CN114559563A - 一种石英环类倒角用固定治具及其使用方法 - Google Patents

一种石英环类倒角用固定治具及其使用方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种石英环类倒角用固定治具及其使用方法,治具包括石英定盘,所述石英定盘上设有若干定位组件,所述定位组件沿径向与石英定盘滑动连接,所述定位组件朝向和远离石英定盘圆心的两端均设有用于抵接石英环类的弧面,所述定位组件通过定位件固定在石英定盘上,所述石英定盘上设有用于将其压紧在工作台上的压紧组件。本发明具有如下有益效果:(1)定位组件可固定尺寸范围较广的石英环类产品;(2)快速固定,尤其适用于切削量较小的加工,例如倒角处理;(3)通过设置同步推动件在进一步提高固定效率的同时,还起到压紧石英定盘的作用,无需额外设置压板;(4)结构简单,工装加工成本低,操作简单。

Description

一种石英环类倒角用固定治具及其使用方法
技术领域
本发明涉及石英技术领域,尤其涉及一种石英环类倒角用固定治具及其使用方法。
背景技术
石英环类产品属于半导体设备中的必要产品,现有制造技术中,为了保证加工时的有效固定,通常使用粘蜡固定:产品需要在加热平台上加热后,在产品和石英定盘上涂上高强度石蜡,使产品和定盘很好吻合粘结;然后使产品和定盘冷却,再用夹具装夹到机床工作台上,加工完成后,在将粘有产品的定盘放置在加热平台上加热使石蜡溶解,并用沸水洗净油脂。采用粘蜡的加工方法存在的缺点是:产品与定盘的吻合程度很难保证,整体效率低,能耗加大,粘蜡过程会产生产品粘结面的划伤。尤其是对于部分石英环类产品通常只需要进行一些切削量较小的加工,例如倒角,工序本身较为简单,粘蜡固定步骤的加入更是大大降低了加工效率。
例如,一种在中国专利文献上公开的“一种旋转连杆式石英环涂蜡粘接装置”,其申请号CN201910529901.2,包括操作板和底板,所述操作板的底部固定安装有承接板,所述底板的顶部固定安装有抬升推杆,所述抬升推杆的顶部固定安装有延伸杆,所述延伸杆的顶部固定安装有对接板。其不足之处是,对于只需要进行一些切削量较小、工序较为简单的石英环加工,粘蜡固定大大降低加工效率。
发明内容
本发明是为了克服现有的固定方法大大降低石英环倒角等加工效率的问题,提供一种石英环类倒角用固定治具及其使用方法,实现倒角前石英环的快速固定。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种石英环类倒角用固定治具,包括石英定盘,所述石英定盘上设有若干定位组件,所述定位组件沿径向与石英定盘滑动连接,所述定位组件朝向和远离石英定盘圆心的两端均设有用于抵接石英环类的弧面,所述定位组件通过定位件固定在石英定盘上,所述石英定盘上设有用于将其压紧在工作台上的压紧组件。
本发明的特点在于设置可滑动的定位组件用于压紧固定不同尺寸的石英环,由于定位组件两端均设有用于抵接产品的弧面,尺寸较小的石英环产品放置在定位组件内侧,定位组件内侧一端的弧面与产品外壁抵接固定;尺寸较大的石英环产品放置在定位组件外侧,定位组件外侧一端的弧面与产品内壁抵接固定,所适用的产品尺寸范围广,且定位组件弧形端面与石英环内外壁线接触,对石英产品损伤小。优选地,定位组件沿周向均匀设置三组,三点定位产品。优选地,石英定盘、定位组件采用与产品相同的石英材料制成,避免产品与其他材料接触污染以及产品划伤等问题,定位组件也不易磨损。压紧组件用于将治具压紧固定在工作台上,优选地,压紧组件采用不锈钢制成。
