CN114355139A - 一种半自动晶圆测试设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种半自动晶圆测试设备，包括机架，机架具有基准检测位；载晶盘，活动设置在机架上，载晶盘供晶圆固定放置；探针，设置在机架上，探针远离机架一端延伸至基准检测位处；显微镜平台，设置在机架上，显微镜平台位于载晶盘的上方；第一驱动机构，设置在机架上，第一驱动机构用于使载晶盘做水平运动以让晶圆上的待测试pad点运动至基准检测位处。本申请具有使晶圆的测试操作更加简单的效果。

Description

一种半自动晶圆测试设备

技术领域

本申请涉及晶圆测试的领域，尤其是涉及一种半自动晶圆测试设备。

背景技术

晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以铍铜/钨丝制成细如毛发的探针，并让探针与晶粒上的pad点接触，以此来测试晶圆的电学特性。

相关技术中，晶圆测试设备包括机架、载晶盘、探针以及显微镜平台，载晶盘水平活动设置在机架上，并且晶圆会固定放置在载晶盘的上表面上；探针设置在机架上，并且探针能与晶圆接触；显微镜平台设置在机架上，并且显微镜平台位于载晶盘的上方，则在进行晶圆测试时，工作人员需要手动调节载晶盘的位置，以使探针与晶粒上不同的pad点接触，直至完成所有pad点的测试。

针对上述中的相关技术，存在有在对晶圆上进行测试时，工作人员需要根据不同pad点的位置来手动调节载晶盘的位置，从而导致晶圆的测试工作较为繁琐的缺陷。

发明内容

为了使得晶圆的测试工作更加简单，本申请提供一种半自动晶圆测试设备。

本申请提供的一种半自动晶圆测试设备采用如下的技术方案：

一种半自动晶圆测试设备，包括：

机架，所述机架具有基准检测位；

载晶盘，活动设置在所述机架上，所述载晶盘供晶圆放置；

探针，设置在所述机架上，所述探针远离所述机架一端延伸至所述基准检测位处；

显微镜平台，设置在所述机架上，所述显微镜平台位于所述载晶盘的上方；

第一驱动机构，设置在所述机架上，所述第一驱动机构用于使所述载晶盘做水平运动以让晶圆上的待测试pad点运动至所述基准检测位处。

通过采用上述技术方案，在进行晶圆测试工作前，先通过第一驱动机构使载晶盘移出基准监测位，此时工作人员可手动将晶圆放置在载晶盘的上表面上，接着通过第一驱动机构让载晶盘做水平运动，并且在这个过程中，载晶盘会让晶圆上的待测试pad点运动至基准检测位处，以使晶圆上的pad点与探针接触，从而便能够为晶圆进行测试，相比于工作人员手动调整载晶盘的方式，此种设计方式，第一驱动机构会自动让载晶盘运动，以让晶圆上的不同pad点与探针接触，从而使得晶圆的测试工作更加简单。

优选的，所述机架包括有多个经过导电处理的密闭板，多个所述密闭板固定连接形成密封箱，所述载晶盘以及所述第一驱动机构均设置在所述密封箱内；所述密封箱的其中一侧壁设置有上料窗口，所述上料窗口处设置有启闭门；所述密封箱上侧外壁上设置有操作孔，所述密封箱上侧外壁设置有经过导电处理的密封盒，所述密封盒的下侧内壁与所述操作孔相连通；所述密封盒供所述显微镜平台的镜头以及探针密封穿设。

通过采用上述技术方案，因经过导电处理的密封箱以及密封盒的设置，则密封箱以及密封盒能屏蔽外部的电磁干扰，所以使探针与晶圆之间的接触时的环境不会受到外部的电磁干扰，从而能为微弱电信号的测试提供了较佳的测试环境。

优选的，所述密封盒的周侧上设置有供探针穿入的探针孔；所述探针孔相对的两个竖向内壁上分别设置有能够发生弹性形变的密封片，所述密封片的一端与所述探针孔的内壁相连接，另一端与另一个所述密封片相抵接。

通过采用上述技术方案，因探针孔以及能弹性形变的密封片的设置，所以探针可从两个密封片相抵接的一端穿入密封盒内，以使探针能与晶圆上的pad点接触，并且两个密封片会发生弹性形变，则两个密封片会裹紧探针，从而有助于保持密封盒的密闭性。

