CN114554713B - 一种用于集成电路生产用的蚀刻设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台，支撑台的下端焊接有支撑架，支撑台的上端焊接有防护外壳，防护外壳的侧面安装有箱门，支撑台的上端设置有转盘，转盘的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽，本发明的有益效果是：通过设置的间歇转动机构带动转盘间歇性转动，从而使集成电路板成圆周间歇性转动，使集成电路板依次从蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方转过，且集成电路板在蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方时会停止一端时间，通过设置的蚀刻装置主体对集成电路板进行蚀刻机构，通过清洗机构对集成电路板上的蚀刻液进行冲洗，通过吹干机构对集成电路板上的水渍进行吹干。

Description

一种用于集成电路生产用的蚀刻设备

技术领域

本发明涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种用于集成电路生产用的蚀刻设备。

背景技术

集成电路是一种微型电子器件或部件。集成电路在加工的过程中需要通过蚀刻机进行加工。蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。集成电路通过蚀刻机加工完成后，其表面会附着大量的蚀刻液，这些蚀刻液长时间停留在集成电路的表面，会引发侧蚀，降低了该集成电路的加工良品率，且这些蚀刻液为化学材料，对人体具有一定的危害性，因此我们对集成电路加工完成后需要通过清洗。现有的蚀刻机不具有清理功能，但在对集成电路进行拆卸的时候容易吸入蚀刻液的挥发气体，对身体造成损害，且对集成电路清洗完成后需要将其表面的水渍清理干净，现有的处理步骤需要通过多台设备进行操作。不仅清理效果不理想，而且需要多次对集成电路进行拆卸安装，大大降低了工作效率。为此，我们提出了一种用于集成电路生产用的蚀刻设备以解决上述弊端。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台，所述支撑台的下端焊接有支撑架，所述支撑台的上端焊接有防护外壳，所述防护外壳的侧面安装有箱门，所述支撑台的上端设置有转盘，所述转盘的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽，所述转盘的下端焊接有转轴，所述支撑架内设置有间歇转动机构，所述支撑台的上端插接有蚀刻液箱和清洗水箱，所述防护外壳的上端嵌入有蚀刻装置主体，所述防护外壳内设置有清洗机构和吹干机构，所述防护外壳的内侧通过定位板连接有弧形块，所述转盘的上端成圆周阵列焊接有五个回形框，五个回形框内均设置有集成电路板的固定机构，五个回形框的侧面均设置有锁止机构，所述回形框远离锁止机构的一侧通过销杆转动连接有圆柱，所述圆柱的侧面开设有卡槽，所述防护外壳内腔的上端焊接有固定杆，所述固定杆的下端设置有旋转驱动机构。

优选的，所述转轴与支撑台转动连接，所述转轴的下端通过销杆与支撑架转动连接。

优选的，所述间歇转动机构包括有：棘轮盘、圆形板、半圆盘、旋转板和传动杆，所述转轴上焊接有棘轮盘，所述支撑架内通过销杆转动连接有圆形板，所述圆形板的上端焊接有半圆盘，所述半圆盘的侧面焊接有旋转板，所述旋转板的上端焊接有传动杆，所述传动杆与棘轮盘滑动连接。

优选的，所述棘轮盘为一个圆形块的上端成圆周阵列开设有五个滑槽，且圆形块的侧面成圆周阵列开设有五个扇形槽，所述传动杆与滑槽滑动连接，所述半圆盘与扇形槽滑动连接。

优选的，所述清洗机构包括有：进水主管、分水箱和喷头，所述防护外壳的侧面插接有进水主管，所述进水主管的一端焊接有分水箱，所述分水箱的下端通过螺纹连接有两个喷头。

优选的，所述吹干机构包括有：进风管和出风管，所述防护外壳上在进水主管的相邻侧面插接有进风管，所述进风管的端部焊接有出风管。

优选的，所述固定机构包括有：凹形底板、支撑板、卡座、滑杆、锁紧螺钉和固定槽，所述回形框的内腔通过销杆转动连接有凹形底板，所述凹形底板的上端左右对称焊接有支撑板，所述凹形底板的内侧左右对称设置有卡座，两个卡座的上端均对称焊接有滑杆，所述卡座的上端在两个滑杆之间通过销杆转动连接有锁紧螺钉，所述凹形底板的侧面对称开设有固定槽，所述滑杆与支撑板滑动连接，所述锁紧螺钉与支撑板螺纹连接。

