CN114559567A - 一种大尺寸石英环产品加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种大尺寸石英环产品加工方法，包括以下步骤：S1：下料：切割下板料；S2：切割分解环坯料：从板料上切割出的部件坯料；S3：制备石英环产品坯料：将S2中的部件坯料焊接成一个完整的石英环产品坯料；S4：平磨倒斜角：对石英环产品坯料先进行粗磨，再采用“四分法”进行精磨，并在石英环产品坯料内外径棱边处研磨形成粘蜡底面；S5：装夹固定；S6：内外径加工：加工形成石英环产品半成品；S7：侧壁镗孔：在石英环产品半成品上分别加工形成小孔、大孔和方孔，形成石英环产品；S8：清洗：得到石英环产品。不仅有效解决了大尺寸石英环产品受毛坯料产能影响采购困难等问题，而且大幅度提高了石英原材料的利用率，降低了生产成本。
Description
技术领域
本发明属于石英产品加工技术领域，尤其是涉及一种大尺寸石英环产品加工方法。
背景技术
当前正处于半导体行业高速发展的时期，石英产品作为半导体装备中的关键零部件，其需求量也逐年增加。作为石英产品的大尺寸石英环市场发展迅速，产品需求量持续扩张。面对市场的需求增加，再加上产品质量的高要求，传统的产品加工方式无法在激烈的市场竞争中取得优势，为了进一步提升企业的核心竞争力，提升产品的品质，降低生产成本，必须进行工艺改进和技术创新。
对于直径在1米以上的大尺寸石英环的加工，目前行业内主要使用的加工方法为：以石英锭为原材料，通过锯切制备石英板、石英板再通过水切割制备石英环、平磨、内外径加工、侧孔加工、清洗等工序才能完成。目前国内外大尺寸石英锭产能有限，采用周期长，生产效率低，原材料利用率低，加工成本高，难以满足目前市场对大尺寸石英环的大批量需求；石英环侧孔加工过程中孔底部和内外径加工过程中底部都容易发生崩缺，产品一次合格率不是很理想。
发明内容
本发明针对现有技术中受限原材料产能影响，采用周期长，原材料利用率低，加工成本高，难以满足目前市场对大尺寸石英环的大批量需求的问题，而提供了一种大尺寸石英环产品毛坯料制作加工方法，通过对产品各部分结构特征进行分解，将一个完整的石英环产品分为若干段部件。对石英锭进行切割下板料，根据每一部分的尺寸对板料进行水切割备料，再将水切割后的每一部件材料通过火加工焊接成一个产品加工成所需的一个完整的原材料，这种方式不仅有效解决了大尺寸石英环产品受毛坯料产能影响采购困难等问题，而且大幅度提高了石英原材料的利用率，降低了生产成本。
本发明实现其第一个发明目的所采用的技术方案是：一种大尺寸石英环产品加工方法，包括以下步骤：
S1：下料：根据产品总高度对石英锭进行切割下板料；
S2：切割分解环坯料：根据石英环产品的结构特征，对板料进行水切割备料，从板料上切割出组成整体石英环产品的各个结构特征所需要的部件坯料；
S3：制备石英环产品坯料：通过火加工将S2中的部件坯料焊接成一个产品加工成所需的完整的石英环产品坯料；
S4：平磨倒斜角：对石英环产品坯料先进行粗磨，再采用“四分法”进行精磨，并在石英环产品坯料内外径棱边处研磨形成粘蜡底面；
S5：装夹固定：准备好带有等高块的装夹治具，将S4中的石英环产品坯料上粘蜡底面用蜡粘在装夹治具的等高块上；
S6：内外径加工：先采用金属刀具对石英环产品坯料内外径自上而下螺旋切削进行粗加工，再用金属刀具对石英环产品坯料内外径自上而下螺旋切削进行精加工，加工形成石英环产品半成品；
S7：侧壁镗孔：在石英环产品半成品上根据孔的设置位置自外径向内径分别加工形成小孔、大孔和方孔，形成石英环产品；
S8：清洗：清洗加工后的石英环产品，用气枪将石英环产品吹干，得到大尺寸石英环产品。
