CN115877176B - 一种晶圆减振平台及减振方法 - Google Patents

Abstract

本发明提涉及一种晶圆减振平台及减振方法，减振平台包括基座，底部设有安装槽；底座，安装于基座的上方；检测台，安装于底座的上方；第一驱动机构，底座通过第一驱动机构连接在基座上；第二驱动机构，检测台通过第二驱动机构连接在底座上；减振组件，安装在基座的安装槽内，用于采集减振平台的振动信号以及压力值，并控制减振平台进行减振；其中，第一驱动机构的两端和第二驱动机构的两端均设有防撞组件。这种减振平台能对检测台进行减振，避免检测台上晶圆发生较大振幅振动，从而降低振动对芯片制造的影响。

Description

一种晶圆减振平台及减振方法

技术领域

本发明涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种晶圆减振平台。

背景技术

芯片是集成电路的载体，芯片由晶圆分割而成，是计算机或其它电子设备的重要组成部分。芯片的制造过程包括拉晶、形成硅片、感光材料涂层、光刻、刻蚀/掺杂/剥离、抗腐蚀、金属填充、形成晶圆、晶圆检测、晶圆切割、晶圆封装、形成芯片，这个过程极其复杂和精密，而在晶圆检测中，晶圆检测平台是关键装置，行业对于该检测平台的检测精度和检测稳定性较高。

现有的晶圆检测平台主要由底座和检测台组成，检测台的侧面设有安装板，安装板上设有稳固板、马达和螺杆，稳固板分布在马达和螺杆之间，马达和螺杆的一端连接，螺杆的外侧设有滑动块，滑动块上设有连接杆，连接的外侧套设有清理筒，检测台的圆心位置设有升降气缸，升降气缸的顶部设有连接块，连接块的表面设有放置板。然而，现有的晶圆检测中，晶圆工作平台常使用刚性或软性材料连接，这种连接方式对振动的阻隔效果不理想，特别是针对低频振动阻隔效果不理想，而实际生产中力学的振动和冲击是广泛存在的，这种振动对于人来说感觉不到，但是却会给芯片制造设备带来各种不良影响。

发明内容

本发明提供一种晶圆减振平台，以解决现有的晶圆检测平台使用刚性或软性材料连接，对振动的阻隔效果不理想的问题，提高晶圆的加工精度。

本发明提供一种晶圆减振平台，包括：

基座，所述基座的底部设有安装槽；

底座，所述底座安装于所述基座的上方；

检测台，所述检测台安装于所述底座的上方；

第一驱动机构，所述底座通过所述第一驱动机构连接在所述基座上；

第二驱动机构，所述检测台通过所述第二驱动机构连接在所述底座上；

减振组件，所述减振组件安装在所述基座的安装槽内，用于采集减振平台的振动信号以及压力值，并控制减振平台进行减振；

其中，所述第一驱动机构的两端和所述第二驱动机构的两端均设有防撞组件。

可选的，所述减振组件包括安装板、气浮减振垫和精密调节阀，所述气浮减振垫和所述精密调节阀连接在所述安装板上，所述精密调节阀的内部设有气泵，所述气泵的输出端通过输气管连接所述气浮减振垫的输入端，所述气浮减振垫的输出端连接有排气阀；所述精密调节阀的顶部抵接在所述基座的底部，所述气浮减振垫连接在所述基座的底部，所述精密调节阀用于控制所述气浮减振垫的进气量。

可选的，所述精密调节阀包括阀座、压力传感器和振动传感器，所述气泵设在所述阀座内，所述气泵的输出端通过输气管连接所述气浮减振垫，所述阀座的顶部与所述基座的底部之间连接有所述压力传感器和所述振动传感器，所述压力传感器和所述振动传感器均电连接所述气泵，所述气泵用于调节所述气浮减振垫的进气量。

可选的，所述气浮减振垫包括减振垫座和伸缩杆，所述减振垫座内设有气囊，所述气囊的输入端通过输气管连接所述气泵的输出端，所述伸缩杆的底部抵接在所述气囊的输出端，所述伸缩杆的顶部与所述基座的底部相连，所述气囊的输出端还连接有所述排气阀，所述排气阀用于调节所述气囊内气体的排气量。

可选的，所述防撞组件包括防撞座和两个防撞胶块，两个所述防撞胶块呈间隔设在所述防撞座的内侧，所述第一驱动机构的端部和所述第二驱动机构的端部均设在对应的两个所述防撞胶块之间。

