CN114485093B - 甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机 - Google Patents

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CN114485093B CN202210146404.6A CN202210146404A CN114485093B CN 114485093 B CN114485093 B CN 114485093B CN 202210146404 A CN202210146404 A CN 202210146404A CN 114485093 B CN114485093 B CN 114485093B
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Abstract

本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，甩干机的烘干系统包括甩干桶，还包括：吹扫机构，用于送入吹扫气体；加热机构，用于加热吹扫气体和甩干桶；气体流量调节机构，用于调节吹扫气体的流量；温度湿度传感器，用于测量甩干桶内的温度信息和湿度信息；控制器，用于获取温度信息和湿度信息；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息小于或等于预设温度阈值时，减小吹扫机构中吹扫气体的流量；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息大于预设温度阈值时，增大吹扫机构中吹扫气体的流量，本申请提出的烘干系统可自动调节吹扫气体流量，实现了甩干机自动化烘干，并提高能源利用率。

Description

甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机
技术领域
本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机。
背景技术
由半导体材料制成的器件是电子工业中的重要基础产品，已运用于生活中的方方面面，甩干机是晶圆清洗烘干中的一个必要步骤，快速高效烘干晶圆能有效提高半导体材料的生产效率，也能提高半导体材料的质量，同时减少生产过程中产生的污染。
现有的一些甩干机烘干装置一般包括喷淋、吹扫、烘干等流程，在烘干过程中一般根据经验值设定烘干时长，不能根据温度和湿度进行自动调节吹扫气体的流量，导致烘干效率低。
针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。
发明内容
本申请的目的在于提供一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，旨在解决在进行甩干时无法实现自动化控制的问题。
第一方面，本申请提供了一种甩干机的烘干系统，包括甩干桶，所述烘干系统包括：
吹扫机构，安装在所述甩干桶内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体；
加热机构，安装在所述甩干桶内，用于加热所述吹扫气体和所述甩干桶；
气体流量调节机构，安装在所述吹扫机构上，用于调节所述吹扫气体的流量；
温度湿度传感器，用于测量所述甩干桶内的温度信息和湿度信息；
控制器，所述控制器与所述吹扫机构、所述加热机构、所述气体流量调节机构和所述温度湿度传感器电性连接，用于控制所述加热机构同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶以对所述甩干桶内的所述晶圆进行烘干处理，并用于获取所述温度信息和所述湿度信息；
所述控制器还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构减小所述吹扫机构中吹扫气体的流量；
所述控制器还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构增大所述吹扫机构中吹扫气体的流量。
本申请提供的甩干机的烘干系统，通过控制器获取温度湿度传感器测得的甩干机内的温度信息和湿度信息，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制器控制气体流量调节机构减小吹扫机构送出的吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制器控制气体流量调节机构增大吹扫机构送出的吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，完成甩干机的自动烘干，根据温度和湿度调节吹扫气体的流量，充分利用甩干桶内的热量进行烘干，实现烘干自动化调节，提高了能源利用率，提高烘干效率。
