CN200946965Y - 硅片甩干机 - Google Patents

硅片甩干机 Download PDF

Info

Publication number
CN200946965Y
CN200946965Y CN 200620124206 CN200620124206U CN200946965Y CN 200946965 Y CN200946965 Y CN 200946965Y CN 200620124206 CN200620124206 CN 200620124206 CN 200620124206 U CN200620124206 U CN 200620124206U CN 200946965 Y CN200946965 Y CN 200946965Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
drive circuit
servo drive
control system
drying
mentioned
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 200620124206
Other languages
English (en)
Inventor
经运敏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KEPEIDA ULTRASONIC ENGINEERING EQUIPMENT (CHANGSHA) Co Ltd
Original Assignee
KEPEIDA ULTRASONIC ENGINEERING EQUIPMENT (CHANGSHA) Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KEPEIDA ULTRASONIC ENGINEERING EQUIPMENT (CHANGSHA) Co Ltd filed Critical KEPEIDA ULTRASONIC ENGINEERING EQUIPMENT (CHANGSHA) Co Ltd
Priority to CN 200620124206 priority Critical patent/CN200946965Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN200946965Y publication Critical patent/CN200946965Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种半导体元件清洗工业，具体的是其甩干设备。其目的是提供一种运转平稳可靠、维护保养要求低，且成本较低的硅片甩干机。本实用新型具有位于机箱内的甩干机构、甩干辅助设备及电控系统，上述电控系统由交流伺服驱动电路、可编程控制器(PLC)、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。

Description

硅片甩干机
技术领域
本实用新型涉及一种离心式硅片甩干机，具体的是涉及甩干机的电路控制系统。
背景技术
半导体元件清洗行业中，硅片甩干机作为清洗完成之后的辅助设备使用，其设备性能的优劣直接影响到清洗效率。目前硅片甩干机的都实现了自动化、智能化，其电控系统采用直流伺服电机、直流伺服驱动并通过电脑控制操作、显示，直流伺服电机存在电刷、换向器，维护和保养要求高，而且转动中震动与噪声也较大，另外由于使用电脑型控制器，成本较高操作复杂不直观。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种运转平稳可靠、维护保养要求低，且成本较低的硅片甩干机。
实现本实用新型目的的技术方案如下：
一种硅片甩干机，具有位于机箱内的甩干机构、甩干辅助设备及电控系统，上述甩干机构包括甩干桶和可绕甩干桶中心轴旋转的用来固定被甩干硅片的甩干盘，甩干盘的转动轴通过传动轴和电控系统的伺服电机连接，上述甩干辅助设备包括向甩干桶内喷纯水以及氮气的喷射装置和桶内加热器，本装置由电控系统控制甩干机构的甩干转动和甩干辅助设备的运作，上述电控系统由交流伺服驱动电路、可编程控制器(PLC)、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。
上述甩干桶下方固定连接支撑底板，用来固定传动装置轴座及伺服电机安装座。
上述交流伺服驱动电路的型号为ASD-A10421LA，可编程控制器的型号为DVP-24ES00R2，触摸屏的型号为DOP-A57BSTD。
本实用新型最大的特点在于其电控体统，采用交流伺服驱动系统使得本装置维护和保养要求低，降低装置在工作中的震动与噪声，并且运行更为可靠平稳；另外用触摸屏和可编程控制器的控制方式替代电脑操控，既简化了操作复杂度又可以降低设备的生产成本。
附图说明
图1为本实用新型机构示意图。
图2为本实用新型的电控系统原理图。
具体实施方式
见图1，为本实用新型硅片甩干机整机结构示意图，其中甩干机构位于机箱中上部，甩干桶1下方设有一个支撑底板3，甩干桶内设有甩干盘2，上述甩干盘可以绕甩干桶的中心轴转动，甩干辅助设备的喷射装置6位于甩干桶中心轴线，当需要向桶内被甩干硅片加纯水或氮气时，喷射装置可以喷射出水汽及氮气，甩干盘2的转动轴通过传动装置4与伺服电机5致动连接，上述传动装置轴座和伺服电机的安装轴固定支撑底板3上，甩干辅助设备的加热器7位于甩干机机箱底部。
图2为本硅片甩干机的电控系统原理图，可编程控制器的数据通讯端和触摸屏的第一数据通讯端连接，触摸屏的第二数据通讯端和交流伺服驱动电路的通讯连接端双向连接，上述交流伺服驱动电路的编码器连接端及电机连接端分别和交流伺服电机的编码器输出端及电源输入端连接。
上述可编程控制器的型号为DVP-24ES00R2，其L、N端输入220v单相工作电源，其X0-X4输入端分别与启动开关、停止开关、按钮开关一、按钮开关二以及限位开关相连，并且通过可编程控制器控制电磁阀执行相应的机械运动。可编程控制器的C1-C7输入24v工作电源，Y0-Y7输出端分别与电磁阀及其他操作开关相连，实现添加纯水、加热及喷射氮气的功能。
上述触摸屏型号为DOP-A57BSTD工作电压为24v，其第一数据通讯端COM1与可编程控制器的数据通讯端COM1连接，操作者可以在触摸屏上输入对被甩干的工件加热、加气等操作指令，由触摸屏处理芯片处理发送到可编程控制器执行；其第二数据通讯端COM2与交流伺服驱动电路的通讯连接端CN3双向连接，对于交流伺服电机的操作指令由此通讯端发送，并且伺服电机的运转状况也可以反馈回来在触摸屏显示出来。
上述交流伺服驱动电路型号为ASD-A10421LA由220v单相电源提供工作电压，其编码器连接端CN2与交流伺服电机的编码器输出端连接，电机连接端与伺服电机的电源输入端连接；上述交流伺服电机的编码器反馈电机运转信号给伺服驱动电路，驱动电路可以根据反馈值调整伺服电机的转动。
本实用新型硅片甩干机的操作方便可靠，人机对话直观。打开本硅片甩干机的电源开关即在触摸屏上显示初始操作界面，所述操作画面及相应输入操作执行都通过与触摸屏设备配套的操作软件实现。
触摸屏的操作界面可以预设3个甩干转速让伺服电机依次执行，并且能够设定相应的转动时间，而伺服电机转动过程中的相关参数也可以在显示屏实时显示。当操作者想要输入某一转速时只需按压初始画面中转速设定下方的黑色区域，输入预设数据后按入“enter”键即完成设定，同样的可以进一步具体设定相关的其他操作参数，在此不再赘述；电控系统的触摸屏将识别操作者的输入参数转换为电信号发送给交流伺服驱动电路或者可编程控制器的相关执行单元执行。以上通过触摸屏完成的操作主要为甩干转动参数和甩干过程中辅助设备工艺设定，其他操作如电源的开和关以及甩干机机箱的开闭直接通过按钮面板由可编程控制器完成。