优选的，两个所述密封片相互靠近的一端之间部分一体连接，并且两个所述密封片的一体连接处位于所述密封片靠近所述载晶盘的一端上。

通过采用上述技术方案，因探针穿入两个密封片之后会向下延伸，所以两个密封片之间部分一体连接，以及一体连接处位于密封片靠近载晶盘的一端的方式，则使两个密封片与探针相抵接的一端之间的错位幅度会更小，从而两个密封片与探针之间的接触更加紧密，有助于进一步保持密封盒内的密闭性。

优选的，所述密封盒的上侧设置有镜头孔；所述显微镜平台活动设置在所述机架上，所述显微镜平台靠近所述密封盒上侧的一端上设置有密封盖板以及滑杆，所述密封盖板通过所述滑杆与所述显微镜平台滑动连接，在所述显微镜平台向靠近或远离所述密封盒的方向运动预定范围内时，所述密封盖板与所述密封盒的上侧外壁抵接以封闭所述镜头孔。

通过采用上述技术方案，密封盖板以及滑杆的设置，则在显微镜平台向靠近或远离密封盒上侧的方向运动预定距离时，密封盖板会一直与密封盒的上侧外壁抵接，同时密封盖板会封闭镜头孔，从而在镜头穿入镜头孔中的同时达到封闭镜头孔的目的，进而能够保持密封盒内的密闭性。

优选的，所述机架设置有第二驱动机构，所述第二驱动机构与所述显微镜平台相连接，所述第二驱动机构用于使所述显微镜平台沿XYZ三轴的方向运动。

通过采用上述技术方案，因显微镜平台的镜头在维修更换后，显微镜平台的镜头并不一定对准机架上的基准检测位，所以第二驱动机构的设置，可在重新移动显微镜平台，以使显微镜平台上的镜头能够重新对准基础检测位。

优选的，所述密封箱内填充有惰性气体；所述密封箱的外壁设置有电磁屏蔽条；所述机架包括有底板，所述底板位于所述密封箱的下方，所述底板与所述密封箱之间设置有空气弹簧减震器，所述空气弹簧减震器用于防止所述显微镜平台晃动。

通过采用上述技术方案，其一，惰性气体可使密封箱内的环境更加稳定，从而有助于晶圆的测试工作，其二，因多个密封板之间在拼接时仍然会出现缝隙，故电磁屏蔽条的设置，既使得密封箱能有效地屏蔽外界的干扰，从而能为微弱电信号的测试提供更佳的测试环境，也使得外部水蒸气无法进入密封箱内，则在低温环境下密封箱内的晶圆不会出现结霜的情况，从而不会影响正常的晶圆测试工作，其三，空气弹簧减震器的设置，则外部环境中的振动不会影响到显微镜平台，从而能为晶圆的测试工作提供一个比较稳定的环境。

优选的，所述密封箱的其中一侧壁设置有上料窗口，所述上料窗口处设置有启闭门；所述载晶盘包括固定座以及滑动座，所述固定座与所述第一驱动机构相连接；所述滑动座滑动连接在所述固定座的上表面上，在所述滑动座沿所述上料窗口的中心线方向运动时，所述滑动座能部分滑出所述固定座；所述滑动座与所述固定座之间设置有锁定件，在所述第一驱动机构驱动所述固定座运动时，所述锁定件用于使所述滑动座与所述固定座相对静止。

通过采用上述技术方案，当要更换载晶盘上的晶圆时，先通过启闭门打开上料窗口，接着通过第一驱动机构使固定座向靠近上料窗口的方向运动，待固定座运动至合适位置时，然后通过锁定件使滑动座与固定座解锁，与此同时便可将滑动座从上料窗口处抽出，以将新的晶圆重新安放在滑动座上，最后再将滑动座复位移动回密封箱内，则便完成晶圆的更换，同时再通过锁定件使滑动座与固定座锁定，从而后续固定座在水平移动时，滑动座与固定座之间的位置不会存在偏差，进而不易影响测试时探针与晶圆上pad点的接触。