该大尺寸石英环产品加工方法，通过对石英环产品进行分解，根据石英环产品各部分结构特征沿周向分解成多段，然后根据每一部分的尺寸对板料进行水切割备料，即从板料上切割各段所需要形状的坯料，也就是将现有技术中直接下料一个完整的石英环坯料，改用在板料上切割出组成完整石英环坯料的若干段部件坯料。再将水切割后的每一部件坯料通过火加工焊接成一个石英环产品加工成所需的完整的石英环坯料。最后再将完整的石英环坯料蜡粘到装夹治具上进行加工。该方式不仅有效解决了大尺寸石英环产品受毛坯料产能影响采购困难等问题，而且大幅度提高了石英原材料的利用率，降低了生产成本。而且在加工过程中精磨采用“四分法”方式进行研磨，加工余量均匀分配去除，有效去除材料切割过程中导致的上下表面的破碎层。
作为优选，步骤2部件坯料的制作，是将需要加工形成的一个完整的石英环产品沿周向划分为若干段部件，根据每一段部件的尺寸在板料上进行水切割形成部件坯料，部件坯料端面切割成斜角，部件坯料与部件坯料之间预留宽度约1-2mm之间的焊缝。斜角和焊缝有助于焊接时焊棒料的熔入，避免焊接部位出现气泡问题。
作为优选，步骤4中精磨采用“四分法”精磨是：将石英环产品坯料径向厚度方向的总加工余量A均匀分成四次研磨，第一次正面磨削掉总加工余量A/4，第二次反面磨削掉总加工余量A/4，第三次正面磨削掉总加工余量A/4，第四次反面磨削掉总加工余量A/4。精磨采用“四分法”方式对产品高度即石英环产品坯料径向厚度方向进行研磨，加工余量均匀分配去除，能够有效去除材料切割过程中导致的上下表面的破碎层，保证石英环的产品质量。
作为优选，步骤4中粘蜡底面的设置是通过手工研磨方式对石英环产品坯料底面内外径外面1mm以外的毛坯料内外径棱边倒斜角处理。可以有效避免刀具加工到石英环产品坯料底面时产生的边缘崩缺隐患。
作为优选，步骤5中带有等高块的装夹治具包括一大理石平台和若干等高块，等高块呈环形均匀蜡粘在大理石平台上；在步骤6中，粗加工用金属刀具的粒度为100-170#，精加工用金属刀具的粒度为200-325#。装夹治具由一块大理石平台和若干个等高块组成，等高块通过特制的蜡粘着在大理石平台上，大理石平台通过安装槽与机床工作平台固定连接，该治具的设置能够实现对石英环坯料的放置粘接，以方便后继加工，而且在加工过程中也不会影响刀具的进刀操作。
作为优选，在步骤6中，刀具自上而下螺旋切削的加工终点位于石英环产品坯料底面以上0.03mm-0.07mm位置。
作为优选，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品上自外径向内径加工形成小孔，是先将石英环产品半成品上小刀具磨削部分修理成呈1×60°斜角支撑面，然后再进行镗孔。设置斜角支撑面，使得孔加工到底部时，就有与刀具斜角特征相仿的石英材料斜角支撑面为支撑，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。
作为优选，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品上自外径向内径加工形成大孔，是通过刀具先对石英环产品半成品内径通孔底部位置倒1×60°斜角形成孔底支撑斜角，然后刀具从外径往内径径向进行镗孔。孔底支撑斜角的设置，使得刀具加工到孔底部时，孔底支撑斜角也起到一个支撑作用，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。
作为优选，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品上自外径向内径加工形成方孔，是首先在需要镗的方孔所在的石英环产品半成品底部平面上蜡粘一块玻璃，形成底部支撑，然后再进行镗方孔。在待加工的孔底部平面（即环面上）处用蜡粘一块玻璃，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。
作为优选，在步骤S8中的清洗：首先将待洗净的石英环产品放入冲洗槽，用海绵沾洗净剂对石英环产品表面全部擦一遍，并用水冲干净；接着将擦洗后的石英环产品放入加热槽中煮沸洗净，当槽内的水处于沸腾状态时，开始计时，煮沸洗净30分钟及以上；煮沸30分钟后，取出石英环产品，在冲洗槽中用水冲洗，并用海绵轻轻刷洗石英环产品的各个表面，然后用水冲洗干净；用气枪将产品吹干，得到大尺寸石英环产品。
