CN114381796B - 一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法，该系统包括多台单晶炉、主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统，多个第一真空管路并联汇合至与主抽空系统的真空泵管道连通，且每个第一真空管路上均设有一个对应每一台单晶炉的一级主球阀，多个第二真空管路并联汇合至与第一集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个第二真空管路上均设有一个第一集中抽空球阀，多个第三真空管路并联汇合至与第二集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个第三真空管路上均设有一个第二集中抽空球阀。本发明能够在炉台处于高温真空的继续生产状况下同时进行单独维修和清理，真空泵的利用率高，使用效果好，维护方便，过滤效果好，清理更加方便。

Description

一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法

技术领域

本发明涉及光伏设备技术领域，具体涉及一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统以及应用该系统的控制方法。

背景技术

在光伏技术飞速发展的今天，利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能，实现了迈向绿色能源革命的开始。单晶生长炉是单晶体生长设备，随着光伏技术的飞速发展，该产业也得到了飞速的发展，单晶体生长要求在真空和惰性气体中进行。真空装置应能保证炉体内热真空度达5×1024mm汞柱以上。

现在的生产过程中，每个单晶炉台都配备一个主真空泵及联通集中真空泵，单晶炉台从开始生产到主过滤罐氧化物需要清理的整个环节，主抽空泵一直处于工作状态，使单晶炉内一直处于负压状态（约13Torr）；拉制完一条晶棒并提出后的复投（投入多晶硅）环节，需要集中真空泵介入工作。使得炉台始终处于负压甚至真空、高温的生产使用状态。

在生产中，过滤罐、主真空泵、炉台均存在需要维修的情况，过滤罐是需要400小时清洗一次，真空泵出现损坏需要的情况也有存在，但每次清理和维修，必须把高温真空的炉台暂停（从单晶炉台停功率到从新开炉，预计需要16小时，石英坩埚特性是经历高温后就损坏）才可以进行维修和清理，这期间会照成停产的损失，同时持续运行一定时间后，单晶炉台也需要清洁（氧化物）。并且，现目前设备都是采用每炉配一台真空泵，真空泵在大多数时间是出于空闲状态，每台炉配一台真空泵造成成本的浪费。

此外，如果使用惰性气体作保护气氛，炉体上、下都设有进出气的气口。生长单晶体时，抽真空及真空装置注入惰性气体后都需配备除尘过滤装置。该装置综合运用离心力、惯性碰撞、接触阻留、布朗扩散这几种除尘机理，将单晶粉尘收集到除尘过滤装置的盛灰室内。现有的单晶炉除尘过滤装置内部的过滤单元多为过滤管类型，通透性弱，过滤面积小，从而影响除尘和过滤效果。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法，该系统和方法能够在炉台处于高温真空状况的继续生产情况下同时进行单独维修和清理，可以提高真空泵的利用率，保证较好的使用效果，维护方便，过滤效果好，清理更加方便。

为解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：

一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统，包括：多台单晶炉、主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统，每台所述单晶炉的第一出口均连接有一个第一真空管路，多个所述第一真空管路并联汇合至与所述主抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第一真空管路上均设有一个对应每一台所述单晶炉的一级主球阀，以控制所述主抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体；每台所述单晶炉的第二出口均连接有一个第二真空管路，多个所述第二真空管路并联汇合至与所述第一集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第二真空管路上均设有一个第一集中抽空球阀，以控制所述第一集中抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体；每台所述单晶炉第三出口均连接有一个第三真空管路，多个所述第三真空管路并联汇合至与所述第二集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第三真空管路上均设有一个第二集中抽空球阀，以控制所述第二集中抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体。

进一步的方案是，所述主抽空系统包括N组主抽空装置，每一组所述主抽空装置均包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的二级主球阀、主过滤罐、主真空泵，其中，N≥4，所述单晶炉的数量为M个，M≥11。