作为优选,所述定位组件包括均沿径向设置在石英定盘上的第一滑槽和第二滑槽,第一滑槽和第二滑槽分别对应设置在石英定盘两侧,所述第一滑槽和第二滑槽之间通过滑孔连通,所述定位组件还包括滑动设置在第一滑槽内的第一滑块、滑动设置在第二滑槽内的第二滑块,所述滑孔内设有用于固定第一滑块和第二滑块的固定件。
第一滑块和第二滑块分别滑动设置在石英定盘两侧,设置在石英定盘靠近产品一侧的滑块用于固定产品,而设置在石英定盘远离产品一侧的滑块与另一滑块同步滑动,用于与固定件配合固定在滑槽的任意位置。
作为优选,所述第一滑块呈腰形并设置在石英定盘靠近产品的一侧,所述第一滑块中设有供固定件穿过的腰孔。
腰形的第一滑块两端面为弧面,腰孔方便沿径向调节其内固定件位置。
作为优选,所述第二滑槽为T型槽,所述第二滑块为与第二滑槽适配的T型滑块。
横截面为T型的滑块沿T型槽滑动,除径向滑动外其余自由度均得到限位,确保定位组件固定到位。
作为优选,所述压紧组件包括压板和压紧螺栓,所述压板上设有供压紧螺栓穿过的调节孔,定位组件内侧的石英定盘上设有供压紧螺栓穿过的方槽。
拧紧压紧螺栓,压板将石英定盘压紧在工作台上,调节孔以及方槽方便根据定位组件所在位置调节压板的固定位置。
作为优选,还包括同步推动件,所述同步推动件代替压板设置,所述同步推动件上设有代替调节孔的弧形调节孔,所述弧形调节孔与同步推动件同心设置,所述同步推动件与石英定盘同心转动连接,所述同步推动件周向上设有朝向第一滑块的推动齿,所述推动齿外缘到同步推动件圆心的距离沿周向逐渐增大。
沿周向旋转同步推动件,多个推动齿同步旋转,推动多个定位组件同时移动至与产品抵接,即使一开始产品偏心放置,在旋转过程中定位组件逐渐外扩或内缩,将产品逐渐定心,进一步提高装夹效率;另外,完成定位组件的推动后,同步推动件还可代替压板,起到固定石英定盘的作用,弧形调节孔保证转到任意角度仍能设置固定件。
作为优选,所述同步推动件转动设置在定位组件内侧,所述推动齿朝外设置,所述同步推动件中心设有转动孔,所述石英定盘中心设有转动孔适配的转轴。
当石英环尺寸较大,固定在定位组件外侧时,同步推动件设置在定位组件内侧,推动齿设置在同步推动件外壁上,同步推动件通过中心的转动孔与石英定盘中心的转轴转动配合。
作为优选,所述同步推动件呈环形套设在石英定盘外缘上方,所述同步推动件转动设置在定位组件外侧,所述推动齿朝内设置。
当石英环尺寸较小,固定在定位组件内侧时,同步推动件呈环形设置在定位组件外侧,推动齿设置在环形同步推动件的内壁上,同步推动件可通过底部外缘的凸台与石英定盘外缘转动配合。
一种石英环类倒角用固定治具的使用方法,包括如下步骤:
S1. 根据实际加工的产品规格大小将任意两组定位组件滑动至合适的位置后通过固定件将定位组件固定在石英定盘;
S21. 将产品放置在定位组件外侧的石英定盘上,将产品内壁轻轻推靠至两组定位组件外缘上后,移动其余定位组件,将其余定位组件轻推挤压在产品内壁上,用手轻轻转动被固定住的产品,无法明显转动即可固定其余固定件;
S31. 通过拧紧压紧螺栓将压板压于石英定盘内侧方槽处与机床工作台连接;
S22. 将产品放置在定位组件内侧的石英定盘上,将产品外壁轻轻推靠至两组定位组件内缘上后,移动其余定位组件,将其余定位组件轻推挤压在产品外壁上,用手轻轻转动被固定住的产品,无法明显转动即可固定其余固定件;