本发明的有益效果是：该大尺寸石英环产品加工方法，不仅有效解决了大尺寸石英环产品受毛坯料产能影响采购困难等问题，而且大幅度提高了石英原材料的利用率，降低了生产成本。而且在加工过程中精磨采用“四分法”方式进行研磨，加工余量均匀分配去除，有效去除材料切割过程中导致的上下表面的破碎层。采用斜角支撑面、孔底支撑斜角以及玻璃等支撑结构，有效解决了侧孔加工过程中容易产生崩缺的问题。
附图说明
图1是本发明中大尺寸石英环产品的一种结构示意图；
图2是本发明步骤1中板料的一种结构示意图；
图3是本发明中从板料切割部件坯料的一种结构示意图；
图4是本发明中石英环产品坯料的一种结构示意图；
图5是图4中B-B剖视图；
图6是本发明中石英环产品坯料蜡粘在装夹治具上的一种结构示意图；
图7是本发明中石英环产品坯料内外径加工的一种结构示意图；
图8是本发明中石英环产品坯料侧壁镗孔加工的一种结构示意图；
图9是本发明中镗小孔的一种结构示意图；
图10是本发明中镗大孔的一种结构示意图；
图11是本发明中镗方孔的一种结构示意图；
图中：1、板料，2、部件坯料， 3、斜角，4、焊缝，5、石英环产品坯料，6、装夹治具，7、等高块，8、大理石平台，9、粘蜡底面，10、石英环产品半成品，11、小孔，12、大孔，13、方孔，14、石英环产品，15、大尺寸石英环产品，16、大尺寸环体，17、环耳，18、刀具，19、斜角支撑面，20、孔底支撑斜角，21、环耳部件坯料，22、方孔部件坯料，23、大尺寸环体坯料，24、玻璃。
具体实施方式
下面通过具体实施例并结合附图对本发明的技术方案作进一步详细描述。
实施例1：
图1所示的是一种大尺寸石英环产品，该大尺寸石英环产品15包括一大尺寸环体16、在大尺寸环体16上设置有两环耳17、多个小孔11、多个大孔12和一个方孔13。下面通过具体实施例来说明对于该类大尺寸石英环产品的加工方法。
一种大尺寸石英环产品加工方法，包括以下步骤：
S1：下料：根据产品总高度对石英锭进行切割下板料1；如图2所示，锯床根据待加工的大尺寸石英环产品15轴向总高度对石英锭进行切割下板料1。
S2：切割分解环坯料：根据石英环产品的结构特征，对板料1进行水切割备料，从板料1上切割出组成整体石英环产品的各个结构特征所需要的部件坯料2；部件坯料2的制作是将需要加工形成的一个完整的石英环产品沿周向划分为若干段部件，根据每一段部件的尺寸在板料上进行水切割形成部件坯料2，部件坯料2端面切割成斜角3，斜角和焊缝有助于焊接时焊棒料的熔入，避免焊接部位出现气泡问题，部件坯料与部件坯料之间预留宽度约1-2mm之间的焊缝4（见图4）。如图3所示，本实施例中，将整个大尺寸石英环产品划分为两个环耳部件坯料、一个方孔部件坯料和三段大尺寸环体坯料，然后从板料1上分别切割出两个环耳部件坯料21、一个方孔部件坯料22和三段大尺寸环体坯料23。
S3：制备石英环产品坯料：通过火加工将步骤2中的部件坯料2焊接成一个产品加工成所需的完整的石英环产品坯料5；如图4所示，通过火加工将步骤2中的两个环耳部件坯料21、一个方孔部件坯料22和三段大尺寸环体坯料23焊接成一个产品加工成所需的完整的石英环产品坯料5。
S4：平磨倒斜角：对石英环产品坯料5先进行粗磨，再采用“四分法”进行精磨，“四分法”精磨是：如图5所示，将石英环产品坯料5径向厚度方向的总加工余量A均匀分成四次研磨，第一次正面（内环面）磨削掉总加工余量A/4，第二次反面（外环面）磨削掉总加工余量A/4，第三次正面（内环面）磨削掉总加工余量A/4，第四次反面（外环面）磨削掉总加工余量A/4。精磨采用“四分法”方式对产品高度即石英环产品坯料径向厚度方向进行研磨，加工余量均匀分配去除，能够有效去除材料切割过程中导致的上下表面的破碎层，保证石英环的产品质量。并在石英环产品坯料内外径棱边处研磨形成粘蜡底面9；粘蜡底面9的设置是通过手工研磨方式对石英环产品坯料底面内外径外面1mm以外的毛坯料内外径棱边倒斜角处理（见图5）。可以有效避免刀具加工到石英环产品坯料底面时产生的边缘崩缺隐患。