可选的，所述第一驱动机构包括第一直线电机、第一安装架和第一拖链，所述底座通过所述第一直线电机连接在所述基座上，所述第一安装架连接在所述第一直线电机的外侧，所述第一拖链设在所述第一安装架的内部，所述第一拖链用于收纳所述第一直线电机的线缆；所述第二驱动机构包括第二直线电机、第二安装架和第二拖链，所述检测台通过所述第二直线电机连接在所述底座上，所述第二安装架连接在所述第二直线电机的外侧，所述第二拖链设在所述第二安装架的内部，所述第二拖链用于收纳所述第二直线电机的线缆。

可选的，所述第一直线电机包括定子、动子和转接板，所述定子连接在所述基座的侧壁上，所述动子的一端与所述定子滑动连接，所述动子的另一端通过所述转接板连接在所述底座的底端。

可选的，所述第一驱动机构包括第一滑轨和第一滑块，所述第一滑轨连接在所述基座的顶端，所述第一滑块的一端与所述第一滑轨滑动连接，所述第一滑块的另一端连接在所述底座的底端，所述第一滑块的侧壁上设有第一注油嘴；所述第二驱动机构包括第二滑轨和第二滑块，所述第二滑轨连接在所述底座的顶端，所述第二滑块的一端与所述第二滑轨滑动连接，所述第二滑块的另一端连接在所述检测台的底端，所述第二滑块的侧壁上设有第二注油嘴。

可选的，所述检测台的中间设有检测孔，所述检测孔内连接有交叉滚子轴承。

本发明还提供一种晶圆减振平台的减振方法，包括以下步骤：

采集减振平台的振动响应信号f(t)和压力值F，振动响应信号f(t)的计算公式如下：

其中，r(t)为t时刻的振动响应信号，n为振动响应信号f(t)的采样窗长度；

将振动响应信号f(t)进行频域变换，得到频域振动信号f(w)，频域变换的公式如下：

e^-iwt＝coswt+isinwt；

其中，e^-iwt为复变函数，i为虚部；

对频域振动信号f(w)进行滤波，得到频域滤波信号h(w)，计算公式如下：

其中，K滤波系数，ξ为阻尼，s为拉普拉斯算子，ω₁为第一驱动机构的振动频率，ω₂为第二驱动机构的振动频率；

将频域滤波信号h(w)传输至控制器，提取频域滤波信号h(w)中的滤波频率W(t)和滤波振幅A(t)；

根据滤波频率W(t)、滤波振幅A(t)以及减振平台的压力值F输出控制信号K(w)，计算公式如下：

其中，k_p和k_i为积分因子，k_d为微分时间常数；

将控制信号K(w)进行时域变换，得到时域控制信号K(t)，时域变换的公式如下：

根据时域控制信号K(t)调节精密调节阀中气泵输出的气体量；

通过气浮减振垫对减振平台产生抵消振动；

其中，抵消振动的频率与滤波频率W(t)相同，抵消振动的振幅与振幅A(t)相反。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、本发明通过设置第一驱动机构和第二驱动机构来驱动检测台上运动到检测位置，检测台运动时，基座底部的减振组件能够对检测台进行减振，避免检测台上晶圆发生较大振幅振动，当检测台运动到底座的边沿时，防撞组件能够对检测台进行防撞，避免检测台上晶圆发生位置移动，从而降低振动对芯片制造的影响。

2、本发明在晶圆减振中，通过采集减振平台的振动响应信号和压力值，对振动响应信号进行频域变换以及滤波处理，还对压力值和处理后的信号进行综合处理，最后根据综合处理的信号来对减振平台产生抵消振动，减少外界振动对平台的影响，提高晶圆的加工精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

为了更完整地理解本发明及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。

图1为本发明实施例提供的一种晶圆减振平台的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种晶圆减振平台中减振组件的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种晶圆减振平台中防撞组件的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种晶圆减振平台中第一驱动机构和第二驱动机构的安装结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种晶圆减振平台中第一驱动机构的安装结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种晶圆减振平台中第一拖链和第二拖链的安装结构示意图；