可选地，本申请所述的甩干机的烘干系统，所述甩干桶设置为内桶和外桶的双桶结构，所述内桶设置在所述外桶内。
本申请通过设置内外桶的双桶结构，以减少甩干机在甩干过程中产生的震动和噪声。
可选地，本申请所述的甩干机的烘干系统，所述吹扫机构包括进气管道和与所述进气管道连接的输出管道，所述进气管道环绕设置在外桶的内壁，所述输出管道设置在所述内桶上。
本申请通过在外桶的内壁上设置进气管道，可通过甩干桶内的热量对进气管道中的吹扫气体进行预热，提高能源的利用率。
可选地，本申请所述的甩干机的烘干系统，所述气体流量调节机构设置在所述进气管道上，所述温度湿度传感器设置在所述内桶内。
本申请通过气体流量调节机构调节进气管道中吹扫气体的流量，通过设置温度湿度传感器以实时获取甩干桶内的温度信息及湿度信息。
第二方面，本申请提出一种甩干机的烘干方法，应用于甩干机的烘干系统，所述甩干机的烘干系统包括：
吹扫机构，安装在所述甩干桶内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体；
加热机构，安装在所述甩干桶内，用于加热所述吹扫气体及所述甩干桶；
气体流量调节机构，安装在所述吹扫机构上，用于调节所述吹扫气体的流量；
温度湿度传感器，用于检测所述甩干桶内的温度信息和湿度信息；
所述甩干机的烘干方法包括以下步骤：
控制所述加热机构同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶以对所述甩干桶内的所述晶圆进行烘干处理；
获取所述温度信息和所述湿度信息；
在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构减小所述吹扫机构中吹扫气体的流量；
在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构增大所述吹扫机构中吹扫气体的流量。
本申请提出的甩干机的烘干方法，根据甩干桶内的温度和湿度，调节吹扫气体的流量，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构减小吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构增大吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，完成甩干机的自动烘干，根据温度和湿度调节吹扫气体的流量，充分利用甩干桶内的热量进行烘干，实现烘干自动化调节，提高了能源利用率，提高烘干效率。
第三方面，本申请提出的一种甩干机，用于清洗晶圆，所述甩干机包括：
甩干驱动机构，安装在所述甩干桶上，用于驱动甩干桶在甩干过程中持续转动；
喷淋机构，安装在所述甩干桶内，用于提供喷洒所述晶圆用的喷淋水；
所述甩干机还包括：
吹扫机构，安装在所述甩干桶内，用于提供吹扫所述晶圆用的吹扫气体；
加热机构，安装在所述甩干桶内，用于加热所述吹扫气体或加热所述吹扫气体及所述甩干桶；
气体流量调节机构，安装在所述吹扫机构上，用于调节所述吹扫气体的流量；
温度湿度传感器，用于检测所述甩干桶内的温度信息和湿度信息；
控制器，所述控制器与所述喷淋机构、所述甩干驱动机构、所述吹扫机构、所述加热机构、所述气体流量调节机构和所述温度湿度传感器电性连接；
所述控制器用于控制所述喷淋机构提供喷洒所述晶圆用的所述喷淋水；
所述控制器还用于控制所述加热机构加热所述吹扫气体以控制所述吹扫机构对所述晶圆进行吹扫处理；
所述控制器还用于控制所述加热机构加热所述吹扫气体及所述甩干桶以对所述甩干桶内的所述晶圆进行烘干处理；
在所述烘干处理中，所述控制器还用于控制所述加热机构同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶以对所述甩干桶内的所述晶圆进行烘干处理，并用于获取所述温度信息和所述湿度信息；
所述控制器还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构减小所述吹扫机构中吹扫气体的流量；
所述控制器还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构增大所述吹扫机构中吹扫气体的流量。
