CN102313624A - 单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法，包括真空探头和真空压力传感器，真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上，真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。本发明的有益效果是：加装的真空压力传感器，在设备故障，导致压力异常时及时报警，防止炉压异常造成的生产损失，杜绝炉压过高时产生的安全隐患。
Description
技术领域
本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法。
背景技术
现有的单晶炉在排气管路中设置压力检测口，压力检测口通过手阀开闭，在压力检测口上连接真空探头，真空探头检测绝对压力2700Pa以下压力值，压力检测范围小，仅可在设备正常工作时用于炉内拉晶工艺压力控制。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法，在压力异常时及时报警。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，包括真空探头和真空压力传感器，真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上，真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。
三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头连接，真空压力传感器通过快拆法兰装置与支管连接。
在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。
粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。
一种单晶炉真空管道压力检测报警系统的控制方法，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。
本发明的有益效果是：加装的真空压力传感器，在设备故障，导致压力异常时及时报警，防止炉压异常造成的生产损失，杜绝炉压过高时产生的安全隐患。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明；
图1是本发明的结构示意图；
图中，1.真空探头，2.真空压力传感器，3.三通装置，4.单晶炉报警输出回路，5.快拆法兰装置。
具体实施方式
如图1所示，一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，包括真空探头1和真空压力传感器2，真空探头1和真空压力传感器2通过三通装置3安装压力检测口上，真空压力传感器2与单晶炉报警输出回路4连接，当真空压力传感器2检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路4发出报警。真空探头1检测绝对压力2700Pa以下压力值，用于炉内拉晶工艺压力控制。真空压力传感器2检测标准大气压101KPa至-101KPa压力值，是在真空探头1的压力检测区间外增加的检测部件。
三通装置3包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头1连接，真空压力传感器2通过快拆法兰装置5与支管连接。
在快拆法兰装置5的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。
Claims (5)
1.一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：包括真空探头(1)和真空压力传感器(2)，真空探头(1)和真空压力传感器(2)通过三通装置(3)安装压力检测口上，真空压力传感器(2)与单晶炉报警输出回路(4)连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：所述的三通装置(3)包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头(1)连接，真空压力传感器(2)通过快拆法兰装置(5)与支管连接。
3.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：在所述的快拆法兰装置(5)的法兰对接处安装粉尘过滤装置。
4.根据权利要求3所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：所述的粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。
5.一种权利要求1所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统的控制方法，其特征是：当真空压力传感器(2)检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路(4)发出报警。
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