更进一步的方案是，所述第一集中抽空系统包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的第一集中抽过滤罐、第一集中抽真空泵，所述第一集中抽过滤罐连接于多台所述单晶炉和所述第一集中抽真空泵之间，所述第一集中抽真空泵、第一集中抽过滤罐的数量为1个。

更进一步的方案是，所述第二集中抽空系统包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的第二集中抽过滤罐、第二集中抽真空泵，所述第二集中抽过滤罐连接于多台所述单晶炉和所述第二集中抽真空泵之间，所述第二集中抽真空泵、第二集中抽过滤罐的数量为1个。

更进一步的方案是，所述主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统、一级主球阀、二级主球阀、第一集中抽空球阀、第二集中抽空球阀分别与统一的控制系统信号连接，由其自动控制开启或关闭。

更进一步的方案是，所述主过滤罐、第一集中抽过滤罐、第二集中抽过滤罐均包括过滤罐主体，所述过滤罐主体与多台所述单晶炉连通，其中，所述过滤罐主体内部设置有过滤单元，用于过滤所述单晶炉排放的气体；所述过滤罐主体下端设置有用于排放杂质颗粒的排放口。

更进一步的方案是，所述主抽空系统的真空泵管道上设有真空压力传感器以及自动放气阀，所述真空压力传感器与单晶炉的报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阈值-95.0Kpa时，由单晶炉的报警输出回路发出报警，并控制所述自动放气阀工作。

一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统的控制方法，该方法应用于上述的一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统进行控制，该方法包括；在操作前将主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统的真空泵管道分别接到M台单晶炉上，M≥11；主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统切换式地处于工作状态，当控制系统工作时，由主抽空系统的主真空泵开始工作，通过真空泵管道抽空单晶炉内空气，检测在达到所需的真空度时，主真空泵停止工作，单晶炉处于高温负压状态，所有单晶炉的负压由N组主抽空装置的主真空泵提供，第一集中抽空系统和第二集中抽空系统处于关闭状态，N≥4；当需要单独清洗或维修主过滤罐或主真空泵时，关闭主抽空系统中与主过滤罐或主真空泵对应的二级主球阀，即可进行单独清洗或维修；当需要清理单晶炉中的氧化物时，关闭第一真空管路的一级主球阀和主抽空系统的二级主球阀，由于清洁单晶炉后炉内压力为常压状态，这时启用第二集中抽空系统的第二集中抽真空泵，当该单晶炉内压力达到13Torr时，切换到主真空泵；若其中一台单晶炉因氧化物堆积过多而导致炉压上涨时，利用第二集中抽真空泵的负压瞬间将氧化物清理出管道。

进一步的方案是，将主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统的真空泵管道分别接到M台单晶炉上，具体包括：设置有N组主抽空装置，通过M个第一真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至主抽空系统的真空泵管道，将连通于M台单晶炉的真空泵管道分为N个分流管道，每个分流管道依次连通于每组主抽空装置的二级主球阀、主过滤罐、主真空泵；通过M个第二真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至第一集中抽空系统的真空泵管道，通过M个第三真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至第二集中抽空系统的真空泵管道。

更进一步的方案是，待达到所需的真空度后，主真空泵停止工作，检测是否有其他球阀打开，如果有，关闭相应管路的球阀；如果无，则通过真空压力传感器检测真空泵管道是否为常压；如果不是常压，打开自动放气阀，并重新检测，直至达到常压状态；然后，关闭自动放气阀，主真空泵开始工作，对应的相应要工作的球阀打开，开始工作，检测在规定的时间内真空度能否达到规定要求，如是，关闭相应阀门，关闭主真空泵，结束，否则放气至炉内压力到常压，重新回到检测真空泵管道内是否为常压的步骤，直至达到规定要求。