本申请提出的甩干机的在甩干过程中，先通过喷淋机构向甩干桶内喷洒喷淋水，后吹扫机构向甩干桶内吹出吹扫气体并由加热机构对吹扫气体进行加热，吹扫后控制器通过温度湿度传感器获取甩干桶内的温度信息和湿度信息，并根据温度信息和湿度信息调节气体流量调节机构，增大或减小吹扫气体的流量，从而使甩干桶内的湿度小于或等于预设湿度阈值，完成对甩干机内晶圆的清洁，根据温度和湿度调节吹扫气体的流量，充分利用甩干桶内的热量进行烘干，实现烘干自动化调节，提高了能源利用率，提高烘干效率。
可选地，本申请所述的甩干机，所述喷淋机构通过输出管道向所述甩干桶内送入所述喷淋水，所述吹扫机构也通过输出管道向所述甩干桶内送入所述吹扫气体，所述输出管道上设置有切换装置，用于切换送入所述喷淋水或送入所述吹扫气体。
本申请通过设置切换装置，使输出管道能切换向甩干桶内送入吹扫气体或喷淋水，节约安装空间，降低生产成本。
可选地，本申请所述的甩干机，所述甩干桶底部设置有排废管，所述排废管上设置有第一开闭阀，所述第一开闭阀与所述控制器电性连接，所述控制器控制所述第一开闭阀的开闭。
本申请通过设置排废管将甩干桶内的废水排出，并设置与控制器电性连接的第一开闭阀，以控制甩干桶排废水时打开第一开闭阀，在烘干时关闭第一开闭阀。
第四方面，本申请提供的一种电子设备，包括处理器以及存储器，所述存储器存储有计算机可读取指令，当所述计算机可读取指令由所述处理器执行时，运行如上述第二方面提供的所述方法中的步骤。
第五方面，本申请提供的一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，运行如上述第二方面提供的所述方法中的步骤。
由上可知，本申请提出的甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，通过获取喷淋、吹扫后甩干桶内的温度信息和湿度信息，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制器控制气体流量调节机构减小吹扫机构送出的吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制器控制气体流量调节机构增大吹扫机构送出的吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，完成甩干机的自动烘干，通过控制器获取温度信息和湿度信息，并根据温度信息和湿度信息控制吹扫气体的流量使甩干桶内的湿度降低，实现了甩干机根据温度和湿度自动烘干，提高对甩干机的烘干效率。
本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
图1为本申请实施例提供的甩干机的烘干系统的结构示意图。
图2为本申请实施例提供的甩干机外桶的结构示意图。
图3为本申请实施例提供的甩干机的烘干方法的步骤流程图。
图4为本申请实施例提供的甩干机的结构示意图。
图5为本申请实施例提供的切换向甩干桶内送入吹扫气体或喷淋水的结构示意图。
图6为本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图。
标号说明：1、甩干桶；11、内桶；12、外桶；13、保温透气材料；2、吹扫机构；20、输出管道；21、进气管道； 3、加热机构；31、加热棒；32、加热片；4、气体流量调节机构；5、温度湿度传感器；6、控制器；7、喷淋机构；71、喷头；72、第二开闭阀；8、甩干驱动机构；9、排废管；91、第一开闭阀；10、切换装置；100、甩干机；601、处理器；602、存储器；603、通信总线。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在一般情况下，烘干过程根据经验值设定烘干时长，不能根据温度和湿度自动调节吹扫气体的流量，导致烘干效率低。
第一方面，参考图1，图1为本申请提供的甩干机的烘干系统的结构示意图，图1所示的甩干机的烘干系统包括甩干桶1，还包括：
吹扫机构2，安装在甩干桶1内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体；
加热机构3，安装在甩干桶1内，用于加热吹扫气体和甩干桶1；
气体流量调节机构4，安装在吹扫机构2内，用于调节吹扫气体的流量；
温度湿度传感器5，用于测量甩干桶1内的温度信息和湿度信息；
控制器6，控制器6与吹扫机构2、加热机构3、气体流量调节机构4和温度湿度传感器5电性连接，用于控制加热机构3同时加热吹扫气体及甩干桶1以对甩干桶1内的晶圆进行烘干处理，并用于获取温度信息和湿度信息；
控制器6还用于在湿度信息大于预设湿度阈值且温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4减小吹扫机构2中吹扫气体的流量；
