连接杆；35、盖板；351、密封圈；352、密封盖；36、定位件；37、抵接块；38、连接管。
具体实施方式
以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。
本申请提供一种探针卡承载用调平平台，参照图1，调平平台包括底座2和测量台1，测量台1为矩形台，测量台1的中心位置开设有测量孔11，测量孔11为圆形孔，本申请实施例中测量台1的中心位置指测量孔11的圆心，即测量台1的几何中心；探针卡放置在测量台1上，探针卡的针头卡入测量孔11内，测量台1设置在底座2的正上方，参照图1和图2，底座2包括至少三根支撑柱21，本申请实施例的支撑柱21设有三根，其中两根支撑柱21位于测量台1同一侧的边角处，另一根支撑柱21位于测量台1另一侧的中间位置，三根支撑柱21形成等腰三角形的框架，有助于更好的支撑测量台1。
参照图2，调平平台包括驱动机构，驱动机构包括固定安装在底座2上的两条导轨22，两条导轨22相对设置，两条导轨22均固定安装在底座2上，两条导轨22均位于测量台1的同一侧，两条导轨22之间设有连接板23，连接板23的相对两端分别卡入两条导轨22内，连接板23垂直于导轨22，底座2上固定安装有第一驱动件24，第一驱动件24为气缸，第一驱动件24的活塞杆沿导轨22的长度方向伸缩，第一驱动件24的活塞杆与连接板23固定连接，第一驱动件24驱动连接板23沿导轨22的长度方向滑移。
参照图2和图3，调平平台还包括驱动组件，驱动组件包括固定块25、安装座26和第二驱动件27，固定块25设置有两个，两个固定块25分别固定安装在连接板23的两端，固定块25远离连接板23的一端朝垂直于连接板23的方向延伸，固定块25远离连接板23的一端与安装座26转动连接，两个安装座26相对设置，两个安装座26分别与测量台1的相对两侧固定连接，安装座26位于测量台1一侧的中间位置；第二驱动件27固定安装在固定块25上，第二驱动件27为翻转气缸，第二驱动件27的转轴与安装座26固定连接，在测量探针卡前，第一驱动件24驱动连接板23滑移，连接板23带动固定块25滑移，同时第二驱动件27驱动安装座26转动，安装座26带动测量台1转动，从而可以调整测量台1的位置，方便试验员将探针卡放置在测量台1上。
参照图3和图4，三根支撑柱21远离底座2的一端均固定安装有安装台3，安装台3为矩形台，安装台3远离支撑柱21的一端开设有安装腔31，安装腔31开口向上，安装台3位于安装腔31内固定安装有固定座32，固定座32沿三根支撑柱21形成的三角形框架的中心位置延伸，三根支撑柱21形成的三角形框架的中心位置与测量台1的几何中心相同，相邻两个固定座32到测量台1的延长线之间的夹角为120°，固定座32上开设有调平槽321，调平槽321沿固定座32的长度方向延伸，固定座32位于调平槽321的两内侧壁均倾斜设置，调平槽321的两内侧壁的距离自靠近调平槽321的槽底一端朝远离调平槽321的槽底一端逐渐增大。
参照图4和图5，固定座32位于调平槽321的位置设有调平球33，调平球33分别与调平槽321的两内侧壁相抵接，调平球33远离调平槽321的槽底一侧固定安装有连接杆34，连接杆34平行于支撑柱21，连接杆34远离调平球33的一端朝竖直向上延伸。
参照图2和图3，连接杆34上穿设有盖板35，盖板35包括密封环和密封盖352，密封环为圆形环，密封环固定安装在安装台3位于安装腔31的开口处，密封盖352套设在连接杆34上，密封盖352的横截面为三角形，密封盖352的边缘位置吸附在密封环远离安装台3的一侧，密封盖352远离安装台3的一侧设有定位件36，定位件36为螺母，定位件36穿设于连接杆34，定位件36螺纹安装在转动杆上，定位件36与密封盖352远离密封环的一侧相抵接，密封盖352和密封环将安装腔31形成密闭空间，可以防止外界的灰尘进入安装腔31内，减少调平球33被灰尘堵塞导致调平测量台1出现误差。
参照图4和图5，安装台3的侧壁设有连接管38，连接管38与安装腔31内连通，连接管38一端与安装台3固定连接、另一端朝远离安装台3的方向延伸；连接管38远离安装台3的一端与外部的抽气件连通，外部的抽气件将安装腔31内的空气抽走，使安装腔31内形成真空负压，外界空气比安装腔31内的压强高，使密封盖352更加稳定的吸附在密封环内，进而使安装腔31更好的形成密闭空间。
参照图3，测量台1靠近底座2的一侧开设有三个抵接槽12，三个抵接槽12分别对应三根支撑柱21的位置，抵接槽12开口向下，测量台1位于抵接槽12的槽底开设有连接孔13，连接孔13与抵接槽12连通；连接杆34远离调平球33的一端穿设有抵接块37，抵接块37卡入抵接槽12内，连接杆34远离调平球33的一端卡入连接孔13内，从而增加了连接杆34与测量台1的接触面积，提高测量台1的平稳性。
本申请实施例一种探针卡承载用调平平台的实施原理为：当探针卡放置在测量台1上时，第一驱动件24驱动连接板23朝竖直方向滑移，第二驱动件27驱动测量台1转动，使测量台1保持水平；三根连接杆34分别卡入连接孔13内，三个调平球33均位于测量台1的正下方，三个调平装置使测量台1可以稳定的放置在一个平面上，三个调平球33根据测量台1的位置分别在调平槽321内滑移调整位置，使测量台1保持平稳，不易出现倾斜晃动，从而提高检测探针卡的精确度。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：包括底座(2)、用于防止探针卡的测量台(1)、用于驱动所述测量台(1)靠近或远离所述底座(2)的驱动机构和至少三个用于调平所述测量台(1)的调平装置，多个所述调平装置与所述测量台(1)的中心位置距离相等，所述调平装置位于所述测量台(1)与所述底座(2)之间，所述调平装置包括固定座(32)、调平球(33)和用于与所述测量台(1)和所述调平球(33)连接的连接组件；所述固定座(32)安装在所述底座(2)上方，所述固定座(32)开设有调平槽(321)，所述调平槽(321)沿靠近所述测量台(1)中心位置水平延伸，所述调平球(33)滑移安装在所述固定座(32)位于所述调平槽(321)内，以使所述测量台(1)调平。