图中：1、基座；11、安装槽；12、检测孔；13、交叉滚子轴承；2、底座；3、检测台；4、第一驱动机构；41、第一直线电机；411、定子；412、动子；413、转接板；42、第一安装架；43、第一拖链；44、第一滑轨；45、第一滑块；46、第一注油嘴；47、光栅尺；5、第二驱动机构；51、第二直线电机；52、第二安装架；53、第二拖链；54、第二滑轨；55、第二滑块；56、第二注油嘴；6、减振组件；61、安装板；62、气浮减振垫；621、减振垫座；622、伸缩杆；63、精密调节阀；631、阀座；632、压力传感器；7、防撞组件；71、防撞座；72、防撞胶块。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件上，它可以直接在另一个部件上或者间接设置在另一个部件上；当一个部件被称为是“连接于”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或间接连接至另一个部件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或部件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”、“若干个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

须知，本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

本发明实施例提供一种晶圆减振平台，以解决现有的晶圆检测平台使用刚性或软性材料连接，对振动的阻隔效果不理想的问题，提高晶圆的加工精度。以下将结合附图对进行说明。

如图1所示，在一些实施方式中，晶圆减振平台包括基座1、底座2、检测台3、第一驱动机构4、第二驱动机构5和减振组件6。其中，基座1采用方形结构，主要起到承载的作用，基座1底端的四个角均设有安装槽11，安装槽11用于安装减振组件6；底座2安装于基座1的上方，底座2用于加固整体结构；检测台3安装于底座2的上方，检测台3用于放置晶圆。第一驱动机构4的两端和第二驱动机构5的两端均设有防撞组件7，减振组件6包括传感器和控制器，传感器能够采集减振平台的振动信号以及压力值，控制器对采集的振动信号以及压力值进行处理，并根据处理后的结果来控制减振平台进行减振。

工作时，将待检测的晶圆装夹在检测台3上，通过第一驱动机构4和第二驱动机构5分别调节检测台3的位置，从而调整晶圆的检测位置，第一驱动机构4和第二驱动机构5能够驱动检测台3在水平面上分别沿着XY两个不同方向运动，检测台3带动晶圆运动至检测位进行检测；检测台3运动时，第一驱动机构4和第二驱动机构5工作产生的振动会传递至整个减振平台上，包括检测台3上的晶圆也会受到振动的影响发生偏移，减振组件6的设置能够降低整个平台的振动；当检测台3运动到底座2的边沿时，防撞组件7能够防止检测台3与底座2之间发生碰撞，从而降低检测台3的振动，避免检测台3上的晶圆发生位置移动，增加晶圆检测的稳定性。

在上述实施方式的基础上，本发明还包括以下实施例。

如图1、2所示，在一个实施例中，减振组件6包括安装板61、气浮减振垫62和精密调节阀63，气浮减振垫62和精密调节阀63连接在安装板61上，精密调节阀63的内部设有气泵，气泵的输出端通过输气管连接气浮减振垫62的输入端，气浮减振垫62的输出端连接有排气阀；精密调节阀63的顶部抵接在基座1的底部，气浮减振垫62连接在基座1的底部，精密调节阀63用于控制气浮减振垫62的进气量。

其中，精密调节阀63包括阀座631、压力传感器632、振动传感器和控制器，气泵设在阀座631内，气泵的输出端通过输气管连接气浮减振垫62，阀座631的顶部与基座1的底部之间连接有压力传感器632和振动传感器，压力传感器632和振动传感器均电连接气泵，气泵用于调节气浮减振垫62的进气量，振动传感器用于实时采集减振平台的振动响应信号，压力传感器632用于实时采集减振平台的压力值。控制器电性连接进气阀门，能够控制进气阀门的开合大小，进而控制向气浮减振垫62输送的进气量。控制器包括计算模块，用于对采集的振动响应信号和压力值进行计算。优选地，控制器可采用PID控制器或PLC控制器。

其中，气浮减振垫62包括减振垫座621和伸缩杆622，减振垫座621内设有气囊，气囊的输入端通过输气管连接气泵的输出端，伸缩杆622的底部抵接在气囊的输出端，伸缩杆622的顶部与基座1的底部相连，气囊的输出端还连接有排气阀，排气阀用于调节气囊内气体的排气量。

在本实施例中，精密调节阀63内的气泵通过输气管向气浮减振垫62中气囊输送气体；工作时，精密调节阀63顶部的压力传感器632能够实时检测基座1上传递的压力，输气管上的进气阀门根据压力传感器632检测的压力值来调节气泵向气囊输送的气体量，气浮减振垫62中气囊内气体会推动伸缩杆62向上运动，伸缩杆62的顶端与基座1的底部通过螺栓相连，伸缩杆62能够吸收基座1上产生的振动，避免基座1发生较大振幅。