Claims (3)

1、一种硅片甩干机，具有位于机箱内的甩干机构、甩干辅助设备及电控系统，上述甩干机构包括甩干桶(1)和可绕甩干桶中心轴旋转的用来固定被甩干硅片的甩干盘(2)，甩干盘的转动轴通过传动装置(4)和电控系统的伺服电机(5)连接，上述甩干辅助设备包括向甩干桶内喷纯水以及氮气的喷射装置(6)和桶内加热器(7)，本装置由电控系统控制甩干机构的甩干转动和甩干辅助设备的运作，其特征在于：上述电控系统由交流伺服驱动电路、可编程控制器(PLC)、触摸屏和交流伺服电机组成，触摸屏的数据通讯端分别和可编程控制器的数据通讯端及交流伺服驱动电路的通讯连接端连接，交流伺服驱动电路的电机连接端及编码器连接端分别和交流伺服电机的电源输入端及编码器输出端电连接。
2、根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：上述甩干桶(1)下方固定连接支撑底板(3)，用来固定传动装置轴座及伺服电机安装座。
3、根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：上述交流伺服驱动电路的型号为ASD-A10421LA，可编程控制器的型号为DVP-24ES00R2，触摸屏的型号为DOP-A57BSTD。
CN 200620124206 2006-06-28 2006-06-28 硅片甩干机 Expired - Lifetime CN200946965Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200620124206 CN200946965Y (zh) 2006-06-28 2006-06-28 硅片甩干机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200620124206 CN200946965Y (zh) 2006-06-28 2006-06-28 硅片甩干机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN200946965Y true CN200946965Y (zh) 2007-09-12