控制器6还用于在湿度信息大于预设湿度阈值且温度信息大于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4增大吹扫机构2中吹扫气体的流量。
具体地，在本实施例中，吹扫气体为氮气。
具体地，加热机构3包括用于加热吹扫气体的吹扫气体加热器，可选地，在本实施例中，选用加热棒31对吹扫气体进行加热，将加热棒31设置在输出管道20中，当吹扫气体通过输出管道20时，加热棒31加热吹扫气体，使进入甩干桶1的吹扫气体具有一定温度。加热机构3还包括设置在甩干桶1上的甩干桶加热器，可选地，在本实施例中，选用加热片32附在甩干桶1上对甩干桶1进行加热。
优选地，在加热机构3对吹扫气体和甩干桶1进行加热的过程中，吹扫气体的温度高于甩干桶1内的温度。具体地，由于吹扫气体直接作用于晶圆，因此吹扫气体的温度比甩干桶1的温度更有效烘干晶圆，且由于甩干桶1的降温后甩干桶1内的相对湿度会升高，因此在加热机构3对吹扫气体和甩干桶1加热的过程中，吹扫气体的温度高于甩干桶1内的温度，节约能源的同时保证甩干桶1冷却时相对湿度的升高量较低。
具体地，气体流量调节机构4用于调节吹扫气体的流量，可选地，气体流量调节机构4选用气动阀门或电动阀，在本实施例中，选用精度更高，灵敏度更高的电动阀作为气体流量调节机构4，气体流量调节机构4与控制器6电性连接，通过控制器6控制气体流量调节机构4调节吹扫气体的流量。
具体地，预设温度阈值根据周围环境的工况、片盒内晶圆的质量、后续工艺对晶圆的要求和工艺的节拍设定，平衡上述情况人为设定较优的值作为预设温度阈值，一般不超过120℃，当甩干桶1内温度大于预设温度阈值时，加大吹扫气体的流量，更多的气体可携带热量用于烘干晶圆，提高甩干桶1内湿度降低的效率；当甩干桶1内温度小于或等于预设温度阈值时，减小吹扫气体的流量，使气体能携带更多热量用于烘干晶圆，提高甩干桶1内湿度降低的效率。
具体地，预设湿度阈值根据周围环境的工况、片盒内晶圆的质量、后续工艺对晶圆的要求和工艺的节拍设定，平衡上述情况人为设定较优的值作为预设温度阈值，当甩干桶1内的湿度小于或等于预设湿度阈值时，即甩干桶1内的湿度满足工艺要求，烘干完成；当甩干桶1内的湿度大于预设湿度阈值时，即甩干桶1内的湿度不满足工艺要求，需要对甩干桶1进行烘干处理。
具体地，气体流量调节机构4的增大/减小值根据甩干桶1内氮气的压力和流量进行设定，当甩干桶1内氮气压力和流量较大，则气体流量调节机构4的增大/减小值相应较大；当甩干桶1内氮气压力和流量较小，则气体流量调节机构4的增大/减小值相应较小。
本申请实施例中的甩干机的自动烘干系统，当晶圆反应完成后需在甩干桶1内进行清洗及烘干，本申请提出的自动烘干系统先通过吹扫机构2向甩干桶1内送入吹扫晶圆的吹扫气体，同时加热机构3对吹扫气体进行加热，吹扫后控制器6获取温度湿度传感器5测得的甩干机100内的温度信息和湿度信息，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制器6控制气体流量调节机构4减小吹扫机构2送出的吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制器6控制气体流量调节机构4增大吹扫机构2送出的吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，完成甩干机100的自动烘干，根据温度和湿度调节吹扫气体的流量，充分利用甩干桶1内的热量进行烘干，实现烘干自动化调节，提高了能源利用率，提高烘干效率。
在一些优选的实施方式中，参照图1，甩干桶1设置为内桶11和外桶12的双桶结构，内桶11设置在外桶12内。
具体地，通过将甩干桶1设置为内桶11和外桶12的双桶结构，能适当降低甩干过程中产生的震动和噪声。
优选地，使内桶11的中轴线与外桶12的中轴线相重合，使内桶11和外桶12同轴转动进一步减少甩干过程中的震动。
优选地，在内桶11和外桶12之间设置有保温透气材料13，可选地，保温透气材料13选用保温棉，一方面进一步减少甩干桶1在甩干过程中产生的噪声和震动，另一方面对甩干桶1进行保温，通过甩干桶1内的温度能对吹扫气体进行预热，提高能源利用率。
在一些优选的实施方式中，吹扫机构2包括进气管道21和与进气管道21连接的输出管道20，进气管道21环绕设置在外桶12的内壁，输出管道20设置在内桶11上。
具体地，参考图2，图2为本申请提供的甩干机外桶的结构示意图，通过在外桶12的内壁上环绕设置进气管道21，使吹扫气体在进入甩干桶1前通过甩干桶1内的热量对吹扫气体进行预热，提高能源的利用率。
