CN114502312A - 激光加工装置以及关系判定方法 - Google Patents

Abstract

一种激光加工装置，针对以光轴在规定方向上延伸的方式照射的激光，使由分别相邻的多个面形成的角部的试样相对地接近，由此加工所述角部，其具备：检测部，在与所述光轴交叉的俯视观察下，至少设置在所述激光中成为呈筒状延伸的照射区域的外侧的位置，检测到达该位置的光的强度；接近控制单元，控制使所述试样沿着与所述光轴交叉的方向相对地位移的致动器，使所述试样相对于所述光轴相对地接近；值获取单元，在所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系下，作为所述检测部检测的值而获取规定的光的强度；以及关系判定单元，在所述试样相对于所述光轴相对地接近的过程中，基于所述检测部检测的光的强度，判定所述激光与所述试样的位置关系。

Description

激光加工装置以及关系判定方法

技术领域

本发明涉及一种利用激光进行加工的激光加工装置。

背景技术

近年来，提出了一种激光加工装置，通过使沿激光的光轴方向延伸的圆筒状的照射区域向与该光轴交叉的方向位移，从而在该照射区域所通过的试样的表面侧形成加工面(专利文献1)。与机械加工方法相比，利用该装置的加工方法是优异的加工方法，其优点在于能够减少机械损伤、平滑地形成加工面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许6562536号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

这种加工方法例如像具有由前刀面以及后刀面形成的角部的切削工具那样，也用于具有分别由相邻的多个面形成的角部的试样的角部的加工。具体而言，以光轴沿着前刀面或后刀面的扩展方向延伸的方式照射激光，使该激光位移，由此在角部形成新的前刀面或后刀面作为加工面。

另外，在该装置中，由于在激光的照射区域和角部重叠时进行加工，因此为了有效的加工，优选在加工之前处于角部的前端到达照射区域(照射区域的外周或照射区域内的光轴等)的位置关系。但是，为了判定是否成为这样的位置关系，需要专门为此设置激光或传感器等多个追加的构成元件，因此存在所需的成本高的课题。

本发明是为了解决这样的课题而完成的，其目的在于，提供一种用于在激光加工装置中能够以比以往低的成本判定激光与角部的端部的位置关系的技术。

用于解决技术问题的方案

为了解决上述课题，第一方面是一种激光加工装置，针对以光轴在规定方向上延伸的方式照射的激光，使由分别相邻的多个面形成的角部的试样的所述角部朝向所述激光侧相对地接近，由此利用所述激光加工所述角部，其中，所述激光加工装置具备：检测部，在与所述光轴交叉的俯视观察下，至少设置在所述激光中成为呈筒状延伸的照射区域的外侧的位置，检测到达该位置的光的强度；接近控制单元，控制使所述试样沿着与所述光轴交叉的方向相对地位移的致动器，使所述试样相对于所述光轴相对地接近；值获取单元，在所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系下，作为所述检测部检测的值而获取规定的光的强度；以及关系判定单元，在所述试样相对于所述光轴相对地接近的过程中，基于所述检测部检测的光的强度，判定所述激光与所述试样的位置关系，所述关系判定单元在由所述检测部检测出成为与所述值获取单元所获取的值相同或规定的阈值范围内的值的光的强度的情况下，判定为在该时刻处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系。

该方面也可以是以下所示的第二方面。

在第二方面中，所述接近控制单元控制所述致动器，使得所述试样相对于所述光轴相对地接近，直到由所述关系判定单元判定为处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系为止。

另外，这些方面也可以是以下所示的第三方面。

在第三方面中，所述关系判定单元在由所述检测部检测出成为所述值获取单元所获取的值与规定的阈值范围外的值的光的强度的情况下，判定为未处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系，所述接近控制单元控制所述致动器，使得在由所述关系判定单元判定为未处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系之后，所述试样相对于所述光轴相对地接近，直到判定为处于该位置关系为止。

另外，上述第二、第三方面也可以是如下所示的第四方面。

第四方面在每次利用所述激光加工所述角部时，利用所述接近控制单元实施所述致动器的控制、利用所述值获取单元实施光的强度的获取、以及利用所述关系判定单元实施位置关系的判定。

另外，上述各方面也可以是以下所示的第五方面。

在第五方面中，所述检测部设置于在用所述试样将沿所述光轴延伸的空间分成两部分的情况下的与所述激光的光源相反侧的区域中，在与所述光轴交叉的俯视观察下至少位于所述照射区域的外侧。