S32. 通过压板压于石英定盘外缘处与机床工作台连接;
其中顺序步骤S1、S21、S31或S1、S22、S32二者择其一。
当产品尺寸较大时,选择顺序步骤S1、S21和S31;当产品尺寸较小时,选择顺序步骤S1、S22和S32,可固定产品尺寸范围广。
作为优选,步骤S21中,沿转轴转动同步推动件,将定位组件同步推挤压在产品内壁上;
步骤S31中,通过拧紧压紧螺栓将同步推动件压于石英定盘内侧方槽处与机床工作台连接;
步骤S22中,沿石英定盘外缘转动同步推动件,将定位组件同步推挤压在产品外壁上;
步骤S33中,通过拧紧压紧螺栓将同步推动件压于石英定盘外缘处与机床工作台连接。
当产品尺寸较大时,选择顺序步骤S1、S21和S31;当产品尺寸较小时,选择顺序步骤S1、S22和S32,进一步提高。
因此,本发明具有如下有益效果:(1)定位组件可固定尺寸范围较广的石英环类产品;(2)快速固定,尤其适用于切削量较小的加工,例如倒角处理;(3)通过设置同步推动件在进一步提高固定效率的同时,还起到压紧石英定盘的作用,无需额外设置压板;(4)结构简单,工装加工成本低,操作简单。
附图说明
图1是本发明实施例1的一种结构示意图。
图2是本发明实施例1另一角度的结构示意图。
图3是本发明实施例2的一种结构示意图。
图4是本发明实施例3的一种结构示意图。
图5是本发明实施例4的一种结构示意图。
图中:1、石英定盘,11、第一滑槽,12、第二滑槽,13、滑孔,14、方槽,15、转轴,16、台阶面,2、第一滑块,21、腰孔,3、第二滑块,4、压板,41、调节孔,42、T型块,5、压紧螺栓,6、定位螺栓,7、同步推动件,71、推动齿,72、转动孔,73、弧形调节孔,8、石英环。
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本发明做进一步的描述。
实施例1
如图1、图2所示,一种石英环类倒角用固定治具,包括石英定盘1,石英定盘1外缘设有台阶面16,石英定盘1上沿周向均匀设有三个定位组件,定位组件沿径向与石英定盘1滑动连接,定位组件通过定位件固定在石英定盘1上。定位组件包括均沿径向设置在石英定盘1上的第一滑槽11、第二滑槽12和滑孔13,第一滑槽11呈腰形设置在石英定盘1正面,第二滑槽12对应第一滑槽11设置在石英定盘1背面,第二滑槽12为T型槽,第一滑槽11和第二滑槽12之间通过腰形的滑孔13连通,定位组件还包括滑动设置在第一滑槽11内的第一滑块2、滑动设置在第二滑槽12内的第二滑块3,第一滑块2呈腰形,第一滑块2中设有腰孔21,第二滑块3为与第二滑槽12适配的T型滑块,固定螺栓6依次穿过腰孔21、滑孔13后与第二滑块12螺纹连接。石英定盘1内设有两组用于将其压紧在工作台上的压紧组件。压紧组件包括压板4、压紧螺栓5和T型块42,定位组件内侧的石英定盘1上设有两条方槽14,压板4上设有供压紧螺栓5穿过的调节孔41,压紧螺栓5穿过调节孔41、方槽14后与背面的T型块42螺纹连接。石英定盘、定位组件均由石英制成,压板由不锈钢制成。
一种石英环类倒角用固定治具的使用方法,包括如下步骤:
S1. 根据实际加工的石英环8规格大小将任意两组定位组件滑动至合适的位置后通过固定螺栓6将定位组件固定在石英定盘1;
S21. 将产品放置在定位组件外侧的石英定盘1上,将产品内壁轻轻推靠至两个第一滑块2外缘上后,移动剩余一组定位组件,将其轻推挤压在产品内壁上,用手轻轻转动被固定住的石英环8,无法明显转动即可固定其余固定螺栓6;