具体地，输出管道20的一端与进气管道21相连接，输出管道20的另一端从内桶11上方穿过并进入内桶11内，使吹扫气体通过进气管道21与输出管道20进入内桶11内对晶圆进行吹扫。
在一些优选的实施方式中，气体流量调节机构4设置在进气管道21上，温度湿度传感器5设置在内桶11内。
具体地，气体流量调节机构4设置在进气管道21上，吹扫气体在经过气体流量调节机构4后吹扫气体的流量为气体流量调节机构4所设定的吹扫气体流量，具体地，在控制器6控制下，气体流量调节机构4根据甩干桶1内的湿度信息以及温度信息对吹扫气体的流量进行调节，从而快速降低甩干桶1内的湿度，使甩干桶1内的湿度小于或等于预设湿度阈值。
具体地，温度湿度传感器5设置在内桶11内，实时获取内桶11内的温度信息和湿度信息，并由控制器6获取温度信息及湿度信息，用于对甩干桶1进行烘干。
可选地，控制器6用于根据湿度信息计算出甩干桶1内的绝对湿度信息，当绝对湿度信息小于或等于预设烘干完成湿度阈值时，控制器6控制加热机构3停止加热。具体地，由于烘干过程中甩干桶1的温度较高，因此当烘干完成后，甩干桶1的温度降低，使甩干桶1内的相对湿度上升，导致烘干效果较差，为保证烘干效果，控制器6结合温度湿度传感器5获取的湿度信息以及甩干桶1内的温度信息，得到甩干桶1内的绝对湿度信息，在绝对湿度信息小于或等于预设烘干完成湿度阈值时，控制器6控制加热机构3停止加热，确保烘干结束且甩干桶1降温至室温时，甩干桶1内空气湿度符合烘干需求且空气不会凝结出水滴。
可选地，控制器6用于根据当前室温以及甩干桶1内的湿度信息，将该湿度信息换算为相对于当前室温下的相对湿度信息，在该相对于当前室温下的相对湿度信息小于或等于预设烘干完成湿度阈值时，加热机构3停止加热，使甩干桶1降温冷却后的湿度信息小于或等于预设湿度阈值，确保烘干结束且甩干桶1降温至室温时，甩干桶1内空气湿度符合烘干需求且空气不会凝结出水滴。
第二方面，参考图3，图3为本申请提出的甩干机的烘干方法的步骤流程图，图3所示的烘干方法，应用于甩干机的烘干系统，甩干机的烘干系统包括：
吹扫机构2，安装在甩干桶1内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体；
加热机构3，安装在甩干桶1内，用于加热吹扫气体及甩干桶1；
气体流量调节机构4，安装在吹扫机构2上，用于调节吹扫气体的流量；
温度湿度传感器5，用于检测甩干桶1内的温度信息和湿度信息；
甩干机的烘干方法包括以下步骤：
控制加热机构3同时加热吹扫气体及甩干桶1以对甩干桶1内的晶圆进行烘干处理；
获取温度信息和湿度信息；
在湿度信息大于预设湿度阈值且温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4减小吹扫机构2中吹扫气体的流量；
在湿度信息大于预设湿度阈值且温度信息大于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4增大吹扫机构2中吹扫气体的流量。
本申请实施例中的甩干机的烘干方法，根据甩干桶1内的温度信息和湿度信息，调节吹扫气体的流量，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4减小吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4增大吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，当湿度信息小于或等于预设湿度阈值时，完成甩干机100的自动烘干，根据温度和湿度调节吹扫气体的流量，充分利用甩干桶1内的热量进行烘干，实现烘干自动化调节，提高了能源利用率，提高烘干效率。
第三方面，参照图4，图4为本申请提出的甩干机的结构示意图，图4所示的甩干机用于清洗晶圆，甩干机100包括：
甩干驱动机构8，安装在甩干桶1上，用于驱动甩干桶1在甩干过程中持续转动；
喷淋机构7，安装在甩干桶1内，用于提供喷洒晶圆用的喷淋水；
甩干机100还包括：
吹扫机构2，安装在甩干桶1内，用于向甩干桶1内送入用于吹扫晶圆的吹扫气体；
加热机构3，安装在甩干桶1内，用于加热吹扫气体或加热吹扫气体及甩干桶1；
气体流量调节机构4，安装在吹扫机构2上，用于调节吹扫气体的流量；
温度湿度传感器5，用于检测甩干桶1内的温度信息和湿度信息；
控制器6，控制器6与喷淋机构7、甩干驱动机构8、吹扫机构2、加热机构3、气体流量调节机构4和温度湿度传感器5电性连接；
控制器6用于控制喷淋机构7向甩干桶1内喷洒喷淋水；
控制器6还用于控制加热机构3加热吹扫气体以对晶圆进行吹扫处理；
控制器6还用于控制加热机构3加热吹扫气体及甩干桶1以对甩干桶1内的晶圆进行烘干处理；