因此，相比现有技术，本发明具有以下有益效果：

1、在不停止使用单晶炉的情况下可以维修主真空泵，清理过滤罐内氧化物，从而提高生产效率。

2、可以单独维修单晶炉台，不影响该系统内其他炉台的使用情况，从而提高生产效率。

3、可以减少主真空泵的数量，从原本11个主真空泵减少为现在的4个，能耗减少了50%以上的能耗，能够节约成本，提高设备的使用率，提高工作的效率，稳定性较强，便于维护，稳定性更好。

4、无需拆卸过滤装置就能清理滤芯，本发明提供的过滤罐省了大量的人力物力，提高了单晶炉利用效率，且方便清理滤芯，具有经济效益显著的优点。

5、当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阈值时单晶炉报警输出回路发出报警；在设备故障，导致压力异常时可以及时报警，防止炉压异常造成的生产损失，杜绝炉压过高时产生的安全隐患。

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1是本发明一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统实施例的原理图。

图2是本发明一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统的控制系统实施例中主过滤罐、第一集中抽过滤罐、第二集中抽过滤罐的结构示意图。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后……）仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当人认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统实施例：

参见图1，一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统，包括：多台单晶炉100、主抽空系统10、第一集中抽空系统20、第二集中抽空系统30，每台单晶炉100第一出口均连接有一个第一真空管路，多个第一真空管路并联汇合至与主抽空系统10的真空泵管道连通，且每个第一真空管路上均设有一个对应每一台单晶炉100的一级主球阀51，以控制主抽空系统10通过真空泵管道抽取单晶炉100炉筒内的气体。

在本实施例中，每台单晶炉100第二出口均连接有一个第二真空管路，多个第二真空管路并联汇合至与第一集中抽空系统20的真空泵管道连通，且每个第二真空管路上均设有一个第一集中抽空球阀52，以控制第一集中抽空系统20通过真空泵管道抽取单晶炉100炉筒内的气体。

在本实施例中，每台单晶炉100第三出口均连接有一个第三真空管路，多个第三真空管路并联汇合至与第二集中抽空系统30的真空泵管道连通，且每个第三真空管路上均设有一个第二集中抽空球阀53，以控制第二集中抽空系统30通过真空泵管道抽取单晶炉100炉筒内的气体。

在本实施例中，主抽空系统10包括N组主抽空装置，每一组主抽空装置均包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的二级主球阀11、主过滤罐12、主真空泵13，其中，N≥4，单晶炉100的数量为M个，M≥11。

其中，第一集中抽空系统20包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的第一集中抽过滤罐21、第一集中抽真空泵22，第一集中抽过滤罐21连接于多台单晶炉100和第一集中抽真空泵22之间，第一集中抽真空泵22、第一集中抽过滤罐21的数量为1个。

其中，第二集中抽空系统30包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的第二集中抽过滤罐31、第二集中抽真空泵32，第二集中抽过滤罐31连接于多台单晶炉100和第二集中抽真空泵32之间，第二集中抽真空泵32、第二集中抽过滤罐31的数量为1个。

在本实施例中，主抽空系统10、第一集中抽空系统20、第二集中抽空系统30、一级主球阀51、二级主球阀11、第一集中抽空球阀52、第二集中抽空球阀53分别与统一的控制系统信号连接，由其自动控制开启或关闭。

其中，主抽空系统10的真空泵管道上设有真空压力传感器（未示出）以及自动放气阀（未示出），真空压力传感器与单晶炉100的报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阈值-95.0Kpa时，由单晶炉100的报警输出回路发出报警，并控制自动放气阀工作。

在本实施例中，如图2所示，主过滤罐12、第一集中抽过滤罐21、第二集中抽过滤罐31均包括过滤罐主体1、上盖2，进气口3、出气口4、清理口5，过滤罐主体1与多台单晶炉100连通，其中，上盖2设置于过滤罐主体1顶部，清理口5设置于上盖2上，进气口3及出气口4均设置于过滤罐主体1上，过滤罐主体1内部设置有过滤单元，用于过滤单晶炉100排放的气体；过滤罐主体1下端设置有用于排放杂质颗粒的排放口6。

