CN114380031A - 托盘承载机构、抬升装置及托盘承载机构控制方法 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供的托盘承载机构、抬升装置及托盘承载机构控制方法，通过承载组件的驱动部件可以调整第三支架相与第一支架和第二支架之间的相对位置，从而使托盘承载机构可以适配不同宽度或不同高度的托盘。如此，在将本实施例提供的托盘承载机构应用至托盘抬升装置后，可以在不改变所述托盘抬升装置的抬升机构原有移动区间的情况下，使托盘抬升装置可以承载各种不同尺寸托盘。
Description
技术领域
本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种托盘承载机构、抬升装置及托盘承载机构控制方法。
背景技术
半导体器件的制造过程可能需要在不同设备上执行多道不同的工序，制造过程中需要对半导体器件进行存储、转移，例如，可以将一个或多个半导体器件放置在专用的托盘(Tray)中，然后通过托盘承载半导体器件进行转移。在一些实现方式中，常采用自动化的机械臂结构进行托盘的转移、堆叠动作。随着产品类型的不断丰富，托盘尺寸也可能存在差异，但机械臂的移动区间通常是已经设定好，难以适用于不同尺寸的托盘。
发明内容
为了克服上述技术背景中所提及的技术问题，本申请实施例提供一种托盘承载机构，所述托盘承载机构包括相对设置的至少两个承载组件；
所述承载组件包括第一支架、第二支架、第三支架及驱动部件；
所述第一支架沿第一方向设置，所述第二支架沿第二方向设置；所述第三支架包括第一端部和第二端部，所述第一端部与所述第一支架活动连接，并可沿所述第一支架的延伸方向滑动，所述第二端部与所述第二支架活动连接，并可沿所述第二支架的延伸方向滑动；
所述驱动部件用于驱动所述第三支架相对所述第一支架和所述第二支架滑动，以调整所述第三支架与所述第一支架和所述第二支架之间的夹角。
在一种可能的实现方式中，所述第三支架的第二端部通过滚轴与所述第二支架活动连接，所述驱动部件用于驱动所述滚轴沿所述第二支架滚动，以带动所述第三支架的第二端部相对所述第二支架滑动。
在一种可能的实现方式中，所述托盘承载机构还包括检测部件及控制部件，所述控制部件分别与所述检测部件以及所述驱动部件电性连接；所述控制部件用于通过所述检测部件检测待托举托盘的尺寸，并根据所述待托举托盘的尺寸控制所述驱动部件带动所述第三支架相对所述第一支架和所述第二支架移动。
在一种可能的实现方式中，所述检测部件包括用于检测所述待托举托盘的水平宽度的第一检测部件和/或用于检测所述待托举托盘竖直高度的第二检测部件。
在一种可能的实现方式中，两个所述承载组件的第三支架相对的一面设置有防滑材料层。
在一种可能的实现方式中，两个所述承载组件的第三支架相对的一面设置有防滑凸起纹路。
在一种可能的实现方式中，所述托盘承载机构包括并列设置的至少两组承载组件，每组承载组件包括相对设置的两个承载组件。
本申请的另一目的在于提供一种托盘抬升装置，包括托举机构及本申请提供的所述托盘承载机构；
所述承载组件与所述托举机构连接，所述托举机构用于带动相对的两个所述承载组件在第二方向靠近或远离，并用于带动所述两个承载组件在所述第一方向同步移动。
在一种可能的实现方式中，所述托举机构包括抬升组件和平移组件，所述承载组件分别与所述平移组件连接，所述平移组件可带动相对的两个所述承载组件在第二方向靠近或远离；所述平移组件与所述抬升组件连接，所述抬升组件用于带动所述平移组件在所述第一方向同步移动。
本申请的另一目的在于提供一种托盘承载机构控制方法，应用于本申请提供的所述托盘承载机构，所述方法包括：
获取待托举托盘的尺寸；
根据所述待托举托盘的尺寸计算获得所述第三支架的移动距离；
控制所述驱动部件根据所述移动距离带动所述第三支架相对所述第一支架和所述第二支架移动，以调整所述第三支架与所述第一支架和所述第二支架之间的夹角。