优选的，所述锁止机构包括有：凹形固定板、连接杆、L形板、复位弹簧、走动板和锁止杆，所述回形框的侧面焊接有凹形固定板，所述凹形固定板的侧面滑动连接连接杆，所述连接杆的一端焊接有L形板，所述L形板与弧形块滑动连接，所述连接杆上套设有复位弹簧，所述连接杆的另一端焊接有走动板，所述走动板的侧面对称焊接有锁止杆，所述锁止杆的一端穿过回形框与固定槽插接。

优选的，所述旋转驱动机构包括有：限位板、T形槽、固定块、圆杆、插板、T形板、活动齿板、传动齿轮、挡板和气缸，所述固定杆的下端焊接有限位板，所述限位板的上端开设有T形槽，所述限位板的下端焊接有固定块，所述固定块的侧面转动连接有圆杆，所述圆杆的一端焊接有插板，所述插板与卡槽插接，所述圆杆的另一端焊接有传动齿轮，所述T形槽内滑动连接有T形板，所述T形板的下端焊接有活动齿板，所述活动齿板与传动齿轮啮合，所述活动齿板的上端焊接有挡板，所述挡板的侧面焊接有气缸，所述气缸通过耳板与限位板连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构设置合理，功能性强，具有以下优点：

1.安装集成电路板时，先将集成电路板放置在凹形底板上，通过向下转动锁紧螺钉，锁紧螺钉带动卡座向下运动，卡座带动滑杆向下滑动，通过卡座对集成电路板进行固定，拆卸时只需将锁紧螺钉向上旋转即可，从而使卡座松开对集成电路板的固定，安装与拆卸简单方便；

2.通过设置的间歇转动机构带动转盘间歇性转动，从而使集成电路板成圆周间歇性转动，使集成电路板依次从蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方转过，且集成电路板在蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方时会停止一端时间，通过设置的蚀刻装置主体对集成电路板进行蚀刻机构，通过清洗机构对集成电路板上的蚀刻液进行冲洗，通过吹干机构对集成电路板上的水渍进行吹干；

3.当集成电路板转动到吹干机构的下方时，转盘带动一个回形框转动到吹干机构的下方，此时锁止机构中的L形板沿着弧形块滑动，通过弧形块带动L形板移动，L形板通过连接杆带动走动板移动，走动板带动锁止杆从固定槽内移出，从而松开对凹形底板的锁定，同时回形框带动圆柱的卡槽与插板卡接，通过设置的旋转驱动机构带动插板转动，插板带动圆柱转动，圆柱通过销杆带动凹形底板转动，凹形底板带动集成电路板转动，从而使吹干机构能够对集成电路板进行多角度的吹风，使集成电路板能够快速且高效的吹干，且吹干效果好，大大提高了工作效率。

附图说明

图1为本发明的蚀刻设备结构示意图；

图2为本发明的支撑台和转盘结构示意图；

图3为本发明的支撑台结构示意图；

图4为本发明的间歇转动机构结构示意图；

图5为本发明的蚀刻装置结构剖视示意图；

图6为本发明的蚀刻装置结构内部示意图

图7为本发明的转盘和回形框结构示意图；

图8为本发明的转盘和回形框结构剖视示意图；

图9为图8中A处结构放大示意图；

图10为本发明的锁止机构结构示意图；

图11为本发明的回形框和旋转驱动机构结构示意图；

图12为本发明的旋转驱动机构结构爆炸图。

图中：1、支撑台；11、支撑架；12、防护外壳；13、箱门；2、转盘；21、矩形槽；22、转轴；23、棘轮盘；24、圆形板；25、半圆盘；26、旋转板；27、传动杆；28、蚀刻液箱；29、清洗水箱；3、蚀刻装置主体；31、进水主管；32、分水箱；33、喷头；34、进风管；35、出风管；36、弧形块；4、回形框；41、凹形底板；42、支撑板；43、卡座；44、滑杆；45、锁紧螺钉；46、固定槽；47、圆柱；48、卡槽；5、凹形固定板；51、连接杆；52、L形板；53、复位弹簧；54、走动板；55、锁止杆；6、固定杆；61、限位板；62、T形槽；63、固定块；64、圆杆；65、插板；7、T形板；71、活动齿板；72、传动齿轮；73、挡板；74、气缸。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1至图12，本发明提供一种技术方案：一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台1，支撑台1的下端焊接有支撑架11，支撑台1的上端焊接有防护外壳12，防护外壳12的侧面安装有箱门13，通过箱门13可以方便的对集成电路板进行安装与拆卸，支撑台1的上端设置有转盘2，转盘2的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽21，转盘2的下端焊接有转轴22，转轴22与支撑台1转动连接，转轴22的下端通过销杆与支撑架11转动连接，转盘2通过转轴22沿着支撑台1转动。