在烘干处理中，控制器6还用于控制加热机构3同时加热吹扫气体及甩干桶1以对甩干桶1内的晶圆进行烘干处理；
控制器6还用于获取温度信息和湿度信息；
控制器6还用于在湿度信息大于预设湿度阈值且温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4减小吹扫机构2中吹扫气体的流量；
控制器6还用于在湿度信息大于预设湿度阈值且温度信息大于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4增大吹扫机构2中吹扫气体的流量。
具体地，甩干驱动机构8包括驱动电机以及驱动转轴，驱动转轴与甩干桶1连接，用于驱动甩干桶1旋转，通过离心力甩掉晶圆上的喷淋水，具体地，在甩干过程中，甩干驱动机构8持续驱动甩干桶1旋转，具体地，在驱动机构8驱动内桶11旋转，在内桶11旋转时，外桶12保持静止不动。
具体地，喷淋机构7包括输出管道20和输出管道20上的喷头71。
优选地，在本实施例中，输出管道20上的喷头71上可设置有第二开闭阀72，第二开闭阀72与控制器6电性连接，当向甩干桶1内送入喷淋水或吹扫气体时，控制器6控制第二开闭阀72打开，喷淋水或吹扫气体通过喷头71喷出，当不需向甩干桶1内送入吹扫气体和喷淋水时时，控制器6控制第二开闭阀72关闭。
具体地，喷淋机构7可通过向甩干桶1内喷洒喷淋水以对甩干桶1内的晶圆进行喷洒处理，通过喷淋机构7还可通过向甩干桶1内喷洒加热后的吹扫气体以对甩干桶1内的晶圆进行吹扫处理。具体地，吹扫气体经过喷淋机构7中的输出管道20时，被输出管道20中的加热棒31加热，随后从输出管道20排出进入甩干桶1内，对晶圆进行吹扫处理，吹扫晶圆上的喷淋水并对晶圆进行初步干燥。
本申请实施例中的甩干机100，在清洁甩干桶1内晶圆时包括：喷淋、吹扫、烘干三个阶段，在清洁过程中控制器6控制甩干驱动机构8持续驱动甩干桶1旋转，喷淋阶段中喷淋机构7向甩干桶1内喷洒喷淋水，后在吹扫阶段中，吹扫机构2向甩干桶1内吹出吹扫气体并由加热机构3对吹扫气体进行加热，吹扫后进入烘干阶段，控制器6通过温度湿度传感器5获取甩干桶1内的温度信息和湿度信息，并根据温度信息和湿度信息调节气体流量调节机构4，增大或减小吹扫气体的流量，从而使甩干桶1内的湿度小于或等于预设湿度阈值，完成对甩干机100内晶圆的清洁，根据温度和湿度调节吹扫气体的流量，充分利用甩干桶1内的热量进行烘干，实现烘干自动化调节，提高了能源利用率，提高烘干效率。
在一些优选的实施方式中，喷淋机构7与吹扫机构2均通过输出管道20向甩干桶1内送入喷淋水和吹扫气体，输出管道20上设置有切换装置10，用于切换送入喷淋水或送入吹扫气体。
具体的，参考图5，图5为本申请提供的切换向甩干桶内送入吹扫气体或喷淋水的结构示意图，在本实施例中，切换装置10选用气动阀门对送入喷淋水或吹扫气体进行切换，具体地，吹扫气体源与喷淋水源分别与气动阀门的两个输入接口连接，在喷淋阶段中，气动阀门的输出端与喷淋水源接通，吹扫气体被气动阀门阻隔而无法进入输出管道20，而喷淋水通过气动阀门进入输出管道20，并通过输出管道20进入甩干桶1，并对甩干桶1中的晶圆进行喷淋处理；在吹扫阶段和烘干阶段中，气动阀门切换，气动阀门的输出端与吹扫气体源接通，喷淋水被气动阀门阻隔无法进入输出管道20，而吹扫气体可通过气动阀门进入输出管道20，并通过输出管道20进入甩干桶1，并对甩干桶1中的晶圆进行吹扫处理和烘干处理气动阀门气动阀门。
在一些优选的实施方式中，甩干桶1底部设置有排废管9，排废管9上设置有第一开闭阀91，第一开闭阀91与控制器6电性连接，控制器6控制第一开闭阀91的开闭。
具体的，在本实施例中，选用电动阀作为第一开闭阀91，第一开闭阀91与控制器6电性连接，当甩干机100在进行喷淋和吹扫阶段时，控制器6控制第一开闭阀91开启，甩干桶1内的喷淋水通过排废管9排出，当甩干机100在进行烘干阶段时，控制器6控制第一开闭阀91关闭，防止甩干桶1内的热量散失，在烘干阶段结束后，控制器6控制第一开闭阀91打开，吹扫气体通过第一开闭阀91排出。
第四方面，参照图6，图6为本申请提供的一种电子设备，包括：处理器601和存储器602，处理器601和存储器602通过通信总线603和/或其他形式的连接机构（未标出）互连并相互通讯，存储器602存储有处理器601可执行的计算机程序，当电子设备运行时，处理器601执行该计算机程序，以执行上述实施例的任一可选的实现方式，以实现以下功能：控制加热机构3同时加热吹扫气体及甩干桶1以对甩干桶1内的晶圆进行烘干处理；获取甩干机100内的温度信息和湿度信息，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4减小吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4增大吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，完成甩干机100的自动烘干。