优选的，所述锁定件包括第一限位板、限位块、回转气缸以及连接块，所述第一限位板设置在所述滑动座靠近所述上料窗口的一端上，所述第一限位板远离所述上料窗口的一侧表面能与所述固定座抵接；所述限位块固定连接在所述滑动座上；所述回转气缸固定连接在所述固定座上；所述连接块一端与所述回转气缸的活塞杆固定连接，另一端能与所述限位块靠近所述上料窗口的一侧抵接；所述固定座固定连接有第二限位板，所述第二限位板位于所述固定座靠近所述上料窗口的一端上；所述滑动座远离所述上料窗口的一端上固定连接有抵接块，所述抵接块靠近所述上料窗口的一侧表面能与所述第二限位板抵接。

通过采用上述技术方案，当要使滑动座部分滑出固定座时，先通过回转气缸让连接块转动，以使连接块远离回转气缸一端与限位块脱离抵接，接着使滑动座向靠近上料窗口的方向滑动，以将滑动座从上料窗口处抽出，待抵接块靠近上料窗口的一侧表面与第二限位板抵接时，滑动座滑出固定座部分的长度便达到最大极限值，此时便可将新的晶圆安装在滑动座上，然后使滑动座向密封箱内做复位运动，待第一限位板与固定座靠近上料窗口一端抵接时，滑动座便复位至起始位置，最后再通过回转气缸让连接块转动，以使得连接块远离回转气缸的一端与限位块抵接即可，从而便完成了一个完整的更换晶圆的操作流程。

优选的，所述第一驱动机构包括X向丝杠滑台以及Y向丝杠滑台，所述X向丝杠滑动设置在所述密封箱的底壁上，所述X向丝杠滑台的滑台与所述Y向丝杠滑台固定连接；所述Y向丝杠滑台的滑台与所述固定座之间设置有升降滑台，所述升降滑台固定连接在所述Y向丝杠滑台的滑台上，所述升降滑台用于使所述固定座竖向运动；所述升降滑台与所述固定座之间设置有转动件，所述转动件用于使所述固定座在预定圆心角范围内往复转动。

通过采用上述技术方案，一方面，X向丝杠滑台以及Y向丝杠滑台的设置，则使得载晶盘既能沿X向做直线运动，也能沿Y向做直线运动，从而便达到使载晶盘做水平运动的目的，另一方面，升降滑台的设置，则在需要使新晶圆重新与探针接触时，可先通过第一驱动机构运动至密封盒的下方，接着通过升降滑台使得固定座向上运动，从而不会出现载晶盘与探针的侧面发生碰撞以使探针大幅度弯曲，进而便不会因更换晶圆而导致探针被损坏，此外因转动件的设置，则使载晶盘能在预定圆心角范围内转动，从而能满足测试时载晶盘所需的工作状态。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过机架、载晶盘、探针、显微镜平台以及第一驱动机构的设置，相比于工作人员手动调整载晶盘的方式，此种设计方式，第一驱动机构会自动让载晶盘运动，以让晶圆上的不同pad点与探针接触，从而使得晶圆的测试工作更加简单；

2.通过密封箱以及密封盒的设置，则使得探针与晶圆之间的接触环境能处在一个相对比较密封的环境中，所以能够对外界干扰产生一定的屏蔽，从而能为微弱电信号的测试提供了较佳的测试环境；

3.通过探针孔以及能弹性形变的密封片的设置，所以探针可从两个密封片相抵接的一端穿入密封盒内，以使探针能与晶圆上的pad点接触，并且两个密封片会发生弹性形变，则两个密封片会裹紧探针，从而有助于保持密封盒的密闭性。