具体的，本发明提供的过滤罐使用时打开进气口3和出气口4，废气从进气口3进入，通过过滤单元对气体进行过滤，最后从出气口4排出，需要清理过滤单元时关闭进气口3和出气口4，打开清理口5，高速通入气体，对过滤单元表面进行反向喷吹。打开排放口6，过滤单元表面脱漏的固体粉尘自然由排放口6排出。

进一步的，过滤单元包括滤芯8以及固定在滤芯8上的蜂窝状超细纤维纸（未示出），本发明的进气口3接单晶炉100的排气口，含有杂质的气体经过滤芯8和蜂窝状超细纤维纸过滤，由出气口4排出进入真空泵，将蜂窝状超细纤维纸固定在滤芯8上，通过上盖2可以打开，便于将蜂窝状超细纤维纸取出清理。可见，本发明采用蜂窝状的超细纤维纸做为过滤介质，能够过滤更细小的杂质，同时蜂窝状的结构，使其过气面积大大增加，提高了过气效率。对于过滤更多更小的杂质，减少真空泵油的用量，延长真空泵的使用寿命，提高单晶炉100内真空度，具有十分重要的意义。

综上所述，本发明主要包括单晶炉100，第一集中抽空球阀52，第一集中抽过滤罐21，第一、第二集中抽真空泵32，一级主球阀51，二级主球阀11，主过滤罐12，主真空泵13，第二集中抽空球阀53、第二集中抽过滤罐31等，能够保持炉台处于高温真空状况继续生产又可保持单独维修和清理同时进行，可以提高真空泵的利用率，保证较好的使用效果，维护方便，过滤效果好，清理更加方便。

一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统的控制方法实施例：

本实施例提供的一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统的控制方法，该方法应用于上述的一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统进行控制，该方法包括；

在操作前将主抽空系统10、第一集中抽空系统20、第二集中抽空系统30的真空泵管道分别接到M台单晶炉100上，M≥11。

主抽空系统10、第一集中抽空系统20、第二集中抽空系统30切换式地处于工作状态，当控制系统工作时，由主抽空系统10的主真空泵13开始工作，通过真空泵管道抽空单晶炉100内空气，检测在达到所需的真空度时，主真空泵13停止工作，单晶炉100处于高温负压状态，所有单晶炉100的负压由N组主抽空装置的主真空泵13提供，第一集中抽空系统20和第二集中抽空系统30处于关闭状态，N≥4。可见，当该系统工作时，单晶炉100处于高温负压状态，所有的单晶炉100的负压由4个主真空泵13提供（3用1备，3台真空泵，开度80%即可满足炉压13Torr的技术要求），第一、第二集中抽空球阀53处于关闭状态，第一、第二集中抽真空泵32处于休息状态。

当需要单独清洗或维修主过滤罐12或主真空泵13时，关闭主抽空系统10中与主过滤罐12或主真空泵13对应的二级主球阀11，即可进行单独清洗或维修。可见，当需要清洗单独的主过滤罐12（炉台＞95%的氧化集中在过滤罐内）时，关闭对应二级主球阀11，也可以单独维修对应的主过滤罐12或主真空泵13，维修后主真空泵13及主过滤罐12，留作备用。

当需要清理单晶炉100中的氧化物时，关闭第一真空管路的一级主球阀51和主抽空系统10的二级主球阀11，由于清洁单晶炉100后炉内压力为常压状态，这时启用第二集中抽空系统30的第二集中抽真空泵32，当该单晶炉100内压力达到13Torr时，切换到主真空泵13。可见，当需要清理单晶炉100中的氧化物时，关闭一级主球阀51，二级主球阀11，清洁单晶炉100后是常压（与外界同一各大气压）状态，这时启用第二集中抽空泵，当该炉台压力达到13Torr时，切换到主真空泵13。