另外，为了解决上述课题，第六方面是一种位置判定方法，包括：检测步骤，在与光轴沿规定方向延伸的激光的所述光轴交叉的俯视观察下，至少设置在所述激光中成为呈筒状延伸的照射区域的外侧的位置，检测到达该位置的光的强度；接近控制步骤，对所述致动器进行控制，以使所述试样相对于所述光轴相对地接近，所述致动器在使所述角部朝向所述激光侧的状态下，使分别由相邻的多个面形成的角部的试样沿着与所述光轴交叉的方向相对地位移；值获取步骤，在所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系下，作为所述检测部检测的值而获取规定的光的强度；以及关系判定步骤，在所述试样相对于所述光轴相对地接近的过程中，基于由所述检测步骤检测的光的强度，判定所述激光与所述试样的位置关系，在所述关系判定步骤中，当在所述检测步骤中检测出成为与所述值获取步骤所获取的值相同或规定的阈值范围内的值的光的强度的情况下，判定为在该时刻处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系。

发明效果

根据上述各方面，只要可以在成为激光的照射区域的外侧的位置检测光强度，就能够基于该检测结果判定激光与试样的位置关系，因此不需要为了进行该判定而设置多个追加的装置结构，从而能够抑制用于判定位置关系的成本。

附图说明

图1是表示激光加工装置的整体结构的框图。

图2是表示照射部的结构的框图。

图3是表示激光的照射区域与检测部的位置关系的图。

图4是表示加工处理的处理步骤的流程图。

图5是表示激光中的能量分布的图。

图6是表示关系判定处理的处理步骤的流程图。

图7是表示与试样的位移量对应的光强度的推移的曲线图。

具体实施方式

参照附图对用于实施本发明的方式进行详细说明。

(1)装置结构

如图1所示，激光加工装置1具备：照射部10，以使光轴在规定方向(图1中的上下方向)上延伸的方式照射激光；保持部20，用于保持试样100；照射部位移机构30，用于使照射部10相对于试样100位移；保持部位移机构40，用于使保持部20相对于激光位移；检测部50，在规定的位置检测光的强度；以及控制部60，控制激光加工装置1整体的动作。

如图2所示，照射部10构成为具备：振荡器11，输出脉冲激光；振动调整器13，调整激光的振动频率的次数；偏振元件14，调整偏振状态；衰减器(ATT)15，调整激光的输出；以及光束扩展器(EXP)17等，用于调整激光的直径，经过这些的激光经由光学透镜19输出，使光轴朝向规定的方向(在本实施方式中为Z轴方向)来照射激光。其中，在振荡器11中使用Nd：YAG脉冲激光。

需要说明的是，在此是由单一的光学透镜19构成的结构，但也可以是具备隔开规定间隔配置的一组光学透镜和用于调整该光学透镜的间隔的机构的结构。

保持部20是在与激光的光轴交叉的方向(图1中的左右方向)上延伸的棒状部件，构成为能够在其前端保持试样100。该试样100以其端部从保持部20的前端突出的位置关系被保持。

照射部位移机构30具备：机构主体31，在安装有照射部10的状态下向规定方向位移的致动器；以及驱动部33，基于来自外部的指令使机构主体31动作。在本实施方式中，机构主体31构成为使照射部10向与激光的光轴交叉的方向(图1中的从纸面的跟前朝向里侧的方向)位移。

保持部位移机构40具备：机构主体41，在安装有保持部20的状态下向规定方向位移的致动器；以及驱动部43，基于来自外部的指令使机构主体41动作。在本实施方式中，机构主体41构成为使保持部20沿其延伸的方向位移。

如图3所示，检测部50是一种光传感器，该光传感器设置在将沿光轴210延伸的空间在试样100的位置分为两部分的情况下的与照射部10相反侧的区域(图3中的比保持部20靠下方的区域)中，在与光轴210交叉的平面(图3中的虚线的面)图中至少位于照射区域200的外侧，检测到达该位置的光的强度(以下也称为“光强度”)。在本实施方式中，作为检测部50，采用朝向远离光轴210的方向配置有多个受光元件的线传感器。需要说明的是，该检测部50配置在后述的关系判定处理中衍射光能够以足够的强度到达的位置。

控制部60是根据对各部分的控制指令，控制由照射部10进行的激光照射、由照射部位移机构30进行的照射部10的位移、由保持部位移机构40进行的保持部20的位移等的计算机。

