CN114323873A - 一种轴承表面颗粒物成分的检测方法 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 12
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- BBKFSSMUWOMYPI-UHFFFAOYSA-N gold palladium Chemical compound [Pd].[Au] BBKFSSMUWOMYPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 3
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 3
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 2
- 239000011146 organic particle Substances 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011242 organic-inorganic particle Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本发明公开了一种轴承表面颗粒物成分的检测方法，特点是先对轴承零件表面进行清洗，将带有颗粒物的清洗溶液过滤到滤膜上并烘干；再将带有颗粒物的滤膜展平并放置到离子溅射仪中进行喷金处理；将喷金后的滤膜下边沿用导电双面胶粘贴在样品台上；并将样品台置于扫描电镜能谱仪中进行观测扫描，得到颗粒物的成分数据；优点是该检测方法速度快，检测结果准确，而且本方法中所使用的颗粒物固定方法安全，成本低，适合在轴承生产企业中应用，可及时将检测结果进行反馈，以便于及时对轴承的加工工艺进行调整，以提高轴承的生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及对轴承的检测技术领域，尤其涉及一种轴承表面颗粒物成分的检测方法。
背景技术
轴承是当代机械设备中的重要零部件，它的主要功能是支撑机械旋转体，降低其运动过程中的摩擦系数，并保证其回转精度。轴承在不同的使用场合，对轴承的外表面和内部的清洁度要求各有不同，而在轴承的生产加工中，由于轴承需要经过切、磨等多道不同的加工工序，这不可避免的会在轴承的表面留有细微的颗粒物，主要有有机物颗粒和无机物颗粒两大类，而无机物颗粒主要为金属颗粒、矿物质颗粒、金属氧化物等，特别是无机物颗粒，由于其材质较硬，在轴承表面的颗粒物超过一定的量后，在轴承的使用过程中会导致噪音、轴承磨损、润滑受阻运行不良、局部温升较大等问题，最终导致轴承报废。因此，在轴承加工完成后，需要对轴承表面的颗粒物成分进行检测，反馈到加工过程中，便于后续对轴承的加工工艺进行调整以加工出合格的产品。
而目前生产企业对轴承表面颗粒物成分的检测主要是通过第三方进行，这使得检测费用高，且检测周期长，无法及时进行结果反馈，影响轴承的加工效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种检测快、成本低且检测结果准确的轴承表面颗粒物成分的检测方法。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种轴承表面颗粒物成分的检测方法，包括以下具体步骤：
（1）、对轴承零件表面进行清洗，将带有颗粒物的清洗溶液过滤到滤膜上，滤膜的孔径为5～20μm，并烘干；
（2）、将带有颗粒物的滤膜展平并放置到离子溅射仪中进行喷金处理，溅射靶材为金钯合金，溅射前先将离子溅射仪抽真空，对滤膜的喷金厚度为10～30nm；
（3）、将喷金后的滤膜下边沿用导电双面胶粘贴在样品台上；
（4）、将样品台置于扫描电镜能谱仪中进行观测扫描，得到颗粒物的成分数据；
（5）、对颗粒物的成分数据进行分类记录。
进一步地，所述的滤膜采用尼龙网格编织滤膜；其滤膜的背底单一，不会对颗粒物的成分观测产生干扰。
进一步地，所述的金钯合金中，钯的含量为5～20%；金靶合金在溅射时稳定性和颗粒均匀性好，使后续使用扫描电镜能谱仪对颗粒物成分扫描观测时的观测效果更佳。