若其中一台单晶炉100因氧化物堆积过多而导致炉压上涨时，利用第二集中抽真空泵32的负压瞬间将氧化物清理出管道。

在本实施例中，将主抽空系统10、第一集中抽空系统20、第二集中抽空系统30的真空泵管道分别接到M台单晶炉100上，具体包括：设置有N组主抽空装置，通过M个第一真空管路将M台单晶炉100并联汇合连通至主抽空系统10的真空泵管道，将连通于M台单晶炉100的真空泵管道分为N个分流管道，每个分流管道依次连通于每组主抽空装置的二级主球阀11、主过滤罐12、主真空泵13；通过M个第二真空管路将M台单晶炉100并联汇合连通至第一集中抽空系统20的真空泵管道，通过M个第三真空管路将M台单晶炉100并联汇合连通至第二集中抽空系统30的真空泵管道。

在本实施例中，待达到所需的真空度后，主真空泵13停止工作，检测是否有其他球阀打开，如果有，关闭相应管路的球阀；如果无，则通过真空压力传感器检测真空泵管道是否为常压，如果不是常压，打开自动放气阀，并重新检测，直至达到常压状态。

然后，关闭自动放气阀，主真空泵13开始工作，对应的相应要工作的球阀打开，开始工作，检测在规定的时间内真空度能否达到规定要求，如是，关闭相应阀门，关闭主真空泵13，结束，否则放气至炉内压力到常压，重新回到检测真空泵管道内是否为常压的步骤，直至达到规定要求。

在检测控制方面，加入了真空压力传感器和自动放气阀的传感装置，在于主真空泵13刚刚工作结束，主真空泵13管道还处于负压状态下，再次为其他炉膛抽真空的时候，主真空泵13阀门的瞬间打开会由主真空泵13管道带动其他炉台的震动，这两种装置结合加入的好处可避免出现因抽空发生的“流熔”事故。

进一步的，针对在其他炉台保持等径状态时，需要绝对的稳定状态才会使饱满的熔区不会出现“流熔”事故的发生，这种方法的改进在真空泵的各个炉体的连接处都加入合适直径“不锈钢波纹管”，用“软连接”的方法从机械方面最大程度减少震动带来的影响。

因此，相比现有技术，本发明具有以下有益效果：

1、在不停止使用单晶炉100的情况下可以维修主真空泵13，清理过滤罐内氧化物，从而提高生产效率。

2、可以单独维修单晶炉100，不影响该系统内其他炉台的使用情况，从而提高生产效率。

3、可以减少主真空泵13的数量，从原本11个主真空泵13减少为现在的4个，能耗减少了50%以上的能耗，能够节约成本，提高设备的使用率，提高工作的效率，稳定性较强，便于维护，稳定性更好。

4、无需拆卸过滤装置就能清理滤芯8，本发明提供的过滤罐省了大量的人力物力，提高了单晶炉100利用效率，且方便清理滤芯8，具有经济效益显著的优点。

5、当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阈值时单晶炉100报警输出回路发出报警；在设备故障，导致压力异常时可以及时报警，防止炉压异常造成的生产损失，杜绝炉压过高时产生的安全隐患。

上述实施方式仅为本发明的优选实施方式，不能以此来限定本发明保护的范围，本领域的技术人员在本发明的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本发明所要求保护的范围。

Claims (8)

1.一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统的控制方法，其特征在于，该方法应用于一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统进行控制，该系统包括：多台单晶炉、主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统，每台所述单晶炉的第一出口均连接有一个第一真空管路，多个所述第一真空管路并联汇合至与所述主抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第一真空管路上均设有一个对应每一台所述单晶炉的一级主球阀，以控制所述主抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体；

每台所述单晶炉的第二出口均连接有一个第二真空管路，多个所述第二真空管路并联汇合至与所述第一集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第二真空管路上均设有一个第一集中抽空球阀，以控制所述第一集中抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体；

每台所述单晶炉第三出口均连接有一个第三真空管路，多个所述第三真空管路并联汇合至与所述第二集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第三真空管路上均设有一个第二集中抽空球阀，以控制所述第二集中抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体；