本申请实施例提供的托盘承载机构、抬升装置及托盘承载机构控制方法，通过承载组件的驱动部件可以调整第三支架与第一支架和第二支架之间的相对位置，从而使托盘承载机构可以适配不同宽度或不同高度的托盘。如此，在将本实施例提供的托盘承载机构应用至托盘抬升装置后，可以在不改变所述托盘抬升装置的抬升机构原有移动区间的情况下，使托盘抬升装置可以承载各种具有不同尺寸的托盘。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本申请实施例提供的托盘承载机构的示意图之一；
图2为本申请实施例提供的承载组件的示意图之一；
图3为本申请实施例提供的承载组件的示意图之二；
图4为本申请实施例提供的托盘承载机构的示意图之二；
图5为本申请实施例提供的托盘承载机构的示意图之三；
图6为本申请实施例提供的承载组件的示意图之三；
图7为本申请实施例提供的承载组件的分布示意图；
图8为本申请实施例提供的托盘抬升装置的示意图；
图9为本申请实施例提供的托盘抬升装置的工作过程示意图之一；
图10为本申请实施例提供的托盘抬升装置的工作过程示意图之二；
图11为本申请实施例提供的托盘承载机构控制方法的示意图。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例中的不同特征之间可以相互结合。
请参照图1，图1为本实施例提供的一种托盘承载机构100的示意图，所述托盘承载机构100包括相对设置的至少两个承载组件。
请参照图2，所述承载组件包括第一支架110、第二支架120、第三支架130及驱动部件(未示出)。
所述第一支架110沿第一方向设置，所述第二支架120沿第二方向设置，例如，所述第一支架110可以沿竖直方向设置，所述第二支架120可以沿水平方向设置，所述第一支架110和所述第二支架120可以连接形成L型结构。
所述第三支架130包括第一端部和第二端部，所述第一端部与所述第一支架110活动连接，并可沿所述第一支架110的延伸方向滑动，所述第二端部与所述第二支架120活动连接，并可沿所述第二支架120的延伸方向滑动。例如，所述第一端部可以沿所述第一支架110在竖直方向上滑动，所述第二端部可以沿所述第二支架120在水平方向上滑动。
所述驱动部件用于驱动所述第三支架130相对所述第一支架110和所述第二支架120滑动，以调整所述第三支架130与所述第一支架110和所述第二支架120之间的夹角，进而使得所述托盘承载机构100能够适配不同尺寸的待托举托盘200。例如，请参照图3，当驱动部件驱动所述第三支架130的第二端部沿图3所示的在水平方向的虚线箭头方向向左移动时，所述第三支架130的第一端部相应地沿图3所示的竖直方向的虚线箭头方向向上移动，从而使所述第三支架130与所述第二支架120之间的夹角从α1增大至α2，以使所述托盘承载机构100能够适配不同宽度的待托举托盘200。
基于上述设计，一方面，请参照图4，当所述第三支架130与所述第一支架110和所述第二支架120之间的夹角发生变化时，相对的两个所述承载组件的第三支架130的距离(如第三支架130斜边中点位置之间的距离)也随之发生改变。如此，通过调整所述第三支架130可以使所述托盘承载机构100能够适配不同宽度的待托举托盘200。
另一方面，请参照图5，若所述第三支架130与所述第一支架110和所述第二支架120之间的夹角不同，当相同宽度的待托举托盘200设置于两个所述承载组件之间时，与两个所述第三支架130的接触位置也不同，如此，可以调整待托举托盘200被托起的高度，从而使所述托盘承载机构100能够适配不同高度的托盘。
在一种可能的实现方式中，进一步参照图6所示，所述第三支架130的第二端部通过滚轴140与所述第二支架120活动连接，所述驱动部件用于驱动所述滚轴140沿所述第二支架120滚动，以带动所述第三支架130的第二端部相对所述第二支架120滑动，相应的带动所述第三支架130的第一端部相对所述第一支架110滑动。
