CN114313984A - 一种掩膜版传输方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种掩膜版传输方法，该方法根据掩膜版沿第二方向的尺寸和掩膜版的初始位置，先控制机械手采用沿托盘指向旋转台方向的第1组至第n组吸盘于托盘中吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从托盘传输至旋转台的前端；再控制机械手沿旋转台指向托盘方向运动第一距离，采用沿旋转台指向托盘方向的第1组至第n组吸盘于旋转台前端吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从旋转台的前端传输至后端；充分的利用了版叉长度，使得夹爪能够于旋转台的后端仅用一个步骤便可将掩膜版传输至工件台，减少了将掩膜版从托盘传输至工件台的时间，提高了掩膜版传输效率。

Description

一种掩膜版传输方法

技术领域

本发明实施例涉及张网设备控制技术领域，尤其涉及一种掩膜版传输方法。

背景技术

张网焊接过程是OLED小分子有机材料蒸镀产线的关键流程。在张网焊接过程中，会将高精度的蒸镀网版(金属薄膜)固定在网框上，OLED蒸镀过程中，网版起到模版的作用，把网版上的图案蒸镀在玻璃基板表面。

现有的将网版固定在网框上的过程中，机械手将网版从托盘的指定位置取出并传输至旋转台的前端，夹爪将网版从旋转台的前端夹取至旋转台的后端，最后夹爪将网版从旋转台后端二次搬运至工件台。在这个过程当中，机械手受行程限制无法将网版从托盘直接传输至旋转台后端供夹爪一次搬运至工件台，而夹爪自身也受行程限制，夹爪在将网版从旋转台的前端夹取至工件台的过程中需要二次搬运，耗时较长，大大拖长了将网版转移至网框的时间，降低了对网版的运输效率。

发明内容

本发明实施例提供一种掩膜版传输方法，以实现减少将掩膜版从托盘传输至工作台的时间，提升对掩膜版的传输效率。

本发明实施例提供了一种掩膜版传输方法，该掩膜版传输方法采用机械手进行搬运，机械手包括至少两个第一方向具有预设距离的版叉；每个版叉包括m组对称分布的吸盘，每组吸盘包括至少一个吸盘，各吸盘沿第二方向等间距排列，第一方向和第二方向垂直；该掩膜版传输方法包括：

根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置；

控制机械手沿旋转台指向托盘的方向运动第一距离，第一距离最大为版叉的最外侧两个吸盘的最外侧距离；

沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附，并控制机械手沿托盘指向旋转台的方向将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置，第二位置为夹爪交接位，其中，n和m均为正整数。

可选地，沿托盘指向旋转台的方向，所述根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置，包括：

掩膜版沿第二方向的尺寸B为1.5d≤B<(M+20)时，其中d表示吸盘的直径，M表示沿托盘指向旋转台的方向，第1组吸盘和第2组吸盘的中心间距，选取沿托盘指向旋转台的方向的第1组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附，其中，d表示所述吸盘的直径，M表示沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述第1组吸盘和所述第2组吸盘的中心间距；

掩膜版沿第二方向的尺寸B为(A0+20)≤B<(A1+20)时，其中，A0为沿托盘指向旋转台的方向，第1组吸盘至第n组吸盘中距离第1组吸盘最远吸盘的中心距离，A1为第1组吸盘至第n+1组吸盘中距离第1组吸盘最远吸盘的中心距离，选取版叉的第1组吸盘至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附；

控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置。

可选地，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置，包括：

根据掩膜版沿第二方向的尺寸，确定沿托盘指向旋转台的方向，对掩膜版进行吸附的版叉的第1组至第n组吸盘；

控制机械手沿托盘指向旋转台的方向，运行第二距离以使沿托盘指向旋转台的方向的第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的中心线与掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合；

控制沿托盘指向旋转台的方向，版叉的第1组至第n组吸盘沿竖直方向向掩膜版运动并对掩膜版吸附；其中，第一方向和第二方向均为水平方向；

控制机械手将吸附的掩膜版沿托盘指向旋转台的方向继续运行第三距离以达到旋转台的第一位置。

可选地，第二距离根据如下公式进行计算：

S1＝D-L1-C，

其中，S1表示第二距离，D表示沿托盘指向旋转台方向第一个吸盘中心到托盘中心的距离，L1表示掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与托盘中心线的距离，C表示托盘指向旋转台的方向第一个吸盘至第n组吸盘中距离第一个吸盘距离最远吸盘中心间距的一半；