试样100由分别相邻的多个面形成角部110。在本实施方式中，试样100是两个面中的任一个面形成为前刀面，另一个面形成为后刀面的切削工具，以硬质合金作为其材料。

另外，该试样100通过将角部110朝向激光的照射区域200侧设置，成为角部110所成的面沿着光轴210配置的状态。

在这种结构的激光加工装置1中，以光轴210沿着角部110所成的面方向延伸的方式照射激光，通过使该激光位移，能够在角部110形成加工面。

(2)由控制部60进行的处理步骤

(2－1)加工处理

以下，基于图4说明控制部60根据存储在内置存储器61中的程序执行的“加工处理”的步骤。该加工处理是在使试样100保持在保持部20上并定位后执行的处理，在接收到来自未图示的接口(操作装置或通信装置)的启动指令时启动。

该加工处理是在将保持试样100的保持部20定位在规定的基准位置后实施的处理，在接收到来自未图示的接口(操作装置或通信装置)的启动指令时启动。在此，在定位了保持部20的状态下，成为试样100的角部110的前端到达照射区域200的位置关系。作为具体的位置关系，假设角部110的前端与照射区域200的外周重叠，角部110的前端与照射区域200仅重叠规定范围，角部110的前端到达光轴210。

当该加工处理启动时，首先读出预先存储在内置存储器61中的加工处理用的设定信息(s110)。该设定信息是用户事先设定的信息，包括：照射部10照射的激光的输出P0[w]；与设置在保持部20上的试样100的材料特性对应的加工阈值Pth[w]；以及分别规定应形成在试样100上的一个以上的加工面的坐标信息。

其中，激光的输出被确定为，在激光中沿光轴210呈筒状延伸的照射区域200的内侧，形成能量分布为利用激光加工试样100所需的加工阈值Pth[w]以上的可加工区域，成为与试样100的材料特性对应的输出电平。另外，坐标信息是以规定的原点为基准，将试样100中的加工面的位置确定为三维坐标的信息。

需要说明的是，由于可加工区域要求其沿着光轴方向的长度至少比试样100的加工面上的长度长，因此激光的输出根据与坐标信息的关系来设定，以实现该长度。具体而言，激光的输出电平P0是比加工阈值Pth大的值(P0>Pth)。

接着，基于在上述s110中读出的设定信息，设定可加工区域(s120)。在此，在上述s110中读出的设定信息中，基于激光的输出P0[w]以及加工阈值Pth[w]，计算出激光的光轴上的各位置上的能量分布P(r)后，确定将成为加工阈值Pth以上的能量分布的规定半径rth的面状区域沿光轴连接而成的筒状区域(参照图5)。然后，将该区域中的半径rth确定为规定可加工区域的参数。

需要说明的是，通过实验确认：激光的输出P0越大，该可加工区域越从直线的筒状变化为朝向焦点位置直径变小的缩颈的筒状。即，激光的输出P0越大，可加工区域的外周越从直线变化为曲线形状，因此激光的输出P0选择性地将与作为加工面所要求的形状对应的值包含在上述的设定信息中。

接着，检查是否存在未形成的加工面(s130)。在此，在上述s110中读出的设定信息中的坐标信息中，在本加工处理启动之后残留有未参照的坐标信息的情况下，判定为存在未形成的加工面。

在该s130中判定为存在未加工的加工面的情况下(s130：是)，提取在之后的处理中未参照的任意的坐标信息，将由该坐标信息规定的加工面设定为在之后的处理中应形成的对象的加工面(s140)。

接着，执行后述的关系判定处理(s150)。在此，在该时刻实施角部110的前端是否成为到达照射区域200的规定的位置关系的判定，以及为了成为这样的位置关系而实施角部110的前端与照射区域200的位置关系的修正。

接着，利用照射部10开始激光的照射(s160)。在此，控制部60对照射部10发出可形成在上述s120中设定的可加工区域的激光的照射指令，由接收到该指令的照射部10开始激光的照射。这样，以光轴210沿规定方向(在本实施方式中为图1的上下方向)延伸的方式照射激光。

接着，通过保持部位移机构40，使试样100接近照射部10照射的激光的照射区域200(s170)。在此，向保持部位移机构40发出控制指令，以使试样100接近照射区域200侧，接收到该指令的保持部位移机构40进行试样100的位移，直到可加工区域与试样100重叠为止。