附图说明

图1是本申请实施例中一种半自动晶圆测试设备的立体图。

图2是本申请实施例中为体现第一驱动机构的具体结构所做的示意图。

图3是本申请实施例中为体现锁定件的具体结构所做的示意图。

图4是本申请实施例中为体现转动件的具体结构所做的示意图。

图5是本申请实施例中为体现密封盒的具体结构所做的示意图。

附图标记说明：1、机架；11、密闭板；12、密封箱；121、操作孔；122、基准盘；13、上料窗口；14、启闭门；15、底板；16、空气弹簧减震器；2、载晶盘；21、固定座；211、第二限位板；22、滑动座；221、抵接块；3、显微镜平台；31、密封盖板；32、滑杆；4、第一驱动机构；41、X向丝杠滑台；42、Y向丝杠滑台；5、密封盒；51、探针孔；52、密封片；53、镜头孔；6、第二驱动机构；7、锁定件；71、第一限位板；72、限位块；73、回转气缸；74、连接块；8、升降滑台；9、转动件；91、连接座；92、转动座；93、第一滑块；94、第二滑块；95、连接柱；96、连接臂。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种半自动晶圆测试设备。参照图1，半自动晶圆测试设备包括机架1、载晶盘2、第一驱动机构4、探针以及显微镜平台3，机架1包括有底板15以及多个经过导电处理的密闭板11，底板15呈水平设置，多个密闭板11固定连接形成呈长方体形状的密封箱12，其中密封箱12位于底板15的上方，并且密封箱12与底板15之间设置有空气弹簧减震器16，而且空气弹簧减震器16设置有四个，其中四个空气弹簧减震器16分别位于密封箱12下端的四个边角处。

参照图1和图2，载晶盘2通过第一驱动机构4水平活动设置在密封箱12内，并且载晶盘2通过真空吸附的方式固定待测试的晶圆，在本实施例中，第一驱动机构4包括有X向丝杠滑台41以及Y向丝杠滑台42，具体的，X向丝杠滑台41固定设置在密封箱12的底壁上，X向丝杠滑台41的滑台与Y向丝杠滑台42固定连接，并且X向丝杠滑台41的长度方向与Y向丝杠滑台42的长度方向相互垂直，而且Y向丝杠滑台42的滑台与载晶盘2固定连接，从而便实现载晶盘2做水平运动的目的，此外还因需要更换晶圆，所以密封箱12的其中一侧壁开设有上料窗口13，并且上料窗口13处设置有启闭门14。

参照图1和图2，载晶盘2包括固定座21以及滑动座22，具体的，固定座21与Y向丝杠滑台42的滑台固定连接，滑动座22则滑动连接在固定座21的上侧上，并且滑动座22的滑动方向平行于上料窗口13的中心线方向，而且滑动座22能向靠近上料窗口13的方向部分滑出固定座21，其中在第一驱动机构4要使整个载晶盘2运动时，便需要让固定座21与滑动座22保持相对静止，所以固定座21与滑动座22之间需要设置有锁定件7。

参照图1和图2，锁定件7包括第一限位板71、限位块72、回转气缸73以及连接块74，第一限位板71固定连接在滑动座22靠近上料窗口13的一端上，并且第一限位板71远离上料窗口13的一侧表面能与固定座21靠近上料窗口13的一端抵接，而且抵接时为滑动座22与固定座21进行测试工作时所需要的位置状态，同时滑动座22无法向远离上料窗口13的方向滑动；限位块72固定连接在滑动座22上；回转气缸73固定连接在固定座21上，并且回转气缸73与限位块72位于同一侧上；连接块74一端与回转气缸73的活塞杆固定连接，另一端绕自身与回转气缸73的连接处转动，并且连接块74能与限位块72靠近上料窗口13的一端抵接，而且抵接时滑动座22无法向上料窗口13的方向滑动，从而便达到使固定座21与滑动座22保持相对静止的目的。

参照图1和图2，当需要更换晶圆时，先通过第一驱动机构4使载晶盘2向靠近上料窗口13的方向运动，待载晶盘2运动至合适位置时，接着通过回转气缸73让连接块74转动，以使连接块74与限位块72脱离抵接，然后便能将滑动座22从上料窗口13处抽出，以进行更换晶圆的操作，待晶圆更换完成后，最后将滑动座22滑入密封箱12内，待第一限位板71与固定座21抵接时，再次通过回转气缸73使连接块74转动，以使连接块74与限位块72靠近上料窗口13一端抵接，从而便完成一次完整的晶圆更换操作。

参照图1和图3，固定座21靠近上料窗口13的一端固定连接有第二限位板211，第二限位板211与回转气缸73分别位于固定座21相对的两侧上，为了与第二限位板211配合，滑动座22远离上料窗口13的一端固定连接有抵接块221，并且抵接块221靠近上料窗口13的一侧表面能与第二限位板211抵接，而且抵接时滑动座22滑出固定座21的部分处于最大极限值，所以工作人员在将滑动座22从上料窗口13处抽出时，便不会出现滑动座22从固定座21上完全滑出的情况，从而便于工作人员使用载晶盘2以进行更换晶圆的操作。

