CN104005081A - 一种单晶炉的停炉冷却系统及工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种单晶炉的停炉冷却系统,包括单晶炉、过滤器、真空泵,三者顺序连接,单晶炉的排气口设置排气口阀门A,过滤器上设置放气阀B,真空泵的入口设置电磁阀C;排气口阀门A、放气阀B、电磁阀C与统一的控制系统信号连接,由其自动控制开启或关闭。单晶炉拉晶结束后,关闭排气口阀门A,氩气或氮气继续冲入单晶炉;关闭真空泵,同时关闭电磁阀C;当单晶炉内压力接近1个大气压时,自动开启放气阀B;当单晶炉内压力略大于1个大气压时,自动开启排气口阀门A,单晶炉通过放气阀B排(风)气进行冷却。本发明使得气体热对流效果大大加强,单晶炉的冷却时间缩短20%以上;同时大大降低了单晶硅生产的耗能程度,具有节能减排的技术效果。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能单晶硅的制备工艺,尤其涉及单晶炉的停炉冷却工艺,属于单晶炉停炉冷却技术领域。
背景技术
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。
单晶硅生长过程需要加热将多晶硅料熔化,再通过温度稳定及精确的温度控制,将籽晶插入熔体,调节温度、籽晶转速、坩埚转速、籽晶升速将熔体不断定向在籽晶上结晶长大,单晶生长是在单晶炉中进行,其热场结构如图1所示。
单晶生长是高耗能产业,在单晶生产成本中占很大比重,所以大家都十分重视热场的保温,用各种高性能的保温材料来阻断热传导,单晶生长整个过程中是在一边抽空,一边通氩的状态下进行,通常称为减压拉晶工艺,其特点是通过定向流动的保护气体,能将系统挥发出来的SiO、CO等排除出炉体,炉内压力一般控制在10-50托(torr)范围内。整个热场系统只有上部区域是为了晶体能快速冷却而敞开的。当晶体生长结束后,整个热场要冷却下来才能打开炉筒,因为热场的发热材料石墨及保温材料系碳纤维制成,在较高的温度下容易与空气中的氧起氧化反应而被侵蚀掉,特别是保温材料通常是由密度小带大量空隙的碳纤维制成,一般要求在400度以下,较佳在350度以下,接触空气才能比较安全。
现有的单晶炉的停炉冷却工艺,当晶体生长结束后还需继续抽空、通氩冷却8-10小时,才能把保温性能好的热场冷却到400度以下,该过程需消耗电能、停炉冷却所需时间也比较长。
发明内容
本发明需要解决的技术问题是,现有的单晶炉的停炉冷却工艺,由于在负压状态下,冷却时间较长,而且由于真空泵一直开着,需要消耗大量电能。
本发明采取以下技术方案:
一种单晶炉的停炉冷却系统,包括单晶炉、过滤器、真空泵,三者顺序连接,其特征在于:单晶炉的排气口设置排气口阀门A,过滤器上设置放气阀B,真空泵的入口设置电磁阀C。
进一步的,所述放气阀B设置在过滤器的顶部。
进一步的,所述排气口阀门A、放气阀B均为电磁阀门,所述排气口阀门A、放气阀B、电磁阀C与统一的控制系统信号连接,由统一的控制系统自动控制开启或关闭。
进一步的,所述真空泵为机械泵。
一种单晶炉停炉冷却系统的停炉工艺,依次包括以下步骤:单晶炉拉晶结束后,关闭排气口阀门A,氩气或氮气继续冲入单晶炉;关闭真空泵,同时关闭电磁阀C;当单晶炉内压力接近1个大气压时,自动开启放气阀B;当单晶炉内压力略大于1个大气压时,自动开启排气口阀门A,单晶炉通过放气阀B排(风)气进行冷却。
本发明的停炉工艺停炉时,真空泵首先被关闭,整个工艺过程不进行运作,利用单晶炉内部的正压力,防止气体回流,避免空气进入单晶炉,不会对炉内的待冷却的单晶硅产品的质量造成任何影响。
放气阀B直到单晶炉内压力接近1个大气压时,才进行开启,是为了保持过滤器内部一定的正压力,预防由于排气口阀门A关闭不严密或发生故障时空气倒吸回流进入单晶炉内,起到双保险的作用。
排气口阀门A、放气阀B均采用电磁阀,并且与单晶炉内的压力传感器信号连接,从而通过传感器的信号传递,自动实现电磁阀的开启和关闭,同时,也可以设定延时程序,让放气阀B开启后延时一段特定的时间后排气口阀门A开启,也能够起到同样的作用。
本发明的有益效果在于:
1)由于真空泵在冷却过程中被关闭,避免了气体处于真空状态,气体热对流效果大大加强,热量被带走的速度更快,加速了炉子的冷却速度,单晶炉的冷却时间缩短20%。
2)关闭1个真空泵每10个小时能够节省耗电110千瓦,以单炉年产500兆瓦单晶硅片计算,可以节电300万度。大大降低了单晶硅生产的耗能程度,具有节能减排的技术效果。
附图说明
图1是单晶炉结构及热场的示意图。
图2是单晶炉排气系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明进一步说明。
参见图2,一种单晶炉的停炉冷却系统,包括单晶炉、过滤器、真空泵,三者顺序连接,单晶炉的排气口设置排气口阀门A,过滤器上设置放气阀B,真空泵的入口设置电磁阀C。
所述放气阀B设置在过滤器的顶部。
所述排气口阀门A、放气阀B均为电磁阀门,所述排气口阀门A、放气阀B、电磁阀C与统一的控制系统信号连接,由统一的控制系统自动控制开启或关闭。
所述真空泵为机械泵。
具体步骤如下:当单晶生长结束后,先关闭炉子排气阀门A,炉子内继续充气(可用氮气替代氩气),接下来关闭机械泵(机械泵上电磁阀C同时被关闭),过滤器B内保持一定正压,当炉内压力接近1个大气压时,自动开启过虑器上阀门B,当炉内压力略大于1个大气压时,自动打开炉子排气口阀门A,完成阀门自动开启和关闭的操作过程。
该技术方案能明显节约能源,通常一个22寸热场的真空抽气系统用2H-120真空泵,其马达功率为11千瓦,冷却8小时耗电88千瓦,冷却10小时耗电110千瓦,以一个年产500兆瓦单晶硅片计算,需3000吨硅单晶,每炉约100kg产量计算,要开炉拉晶30000炉,以每炉约节约100度电,就可以节电300万度电,有非常明显的节能减排及经济效果。
同时,本发明能缩短炉子的冷却时间20%以上,热量流动的三种方式,热传导、热对流、热幅射,而在低压状态下,特别是真空状态热对流将大幅减少,热量很难被带走,当在常压状况下,气流的热对流效果会明显增加,加速了炉子的冷却速度。
本发明缩短了机械泵工作时间约15%,延长了使用寿命,同时节约了真空泵油的消耗。
下表对现有技术及本发明两种不同工艺的冷却效果做了对比。
由上表可以看出,“冲氩(氮)正压流通冷却8小时”相对于“抽空、充氩(氮)负压冷却8小时或10小时的条件下,导流筒,上保温罩,托身,加热器的温度均更低,说明冷却效果更好。由于在明显低于350度的条件下,能更好的保护热场系统,降低热场老化速度,保持热场温度稳定性,有利于单晶稳定顺利生长。
以上数据是在气体流量每分钟40-50升/分取得,如果利于价格更低的氮气,增加流量会更有效冷却,进一步缩短冷却时间。
Claims (5)