所述主抽空系统包括N组主抽空装置，每一组所述主抽空装置均包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的二级主球阀、主过滤罐、主真空泵，其中，N≥4，所述单晶炉的数量为M个，M≥11；

该控制方法包括：

在操作前将主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统的真空泵管道分别接到M台单晶炉上；

主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统切换式地处于工作状态，当控制系统工作时，由主抽空系统的主真空泵开始工作，通过真空泵管道抽空单晶炉内空气，检测在达到所需的真空度时，主真空泵停止工作，单晶炉处于高温负压状态，所有单晶炉的负压由N组主抽空装置的主真空泵提供，第一集中抽空系统和第二集中抽空系统处于关闭状态；

当需要单独清洗或维修主过滤罐或主真空泵时，关闭主抽空系统中与主过滤罐或主真空泵对应的二级主球阀，即可进行单独清洗或维修；

当需要清理单晶炉中的氧化物时，关闭第一真空管路的一级主球阀和主抽空系统的二级主球阀，由于清洁单晶炉后炉内压力为常压状态，这时启用第二集中抽空系统的第二集中抽真空泵，当该单晶炉内压力达到13Torr时，切换到主真空泵；

若其中一台单晶炉因氧化物堆积过多而导致炉压上涨时，利用第二集中抽真空泵的负压瞬间将氧化物清理出管道。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

将主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统的真空泵管道分别接到M台单晶炉上，具体包括：设置有N组主抽空装置，通过M个第一真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至主抽空系统的真空泵管道，将连通于M台单晶炉的真空泵管道分为N个分流管道，每个分流管道依次连通于每组主抽空装置的二级主球阀、主过滤罐、主真空泵；通过M个第二真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至第一集中抽空系统的真空泵管道，通过M个第三真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至第二集中抽空系统的真空泵管道。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：

待达到所需的真空度后，主真空泵停止工作，检测是否有其他球阀打开，如果有，关闭相应管路的球阀；如果无，则通过真空压力传感器检测真空泵管道是否为常压；如果不是常压，打开自动放气阀，并重新检测，直至达到常压状态；

然后，关闭自动放气阀，主真空泵开始工作，对应的相应要工作的球阀打开，开始工作，检测在规定的时间内真空度能否达到规定要求，如是，关闭相应阀门，关闭主真空泵，结束，否则放气至炉内压力到常压，重新回到检测真空泵管道内是否为常压的步骤，直至达到规定要求。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述第一集中抽空系统包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的第一集中抽过滤罐、第一集中抽真空泵，所述第一集中抽过滤罐连接于多台所述单晶炉和所述第一集中抽真空泵之间，所述第一集中抽真空泵、第一集中抽过滤罐的数量为1个。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：

所述第二集中抽空系统包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的第二集中抽过滤罐、第二集中抽真空泵，所述第二集中抽过滤罐连接于多台所述单晶炉和所述第二集中抽真空泵之间，所述第二集中抽真空泵、第二集中抽过滤罐的数量为1个。

6.根据权利要求1至5任一项所述的方法，其特征在于：

所述主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统、一级主球阀、二级主球阀、第一集中抽空球阀、第二集中抽空球阀分别与统一的控制系统信号连接，由其自动控制开启或关闭。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：

所述主过滤罐、第一集中抽过滤罐、第二集中抽过滤罐均包括过滤罐主体，所述过滤罐主体与多台所述单晶炉连通，其中，所述过滤罐主体内部设置有过滤单元，用于过滤所述单晶炉排放的气体；所述过滤罐主体下端设置有用于排放杂质颗粒的排放口。

8.根据权利要求1至5任一项所述的方法，其特征在于：

所述主抽空系统的真空泵管道上设有真空压力传感器以及自动放气阀，所述真空压力传感器与单晶炉的报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阈值-95.0Kpa时，由单晶炉的报警输出回路发出报警，并控制所述自动放气阀工作。

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