进一步地，在本实施例中，所述第二支架120上可以设置用于限定所述滚轴140滚动方向的导向槽或导向轨道。
在一种可能的实现方式中，所述托盘承载机构100还包括检测部件及控制部件，所述控制部件分别与所述检测部件以及所述驱动部件电性连接。所述控制部件用于通过所述检测部件检测待托举托盘200的尺寸，并根据所述待托举托盘200的尺寸控制所述驱动部件带动所述第三支架130相对所述第一支架110和所述第二支架120移动。所述检测部件可以包括，但不限于，图像采集装置、红外测距装置等，所述检测部件可以用于检测所述待托举托盘200的外部轮廓尺寸。
具体地，所述检测部件包括用于检测所述待托举托盘200的水平宽度的第一检测部件和/或用于检测所述待托举托盘200竖直高度的第二检测部件。在通过所述检测部件获取到所述待托举托盘200的尺寸后，所述控制部件可以计算出需要所述第三支架130移动的距离或变化的角度，然后所述控制部件可以通过所述驱动部件带动所述第三支架130移动，从而使所述托盘承载机构100能够适配所述待托举托盘200的尺寸。
在一种可能的实现方式中，两个所述承载组件的第三支架130相对的一面设置有防滑材料层。例如，所述防滑材料层可以为表面摩擦力较高的涂层。在另一种可能的实现方式中，两个所述承载组件的第三支架130相对的一面设置有防滑凸起纹路。如此，可以避免待托举托盘200与倾斜的所述第三支架130接触时产生滑动。
在一种可能的实现方式中，请参照图7，所述托盘承载机构100包括并列设置的至少两组承载组件，每组承载组件包括相对设置的两个承载组件。如此，可以更稳定地承载所述待托举托盘200。
如图8所示，本实施例还提供一种托盘抬升装置，所述托盘抬升装置包括托举机构300及本实施例提供的所述托盘承载机构100。
所述承载组件与所述托举机构300连接，所述托举机构300用于带动相对的两个所述承载组件在第二方向靠近或远离，并用于带动两个所述承载组件在所述第一方向同步移动。
在所述托举机构300原本具有设定好的移动范围的情况下，通过调整所述托盘承载机构100中所述第三支架130的位置，可以进一步调整对所述待托举托盘200的适配宽度及抬升高度，从而使所述托盘抬升装置能够适配不同尺寸的待托举托盘200。
进一步地，所述托举机构300包括抬升组件310和平移组件320，所述承载组件分别与所述平移组件320连接，所述平移组件320可带动相对的两个所述承载组件在第二方向靠近或远离，例如，在水平方向上靠近或远离。所述平移组件320与所述抬升组件310连接，所述抬升组件310用于带动所述平移组件320在所述第一方向同步移动，例如，在竖直方向上同步上升或下降。
具体地，请参照图9，当托盘抬升装置将某一已托举托盘500抬升至一定位置后，由其他定位装置暂时将该已托举托盘500托举保持位置。同时，其他输送机构将待托举托盘200沿朝向纸面的方向输送至所述已托举托盘500下方。然后所述托举机构300带动相对的两个所述承载组件在水平方向上相互远离后，再同步向下移动，以释放所述已托举托盘500，并准备对所述待托举托盘200进行托举。
再请参照图10，当相对的两个所述承载组件在所述托举机构300带动下移动到设定位置后，所述托举机构300再带动相对的两个所述承载组件在水平方向上相互靠近，从而将所述待托举托盘200托起，使所述待托举托盘200和所述已托举托盘500重叠，并一起被抬升。
本实施例还提供一种托盘载机构控制方法，用于控制本实施例提供的所述托盘承载机构100，请参照图11，该方法可以包括以下步骤。
步骤S110，获取待托举托盘200的尺寸。
在本实施例中，可以通过所述检测组件获取所述待托举托盘200的水平宽度数据或者竖直高度数据。
步骤S120，根据所述待托举托盘200的尺寸计算获得所述第三支架130的移动距离。
在本实施例中，可以通过所述控制部件根据获取到的待托举托盘200的尺寸，结合预先设定的两个所述承载组件之间的间距计算获得获得所述第三支架130的移动距离。