支撑架11内设置有间歇转动机构，间歇转动机构包括有：棘轮盘23、圆形板24、半圆盘25、旋转板26和传动杆27，转轴22上焊接有棘轮盘23，支撑架11内通过销杆转动连接有圆形板24，圆形板24的上端焊接有半圆盘25，半圆盘25的侧面焊接有旋转板26，旋转板26的上端焊接有传动杆27，传动杆27与棘轮盘23滑动连接，棘轮盘23为一个圆形块的上端成圆周阵列开设有五个滑槽，且圆形块的侧面成圆周阵列开设有五个扇形槽，传动杆27与滑槽滑动连接，半圆盘25与扇形槽滑动连接，支撑架11的下端安装有电机，电机的输出轴与圆形板24通过销件卡接，圆形板24带动半圆盘25转动，半圆盘25带动旋转板26转动，旋转板26带动传动杆27转动，当传动杆27与棘轮盘23滑动连接时，通过传动杆27带动棘轮盘23顺时针转动，当传动杆27与棘轮盘23分离时，半圆盘25与棘轮盘23滑动连接，同时通过半圆盘25抵住棘轮盘23，防止棘轮盘23转动，从而使棘轮盘23实现间歇性的顺时针转动。

防护外壳12的上端嵌入有蚀刻装置主体3，防护外壳12内设置有清洗机构和吹干机构，清洗机构包括有：进水主管31、分水箱32和喷头33，防护外壳12的侧面插接有进水主管31，进水主管31的一端焊接有分水箱32，分水箱32的下端通过螺纹连接有两个喷头33，喷头33设置在一个回形框4的正上方，进水主管31与水泵的出水端连接，吹干机构包括有：进风管34和出风管35，防护外壳12上在进水主管31的相邻侧面插接有进风管34，进风管34的端部焊接有出风管35，出风管35设置在一个回形框4的正上方，进风管34与热风机的出风口连接。

支撑台1的上端插接有蚀刻液箱28和清洗水箱29，蚀刻液箱28和清洗水箱29均设置在支撑架11上，蚀刻液箱28设置在蚀刻装置主体3的正下方，清洗机构和吹干机构设置在清洗水箱29的上方。

防护外壳12的内侧通过定位板连接有弧形块36，弧形块36设置在吹干机构的下方，转盘2的上端成圆周阵列焊接有五个回形框4，五个回形框4内均设置有集成电路板的固定机构，固定机构包括有：凹形底板41、支撑板42、卡座43、滑杆44、锁紧螺钉45和固定槽46，回形框4的内腔通过销杆转动连接有凹形底板41，凹形底板41的上端左右对称焊接有支撑板42，凹形底板41的内侧左右对称设置有卡座43，两个卡座43的上端均对称焊接有滑杆44，卡座43的上端在两个滑杆44之间通过销杆转动连接有锁紧螺钉45，凹形底板41的侧面对称开设有固定槽46，滑杆44与支撑板42滑动连接，锁紧螺钉45与支撑板42螺纹连接，卡座43为一个矩形板的侧面开设凹槽，将集成电路板放置在凹形底板41上，将锁紧螺钉45沿着支撑板42向下旋转，锁紧螺钉45带动卡座43沿着凹形底板41向下运动，卡座43带动滑杆44沿着支撑板42向下滑动，使卡座43能够稳定的向下运动，通过卡座43和凹形底板41配合对集成电路板进行固定。

五个回形框4的侧面均设置有锁止机构，锁止机构包括有：凹形固定板5、连接杆51、L形板52、复位弹簧53、走动板54和锁止杆55，回形框4的侧面焊接有凹形固定板5，凹形固定板5的侧面滑动连接连接杆51，连接杆51的一端焊接有L形板52，L形板52与弧形块36滑动连接，连接杆51上套设有复位弹簧53，连接杆51的另一端焊接有走动板54，走动板54的侧面对称焊接有锁止杆55，锁止杆55的一端穿过回形框4与固定槽46插接，锁止杆55与回形框4滑动连接，L形板52的侧面开设有倒斜角，复位弹簧53设置在凹形固定板5的内侧，复位弹簧53的一端与凹形固定板5插接，复位弹簧53的另一端与走动板54插接，复位弹簧53对走动板54施加为弹力。

回形框4远离锁止机构的一侧通过销杆转动连接有圆柱47，圆柱47通过销杆与凹形底板41连接，销杆的两端分别于凹形底板41和圆柱47焊接，圆柱47的侧面开设有卡槽48，圆柱47转动时带动凹形底板41同轴线转动。