基于在上述s120中规定的半径rth和在上述s140中设定的加工面的坐标信息，使照射区域200接近试样100，直到激光的光轴与试样100的加工面的间隔(在本实施方式中为沿着图1的左右方向的间隔)成为相当于规定照射区域200的可加工区域的半径rth的距离为止，由此实现该试样100与可加工区域的重叠。

接着，通过照射部位移机构30，使照射部10照射的激光的照射区域200沿试样100的角部110扫描(s180)。在此，向照射部位移机构30发出控制指令，以使照射部10沿着角部110位移，接收到该控制指令的照射部位移机构30从规定的基准位置开始位移，进行照射部10的位移，直到照射区域200通过整个加工面为止，然后返回基准位置。需要说明的是，这里的利用照射区域200对角部110进行的扫描反复实施多次。

这样，经过上述s170～s180，通过照射区域200的可加工区域对试样100的角部110进行加工。

在该s180之后，在上述s160中开始的照射部10的激光照射结束(s190)。在此，控制部60对照射部10发出结束照射的指令，接收到该指令的照射部10结束激光的照射。

这样，结束s190后，工序返回到上述s130，之后，实施s130～s190，直到不存在未加工的加工面为止。然后，在上述s130中判定为不存在未加工的加工面的情况下(s130：否)，本加工处理结束。

(2－2)关系判定处理

接着，基于图6说明由加工处理的s150执行的“关系判定处理”的步骤。

当启动该关系判定处理时，首先设定照射区域200(s210)。在此，基于在上述s110中读出的设定信息，作为激光的输出电平P0，设定比加工阈值Pth小的值(P0<Pth)。

接着，利用照射部10开始激光的照射(s220)。在此，控制部60对照射部10发出可形成在上述s210中设定的照射区域200的激光的照射指令，由接收到该指令的照射部10开始激光的照射。这样，以光轴210沿规定方向(在本实施方式中为图1的上下方向)延伸的方式照射激光。

接着，作为在之后的处理中使用的比较值，获取表示规定的光强度的信息(s230)。在此，对于在上述s210中设定的激光的照射区域200，在成为角部110的前端到达照射区域200的位置关系的情况下，获取表示规定为由检测部50检测的光强度的信息。

在本实施方式中，对于假设的多个图案的各个照射区域200，将在使该照射区域200与角部110的前端的位置关系变化的情况下检测部50实际检测到的光强度作为信息预先记录在内置存储器61中，通过从这样记录的信息中读出位置关系一致的信息，获取表示成为比较值的光强度的信息。另外，在此读出的信息与当前时刻的位置关系一致，该当前时刻的位置关系是由对保持部20进行定位的时刻的初始的位置关系(例如，角部110的前端与照射区域200的外周重合，角部110的前端与照射区域200重合规定范围，角部110的前端到达光轴210的位置关系)，以及在加工处理(特别是s170)中使试样100位移的位移量而规定的。

需要说明的是，在本实施方式中，除了从作为检测部50而采用的线传感器的各个受光元件输出的光强度(W)的合计值或平均值以外，还根据沿着线传感器中的受光元件的配置方向的分布(受光元件的各个位置的值)，作为各位置关系下的光强度而进行检测并记录。

接着，获取由检测部50检测的光强度(s240)。在此，除了从作为检测部50而采用的线传感器的各个受光元件输出的光强度(W)的合计值或平均值以外，还根据沿着线传感器中的受光元件的配置方向的分布(受光元件的各个位置的值)，作为当前时刻的位置关系下的实际光强度而进行检测。

接着，基于在上述s230以及s240中获取的光强度，判定激光与试样100的位置关系(s250)。在此，根据在上述s240中获取的实际的光强度与在上述s230中获取的作为比较值的光强度相同或在规定的阈值范围内，判定为在该时刻成为角部110的前端到达照射区域200的规定的位置关系。这里所说的“规定的位置关系”是指角部110的前端与照射区域200的位置关系与对保持部20进行定位的时刻的初始的位置关系一致。

需要说明的是，在光强度是线传感器中的受光元件的位置各自的值的情况下，比较相同位置的光强度彼此，检查所有的值是否相同或是否在规定的阈值范围内。

在此，实际的光强度与作为比较值的光强度相同或在规定的阈值范围内，即，实际检测出的光强度与在相同的位置关系下假设的光强度相同或近似的状态是指：在此前执行的加工处理中角部110的加工未充分进行的状态(在本实施方式中为进行加工之前)，或在后述的工序中修正了位置关系的状态。