S5：装夹固定：准备好带有等高块7的装夹治具6，将步骤4中的石英环产品坯料上粘蜡底面9用蜡粘在装夹治具6的等高块7上；
S6：内外径加工：先采用金属刀具18对石英环产品坯料5内外径自上而下螺旋切削进行粗加工，再用金属刀具对石英环产品坯料5内外径自上而下螺旋切削进行精加工，加工形成石英环产品半成品10（见图7）；
S7：侧壁镗孔：在石英环产品半成品10上根据孔的设置位置自外径向内径分别加工形成小孔11、大孔12和方孔13，形成石英环产品14（见图8）；
S8：清洗：清洗加工后的石英环产品，用气枪将石英环产品吹干，得到需要制得的大尺寸石英环产品15。
步骤5中带有等高块的装夹治具6包括一大理石平台8和若干等高块7，等高块7呈环形均匀蜡粘在大理石平台8上。本实施例中，装夹治具6由一块大理石平台8和若干个等高块组成，等高块7通过特制的蜡粘着在大理石平台上，大理石平台通过安装槽与机床工作平台固定连接，该治具的设置能够实现对石英环坯料的放置粘接，以方便后继加工，而且在加工过程中也不会影响刀具的进刀操作。
在步骤6中，粗加工用金属刀具的粒度为100-170#，精加工用金属刀具的粒度为200-325#。在步骤6中，刀具自上而下螺旋切削的加工终点位于石英环产品坯料底面以上0.03mm-0.07mm位置。本实施例中，先用170#金属刀具对产品内径和外径进行粗加工，然后用270#金属刀具对产品内径和外径进行精加工，加工时刀具自上而下螺旋磨削加工，刀具加工至产品底面以上0.05mm，以免切到等高块，底部多出0.05mm部分采用手工去毛刺去除。
如图9所示，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品上自外径向内径加工形成小孔，是先将石英环产品半成品上小刀具磨削部分修理成呈1×60°斜角支撑面19，然后再进行镗孔。设置斜角支撑面19，使得孔加工到底部时，就有与刀具斜角特征相仿的石英材料斜角支撑面为支撑，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。先将小刀具磨削部分修理成呈1×60°斜角特征，这样孔加工到底部就有与刀具斜角特征相仿的石英材料斜角支撑面作为支撑，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。
如图10所示，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品上自外径向内径加工形成大孔，是通过刀具先对石英环产品半成品内径通孔底部位置倒1×60°斜角形成孔底支撑斜角20，然后刀具从外径往内径径向进行镗孔。孔底支撑斜角的设置，使得刀具加工到孔底部时，孔底支撑斜角也起到一个支撑作用，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。所示，刀具先对产品内径通孔底部位置倒1×60°斜角，然后刀具从外径往内径径向进行镗孔，刀具加工到孔底部时，孔底支撑斜角也起到一个支撑作用，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。
如图11所示，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品上自外径向内径加工形成方孔，是首先在需要镗的方孔所在的石英环产品半成品底部平面上蜡粘一块玻璃24，形成底部支撑，然后再进行镗方孔。在待加工的孔底部平面（即环面上）处用蜡粘一块玻璃，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。方孔底面为平面，在孔底部平面处用蜡粘一块玻璃，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。