第五方面，本申请提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器601执行时，执行上述实施例的任一可选的实现方式中的方法，以实现以下功能：控制加热机构3同时加热吹扫气体及甩干桶1以对甩干桶1内的晶圆进行烘干处理；获取甩干机100内的温度信息和湿度信息，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4减小吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构4增大吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，完成甩干机100的自动烘干。
在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
另外，作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
再者，在本申请各个实施例中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。
在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
以上仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种甩干机的烘干系统，包括甩干桶（1），其特征在于，所述甩干桶（1）设置为内桶（11）和外桶（12）的双桶结构，所述内桶（11）设置在所述外桶（12）内，所述烘干系统包括：
吹扫机构（2），安装在所述甩干桶（1）内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体，所述吹扫机构（2）包括进气管道（21）和与所述进气管道（21）连接的输出管道（20），所述进气管道（21）环绕设置在外桶（12）的内壁，所述输出管道（20）设置在所述内桶（11）上；
加热机构（3），安装在所述甩干桶（1）内，用于加热所述吹扫气体和所述甩干桶（1）；
气体流量调节机构（4），安装在所述吹扫机构（2）内，用于调节所述吹扫气体的流量；
温度湿度传感器（5），用于测量所述甩干桶（1）内的温度信息和湿度信息；
控制器（6），所述控制器（6）与所述吹扫机构（2）、所述加热机构（3）、所述气体流量调节机构（4）和所述温度湿度传感器（5）电性连接，用于控制所述加热机构（3）同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）以对所述甩干桶（1）内的所述晶圆进行烘干处理，并用于获取所述温度信息和所述湿度信息；
所述控制器（6）还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）减小所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量；
所述控制器（6）还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）增大所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量。
2.根据权利要求1所述的甩干机的烘干系统，其特征在于，所述气体流量调节机构（4）设置在所述进气管道（21）上，所述温度湿度传感器（5）设置在所述内桶（11）内。
3.一种甩干机的烘干方法，应用于甩干机的烘干系统，其特征在于，所述甩干机的烘干系统包括：
甩干桶（1），所述甩干桶（1）设置为内桶（11）和外桶（12）的双桶结构，所述内桶（11）设置在所述外桶（12）内；
吹扫机构（2），安装在甩干桶（1）内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体，所述吹扫机构（2）包括进气管道（21）和与所述进气管道（21）连接的输出管道（20），所述进气管道（21）环绕设置在外桶（12）的内壁，所述输出管道（20）设置在所述内桶（11）上；
加热机构（3），安装在所述甩干桶（1）内，用于加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）；