如图1、3所示，在一个实施例中，防撞组件7包括防撞座71和两个防撞胶块72，两个防撞胶块72呈间隔设在防撞座71的内侧，第一驱动机构4的端部和第二驱动机构5端部均设在对应的两个防撞胶块72之间。

在本实施例中，防撞组件7有多组，且规格相同，防撞组件7由防撞座71和两个防撞胶块72组成，将第一驱动机构4和第二驱动机构5的两端均安装在两个防撞胶块72之间；防撞座71固定在第一驱动机构4和第二驱动机构5的两端，防撞胶块72安装在防撞座71的内侧，防撞胶块72采用橡胶材质；底座2和检测台3在第一驱动机构4和第二驱动机构5的驱动下运动时，防撞胶块72能够对底座2和检测台3的两端均起到缓冲的效果。

另外，也可以将第一驱动机构4和第二驱动机构5的两端分别安装在底座2和检测台3的端部，将防撞组件7安装在底座2和检测台3的边沿中间位置，当底座2和检测台3分别运动到第一驱动机构4和第二驱动机构5的端部时，两个防撞胶块72能够吸收底座2和检测台3上的动能，并有效的降低底座2和检测台3的冲击带来的振动，保证了检测台3上晶圆的检测精度。

如图1、4、6所示，在一个实施例中，第一驱动机构4包括第一直线电机41、第一安装架42和第一拖链43，底座2通过第一直线电机41连接在基座1上，第一安装架42连接在第一直线电机41的外侧，第一拖链43设在第一安装架42的内部，第一拖链43用于收纳第一直线电机41的线缆；第二驱动机构5包括第二直线电机51、第二安装架52和第二拖链53，检测台3通过第二直线电机51连接在底座2上，第二安装架52连接在第二直线电机51的外侧，第二拖链53设在第二安装架52的内部，第二拖链53用于收纳第二直线电机51的线缆。

其中，第一直线电机41包括定子411、动子412和转接板413，定子411连接在基座1的侧壁上，动子412的一端与定子411滑动连接，动子412的另一端通过转接板413连接在底座2的底端。

具体地，定子411的中间有滑槽，底座2在动子412的带动下能够沿着滑槽的导向方向平稳滑动。另外，将第一直线电机41的线缆缠绕在第一拖链43内，能够节省线缆的占用空间；第一安装架42将整个第一拖链43以及线缆进行包裹，能够保证第一直线电机41的用电安全。

如图1、4、5所示，在一个实施例中，第一驱动机构4还包括第一滑轨44和第一滑块45，第一滑轨44连接在基座1的顶端，第一滑块45的一端与第一滑轨44滑动连接，第一滑块45的另一端连接在底座2的底端，第一滑块45的侧壁上设有第一注油嘴46；第二驱动机构5还包括第二滑轨54和第二滑块55，第二滑轨54连接在底座2的顶端，第二滑块45的一端与第二滑轨54滑动连接，第二滑块55的另一端连接在检测台3的底端，第二滑块55的侧壁上设有第二注油嘴56。

其中，第一滑块45上设有光栅尺47。

在本实施例中，底座2通过第一滑块45在第一滑轨44上滑动，检测台3通过第二滑块55在第二滑轨54上滑动。当底座2滑动时，可通过第一注油嘴46和第二注油嘴56在第一滑轨44和第一滑块45之间加入润滑油，能够进一步增加底座2运动的顺畅度；当检测台3滑动时，也可通过第二注油嘴56在第二滑块45和第二滑轨54之间加入润滑油，从而提高检测台3运动的顺畅度。光栅尺47能够检测第一驱动机构4的运动位移，并提高晶圆的检测精度。

在一个实施例中，检测台3的中间设有检测孔12，检测孔12内连接有交叉滚子轴承13。

在本实施例中，检测孔12的尺寸与晶圆的尺寸相适配；检测时，将晶圆吸附在检测孔12处，并通过交叉滚子轴承13不断调节晶圆的检测角度，从而方便用户使用。

本发明实施例还提供一种晶圆减振方法，包括以下步骤：

步骤S1，在阀座的顶部与基座的底部之间设置有振动传感器和压力传感器，振动传感器能够实时采集减振平台的振动响应信号f(t)，压力传感器能够实时采集减振平台的压力值F，振动响应信号f(t)的计算公式如下：