进一步地，所述的步骤（4）中，扫描电镜能谱仪的观测方法为：将样品台置于扫描电镜的观测台中央，选用高真空模式、15～20kV电压、BSE观测界面，并将放大倍率调整到60倍，将样品观测距离调整为10mm，再打开能谱仪联用软件，调整图像衬度至滤膜视野仅颗粒物亮度可识别，对滤膜划分网格区域，顺序扫描得到颗粒物成分数据。
与现有技术相比，本发明的优点是该检测方法速度快，检测结果准确，而且本方法中所使用的颗粒物固定方法安全，成本低，适合在轴承生产企业中应用，可及时将检测结果反馈给轴承加工部门，以便于及时对轴承的加工工艺进行调整，以提高轴承的生产效率。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明作进一步详细描述。
一种轴承表面颗粒物成分的检测方法，包括以下具体步骤：
（1）、使用ISO16232清洁度标准或VDA19.1清洁度检测中的清洁度操作方法对轴承零件表面进行清洗，将带有颗粒物的清洗溶液过滤到尼龙网格编织滤膜上，滤膜的孔径为5～20μm，并烘干；
（2）、将带有颗粒物的滤膜展平并放置到离子溅射仪中进行喷金处理，溅射靶材为金钯合金，钯的含量为5～20%，溅射前先对离子溅射仪抽真空2～3min，对滤膜的喷金厚度为10～30nm，使得颗粒物固定在滤膜上，且使得滤膜及颗粒物具有导电性，便于后续的观测；
（3）、将喷金后的滤膜下边沿用导电双面胶粘贴在样品台上，滤膜中部无需粘贴；
（4）、将样品台置于扫描电镜的观测台中央，选用高真空模式、15～20kV电压、BSE观测界面，并将放大倍率调整到60倍，将样品观测距离调整为10mm，再打开能谱仪联用软件，调整图像衬度至滤膜视野仅颗粒物亮度可识别，对滤膜划分网格区域，顺序扫描得到颗粒物成分数据；
（5）、对颗粒物的成分数据进行分类记录，可分为金属颗粒、金属氧化物、矿物质颗粒、有机物颗粒等。
上述实施例中，扫描电镜能谱仪为现有设备，联用软件为能谱仪自带软件。
本发明的保护范围包括但不限于以上实施方式，其保护范围以权利要求书为准，任何对本技术做出的本领域的技术人员容易想到的替换、变形、改进均落入本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种轴承表面颗粒物成分的检测方法，其特征在于包括以下具体步骤：
（1）、对轴承零件表面进行清洗，将带有颗粒物的清洗溶液过滤到滤膜上，滤膜的孔径为5～20μm，并烘干；
（2）、将带有颗粒物的滤膜展平并放置到离子溅射仪中进行喷金处理，溅射靶材为金钯合金，溅射前先将离子溅射仪抽真空，对滤膜的喷金厚度为10～30nm；
（3）、将喷金后的滤膜下边沿用导电双面胶粘贴在样品台上；
（4）、将样品台置于扫描电镜能谱仪中进行观测扫描，得到颗粒物的成分数据；
（5）、对颗粒物的成分数据进行分类记录。
2.如权利要求1所述的一种轴承表面颗粒物成分的检测方法，其特征在于：所述的滤膜采用尼龙网格编织滤膜。
3.如权利要求1所述的一种轴承表面颗粒物成分的检测方法，其特征在于：所述的金钯合金中，钯的含量为5～20%。
4.如权利要求1所述的一种轴承表面颗粒物成分的检测方法，其特征在于：所述的步骤（4）中，扫描电镜能谱仪的观测方法为：将样品台置于扫描电镜的观测台中央，选用高真空模式、15～20kV电压、BSE观测界面，并将放大倍率调整到60倍，将样品观测距离调整为10mm，再打开能谱仪联用软件，调整图像衬度至滤膜视野仅颗粒物亮度可识别，对滤膜划分网格区域，顺序扫描得到颗粒物成分数据。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210043768.1A CN114323873A (zh) | 2022-01-14 | 2022-01-14 | 一种轴承表面颗粒物成分的检测方法 |
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|---|---|---|---|
| CN202210043768.1A CN114323873A (zh) | 2022-01-14 | 2022-01-14 | 一种轴承表面颗粒物成分的检测方法 |
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| CN114323873A true CN114323873A (zh) | 2022-04-12 |
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