参照图1和图2，在本实施例中，固定座21与Y向丝杠滑台42之间设置有升降滑台8，其中升降滑台8固定连接在Y向丝杠滑台42的滑台上，并且升降滑台8能让固定座21做竖向运动，一方面，在需要更换晶圆时，升降滑台8能先让载晶盘2向下移动，以让载晶盘2远离密封箱12的上侧内壁，所以后续在滑动座22从上料窗口13处抽出的过程中，载晶盘2上的晶圆不会触碰到密封箱12的上侧内壁，从而完成测试工作的晶圆不会在更换环节出现损坏，另一方面，在需要使新晶圆重新与探针接触时，可先通过第一驱动机构4运动至密封盒5的下方，接着通过升降滑台8使得固定座21向上运动，从而不会出现载晶盘2与探针的侧面发生碰撞以使探针大幅度弯曲，进而便不会因更换晶圆而导致探针被损坏。

参照图1和图4，升降滑台8与固定座21之间设置有转动件9，具体的，转动件9包括连接座91、转动座92、第一滑块93、第二滑块94、连接柱95以及连接臂96，其中，连接座91的下表面与升降滑台8固定连接，升降滑台8能使连接座91竖向运动；转动座92的上表面与固定座21固定连接，转动座92的下表面通过轴承与连接座91转动连接；第一滑块93滑动连接在连接座91上，并且第一滑块93的滑动方向垂直于转动座92回转运动的直径方向；第二滑块94滑动连接在第一滑块93上，并且第二滑块94的滑动方向垂直于第一滑块93的滑动方向，而且第二滑块94的滑动方向平行于转动座92回转运动的直径方向；连接柱95固定设置在第二滑块94上；连接臂96一端与转动座92的周侧固定连接，另一端通过轴承转动套设在连接柱95上，所以在第一滑块93往复直线运动的过程中，第二滑块94、连接柱95以及连接臂96能够使转动座92在预定圆心角范围内往复转动，从而达到使载晶盘2在预定圆心角范围内往复转动的目的。

参照图1和图5，密封箱12的上侧外壁开设有操作孔121，操作孔121处则安装有呈圆环形状的基准盘122，基准盘122的中心处会作为基准检测位，在本实施例中，探针通过一个探针座设置在密封箱12的上侧外壁上，其中探针的一端与密封箱12固定连接，另一端从基准盘122的内圈延伸至密封箱12内，并且该端位于基准检测位处；显微镜平台3与机架1之间设置有第二驱动机构6，其中显微镜平台3能通过第二驱动机构6实现沿XYZ三轴方向的运动，并且显微镜平台3的镜头向下朝向处于密封箱12内的晶圆，以观察探针是否与晶圆上的pad点接触，此外因显微镜平台3不直接与密封箱12固定连接，所以空气弹簧减震器16能使外部环境的振动不会影响到显微镜平台3。

参照图1和图5，在进行晶圆测试工作时，先通过第二驱动机构6使显微镜平台3向下运动，直至显微镜平台3上的镜头与载晶盘2上的晶圆之间处于合适观测距离，接着第一驱动机构4可在控制装置的作用让载晶盘2做水平运动，并且在这个过程中会让晶圆上的不同pad点依次移动到基准检测位处，所以便使得晶圆上的不同pad点与探针相接触，从而便达到对晶圆进行测试的目的，相比于工作人员手动来让载晶盘2做水平运动的方式，此种设计方式，使得晶圆的测试工作更加简单，从而有助于提升测试工作的效率。