防护外壳12内腔的上端焊接有固定杆6，固定杆6的下端设置有旋转驱动机构，旋转驱动机构包括有：限位板61、T形槽62、固定块63、圆杆64、插板65、T形板7、活动齿板71、传动齿轮72、挡板73和气缸74，固定杆6的下端焊接有限位板61，限位板61的上端开设有T形槽62，限位板61的下端焊接有固定块63，固定块63的侧面转动连接有圆杆64，圆杆64的一端焊接有插板65，插板65与卡槽48插接，圆杆64的另一端焊接有传动齿轮72，T形槽62内滑动连接有T形板7，T形板7的下端焊接有活动齿板71，活动齿板71与限位板61滑动连接，活动齿板71与传动齿轮72啮合，活动齿板71的上端焊接有挡板73，挡板73的侧面焊接有气缸74，气缸74通过耳板与限位板61连接，通过气缸74伸缩带动T形板7沿着T形槽62滑动，T形板7带动活动齿板71运动，活动齿板71带动传动齿轮72转动，传动齿轮72带动圆杆64转动，圆杆64带动插板65转动，插板65带动圆柱47转动，圆柱47通过销杆带动凹形底板41转动，凹形底板41带动集成电路板转动。

安装集成电路板时，先将集成电路板放置在凹形底板41上，将锁紧螺钉45沿着支撑板42向下旋转，锁紧螺钉45带动卡座43沿着凹形底板41向下运动，卡座43带动滑杆44沿着支撑板42向下滑动，使卡座43能够稳定的向下运动，通过卡座43和凹形底板41配合对集成电路板进行固定；当需要拆卸集成电路板时，只需将锁紧螺钉45沿着支撑板42向上旋转即可，从而使卡座43松开对集成电路板的固定，安装与拆卸简单方便。

工作时，通过电机带动圆形板24转动，圆形板24带动半圆盘25转动，半圆盘25带动旋转板26转动，旋转板26带动传动杆27转动，当传动杆27与棘轮盘23滑动连接时，通过传动杆27带动棘轮盘23顺时针转动，当传动杆27与棘轮盘23分离时，半圆盘25与棘轮盘23滑动连接，同时通过半圆盘25抵住棘轮盘23，防止棘轮盘23转动，从而使棘轮盘23实现间歇性的顺时针转动，通过间歇转动机构带动转轴22间歇性顺时针转动，转轴22带动转盘2间歇性顺时针转动，转盘2带动回形框4间歇性顺时针转动，回形框4通过固定机构带动集成电路板成圆周间歇性顺时针转动，使集成电路板依次从蚀刻装置主体3、清洗机构和吹干机构的下方转过，且集成电路板在蚀刻装置主体3、清洗机构和吹干机构的下方时会停止一端时间，通过设置的蚀刻装置主体3对集成电路板进行蚀刻机构，通过清洗机构对集成电路板上的蚀刻液进行冲洗，通过吹干机构对集成电路板上的水渍进行吹干。

当集成电路板转动到吹干机构的下方时，转盘2带动一个回形框4转动到吹干机构的下方，此时锁止机构中的L形板52沿着弧形块36滑动，通过弧形块36推动L形板52移动，L形板52带动连接杆51沿着凹形固定板5滑动，通过连接杆51带动走动板54沿着凹形固定板5滑动，走动板54挤压复位弹簧53，同时走动板54带动锁止杆55从凹形底板41的固定槽46内移出，使锁止机构松开对凹形底板41的锁定，同时回形框4带动圆柱47的卡槽48与插板65卡接，通过气缸74伸缩带动T形板7沿着T形槽62滑动，T形板7带动活动齿板71运动，活动齿板71带动传动齿轮72转动，传动齿轮72带动圆杆64转动，圆杆64带动插板65转动，插板65带动圆柱47转动，圆柱47通过销杆带动凹形底板41转动，凹形底板41带动集成电路板转动，从而使吹干机构能够对集成电路板进行多角度的吹风，使集成电路板能够快速且高效的吹干，且吹干效果好，大大提高了工作效率。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台（1），其特征在于：所述支撑台（1）的下端焊接有支撑架（11），所述支撑台（1）的上端焊接有防护外壳（12），所述防护外壳（12）的侧面安装有箱门（13），所述支撑台（1）的上端设置有转盘（2），所述转盘（2）的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽（21），所述转盘（2）的下端焊接有转轴（22），所述支撑架（11）内设置有间歇转动机构，所述支撑台（1）的上端插接有蚀刻液箱（28）和清洗水箱（29），所述防护外壳（12）的上端嵌入有蚀刻装置主体（3），所述防护外壳（12）内设置有清洗机构和吹干机构，所述防护外壳（12）的内侧通过定位板连接有弧形块（36），所述转盘（2）的上端成圆周阵列焊接有五个回形框（4），五个回形框（4）内均设置有集成电路板的固定机构，五个回形框（4）的侧面均设置有锁止机构，所述回形框（4）远离锁止机构的一侧通过销杆转动连接有圆柱（47），所述圆柱（47）的侧面开设有卡槽（48），所述防护外壳（12）内腔的上端焊接有固定杆（6），所述固定杆（6）的下端设置有旋转驱动机构；