S31. 通过拧紧压紧螺栓5将两块压板4压于石英定盘1内侧方槽14处与机床工作台连接,T型块42设置在工作台内的T型槽中。
该实施例适用于尺寸较大的石英环。
实施例2
如图3所示,结构与实施例1一致,使用方法与实施例1的区别之处在于步骤S1后,
S22. 将产品放置在定位组件内侧的石英定盘上,将石英环8外壁轻轻推靠至两个第一滑块2内缘上后,移动剩余一组定位组件,将其轻推挤压在产品外壁上,用手轻轻转动被固定住的产品,无法明显转动即可固定其余固定螺栓6;
S32. 通过拧紧压紧螺栓5将两块压板4压于石英定盘1外缘处的台阶面16上并与机床工作台连接。
该实施例适用于尺寸较小的石英环。
由于第一滑块2弧形两端均可抵接石英环,且定位组件沿径向滑动,可固定尺寸范围较广的石英环类产品;快速固定,尤其适用于切削量较小的加工,例如倒角处理。
实施例3
如图4所示,一种石英环类倒角用固定治具,与实施例1的区别之处在于,还包括同步推动件7,同步推动件7上设有两个与其同心的弧形调节孔73,同步推动件7中心设有转动孔72,同步推动件7外周上设有三个分别朝向第一滑块2的推动齿71,推动齿71外缘到同步推动件7圆心的距离沿顺时针逐渐增大,石英定盘1中心设有与转动孔72转动连接的转轴15。
使用方法与实施例1的区别之处在于,
步骤S21中,无需依次推动第一滑块,只需沿转轴逆时针转动同步推动件7,将三个第一滑块2同步推挤压在石英环8内壁上;
步骤S31中,通过拧紧弧形调节孔73中的压紧螺栓5将同步推动件压于石英定盘内侧方槽14处与机床工作台连接。
该实施例适用于尺寸大的石英环8。
实施例4
如图5所示,一种石英环类倒角用固定治具,与实施例3的区别之处在于,同步推动件7呈环形套设在石英定盘1外缘上方,同步推动件7转动设置在定位组件外侧,推动齿71朝内设置。
使用方法与实施例2的区别之处在于,
步骤S22中,沿石英定盘1外缘转动同步推动件7,将三个第一滑块2同步推挤压在石英环8外壁上;
步骤S33中,通过拧紧压紧螺栓5将同步推动件7压于石英定盘1外缘处与机床工作台连接。
实施例3、实施例4与实施例1、实施例2相比,通过沿周向旋转同步推动件,三个推动齿同步旋转,推动三组定位组件同时移动至与产品抵接,即使一开始产品偏心放置,在旋转过程中定位组件逐渐外扩或内缩,将产品逐渐定心,进一步提高装夹效率;完成定位组件的推动后,同步推动件还可代替压板,起到固定石英定盘的作用,弧形调节孔保证转到任意角度仍能设置固定螺栓。

Claims (10)

1.一种石英环类倒角用固定治具,其特征是,包括石英定盘(1),所述石英定盘(1)上设有若干定位组件,所述定位组件沿径向与石英定盘(1)滑动连接,所述定位组件朝向和远离石英定盘(1)圆心的两端均设有用于抵接石英环类的弧面,所述定位组件通过定位件固定在石英定盘(1)上,所述石英定盘(1)上设有用于将其压紧在工作台上的压紧组件。
2.根据权利要求1所述的一种石英环类倒角用固定治具,其特征是,所述定位组件包括均沿径向设置在石英定盘(1)上的第一滑槽(11)和第二滑槽(12),第一滑槽(11)和第二滑槽(12)分别对应设置在石英定盘(1)两侧,所述第一滑槽(11)和第二滑槽(12)之间通过滑孔(13)连通,所述定位组件还包括滑动设置在第一滑槽(11)内的第一滑块(2)、滑动设置在第二滑槽(12)内的第二滑块(3),所述滑孔(13)内设有用于固定第一滑块(2)和第二滑块(3)的固定件。