1.一种单晶炉的停炉冷却系统,包括单晶炉、过滤器、真空泵,三者顺序连接,其特征在于:单晶炉的排气口设置排气口阀门A,过滤器上设置放气阀B,真空泵的入口设置电磁阀C。
2.如权利要求1所述的停炉冷却系统,其特征在于:所述放气阀B设置在过滤器的顶部。
3.如权利要求1所述的停炉冷却系统,其特征在于:所述排气口阀门A、放气阀B均为电磁阀门,所述排气口阀门A、放气阀B、电磁阀C与统一的控制系统信号连接,由统一的控制系统自动控制开启或关闭。
4.如权利要求1所述的停炉冷却系统,其特征在于:所述真空泵为机械泵。
5.一种权利要求3所述的停炉冷却系统的停炉工艺,依次包括以下步骤:
单晶炉拉晶结束后,关闭排气口阀门A,氩气或氮气继续冲入单晶炉;
关闭真空泵,同时关闭电磁阀C;
当单晶炉内压力接近1个大气压时,自动开启放气阀B;
当单晶炉内压力略大于1个大气压时,自动开启排气口阀门A,单晶炉通过放气阀B排气进行冷却。
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---|---|
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104480528A (zh) * | 2014-12-03 | 2015-04-01 | 刘瑜 | 一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺 |
CN105442036A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-03-30 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶硅生长炉真空支持系统 |
CN110983430A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-04-10 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种单晶硅用便于调控的生长设备及其生长方法 |
CN113741599A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-03 | 四川永祥新能源有限公司 | 一种还原炉停炉控制工艺及其系统和计算机可读存储介质 |
CN114381796A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-04-22 | 广东高景太阳能科技有限公司 | 一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法 |
CN114703540A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-05 | 晶科能源股份有限公司 | 单晶炉热交换设备及其应用方法 |
CN117702259A (zh) * | 2024-02-06 | 2024-03-15 | 宁波合盛新材料有限公司 | 一种pvt炉快速降温的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102912446A (zh) * | 2011-08-01 | 2013-02-06 | 苏州东泰太阳能科技有限公司 | 正压冷却工艺 |
CN103266348A (zh) * | 2013-05-03 | 2013-08-28 | 江苏海翔化工有限公司 | 快速节能单晶硅拉制停炉工艺 |
CN203960394U (zh) * | 2014-05-28 | 2014-11-26 | 上海卡姆丹克太阳能科技有限公司 | 一种单晶炉的停炉冷却系统 |
-
2014
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102912446A (zh) * | 2011-08-01 | 2013-02-06 | 苏州东泰太阳能科技有限公司 | 正压冷却工艺 |
CN103266348A (zh) * | 2013-05-03 | 2013-08-28 | 江苏海翔化工有限公司 | 快速节能单晶硅拉制停炉工艺 |
CN203960394U (zh) * | 2014-05-28 | 2014-11-26 | 上海卡姆丹克太阳能科技有限公司 | 一种单晶炉的停炉冷却系统 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104480528A (zh) * | 2014-12-03 | 2015-04-01 | 刘瑜 | 一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺 |
CN105442036A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-03-30 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶硅生长炉真空支持系统 |
CN110983430A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-04-10 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种单晶硅用便于调控的生长设备及其生长方法 |
CN113741599A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-03 | 四川永祥新能源有限公司 | 一种还原炉停炉控制工艺及其系统和计算机可读存储介质 |
CN114381796A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-04-22 | 广东高景太阳能科技有限公司 | 一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法 |
CN114381796B (zh) * | 2022-03-23 | 2022-05-31 | 广东高景太阳能科技有限公司 | 一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法 |
CN114703540A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-05 | 晶科能源股份有限公司 | 单晶炉热交换设备及其应用方法 |
CN117702259A (zh) * | 2024-02-06 | 2024-03-15 | 宁波合盛新材料有限公司 | 一种pvt炉快速降温的方法 |
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