2.根据权利要求1所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述底座(2)固定安装有安装台(3)，所述安装台(3)设有开口向上的安装腔(31)，所述固定座(32)固定安装在所述安装腔(31)内，所述安装台(3)位于所述安装腔(31)的开口处设有盖板(35)，以使所述安装腔(31)形成密闭空间。
3.根据权利要求2所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述安装台(3)的侧壁设有连接管(38)，所述连接管(38)与所述安装腔(31)连通，所述连接管(38)远离所述安装台(3)的一端连接有抽气件，所述抽气件用于抽取所述安装腔(31)内的空气，以使所述盖板(35)对所述安装台(3)负压吸附。
4.根据权利要求2所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述连接组件包括连接杆(34)和抵接块(37)，所述抵接块(37)套设在所述连接杆(34)上，所述抵接块(37)固定安装在所述连接杆(34)上，所述连接杆(34)一端与所述调平球(33)连接、另一端穿设于所述盖板(35)且与所述测量台(1)抵接。
5.根据权利要求4所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述测量台(1)靠近所述底座(2)一侧开设有抵接槽(12)，所述抵接槽(12)开口向下，所述抵接块(37)卡入所述抵接槽(12)内，所述测量台(1)位于所述抵接槽(12)的槽底开设有连接孔(13)，所述连接杆(34)远离所述调平球(33)的一端卡入所述连接孔(13)内。
6.根据权利要求5所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述盖板(35)包括密封环和密封盖(352)，所述密封环固定安装在所述安装台(3)位于所述安装腔(31)的开口处，所述密封盖(352)套设在所述连接杆(34)上且吸附在所述密封环上。
7.根据权利要求1所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述固定座(32)位于所述调平槽(321)的侧壁倾斜设置，所述调平槽(321)相对的两侧壁的距离自靠近所述调平槽(321)的槽底一侧朝远离所述调平槽(321)的槽底一侧逐渐增大，所述调平球(33)均与所述调平槽(321)相对的两侧壁相抵接。
8.根据权利要求6所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述连接杆(34)上穿设有定位件(36)，所述定位件(36)转动安装在所述连接杆(34)上，所述定位件(36)与所述密封盖(352)远离所述密封环的一侧相抵接。
9.根据权利要求1所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述驱动机构包括连接板(23)、第一驱动件(24)和一对导轨(22)，两条所述导轨(22)均固定安装在所述底座(2)上，所述导轨(22)与所述底座(2)垂直，所述连接板(23)的相对两端分别滑移式安装在两所述导轨(22)上，所述连接板(23)与所述测量台(1)连接，所述第一驱动件(24)用于驱动所述连接板(23)沿所述导轨(22)的长度方向滑移；所述驱动机构还包括用于驱动所述测量台(1)旋转的驱动组件，所述连接板(23)与所述驱动组件连接。
10.根据权利要求9所述的一种探针卡承载用调平平台，其特征在于：所述驱动组件包括固定块(25)、安装座(26)和第二驱动件(27)，所述固定块(25)固定安装在所述连接板(23)上，所述安装座(26)一侧与所述固定块(25)转动连接、另一侧与所述测量台(1)固定连接，所述第二驱动件(27)用于驱动所述安装座(26)转动。
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| CN202210199701.7A CN114563603A (zh) | 2022-03-01 | 2022-03-01 | 一种探针卡承载用调平平台 |
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| CN202210199701.7A CN114563603A (zh) | 2022-03-01 | 2022-03-01 | 一种探针卡承载用调平平台 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117368546A (zh) * | 2023-12-05 | 2024-01-09 | 江苏才道精密仪器有限公司 | 一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备 |
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2022
- 2022-03-01 CN CN202210199701.7A patent/CN114563603A/zh not_active Withdrawn
Cited By (2)
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| CN117368546A (zh) * | 2023-12-05 | 2024-01-09 | 江苏才道精密仪器有限公司 | 一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备 |
| CN117368546B (zh) * | 2023-12-05 | 2024-02-27 | 江苏才道精密仪器有限公司 | 一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备 |
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