气体流量调节机构（4），安装在所述吹扫机构（2）内，用于调节所述吹扫气体的流量；
温度湿度传感器（5），用于检测所述甩干桶（1）内的温度信息和湿度信息；
所述甩干机的烘干方法包括以下步骤：
控制所述加热机构（3）同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）以对所述甩干桶（1）内的所述晶圆进行烘干处理；
获取所述温度信息和所述湿度信息；
在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）减小所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量；
在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）增大所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量。
4.一种甩干机，用于清洗晶圆，所述甩干机（100）包括：
甩干桶（1）；
甩干驱动机构（8），安装在所述甩干桶（1）上，用于驱动甩干桶（1）在甩干过程中持续转动；
喷淋机构（7），安装在所述甩干桶（1）内，用于提供喷洒所述晶圆用的喷淋水；
其特征在于，所述甩干桶（1）设置为内桶（11）和外桶（12）的双桶结构，所述内桶（11）设置在所述外桶（12）内，所述甩干机（100）还包括：
吹扫机构（2），安装在所述甩干桶（1）内，用于提供吹扫所述晶圆用的吹扫气体，所述吹扫机构（2）包括进气管道（21）和与所述进气管道（21）连接的输出管道（20），所述进气管道（21）环绕设置在外桶（12）的内壁，所述输出管道（20）设置在所述内桶（11）上；
加热机构（3），安装在所述甩干桶（1）内，用于加热所述吹扫气体或加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）；
气体流量调节机构（4），安装在所述吹扫机构（2）内，用于调节所述吹扫气体的流量；
温度湿度传感器（5），用于检测所述甩干桶（1）内的温度信息和湿度信息；
控制器（6），所述控制器（6）与所述喷淋机构（7）、所述甩干驱动机构（8）、所述吹扫机构（2）、所述加热机构（3）、所述气体流量调节机构（4）和所述温度湿度传感器（5）电性连接；
所述控制器（6）用于控制所述喷淋机构（7）提供喷洒所述晶圆用的所述喷淋水；
所述控制器（6）还用于控制所述加热机构（3）加热所述吹扫气体以控制所述吹扫机构（2）对所述晶圆进行吹扫处理；
所述控制器（6）还用于控制所述加热机构（3）加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）以对所述甩干桶（1）内的所述晶圆进行烘干处理；
在所述烘干处理中，所述控制器（6）还用于控制所述加热机构（3）同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）以对所述甩干桶（1）内的所述晶圆进行烘干处理；
所述控制器（6）还用于获取所述温度信息和所述湿度信息；
所述控制器（6）还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）减小所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量；
所述控制器（6）还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）增大所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量。
5.根据权利要求4所述的甩干机，其特征在于，所述喷淋机构（7）与所述吹扫机构（2）均通过输出管道（20）与所述甩干桶（1）连接，所述输出管道（20）上设置有切换装置（10），所述切换装置（10）用于切换所述输出管道（20）输出所述喷淋水或所述吹扫气体。
6.根据权利要求4所述的甩干机，其特征在于，所述甩干桶（1）底部设置有排废管（9），所述排废管（9）上设置有第一开闭阀（91）。
7.一种电子设备，其特征在于，包括处理器（601）以及存储器（602），所述存储器（602）存储有计算机可读取指令，当所述计算机可读取指令由所述处理器（601）执行时，运行如权利要求3所述方法中的步骤。
8.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器（601）执行时运行如权利要求3所述方法中的步骤。
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