CN206144790U - 一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。进一步地，本实用新型还提供了一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统以及一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，从而为所有投入运行的多晶硅炉提供相应的真空要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及多台多晶硅炉的真空系统控制技术领域，尤其涉及一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统，具体地，是一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统、一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统以及一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，从而为所有投入运行的多晶硅炉提供相应的真空要求。
背景技术
目前市场上的多晶硅炉真空系统采用的是一套真空泵拖一套多晶硅炉的“一拖一”的真空应用，这种方式在作为新兴行业的太阳能多晶硅生产的早期是正常的，其与早期一家一户的取暖炉、一个房间一个房间的窗式空调都是一个概念。但是随着行业发展和市场竞争，一拖一模式所产生的各个问题逐渐显现：
1、可靠性问题：当任何一台真空泵出现运行或维护问题时，该炉的使用就要中断；
2、没有集中共用资源，在总体系统可靠性并非最优的情况下，设备总投资过大，而且营运成本也过高；
3、真空泵总数多，使得维护保养工作量大，对生产影响大。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统，解决现有系统中一套真空泵拖一套多晶硅炉的耗能耗时的真空应用问题。
为了实现以上目的，本实用新型采用以下技术方案：一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。
进一步地，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉。
进一步地，每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵和手动蝶阀然后与所述高真空子系统连接。
进一步地，所述多台多晶硅炉为8台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和三台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。
进一步地，所述多台多晶硅炉为10台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和三组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和四台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。
进一步地，所述阀门为气动球阀。
考虑到设备的最佳优化情况，进一步地，所述低真空子系统中的所述2#滑阀泵与所述高真空子系统中的所述1#滑阀泵共用一台滑阀泵，通过三通阀的控制实现所述滑阀泵在所述高真空管道和所述粗真空管道中的转换。这一技术特征，使得滑阀泵的总配置数大大减小，进一步地减小了设备投入资金。
优选地，所述低真空子系统中的至少一台所述2#滑阀泵单独存在，即至少一台所述2#滑阀泵仅与所述粗真空管道连接而不通过所述三通阀与所述高真空管道连接。
进一步地，所述管道罗茨泵上下采用快卸法兰连接，可以迅速替换。
进一步地，所述用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统还设有PLC控制柜，用于自动化控制中央混合真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量。
当然，上述技术方案均是将高真空和低真空系统集合在一个中央系统中，事实上，根据需要，可以直接将其拆分为两个系统，具体地：
一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央低真空系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述粗真空管道，并在连接处分别装设有阀门。
一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央高真空系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述高真空管道，并在连接处分别装设有阀门和管道罗茨泵。
其中，上述所述的阀门可以为气动球阀。
其中，所述1#滑阀泵可以为ET150滑阀泵；所述2#滑阀泵可以为ET300滑阀泵；所述罗茨泵可以为EMBD540罗茨泵；所述管道罗茨泵可以为ER110管道罗茨泵。
根据本实用新型的优选实施例，本实用新型所述的中央真空系统还包括PLC控制柜，其具备可以完全自动化控制中央真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量等符合实际生产需求的功能。
上述的中央真空系统代替了传统给每台多晶硅炉分别配套真空系统的技术，其包括滑阀泵、罗茨泵、阀门、管道等，其中罗茨泵和滑阀泵是保证真空获得的设备，阀门、管道等用于低真空及高真空的分离及切换。
本实用新型所述的上述所有用于多台多晶硅炉的中央真空系统，利用一套中央真空系统为所有投入运行的多晶硅炉提供相应的真空要求，相比给每台多晶硅炉分别配套真空系统的技术，本实用新型具有以下优点：