参照图1和图5，因在进行测试时，探针需要伸入密封箱12内，显微镜平台3的镜头需要观测到晶圆，而为了保持测试时晶圆所在环境的密闭性，所以探针以及显微镜平台3与密封箱12之间还设置有经过导电处理的密封盒5，具体的，密封盒5呈八棱柱形状，密封盒5同轴固定设置在基准盘122上，并且密封盒5的下侧内壁与基准盘122的内圈相连通，而为了与显微镜平台3的镜头相配合，密封盒5的上侧开设供显微镜平台3的镜头穿入的镜头孔53，并且镜头孔53与显微镜平台3的镜头之间存在间距，以让显微镜平台3能够做水平方向的调整运动，此外显微镜平台3靠近密封盒5上侧的一端上还设置有密封盖板31以及滑杆32，其中密封盖板31通过滑杆32与显微镜平台3滑动连接，并且在显微镜平台3向靠近或远离密封盒5的方向运动预定距离时，密封盖板31能通过自身重力使自身一直与密封盒5的上侧抵接，而且抵接时密封盖板31会遮挡住镜头孔53，从而在显微镜平台3的镜头能观测到晶圆的同时使密封箱12内仍能保持密闭状态。

参照图1和图5，密封盒5为了与探针在相配合，密封盒5的周侧外壁上开设有探针孔51，并且探针孔51处设置有两个泡棉材质制成的密封片52，而且密封片52为导电棉，其中两个密封片52分别位于探针孔51相对的两个竖向内壁上，其中密封片52的一端与探针孔51的内壁固定连接，另一端与另一个密封片52相互抵接，所以在探针从两个密封片52的抵接处穿入密封盒5内时，两个密封片52能紧紧抵住探针，从而能保持密封盒5内的密闭性，在本实施例中，两个密封片52是直接通过一块泡棉部分切割形成的，所以两个密封片52相互靠近的一端部分一体连接，并且一体连接处位于密封片52的下侧上，则为了能安装密封片52，密封盒5的周侧是通过内外两个侧板固定连接而成的，并且密封片52位于内外两个侧板之间，从而在探针伸入密封箱12内的同时也能使密封箱12内保持密闭状态。

参照图1，在本实施例中，为了进一步优化密封箱12内的测试环境，其一，密封箱12内填充有惰性气体，以使得密封箱12内部环境更加稳定，其二，密封箱12的外壁粘贴有电磁屏蔽条，所以能使密封箱12能有效地屏蔽外界的干扰，从而能够微弱电信号的测试提供更佳的测试环境，还能使外部的水蒸气无法进入密封箱12内，则在低温环境下密封箱12内的晶圆不会出现结霜的情况，从而不会影响正常的晶圆测试工作，其三，密封箱12的外部还会有一层保护板，以对密封箱1加强保护。

本申请实施例一种半自动晶圆测试设备的实施原理为：在进行晶圆测试工作时，先通过第二驱动机构6使显微镜平台3向下运动，直至显微镜平台3上的镜头与载晶盘2上的晶圆之间处于合适观测距离，接着第一驱动机构4可在控制装置的作用让载晶盘2做水平运动，并且在这个过程中会让晶圆上的不同pad点依次移动到基准检测位处，所以便使得晶圆上的不同pad点与探针相接触，从而便达到对晶圆进行测试的目的，相比于工作人员手动来让载晶盘2做水平运动的方式，此种设计方式，使得晶圆的测试工作更加简单，从而有助于提升测试工作的效率。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种半自动晶圆测试设备，其特征在于：包括：

机架(1)，所述机架(1)具有基准检测位；

载晶盘(2)，活动设置在所述机架(1)上，所述载晶盘(2)供晶圆固定放置；

探针，设置在所述机架(1)上，所述探针远离所述机架(1)一端延伸至所述基准检测位处；

显微镜平台(3)，设置在所述机架(1)上，所述显微镜平台(3)位于所述载晶盘(2)的上方；

第一驱动机构(4)，设置在所述机架(1)上，所述第一驱动机构(4)用于使所述载晶盘(2)做水平运动以让晶圆上的待测试pad点运动至所述基准检测位处。

2.根据权利要求1所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述机架(1)包括有多个经过导电处理的密闭板(11)，多个所述密闭板(11)固定连接形成密封箱(12)，所述载晶盘(2)以及所述第一驱动机构(4)均设置在所述密封箱(12)内；所述密封箱(12)的其中一侧壁设置有上料窗口(13)，所述上料窗口(13)处设置有启闭门(14)；所述密封箱(12)上侧外壁上设置有操作孔(121)，所述密封箱(12)上侧外壁设置有经过导电处理的密封盒(5)，所述密封盒(5)的下侧内壁与所述操作孔(121)相连通；所述密封盒(5)供所述显微镜平台(3)的镜头以及探针密封穿设。