另一方面，实际的光强度在作为比较值的光强度的规定的阈值范围外，即，实际检测出的光强度与在相同的位置关系下假设的光强度不近似的状态是指：在此前执行的加工处理中角部110的加工充分进行的状态。在该状态下，角部110的前端向照射区域200的外侧后退的结果是：照射区域200与角部110的前端的位置关系发生变化，因此实际的光强度处于作为比较值的光强度的规定阈值范围外。

接着，在上述s250的判定结果为实际的光强度与作为比较值的光强度不近似的情况下(s260：否)，通过保持部位移机构40，使试样100接近照射部10照射的激光中的照射区域200(s270)。在此，向保持部位移机构40发出控制指令，以使试样100接近照射区域200侧，接收到该控制指令的保持部位移机构40使试样100位移规定的单位距离。该位移的单位距离是与加工处理(特别是s170)中使试样100位移的位移量相比足够小的距离。

在结束该s270之后，工序返回到s240，之后，重复s240～s270，直到判定为实际的光强度与作为比较值的光强度相同或近似为止。这样，在本关系判定处理中，在最初判定为实际的光强度与作为比较值的光强度相同或不近似之后，通过使试样100接近光轴210，逐渐修正激光与试样100的位置关系。其结果是，角部110的前端与照射区域200的位置关系与对保持部20进行定位的时刻的初始的位置关系一致。

需要说明的是，在上述s250的判定结果是判定为实际的光强度与作为比较值的光强度相同或近似的情况下(s260：是)，则在上述s220中开始的照射部10的激光照射结束(s280)。在此，控制部60对照射部10发出结束照射的指令，接收到该指令的照射部10结束激光的照射。

这样，在结束s280后，本关系判定处理结束，返回加工处理。

需要说明的是，上述s230是本发明中的值获取单元，s240是本发明中的检测步骤，s260、s270是本发明中的接近控制单元以及接近控制步骤，s250是本发明中的位置判定单元以及位置判定步骤。

(3)变形例

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，只要属于本发明的技术范围，当然可以采用各种方式。

例如，在上述实施方式中，例示了构成为使试样100侧沿着与光轴210交叉的方向位移。但是，也可以构成为使光轴210侧(即激光)相对于试样100位移。另外，在上述实施方式中，例示了构成为由激光加工装置1的控制部60执行关系判定处理。但是，该关系判定处理也可以构成为由与激光加工装置1不同的装置执行。作为用于此的装置，考虑具备照射部10、保持部20、保持部位移机构40、检测部50以及控制部60，由该控制部60执行关系判定处理。

另外，在上述实施方式中，例示了构成为在关系判定处理的s230中，通过读出预先记录的信息来获取成为比较值的光强度。但是，成为比较值的光强度也可以构成为获取根据激光的照射区域200中的能量分布、检测部50与角部110的位置关系、角部110的形状等参数计算出的值。

另外，在上述实施方式中，例示了构成为在加工处理中每次在试样100上形成加工面时执行关系判定处理，判定激光与试样100的位置关系。但是，判定激光与试样100的位置关系的时机不限于此，例如，可以考虑每次在照射区域200对试样100进行扫描时判定激光与试样100的位置关系。在该情况下，可以考虑构成为在s180中的扫描前或扫描后执行关系判定处理。

另外，判定激光与试样100的位置关系的时机也可以是在加工处理中实际进行加工的过程中，此时，可以考虑构成为在s180中的扫描中同时执行关系判定处理。

另外，判定激光与试样100的位置关系的时机也可以与加工处理无关，在该情况下，只要构成为接收启动指令并在任意的时机执行关系判定处理即可。

另外，在上述实施方式中，例示了构成为在关系判定处理中判定位置关系时，将实际的光强度与比较值进行比较。但是，在判定位置关系时，也可以构成为将实际的光强度的沿着时间轴的推移与作为比较值的光强度的沿着时间轴的推移进行比较。

作为具体的例子，例示了在对保持部20进行了定位的时刻的初始的位置关系下采用了“角部110的前端到达光轴210的位置关系”的情况，在关系判定处理的s240～s270中，将角部110的前端从照射区域200的外侧到达光轴210的过程中的光强度作为比较值来实施。在该过程中，在角部110的前端到达照射区域200并重叠之后，如图7所示，光强度以一定以上的比例增加的区间(图7中的单点划线的左侧)和该增加比例小于一定比例的区间(图7中的单点划线的右侧)依次到来，在该后者的区间到来的时机，角部110的前端到达光轴210，这通过实验得到确认。因此，在该情况下，根据实际的光强度与作为比较值的光强度相同或为规定的阈值范围内的增加程度，判定为在该时刻成为角部110的前端到达照射区域200的规定的位置关系。