Family

ID=38734029

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200620124206 Expired - Lifetime CN200946965Y (zh) 2006-06-28 2006-06-28 硅片甩干机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN200946965Y (zh)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102200374A (zh) * 2011-05-10 2011-09-28 戴加育 一种烘干与甩干装置
CN102357481A (zh) * 2011-08-22 2012-02-22 深圳深爱半导体股份有限公司 甩版清洗机及光刻版的清洗方法
CN102410711A (zh) * 2010-09-21 2012-04-11 如皋市大昌电子有限公司 一种二极管脱水机
CN102825051A (zh) * 2012-08-09 2012-12-19 北京七星华创电子股份有限公司 防止液体回溅装置
CN102997639A (zh) * 2011-09-08 2013-03-27 昊诚光电（太仓）有限公司 太阳能电池片甩干机的热氮气循环利用结构
CN103575075A (zh) * 2012-07-25 2014-02-12 中国科学院微电子研究所 一种硅片甩干系统
CN104236258A (zh) * 2014-09-15 2014-12-24 南通皋鑫电子股份有限公司 变频式甩干机
CN105546939A (zh) * 2016-02-20 2016-05-04 苏州市吴通电子有限公司 一种离心式pcb板自动烘干装置
CN105739427A (zh) * 2016-03-31 2016-07-06 吉林华微电子股份有限公司 半导体甩干机控制器
CN109087880A (zh) * 2018-09-14 2018-12-25 吉林华微电子股份有限公司 一种甩干装置及甩干方法
CN110993540A (zh) * 2019-12-24 2020-04-10 广州新博士科技研究有限公司 一种环保型电池制造机械设备
CN114485093A (zh) * 2022-02-17 2022-05-13 季华恒一(佛山)半导体科技有限公司 甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102410711A (zh) * 2010-09-21 2012-04-11 如皋市大昌电子有限公司 一种二极管脱水机
CN102410711B (zh) * 2010-09-21 2014-02-26 如皋市大昌电子有限公司 一种二极管脱水机
CN102200374B (zh) * 2011-05-10 2012-10-10 戴加育 一种烘干与甩干装置
CN102200374A (zh) * 2011-05-10 2011-09-28 戴加育 一种烘干与甩干装置
CN102357481A (zh) * 2011-08-22 2012-02-22 深圳深爱半导体股份有限公司 甩版清洗机及光刻版的清洗方法
CN102997639A (zh) * 2011-09-08 2013-03-27 昊诚光电（太仓）有限公司 太阳能电池片甩干机的热氮气循环利用结构
CN103575075B (zh) * 2012-07-25 2015-08-26 中国科学院微电子研究所 一种硅片甩干系统
CN103575075A (zh) * 2012-07-25 2014-02-12 中国科学院微电子研究所 一种硅片甩干系统
CN102825051A (zh) * 2012-08-09 2012-12-19 北京七星华创电子股份有限公司 防止液体回溅装置
CN104236258A (zh) * 2014-09-15 2014-12-24 南通皋鑫电子股份有限公司 变频式甩干机
CN105546939A (zh) * 2016-02-20 2016-05-04 苏州市吴通电子有限公司 一种离心式pcb板自动烘干装置
CN105739427A (zh) * 2016-03-31 2016-07-06 吉林华微电子股份有限公司 半导体甩干机控制器
CN109087880A (zh) * 2018-09-14 2018-12-25 吉林华微电子股份有限公司 一种甩干装置及甩干方法
CN109087880B (zh) * 2018-09-14 2021-04-06 吉林华微电子股份有限公司 一种甩干装置及甩干方法
CN110993540A (zh) * 2019-12-24 2020-04-10 广州新博士科技研究有限公司 一种环保型电池制造机械设备
CN114485093A (zh) * 2022-02-17 2022-05-13 季华恒一(佛山)半导体科技有限公司 甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN200946965Y (zh) 硅片甩干机
CN103309251A (zh) 一种实现高效控制的电器控制系统及其信号转换板
CN202188722U (zh) 一种硅片脱水设备
CN208636410U (zh) 一种变频器负载测试系统
CN204673233U (zh) 转盘式送钉机
CN207440598U (zh) 一种压力机的控制装置
CN101619525B (zh) 在线更新花型的电子凸轮横式簇绒地毯加工系统和方法
CN207051722U (zh) 抽油机智能控制柜
CN108549257A (zh) 智能经编机控制系统
CN201222718Y (zh) 智能双控斩波式中压电动机调速装置
CN1655080A (zh) 混凝土泵车臂架运动控制器
CN105405708A (zh) 一种电机直驱的快速接地开关
CN205991009U (zh) 无压力传感器的泵组恒压供水控制系统
CN201485569U (zh) 一种共直流母线数控捻线机
CN109128842A (zh) 一种家具板材切割打磨自动化设备
CN205438540U (zh) 一种机器人的控制系统及机器人
CN201390825Y (zh) 转杯纺纱机全自动接头控制装置
CN2826319Y (zh) 溴化锂吸收式冷温水机组高温发生器液位控制装置
CN207010584U (zh) 一种模块化动力机构的驱动电路、装置及智能床
KR20120118139A (ko) 피엘씨 와 에이치엠아이가 연계 가능한 교육용 인버터 실습장치
CN208353248U (zh) 一种单相变频电路
CN207718202U (zh) 一种基于智能转接板的ecm控制系统
CN206632637U (zh) 电喇叭机螺钉装配装置
CN204621515U (zh) 转盘式送钉装置
CN2268134Y (zh) 电风扇的摇头装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20070912

EXPY Termination of patent right or utility model