1、可靠性高，采用中央真空系统时，所有真空获得设备均有备份，任何一台故障都不会影响正常生产中的炉子，有效避免了由真空获得设备故障引起的停产；
2、应用成本低，中央真空系统所携带的多晶硅炉越多，所体现的节能越明显，以一拖八为例，大约可以节能75%，尤其是仅中央低真空线路的节能效果就可以达到90%，甚至以上；
3、维护工作量低，采用中央真空系统时，因为真空泵的总数量降低并且采用了可以方便快捷更换的管道罗茨泵，大大降低了真空泵维护的工作量。
附图说明
图1本实用新型所述的一种用于八台多晶硅炉的中央混合真空系统的一个实施例的结构线路示意图；
图2本实用新型所述的一种用于十台多晶硅炉的中央混合真空系统的一个实施例的结构线路示意图。
其中，1-高真空管道，2-联合泵组，21-罗茨泵，22-1#滑阀泵，3-粗真空管道，4-2#滑阀泵，5-多晶硅炉，6-阀门，7-管道罗茨泵，8-手动蝶阀。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“1#”、“2#”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
图1本实用新型所述的一种用于八台多晶硅炉的中央混合真空系统的一个实施例的结构线路示意图；图2本实用新型所述的一种用于十台多晶硅炉的中央混合真空系统的一个实施例的结构线路示意图。
参照图1-2，本实用新型提供了一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道1和至少两组并联的联合泵组2，所述联合泵组2为串联的罗茨泵21和1#滑阀泵22；所述低真空子系统包括粗真空管道3和至少两台并联的2#滑阀泵4；每台所述多晶硅炉5分出两条均装设有阀门6的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵7然后与所述高真空子系统连接。
进一步地，每台所述多晶硅炉5分出两条均装设有阀门6的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵7和手动蝶阀8然后与所述高真空子系统连接。
其中，所述联合泵组2采用大型的罗茨滑阀机组。
所述2#滑阀泵4采用大抽气量的滑阀泵。
具体地，在多晶硅炉接入高真空管道中间安装有伊莱茨特有的管道罗茨泵7用来接力高真空至炉腔内的真空度可以保障炉内需要高真空时完全满足要求，并且能够进一步提升真空度。
进一步地，所述多台多晶硅炉5是指至少7台多晶硅炉。
进一步地，所述多台多晶硅炉5为8台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道1和两组并联的联合泵组2，所述联合泵组2为串联的罗茨泵21和1#滑阀泵22；所述低真空子系统包括粗真空管道3和三台并联的2#滑阀泵4；每台所述多晶硅炉5分出两条均装设有阀门6的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵7然后与所述高真空子系统连接。
进一步地，所述多台多晶硅炉为10台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道1和三组并联的联合泵组2，所述联合泵组2为串联的罗茨泵21和1#滑阀泵22；所述低真空子系统包括粗真空管道3和四台并联的2#滑阀泵4；每台所述多晶硅炉5分出两条均装设有阀门6的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵7然后与所述高真空子系统连接。
进一步地，所述阀门6为气动球阀，利用气动球阀根据实际生产需要自由切换高低真空。
考虑到设备的最佳优化情况，进一步地，所述低真空子系统中的所述2#滑阀泵4与所述高真空子系统中的所述1#滑阀泵22共用一台滑阀泵，通过三通阀的控制实现所述滑阀泵在所述高真空管道和所述粗真空管道中的转换。这一技术特征，使得滑阀泵的总配置数大大减小，进一步地减小了设备投入资金。
优选地，所述低真空子系统中的至少一台所述2#滑阀泵4单独存在，即至少一台所述2#滑阀泵4仅与所述粗真空管道3连接而不通过所述三通阀与所述高真空管道1连接。
进一步地，所述管道罗茨泵7上下采用快卸法兰连接，可以迅速替换。
进一步地，所述用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统还设有PLC控制柜，用于自动化控制中央混合真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量。
当然，上述技术方案均是将高真空和低真空系统集合在一个中央系统中，事实上，根据需要，可以直接将其拆分为两个系统，具体地：
一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统，所述多台多晶硅炉5是指至少7台多晶硅炉；所述中央低真空系统包括粗真空管道3和至少两台并联的2#滑阀泵4；每台所述多晶硅炉5分别连接所述粗真空管道3，并在连接处分别装设有阀门6。
一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，所述多台多晶硅炉5是指至少7台多晶硅炉；所述中央高真空系统包括高真空管道1和至少两组并联的联合泵组2，所述联合泵组为串联的罗茨泵21和1#滑阀泵22；每台所述多晶硅炉5分别连接所述高真空管道1，并在连接处分别装设有阀门6和管道罗茨泵7。
其中，上述所述的阀门6可以为气动球阀。
其中，所述1#滑阀泵可以为ET150滑阀泵；所述2#滑阀泵可以为ET300滑阀泵；所述罗茨泵可以为EMBD540罗茨泵；所述管道罗茨泵可以为ER110管道罗茨泵。
本实用新型采用结构简单的中央真空系统，高低真空管道分离，罗茨泵与滑阀泵多台互相备份。