(4)作用效果

根据上述实施方式，只要可以在成为激光的照射区域200的外侧的位置检测光强度，就能够基于该检测结果判定激光与试样100的位置关系，因此不需要为了进行该判定而设置多个追加的装置结构，能够抑制用于判定位置关系的成本。

另外，在上述实施方式的激光加工装置1中，能够与试样100的加工并行地实时判定以及修正与照射区域200的位置关系。

产业上的可利用性

本发明能够用于判定激光与试样的位置关系的用途，而无需设置多个追加的装置结构，可以抑制成本。

符号说明

1…激光加工装置；10…照射部；11…振荡器；13…振动调整器；14…偏振元件；15…衰减器(ATT)；17…光束扩展器(EXP)；19…光学透镜；20…保持部；30…照射部位移机构；31…机构主体；33…驱动部；40…保持部位移机构；41…机构主体；43…驱动部；50…检测部；60…控制部；61…内置存储器；100…试样；110…角部；200…照射区域；210…光轴。

Claims (6)

1.一种激光加工装置，针对以光轴在规定方向上延伸的方式照射的激光，使由分别相邻的多个面形成的角部的试样的所述角部朝向所述激光侧相对地接近，由此利用所述激光加工所述角部，其中，

所述激光加工装置具备：

检测部，在与所述光轴交叉的俯视观察下，至少设置在所述激光中成为呈筒状延伸的照射区域的外侧的位置，检测到达该位置的光的强度；

接近控制单元，控制使所述试样沿着与所述光轴交叉的方向相对地位移的致动器，使所述试样相对于所述光轴相对地接近；

值获取单元，在所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系下，作为所述检测部检测的值而获取规定的光的强度；以及

关系判定单元，在所述试样相对于所述光轴相对地接近的过程中，基于所述检测部检测的光的强度，判定所述激光与所述试样的位置关系，

所述关系判定单元在由所述检测部检测出成为与所述值获取单元所获取的值相同或规定的阈值范围内的值的光的强度的情况下，判定为在该时刻处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，

所述接近控制单元控制所述致动器，使得所述试样相对于所述光轴相对地接近，直到由所述关系判定单元判定为处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系为止。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，

所述关系判定单元在由所述检测部检测出成为在所述值获取单元所获取的值与规定的阈值范围外的值的光的强度的情况下，判定为未处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系，

所述接近控制单元控制所述致动器，使得在由所述关系判定单元判定为未处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系之后，所述试样相对于所述光轴相对地接近，直到判定为处于该位置关系为止。

4.根据权利要求2或3所述的激光加工装置，

在每次利用所述激光加工所述角部时，利用所述接近控制单元实施所述致动器的控制、利用所述值获取单元实施光的强度的获取、以及利用所述关系判定单元实施位置关系的判定。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，

所述检测部设置于在用所述试样将沿所述光轴延伸的空间分成两部分的情况下的与所述激光的光源相反侧的区域中、在与所述光轴交叉的俯视观察下至少位于所述照射区域的外侧。

6.一种位置判定方法，包括：

检测步骤，在与光轴沿规定方向延伸的激光的所述光轴交叉的俯视观察下，至少设置在所述激光中成为呈筒状延伸的照射区域的外侧的位置，检测到达该位置的光的强度；

接近控制步骤，对致动器进行控制，以使所述试样相对于所述光轴相对地接近，所述致动器在使所述角部朝向所述激光侧的状态下，使分别由相邻的多个面形成的角部的试样沿着与所述光轴交叉的方向相对地位移；

值获取步骤，在所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系下，作为所述检测部检测的值而获取规定的光的强度；以及

关系判定步骤，在所述试样相对于所述光轴相对地接近的过程中，基于由所述检测步骤检测的光的强度，判定所述激光与所述试样的位置关系，

在所述关系判定步骤中，当在所述检测步骤中检测出成为与所述值获取步骤所获取的值相同或规定的阈值范围内的值的光的强度的情况下，判定为在该时刻处于所述角部的前端到达所述照射区域的规定的位置关系。

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