其中，r(t)为t时刻的振动响应信号，n为振动响应信号f(t)的采样窗长度，同一规格的减振平台压力值F为定值；

步骤S2，通过傅里叶变换将振动响应信号f(t)进行频域变换，得到频域振动信号f(w)，频域变换的公式如下：

e^-iwt＝coswt+isinwt；

其中，e^-iwt为复变函数，i为虚部；

步骤S3，通过信号滤波算法对频域振动信号f(w)进行滤波，得到频域滤波信号h(w)，信号滤波的计算公式如下：

其中，K滤波系数，ξ为阻尼，s为拉普拉斯算子，ω₁为第一驱动机构的振动频率，ω₂为第二驱动机构的振动频率；优选地，第一驱动机构和第二驱动机构为直线电机。

步骤S4，将频域滤波信号h(w)传输至PID控制器或PLC控制器内进行处理，经过信号的解析，提取出频域滤波信号h(w)中的滤波频率W(t)和滤波振幅A(t)；

步骤S5，控制器根据滤波频率W(w)、滤波振幅A(w)以及减振平台的压力值F输出控制信号K(w)，计算公式如下：

其中，k_p和k_i为积分因子，k_d为微分时间常数；

步骤S6，通过傅里叶反变换将控制信号K(t)进行时域变换，得到时域控制信号K(t)，时域变换的公式如下：

步骤S7，进气阀门根据时域控制信号K(t)调节精密调节阀中气泵输出的气体量；

步骤S8，精密调节阀中的气泵向气浮减振垫中的气囊输送气体，气囊内的气体推动伸缩杆向上运动，伸缩杆对气浮减振垫减振平台产生抵消振动；

其中，抵消振动的频率与滤波频率W(t)相同，抵消振动的振幅与振幅A(t)相反，最终能够使减振平台产生的振动被气浮减振垫抵消，使得晶圆加工或检测时不会发生较大位置偏移，提高了晶圆的加工精度。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其他实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆减振平台的减振方法，其特征在于，包括以下步骤：