所述固定机构包括有固定槽（46），所述锁止机构包括有：凹形固定板（5）、连接杆（51）、L形板（52）、复位弹簧（53）、走动板（54）和锁止杆（55），所述回形框（4）的侧面焊接有凹形固定板（5），所述凹形固定板（5）的侧面滑动连接连接杆（51），所述连接杆（51）的一端焊接有L形板（52），所述L形板（52）与弧形块（36）滑动连接，所述连接杆（51）上套设有复位弹簧（53），所述连接杆（51）的另一端焊接有走动板（54），所述走动板（54）的侧面对称焊接有锁止杆（55），所述锁止杆（55）的一端穿过回形框（4）与固定槽（46）插接；

所述旋转驱动机构包括有：限位板（61）、T形槽（62）、固定块（63）、圆杆（64）、插板（65）、T形板（7）、活动齿板（71）、传动齿轮（72）、挡板（73）和气缸（74），所述固定杆（6）的下端焊接有限位板（61），所述限位板（61）的上端开设有T形槽（62），所述限位板（61）的下端焊接有固定块（63），所述固定块（63）的侧面转动连接有圆杆（64），所述圆杆（64）的一端焊接有插板（65），所述插板（65）与卡槽（48）插接，所述圆杆（64）的另一端焊接有传动齿轮（72），所述T形槽（62）内滑动连接有T形板（7），所述T形板（7）的下端焊接有活动齿板（71），所述活动齿板（71）与传动齿轮（72）啮合，所述活动齿板（71）的上端焊接有挡板（73），所述挡板（73）的侧面焊接有气缸（74），所述气缸（74）通过耳板与限位板（61）连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述转轴（22）与支撑台（1）转动连接，所述转轴（22）的下端通过销杆与支撑架（11）转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述间歇转动机构包括有：棘轮盘（23）、圆形板（24）、半圆盘（25）、旋转板（26）和传动杆（27），所述转轴（22）上焊接有棘轮盘（23），所述支撑架（11）内通过销杆转动连接有圆形板（24），所述圆形板（24）的上端焊接有半圆盘（25），所述半圆盘（25）的侧面焊接有旋转板（26），所述旋转板（26）的上端焊接有传动杆（27），所述传动杆（27）与棘轮盘（23）滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述棘轮盘（23）为一个圆形块的上端成圆周阵列开设有五个滑槽，且圆形块的侧面成圆周阵列开设有五个扇形槽，所述传动杆（27）与滑槽滑动连接，所述半圆盘（25）与扇形槽滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述清洗机构包括有：进水主管（31）、分水箱（32）和喷头（33），所述防护外壳（12）的侧面插接有进水主管（31），所述进水主管（31）的一端焊接有分水箱（32），所述分水箱（32）的下端通过螺纹连接有两个喷头（33）。

6.根据权利要求5所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述吹干机构包括有：进风管（34）和出风管（35），所述防护外壳（12）上在进水主管（31）的相邻侧面插接有进风管（34），所述进风管（34）的端部焊接有出风管（35）。

7.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述固定机构包括有：凹形底板（41）、支撑板（42）、卡座（43）、滑杆（44）、锁紧螺钉（45）和固定槽（46），所述回形框（4）的内腔通过销杆转动连接有凹形底板（41），所述凹形底板（41）的上端左右对称焊接有支撑板（42），所述凹形底板（41）的内侧左右对称设置有卡座（43），两个卡座（43）的上端均对称焊接有滑杆（44），所述卡座（43）的上端在两个滑杆（44）之间通过销杆转动连接有锁紧螺钉（45），所述凹形底板（41）的侧面对称开设有固定槽（46），所述滑杆（44）与支撑板（42）滑动连接，所述锁紧螺钉（45）与支撑板（42）螺纹连接。

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