第三距离的计算公式如下：

S2＝E-S1，

其中，S2表示第三距离，E表示机械手的最大行程。

可选地，掩膜版的初始位置为沿第二方向，掩膜版的边缘与托盘的边缘齐平。

可选地，掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与托盘中心线的距离L1采用以下公式计算：L1＝D+P-B/2，其中，P表示沿托盘指向旋转台的方向，第一个吸盘中心距离托盘的第一边缘的距离，第一边缘为掩膜版与托盘的边缘齐平的边缘。

可选地，在根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向，选取版叉的第1组至第n组所述吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置之前，还包括：掩膜版和托盘不包括重合的边缘时，测量掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与托盘中心线的距离。

可选地，沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附，并控制机械手沿托盘指向旋转台的方向将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置，包括：

根据掩膜版沿第二方向的尺寸，确定沿旋转台指向托盘的方向，对掩膜版进行吸附的版叉的第1组至第n组吸盘；

控制机械手沿旋转台指向托盘的方向，运行第四距离以使沿旋转台指向托盘的方向的第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的中心线与述掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合；

控制沿旋转台指向托盘的方向，版叉的第1组至第n组吸盘沿竖直方向向掩膜版运动并对掩膜版吸附；其中，第一方向和第二方向均为水平方向；

控制机械手吸附掩膜版沿托盘指向旋转台的方向继续运行第五距离以达到旋转台的第二位置。

可选地，第四距离根据如下公式进行计算：

S4＝385-B/2-F，

其中，S4表示第四距离，B表示掩膜版沿第二方向的尺寸，F表示沿旋转台指向托盘方向，第一个吸盘和第n组吸盘中距离第一个吸盘最远吸盘中心间距的一半；

第五距离的计算公式如下：

S5＝G-B，

其中，G表示旋转台沿第二方向的尺寸。

可选地，预设距离大于掩膜版沿第一方向尺寸的一半，且小于掩膜版沿第一方向的尺寸。

可选地，沿托盘指向旋转台的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置时，机械手运行距离大于或等于(E-15)mm，其中E表示机械手的最大行程。

本发明实施例提供的掩膜版传输方法，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，先控制机械手采用沿托盘指向旋转台方向的第1组至第n组吸盘于托盘中吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置；再控制机械手沿旋转台指向托盘方向运动第一距离，采用沿旋转台指向托盘方向的第1组至第n组吸盘于旋转台第一位置上吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从旋转台的第一位置传输至第二位置，第二位置为夹爪交接位；充分的利用了版叉长度，使得夹爪能够于旋转台的第二位置仅用一个步骤便可将掩膜版传输至工件台，解决了夹爪必须采用两个步骤才能将掩膜版传输至工件台而耗费大量时间成本的问题，克服了以往机械手和夹爪自身行程限制所带来的技术障碍，减少了将掩膜版从托盘传输至工件台的时间，提高了掩膜版传输效率，进而更有利于掩膜版的批量传输。

附图说明

图1为现有技术中的将掩膜版传输至网框的过程中掩膜版在水平方向依次途经的应用设备的示意图；

图2为本发明实施例一的提供的一种掩膜版传输方法的流程图；

图3为本发明实施例一提供的将掩膜版从托盘传输至旋转台的过程中掩膜版在托盘上时的结构示意图；

图4为本发明实施例一提供的将掩膜版从托盘传输至旋转台的过程中掩膜版在旋转台上时的结构示意图；

图5为本发明实施例二的提供的一种掩膜版传输方法的流程图；

图6为本发明实施例三提供的一种掩膜版传输方法的流程图；

图7为本实施例四提供的一种掩膜版传输方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1为现有技术中将掩膜版传输至网框的过程中掩膜版在水平方向依次途经的应用设备的示意图，如图1所示，掩膜版在水平方向依次途经托盘T、旋转台R、工件台W三个应用设备，现有技术的掩膜版传输方法中，将掩膜版传输至网框的过程中主要分为三个步骤，第一个步骤是机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的前端R-1，机械手受自身行程限制只能将掩膜版从托盘传输至旋转台的前端，第二个步骤是夹爪将掩膜版从旋转台的前端传输至旋转台的后端R-2，第三个步骤是夹爪将掩膜版从旋转台的后端传输至工件台，由于夹爪受自身行程限制无法通过一次搬运将掩膜版从旋转台的前端传输至工件台，而是需要上述第二个步骤和第三个步骤中的两次搬运过程。在这个过程中，由于夹爪夹取掩膜版以及传输掩膜版的技术工艺复杂度高，因此夹爪的两次传输大大增加了传输的时间成本，进而影响了整体的掩膜版传输效率，基于上述问题，本发明实施例提供的一种掩膜版传输方法以提高掩膜版传输效率，其中掩膜版传输方法具体可参见本发明以下实施例。