采集减振平台的振动响应信号f(t)和压力值F，振动响应信号f(t)的计算公式如下：

其中，r(t)为t时刻的振动响应信号，n为振动响应信号f(t)的采样窗长度；

将振动响应信号f(t)进行频域变换，得到频域振动信号f(w)，频域变换的公式如下：

e^-iwt＝cos wt+isin wt；

其中，e^-iwt为复变函数，i为虚部；

对频域振动信号f(w)进行滤波，得到频域滤波信号h(w)，计算公式如下：

其中，K滤波系数，ξ为阻尼，s为拉普拉斯算子，ω₁为第一驱动机构的振动频率，ω₂为第二驱动机构的振动频率；

将频域滤波信号h(w)传输至控制器，提取频域滤波信号h(w)中的滤波频率W(t)和滤波振幅A(t)；

根据滤波频率W(t)、滤波振幅A(t)以及减振平台的压力值F输出控制信号K(w)，计算公式如下：

其中，k_p和k_i为积分因子，k_d为微分时间常数；

将控制信号K(w)进行时域变换，得到时域控制信号K(t)，时域变换的公式如下：

根据时域控制信号K(t)调节精密调节阀中气泵输出的气体量；

通过气浮减振垫对减振平台产生抵消振动；

其中，抵消振动的频率与滤波频率W(t)相同，抵消振动的振幅与振幅A(t)相反。

2.一种晶圆减振平台，其特征在于，根据权利要求1所述晶圆减振平台的减振方法，包括：

基座(1)，所述基座(1)的底部设有安装槽(11)；

底座(2)，所述底座(2)安装于所述基座(1)的上方；

检测台(3)，所述检测台(3)安装于所述底座(2)的上方；

第一驱动机构(4)，所述底座(2)通过所述第一驱动机构(4)连接在所述基座(1)上；

第二驱动机构(5)，所述检测台(3)通过所述第二驱动机构(5)连接在所述底座(2)上；

减振组件(6)，所述减振组件(6)安装在所述基座(1)的安装槽(11)内，用于采集减振平台的振动信号以及压力值，并控制减振平台进行减振；

其中，所述第一驱动机构(4)的两端和所述第二驱动机构(5)的两端均设有防撞组件(7)。

3.根据权利要求2所述一种晶圆减振平台，其特征在于，所述减振组件(6)包括安装板(61)、气浮减振垫(62)和精密调节阀(63)，所述气浮减振垫(62)和所述精密调节阀(63)连接在所述安装板(61)上，所述精密调节阀(63)的内部设有气泵，所述气泵的输出端通过输气管连接所述气浮减振垫(62)的输入端，所述气浮减振垫(62)的输出端连接有排气阀；所述精密调节阀(63)的顶部抵接在所述基座(1)的底部，所述气浮减振垫(62)连接在所述基座(1)的底部，所述精密调节阀(63)用于控制所述气浮减振垫(62)的进气量。

4.根据权利要求3所述一种晶圆减振平台，其特征在于，所述精密调节阀(63)包括阀座(631)、压力传感器(632)和振动传感器，所述气泵设在所述阀座(631)内，所述气泵的输出端通过输气管连接所述气浮减振垫(62)，所述阀座(631)的顶部与所述基座(1)的底部之间连接有所述压力传感器(632)和所述振动传感器，所述压力传感器(632)和所述振动传感器均电连接所述气泵，所述气泵用于调节所述气浮减振垫(62)的进气量。

5.根据权利要求4所述一种晶圆减振平台，其特征在于，所述气浮减振垫(62)包括减振垫座(621)和伸缩杆(622)，所述减振垫座(621)内设有气囊，所述气囊的输入端通过输气管连接所述气泵的输出端，所述伸缩杆(622)的底部抵接在所述气囊的输出端，所述伸缩杆(622)的顶部与所述基座(1)的底部相连，所述气囊的输出端还连接有所述排气阀，所述排气阀用于调节所述气囊内气体的排气量。

6.根据权利要求2所述一种晶圆减振平台，其特征在于，所述防撞组件(7)包括防撞座(71)和两个防撞胶块(72)，两个所述防撞胶块(72)呈间隔设在所述防撞座(71)的内侧，所述第一驱动机构(4)的端部和所述第二驱动机构(5)的端部均设在对应的两个所述防撞胶块(72)之间。

7.根据权利要求2所述一种晶圆减振平台，其特征在于，所述第一驱动机构(4)包括第一直线电机(41)、第一安装架(42)和第一拖链(43)，所述底座(2)通过所述第一直线电机(41)连接在所述基座(1)上，所述第一安装架(42)连接在所述第一直线电机(41)的外侧，所述第一拖链(43)设在所述第一安装架(42)的内部，所述第一拖链(43)用于收纳所述第一直线电机(41)的线缆；所述第二驱动机构(5)包括第二直线电机(51)、第二安装架(52)和第二拖链(53)，所述检测台(3)通过所述第二直线电机(51)连接在所述底座(2)上，所述第二安装架(52)连接在所述第二直线电机(51)的外侧，所述第二拖链(53)设在所述第二安装架(52)的内部，所述第二拖链(53)用于收纳所述第二直线电机(51)的线缆。

8.根据权利要求7所述一种晶圆减振平台，其特征在于，所述第一直线电机(41)包括定子(411)、动子(412)和转接板(413)，所述定子(411)连接在所述基座(1)的侧壁上，所述动子(412)的一端与所述定子(411)滑动连接，所述动子(412)的另一端通过所述转接板(413)连接在所述底座(2)的底端。

9.根据权利要求7所述一种晶圆减振平台，其特征在于，所述第一驱动机构(4)包括第一滑轨(44)和第一滑块(45)，所述第一滑轨(44)连接在所述基座(1)的顶端，所述第一滑块(45)的一端与所述第一滑轨(44)滑动连接，所述第一滑块(45)的另一端连接在所述底座(2)的底端，所述第一滑块(45)的侧壁上设有第一注油嘴(46)；所述第二驱动机构(5)包括第二滑轨(54)和第二滑块(55)，所述第二滑轨(54)连接在所述底座(2)的顶端，所述第二滑块(55)的一端与所述第二滑轨(54)滑动连接，所述第二滑块(55)的另一端连接在所述检测台(3)的底端，所述第二滑块(55)的侧壁上设有第二注油嘴(56)。

10.根据权利要求7所述一种晶圆减振平台，其特征在于，所述检测台(3)的中间设有检测孔(12)，所述检测孔(12)内连接有交叉滚子轴承(13)。