3.根据权利要求2所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述密封盒(5)的周侧上设置有供探针穿入的探针孔(51)；所述探针孔(51)相对的两个竖向内壁上分别设置有能够发生弹性形变的密封片(52)，所述密封片(52)的一端与所述探针孔(51)的内壁相连接，另一端与另一个所述密封片(52)相抵接。

4.根据权利要求3所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：两个所述密封片(52)相互靠近的一端之间部分一体连接，并且两个所述密封片(52)的一体连接处位于所述密封片(52)靠近所述载晶盘(2)的一端上。

5.根据权利要求3所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述密封盒(5)的上侧设置有镜头孔(53)；所述显微镜平台(3)活动设置在所述机架(1)上，所述显微镜平台(3)靠近所述密封盒(5)上侧的一端上设置有密封盖板(31)以及滑杆(32)，所述密封盖板(31)通过所述滑杆(32)与所述显微镜平台(3)滑动连接，在所述显微镜平台(3)向靠近或远离所述密封盒(5)的方向运动预定范围内时，所述密封盖板(31)与所述密封盒(5)的上侧外壁抵接以封闭所述镜头孔(53)。

6.根据权利要求5所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述机架(1)设置有第二驱动机构(6)，所述第二驱动机构(6)与所述显微镜平台(3)相连接，所述第二驱动机构(6)用于使所述显微镜平台(3)沿XYZ三轴的方向运动。

7.根据权利要求2所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述密封箱(12)内填充有惰性气体；所述密封箱(12)的外壁设置有电磁屏蔽条；所述机架(1)包括有底板(15)，所述底板(15)位于所述密封箱(12)的下方，所述底板(15)与所述密封箱(12)之间设置有空气弹簧减震器(16)，所述空气弹簧减震器(16)用于防止所述显微镜平台(3)晃动。

8.根据权利要求2所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述载晶盘(2)包括固定座(21)以及滑动座(22)，所述固定座(21)与所述第一驱动机构(4)相连接；所述滑动座(22)滑动连接在所述固定座(21)的上表面上，在所述滑动座(22)沿所述上料窗口(13)的中心线方向运动时，所述滑动座(22)能部分滑出所述固定座(21)；所述滑动座(22)与所述固定座(21)之间设置有锁定件(7)，在所述第一驱动机构(4)驱动所述固定座(21)运动时，所述锁定件(7)用于使所述滑动座(22)与所述固定座(21)相对静止。

9.根据权利要求8所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述锁定件(7)包括第一限位板(71)、限位块(72)、回转气缸(73)以及连接块(74)，所述第一限位板(71)设置在所述滑动座(22)靠近所述上料窗口(13)的一端上，所述第一限位板(71)远离所述上料窗口(13)的一侧表面能与所述固定座(21)抵接；所述限位块(72)固定连接在所述滑动座(22)上；所述回转气缸(73)固定连接在所述固定座(21)上；所述连接块(74)一端与所述回转气缸(73)的活塞杆固定连接，另一端能与所述限位块(72)靠近所述上料窗口(13)的一侧抵接；所述固定座(21)固定连接有第二限位板(211)，所述第二限位板(211)位于所述固定座(21)靠近所述上料窗口(13)的一端上；所述滑动座(22)远离所述上料窗口(13)的一端上固定连接有抵接块(221)，所述抵接块(221)靠近所述上料窗口(13)的一侧表面能与所述第二限位板(211)抵接。

10.根据权利要求8所述的半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述第一驱动机构(4)包括X向丝杠滑台(41)以及Y向丝杠滑台(42)，所述X向丝杠滑动设置在所述密封箱(12)的底壁上，所述X向丝杠滑台(41)的滑台与所述Y向丝杠滑台(42)固定连接；所述Y向丝杠滑台(42)的滑台与所述固定座(21)之间设置有升降滑台(8)，所述升降滑台(8)固定连接在所述Y向丝杠滑台(42)的滑台上，所述升降滑台(8)用于使所述固定座(21)竖向运动；所述升降滑台(8)与所述固定座(21)之间设置有转动件(9)，所述转动件(9)用于使所述固定座(21)在预定圆心角范围内往复转动。

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