实施例一

图2为本发明实施例一的提供的一种掩膜版传输方法的流程图，该掩膜版传输方法采用机械手进行搬运，机械手包括至少两个第一方向具有预设距离的版叉；每个版叉包括m组对称分布的吸盘，每组吸盘包括至少一个吸盘，各吸盘沿第二方向等间距排列，第一方向和第二方向垂直；如图2所示，该掩膜版传输方法包括：

S100，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置，其中，n和m均为正整数。

图3为本发明实施例一提供的将掩膜版从托盘传输至旋转台的过程中掩膜版在托盘上时的结构示意图，如图3所示，附图标记中R代表旋转台且T代表托盘，托盘上载有掩膜版k，掩膜版k沿第一方向x、第二方向y均有一定尺寸。例如掩膜版k可以呈长条状，其中，图3中掩膜版k所在位置可以为其在托盘上的初始位置，即掩膜版k从该位置被传输至旋转台。本实施例是示例性地对机械手包括两个版叉，该两个版叉以及该两个版叉上的吸盘h的分布均关于y轴对称的情况进行说明，两个版叉之间的距离为预设距离。可选地，预设距离大于掩膜版沿第一方向尺寸的一半，且小于掩膜版沿第一方向的尺寸。具体地，预设距离在大于掩膜版沿第一方向尺寸的一半且小于掩膜版沿第一方向尺寸的情况下，相较于预设距离大于掩膜版沿第一方向尺寸或者预设距离小于掩膜版沿第一方向尺寸的一半情况，能够使得用吸盘吸附掩膜版时，掩膜版更容易受力平衡而被稳定吸附。图3中还示例性地仅示意出一个版叉上的吸盘h的分布情况，如图3所示，示例性地，版叉一共包括12组吸盘，其中，第1、2、3、4、9、10、11、12组吸盘中均包括一个吸盘h，第5、6、7、8组吸盘均包括两个吸盘h，各吸盘h沿第二方向等间距排列。图3中还涉及到的参数有，任意两个吸盘h中心的间距为25mm；每个吸盘h的直径为10mm；托盘的沿第二方向的尺寸为525mm；第1组吸盘也就是第一个吸盘h的中心，与托盘远离旋转台的一条边相距10mm；第1组吸盘也就是第一个吸盘h的最外侧，与第12组吸盘的最外侧吸盘h的最外侧的距离为385mm；第1组吸盘也就是第一个吸盘h的中心到托盘中心的距离为252.5mm；掩膜版k的远离旋转台的边与托盘的远离旋转台的边重合。

需要说明的是，版叉所包括的吸盘组数也可多于或少于12组，每组吸盘所包括的吸盘h的个数也不限于一个或两个，本实施例在此不做具体限定；并且关于以上尺寸参数，可以根据张网设备的不同可能会存在差异，本发明实施例在此不做具体限定。

参考图3，根据掩膜版k沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，n小于等于吸盘h的总组数m。当根据掩膜版k沿第二方向的尺寸选中位于掩膜版k第一侧的版叉(其中，第一侧的版叉可以是图3所示出吸盘h的结构的版叉)的第1组至第n组吸盘时，与之对称的，位于掩膜版k第二侧的版叉(与第一侧版叉的吸盘h的结构关于y轴对称，图中未示出)的第1组至第n组吸盘也被选中，同时，所选中的第1组至第n组吸盘中各吸盘h能够关于掩膜版k的第二方向尺寸的中心线对称分布，以保证吸附掩膜版k时，吸盘h可以牢牢将掩膜版k吸附，保证传输稳定性。