根据本实用新型的优选实施例，本实用新型所述的中央真空系统还包括PLC控制柜，其具备可以完全自动化控制中央真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量等符合实际生产需求的功能。
所述PLC控制柜用于全程自动控制整个中央真空系统。PLC控制柜可以通过有线或无线的方式控制各个设备，这也是不受限制的。当然，即便没有PLC控制柜，操作人员通过手动来调控设备也是允许的。
本实用新型所述的中央真空系统中，并联泵或泵组可以根据需要同时运行或启动某一组和几组一起运行，即使在某些泵设备处于损坏或维修检查状态无法启动，也不会影响中央真空系统的正常工作以为多台多晶硅炉提供正常的真空条件要求。
当然，优选地，所述泵体根据需要可以选用大型、中型、小型等不同型号的泵，这都不受限制。只要符合本实用新型的发明理念，都是在本实用新型的保护范围内。
上述的中央真空系统代替了传统给每台多晶硅炉分别配套真空系统的技术，其包括滑阀泵、罗茨泵、管道罗茨泵、阀门、管道等，其中罗茨泵和滑阀泵是保证真空获得的设备，阀门、管道等用于低真空及高真空的分离及切换。具体地，所述滑阀泵用于获得粗真空作用以及作为高真空的前级泵使用；所述罗茨泵用于获得高真空作用；所述管道罗茨泵用于整套中央真空系统在高真空时的接力作用并能够进一步提高真空度；所述管道、阀门等用于分离粗真空及高真空系统且根据多晶硅炉的需要可以自由选择相应的中央真空。
进一步地，低真空及高真空的获得设备都是多台可互相作为备份，在其中一台故障时完全不影响中央真空的真空度，同时配备PLC控制柜，可根据炉内生产需要自由切换所需真空度，操作灵活，适用范围广。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有一台管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。
2.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉。
3.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉为8台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和三台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。
4.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉为10台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和三组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和四台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。
5.根据权利要求1、3和4中任意一项所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述阀门为气动球阀。
6.根据权利要求1、3和4中任意一项所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述低真空子系统中的所述2#滑阀泵与所述高真空子系统中的所述1#滑阀泵共用一台滑阀泵，通过三通阀的控制实现所述滑阀泵在所述高真空管道和所述粗真空管道中的转换。
7.根据权利要求1、3和4中任意一项所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统还设有PLC控制柜，用于自动化控制中央混合真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量。
8.根据权利要求1、3和4中任意一项所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述管道罗茨泵上下采用快卸法兰连接。
9.一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央低真空系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述粗真空管道，并在连接处分别装设有阀门。
10.一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央高真空系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述高真空管道，并在连接处分别装设有阀门和管道罗茨泵。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114182064A (zh) * | 2021-11-08 | 2022-03-15 | 中冶南方工程技术有限公司 | 一种机械真空泵系统及其控制方法 |
| WO2023179648A1 (zh) * | 2022-03-23 | 2023-09-28 | 高景太阳能股份有限公司 | 一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法 |
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2016
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| WO2023179648A1 (zh) * | 2022-03-23 | 2023-09-28 | 高景太阳能股份有限公司 | 一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法 |
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