在步骤S8中的清洗：首先将待洗净的石英环产品放入冲洗槽，用海绵沾洗净剂对石英环产品表面全部擦一遍，并用水冲干净；接着将擦洗后的石英环产品放入加热槽中煮沸洗净，当槽内的水处于沸腾状态时，开始计时，煮沸洗净30分钟及以上；煮沸30分钟后，取出石英环产品，在冲洗槽中用水冲洗，并用海绵轻轻刷洗石英环产品的各个表面，然后用水冲洗干净；用气枪将产品吹干，得到石英环产品。
该大尺寸石英环产品加工方法，通过对石英环产品进行分解，根据石英环产品各部分结构特征沿周向分解成多段，然后根据每一部分的尺寸对板料进行水切割备料，即从板料上切割各段所需要形状的坯料，也就是将现有技术中直接下料一个完整的石英环坯料，改用在板料上切割出组成完整石英环坯料的若干段部件坯料。再将水切割后的每一部件坯料通过火加工焊接成一个石英环产品加工成所需的完整的石英环坯料。最后再将完整的石英环坯料蜡粘到装夹治具上进行加工。该方式不仅有效解决了大尺寸石英环产品受毛坯料产能影响采购困难等问题，而且大幅度提高了石英原材料的利用率，降低了生产成本。而且在加工过程中精磨采用“四分法”方式进行研磨，即厚度方向总加工余量为A，第一次内环面（正面）磨削掉A/4，第二次外环面（反面）磨削掉A/4，第三次内环面（正面）磨削掉A/4，第四次外环面（反面）磨削掉A/4，加工余量均匀分配去除，有效去除材料切割过程中导致的上下表面的破碎层。
针对侧孔在加工过程中容易产生崩缺的问题。该大尺寸石英环产品加工方法，根据产品侧孔的结构特征，采用相对应的加工方法：（1）镗φ10mm以下的侧孔，将小刀具磨削部分修理成呈1×60°斜角特征，这样孔加工到底部就有与刀具斜角特征相仿的石英材料斜角支撑面作为支撑，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患；（2）镗φ10mm以上的侧孔，刀具先对产品内径通孔底部位置倒1×60°斜角，然后刀具从外径往内径径向进行镗孔，刀具加工到孔底部时，孔底支撑斜角也起到一个支撑作用，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患；（3）当侧孔底面为平面时，可以在孔底部平面处用蜡粘一块玻璃，有玻璃对孔底部进行支撑，可以有效避免刀具加工到孔底部时产生的边缘崩缺隐患。这种方法可以有效避免对硬脆性石英材料直接镗孔而可能产生崩缺的隐患，进一步优化镗孔方法和提高产品质量。通过对产品粘蜡底面内外径外面1mm以外的毛坯料内外径棱边倒斜角处理，可以有效避免产品底面悬空部位在刀具加工到产品底面时产生的边缘崩缺隐患。
在本发明的描述中，技术术语 “上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外” 、“左”、“右”等表示方向或位置关系是基于附图所示的方向或位置关系，仅是为了便于描述和理解本发明的技术方案，以上说明并非对本发明作了限制，本发明也不仅限于上述说明的举例，本技术领域的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、增添或替换，都应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，包括以下步骤：
S1：下料：根据产品总高度对石英锭进行切割下板料（1）；
S2：切割分解环坯料：根据石英环产品的结构特征，对板料（1）进行水切割备料，从板料（1）上切割出组成整体石英环产品的各个结构特征所需要的部件坯料（2）；
S3：制备石英环产品坯料：通过火加工将S2中的部件坯料焊接成一个产品加工成所需的完整的石英环产品坯料（5）；
S4：平磨倒斜角：对石英环产品坯料先进行粗磨，再采用“四分法”进行精磨，并在石英环产品坯料内外径棱边处研磨形成粘蜡底面（9）；
S5：装夹固定：准备好带有等高块（7）的装夹治具（6），将S4中的石英环产品坯料上粘蜡底面（9）用蜡粘在装夹治具的等高块（7）上；