可选地，第1组至第n组吸盘中各吸盘关于掩膜版的第二方向尺寸的中心线对称分布；并且，当1≤n≤m-1时，第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线距离小于或等于掩膜版的第二方向尺寸，且第1组至第(n+1)组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的距离大于掩膜版沿第二方向尺寸；当n＝m时，第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的距离小于或等于掩膜版沿第二方向尺寸。这里，掩膜版沿第二方向的尺寸发生变化时，对应的选中的用于吸附掩膜版的吸盘的个数随之改变，保证选中的所有吸盘共同吸附掩膜版时能将掩膜版吸住不掉落。具体地，在选中第1组至第n组吸盘时，若1≤n≤m-1，则第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线距离小于或等于掩膜版的第二方向尺寸，且第1组至第(n+1)组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的距离大于掩膜版沿第二方向尺寸，若n＝m，则第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的距离小于或等于掩膜版沿第二方向尺寸。这样，掩膜版在托盘的任意位置时，均能够保证所选中的第1组至第n组吸盘与掩膜版沿第二方向的尺寸相适应，即第1组吸盘与第n组吸盘的最外侧吸盘之间的间距既不会超过掩膜版沿第二方向的尺寸，避免选择过多的吸盘组导致资源浪费，也不会太小于掩膜版沿第二方向的尺寸，证选中的所有吸盘共同吸附掩膜版时能将掩膜版吸住不掉落。基于上述说明，利用沿托盘指向旋转台的方向所选取的版叉的第1组至第n组吸盘，将放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版k从托盘传输至旋转台的第一位置，旋转台的第一位置可以是旋转台上靠近托盘的一条线(具体可参考图1，其中第一位置为直线R-1所在位置，第二位置可以为直线R-2所在位置)。

S200，控制机械手沿旋转台指向托盘的方向运动第一距离，第一距离最大为版叉的最外侧两个吸盘的最外侧之间的距离。

具体地，控制机械手运动第一距离，以为再次吸附掩膜版并将其从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置做准备。图4为本发明实施例一提供的将掩膜版从托盘运输至旋转台的过程中掩膜版在旋转台上时的结构示意图，如图4所示，附图标记中T代表托盘且R代表旋转台，图4中示例性示意出的版叉上其上的吸盘分布与图3中示例性示意出的版叉及其上的吸盘分布相同，旋转台的第一位置上放置有掩膜版k，将掩膜版k放置在旋转台的第一位置时，掩膜版k的沿第一方向延伸且靠近托盘的一条边与图4中直线R-1所在位置重合。以图4所示情况为例，掩膜版k的沿第一方向延伸且靠近托盘的一条边，与旋转台最靠近托盘的边距离为15mm，即直线R-1所在位置(第一位置)与旋转台最靠近托盘的边的距离为15mm，在实际计算过程中，该15mm可忽略不计。控制机械手沿旋转台指向托盘的方向运动第一距离，第一距离最大为版叉的最外侧两个吸盘的最外侧距离，如图4中，即第一组吸盘(也即第一个吸盘h)和第十二组吸盘中最外侧吸盘h最外侧的距离，该距离与图3中相一致均为385mm。参照图4，示例性地，掩膜版k沿第二方向的尺寸为20mm，此时，仅需在掩膜版k的第一侧和第二侧分别选中一个吸盘h便足够将掩膜版k吸附，因此，机械手运动第一距离可以是，将沿托盘指向旋转台方向的第12组吸盘中仅有的一个吸盘h的中心线，运动至与放置在旋转台的第一位置上的掩膜版k的中心线重合；对比在机械手运动第一距离之前，是沿托盘指向旋转台方向的第1组吸盘中的仅有的一个吸盘h的中心线，与放置于旋转台的第一位置上的掩膜版k的中心线重合；由此一来，因为第1组吸盘中仅有的一个吸盘h与第12组吸盘中仅有的第一个吸盘的中心间距接近于版叉沿第二方向的尺寸(版叉的长度)，那么在机械手运动第一距离之后再对掩膜版k重新吸附时，便可充分利用版叉的长度将掩膜版k从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置，以克服机械手及夹爪自身行程限制，改进对掩膜版的传输方法，进而保证提高对掩膜版k的传输效率。

S300，沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附，并控制机械手沿托盘指向旋转台的方向将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置，第二位置为夹爪交接位。

具体地，在机械手运动第一距离之后，沿托盘指向旋转台的方向的第12组吸盘开始，沿旋转台指向托盘方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版k进行吸附，并控制机械手沿托盘指向旋转台的方向将掩膜版k从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置。将掩膜版k放置在旋转台的第二位置时，可以将掩膜版k尽量靠近工件台放置以便夹爪夹取。图4中示例性地，掩膜版k沿第一方向延伸的且靠近工件台的一条边，与旋转台第二位置所在线条R-2重合，且线条R-2与旋转台靠近工件台的边的间距为15mm(在实际计算过程中，该15mm可忽略不计)。