3.根据权利要求2所述的一种石英环类倒角用固定治具,其特征是,所述第一滑块(2)呈腰形并设置在石英定盘(1)靠近产品的一侧,所述第一滑块(2)中设有供固定件穿过的腰孔(21)。
4.根据权利要求3所述的一种石英环类倒角用固定治具,其特征是,所述第二滑槽(12)为T型槽,所述第二滑块(3)为与第二滑槽(12)适配的T型滑块。
5.根据权利要求1所述的一种石英环类倒角用固定治具,其特征是,所述压紧组件包括压板(4)和压紧螺栓(5),所述压板(4)上设有供压紧螺栓(5)穿过的调节孔(41),定位组件内侧的石英定盘(1)上设有供压紧螺栓(5)穿过的方槽(14)。
6.根据权利要求5所述的一种石英环类倒角用固定治具,其特征是,还包括同步推动件(7),所述同步推动件(7)代替压板(4)设置,所述同步推动件(7)上设有代替调节孔(41)的弧形调节孔(73),所述弧形调节孔(73)与同步推动件(7)同心设置,所述同步推动件(7)与石英定盘(1)同心转动连接,所述同步推动件(7)周向上设有朝向第一滑块(2)的推动齿(71),所述推动齿(71)外缘到同步推动件(7)圆心的距离沿周向逐渐增大。
7.根据权利要求6所述的一种石英环类倒角用固定治具,其特征是,所述同步推动件(7)转动设置在定位组件内侧,所述推动齿(71)朝外设置,所述同步推动件(7)中心设有转动孔(72),所述石英定盘(1)中心设有转动孔(72)适配的转轴(15)。
8.根据权利要求6所述的一种石英环类倒角用固定治具,其特征是,所述同步推动件(7)呈环形套设在石英定盘(1)外缘上方,所述同步推动件(7)转动设置在定位组件外侧,所述推动齿(71)朝内设置。
9.一种根据权利要求1-8中任一所述的石英环类倒角用固定治具的使用方法,其特征是,包括如下步骤:
S1. 根据实际加工的产品规格大小将任意两组定位组件滑动至合适的位置后通过固定件将定位组件固定在石英定盘(1);
S21. 将产品放置在定位组件外侧的石英定盘(1)上,将产品内壁轻轻推靠至2组定位组件外缘上后,移动其余定位组件,将其余定位组件轻推挤压在产品内壁上,用手轻轻转动被固定住的产品,无法明显转动即可固定其余固定件;
S31. 通过拧紧压紧螺栓(5)将压板(4)压于石英定盘(1)内侧方槽(14)处与机床工作台连接;
S22. 将产品放置在定位组件内侧的石英定盘(1)上,将产品外壁轻轻推靠至2组定位组件内缘上后,移动其余定位组件,将其余定位组件轻推挤压在产品外壁上,用手轻轻转动被固定住的产品,无法明显转动即可固定其余固定件;
S32. 通过压板(4)压于石英定盘(1)外缘处与机床工作台连接;
其中顺序步骤S1、S21、S31或S1、S22、S32二者择其一。
10.一种根据权利要求9所述的石英环类倒角用固定治具的使用方法,其特征是,步骤S21中,沿转轴(15)转动同步推动件(7),将定位组件同步推挤压在产品内壁上;
步骤S31中,通过拧紧压紧螺栓(5)将同步推动件(7)压于石英定盘(1)内侧方槽(14)处与机床工作台连接;
步骤S22中,沿石英定盘(1)外缘转动同步推动件(7),将定位组件同步推挤压在产品外壁上;
步骤S33中,通过拧紧压紧螺栓(5)将同步推动件(7)压于石英定盘(1)外缘处与机床工作台连接。
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