S6：内外径加工：先采用金属刀具（18）对石英环产品坯料（5）内外径自上而下螺旋切削进行粗加工，再用金属刀具对石英环产品坯料（5）内外径自上而下螺旋切削进行精加工，加工形成石英环产品半成品（10）；
S7：侧壁镗孔：在石英环产品半成品（10）上根据孔的设置位置自外径向内径分别加工形成小孔（11）、大孔（12）和方孔（13），形成石英环产品（14）；
S8：清洗：清洗加工后的石英环产品，用气枪将石英环产品吹干，得到大尺寸石英环产品（15）。
2.根据权利要1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，步骤2部件坯料的制作，是将需要加工形成的一个完整的石英环产品沿周向划分为若干段部件，根据每一段部件的尺寸在板料上进行水切割形成部件坯料（2），部件坯料（2）端面切割成斜角（3），部件坯料与部件坯料之间预留宽度约1-2mm之间的焊缝（4）。
3.根据权利要1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，步骤4中精磨采用“四分法”精磨是：将石英环产品坯料（5）径向厚度方向的总加工余量A均匀分成四次研磨，第一次正面磨削掉总加工余量A/4，第二次反面磨削掉总加工余量A/4，第三次正面磨削掉总加工余量A/4，第四次反面磨削掉总加工余量A/4。
4.根据权利要1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，步骤4中粘蜡底面（9）的设置是通过手工研磨方式对石英环产品坯料（5）底面内外径外面1mm以外的毛坯料内外径棱边倒斜角处理。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，步骤5中带有等高块的装夹治具（6）包括一大理石平台（8）和若干等高块（7），等高块（7）呈环形均匀蜡粘在大理石平台（8）上；在步骤6中，粗加工用金属刀具的粒度为100-170#，精加工用金属刀具的粒度为200-325#。
6.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，在步骤6中，刀具自上而下螺旋切削的加工终点位于石英环产品坯料（5）底面以上0.03mm-0.07mm位置。
7.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品（10）上自外径向内径加工形成小孔（11），是先将石英环产品半成品（10）上小刀具磨削部分修理成呈1×60°斜角支撑面（19），然后再进行镗孔。
8.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品上自外径向内径加工形成大孔（12），是通过刀具先对石英环产品半成品内径通孔底部位置倒1×60°斜角形成孔底支撑斜角（20），然后刀具从外径往内径径向进行镗孔。
9.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，在步骤7中采用金属刀具在石英环产品半成品上自外径向内径加工形成方孔（13），是首先在需要镗的方孔所在的石英环产品半成品底部平面上蜡粘一块玻璃（24），形成底部支撑，然后再进行镗方孔。
10.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英环产品加工方法，其特征是，在步骤S8中的清洗：首先将待洗净的石英环产品（14）放入冲洗槽，用海绵沾洗净剂对石英环产品表面全部擦一遍，并用水冲干净；接着将擦洗后的石英环产品放入加热槽中煮沸洗净，当槽内的水处于沸腾状态时，开始计时，煮沸洗净30分钟及以上；煮沸30分钟后，取出石英环产品，在冲洗槽中用水冲洗，并用海绵轻轻刷洗石英环产品的各个表面，然后用水冲洗干净；用气枪将产品吹干，得到大尺寸石英环产品（15）。
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