步骤S130，控制所述驱动部件根据所述移动距离带动所述第三支架130相对所述第一支架110和所述第二支架120移动，以调整所述第三支架130与所述第一支架110和所述第二支架120之间的夹角。
在本实施例中，通过调整所述第三支架130与所述第一支架110和所述第二支架120的相对位置，可以使所述托盘载机构能够适配不同尺寸(如具有不同高度和/或不同宽度)的托盘。
综上所述，本申请实施例提供的托盘承载机构、抬升装置及托盘承载机构控制方法，通过承载组件的驱动部件可以调整第三支架相与第一支架和第二支架之间的相对位置，从而使托盘承载机构可以适配不同尺寸的托盘。如此，在将本实施例提供的托盘承载机构应用至托盘抬升装置后，可以在不改变所述托盘抬升装置的抬升机构原有移动区间的情况下，使托盘抬升装置可以承载各种不同尺寸托盘。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种托盘承载机构，其特征在于，所述托盘承载机构包括相对设置的至少两个承载组件；
所述承载组件包括第一支架、第二支架、第三支架及驱动部件；
所述第一支架沿第一方向设置，所述第二支架沿第二方向设置；所述第三支架包括第一端部和第二端部，所述第一端部与所述第一支架活动连接，并可沿所述第一支架的延伸方向滑动，所述第二端部与所述第二支架活动连接，并可沿所述第二支架的延伸方向滑动；
所述驱动部件用于驱动所述第三支架相对所述第一支架和所述第二支架滑动。
2.根据权利要求1所述的托盘承载机构，其特征在于，所述第三支架的第二端部通过滚轴与所述第二支架活动连接，所述驱动部件用于驱动所述滚轴沿所述第二支架滚动，以带动所述第三支架的第二端部相对所述第二支架滑动。
3.根据权利要求1所述的托盘承载机构，其特征在于，所述托盘承载机构还包括检测部件及控制部件，所述控制部件分别与所述检测部件以及所述驱动部件电性连接；所述控制部件用于通过所述检测部件检测待托举托盘的尺寸，并根据所述待托举托盘的尺寸控制所述驱动部件带动所述第三支架相对所述第一支架和所述第二支架移动。
4.根据权利要求3所述的托盘承载机构，其特征在于，所述检测部件包括用于检测所述待托举托盘的水平宽度的第一检测部件和/或用于检测所述待托举托盘竖直高度的第二检测部件。
5.根据权利要求1所述的托盘承载机构，其特征在于，两个所述承载组件的第三支架相对的一面设置有防滑材料层。
6.根据权利要求1所述的托盘承载机构，其特征在于，两个所述承载组件的第三支架相对的一面设置有防滑凸起纹路。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的托盘承载机构，其特征在于，所述托盘承载机构包括并列设置的至少两组承载组件，每组承载组件包括相对设置的两个承载组件。
8.一种托盘抬升装置，其特征在于，包括托举机构及权利要求1-7任意一项所述的托盘承载机构；
所述承载组件与所述托举机构连接，所述托举机构用于带动相对的两个所述承载组件在第二方向靠近或远离，并用于带动所述两个承载组件在所述第一方向同步移动。
9.根据权利要求8所述的托盘抬升装置，其特征在于，所述托举机构包括抬升组件和平移组件，所述承载组件分别与所述平移组件连接，所述平移组件可带动相对的两个所述承载组件在第二方向靠近或远离；所述平移组件与所述抬升组件连接，所述抬升组件用于带动所述平移组件在所述第一方向同步移动。
10.一种托盘承载机构控制方法，其特征在于，应用于权利要求1-7任意一项所述的托盘承载机构，所述方法包括：
获取待托举托盘的尺寸；
根据所述待托举托盘的尺寸计算获得所述第三支架的移动距离；
控制所述驱动部件根据所述移动距离带动所述第三支架相对所述第一支架和所述第二支架移动，以调整所述第三支架与所述第一支架和所述第二支架之间的相对位置，使所述托盘承载机构适配所述待托举托盘的尺寸。
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