可选的，本发明实施例提供的掩膜版传输方法，可适用于OLED小分子等有机材料的蒸镀产线中的张网设备中机械手的控制，掩膜版可以是蒸镀网版或者金属薄膜，金属薄膜可以为，Invar材料，长度为1200mm，宽度为20mm～400mm，厚度为5um～50um的金属薄膜。

本发明实施例提供的掩膜版传输方法，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，先控制机械手采用沿托盘指向旋转台方向的第1组至第n组吸盘于托盘中吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置；再控制机械手沿旋转台指向托盘方向运动第一距离，以充分利用版叉长度，采用沿旋转台指向托盘方向的第1组至第n组吸盘于旋转台第一位置上吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从旋转台的第一位置传输至第二位置，第二位置为夹爪交接位，从而使得夹爪能够于旋转台的第二位置仅用一个步骤便可将掩膜版传输至工件台，大大降低了夹爪必须采用两个步骤才能将掩膜版传输至工件台而耗费的时间成本。即本发明实施例通过根据掩膜版沿第二方向的尺寸和掩膜版初始位置，对机械手进行行程规划，进而充分利用机械手版叉的长度，使得机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置，再将掩膜版从旋转台的第一位置传输至第二位置，以克服以往机械手和夹爪自身行程限制所带来的技术障碍，提高了掩膜版传输效率，更有利于掩膜版的批量传输。

实施例二

本实施例是对上述实施例一的进一步细化，可选地，沿托盘指向旋转台的方向，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置，包括：

掩膜版沿第二方向的尺寸B为1.5d≤B<(M+20)时，选取沿托盘指向旋转台的方向的第1组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附，其中d表示吸盘的直径，M表示沿托盘指向旋转台的方向，第1组吸盘和第2组吸盘的中心间距；

掩膜版沿第二方向的尺寸B为(A0+20)≤B<(A1+20)时，其中，A0为沿托盘指向旋转台的方向，第1组吸盘至第n组吸盘中距离第1组吸盘最远吸盘的中心距离，A1为第1组吸盘至第n+1组吸盘中距离第1组吸盘最远吸盘的中心距离，选取版叉的第1组吸盘至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附；

控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置。

具体的，因传输掩膜版时，不管是上述实施例中步骤100或者步骤300，均从最边缘的吸盘组作为第1组吸盘进行选取，因此靠近边缘处的吸盘组所包括的吸盘个数较多时，对较小尺寸的掩膜版吸附效果会较差，或者浪费资源。示例性的，当掩膜版第二方向尺寸很小，只用一个吸盘即可吸附时，若设置最靠近边缘的吸盘组(可以是沿托盘指向旋转台的方向的第1组吸盘，也可以是沿旋转台指向托盘方向的第1组吸盘)的吸盘的个数多于一个时，则需要对最靠近吸盘边缘的吸盘组中的吸盘全部抽真空，造成资源浪费，并且一组中其他吸盘抽真空可能会对吸附掩膜版的吸盘造成影响，进而使得吸盘对掩膜版的吸附稳定性下降。本实施例中设置沿托盘指向旋转台的方向，第1组吸盘和第2组吸盘均包括一个吸盘可以使得掩膜版在第二方向上尺寸较小时，版叉的吸盘可以对掩膜版具有稳定吸附作用，且避免资源浪费。因版叉的吸盘对称分布，因此沿旋转台指向托盘方向的第1组吸盘和第2组吸盘也均包括一个吸盘。

图5为本发明实施例二的提供的一种掩膜版传输方法的示意图，如图5所示，该掩膜版传输方法包括；沿托盘指向旋转台的方向，第1组吸盘和第2组吸盘均包括一个吸盘；

S110，掩膜版沿第二方向的尺寸B为1.5d≤B<(M+20)时，选取沿托盘指向旋转台的方向的第1组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附，其中，d表示吸盘的直径，M表示沿托盘指向旋转台的方向，第1组吸盘和第2组吸盘的中心间距；

掩膜版沿第二方向的尺寸B为(A0+20)≤B<(A1+20)时，其中A0为沿托盘指向旋转台的方向，第1组吸盘至第n组吸盘中距离第1组吸盘最远吸盘的中心距离，A1为第1组吸盘至第n+1组吸盘中距离第1组吸盘最远吸盘的中心距离，选取版叉的第1组吸盘至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附。

具体地，可根据掩膜版沿第二方向的尺寸选取版叉上的吸盘组对掩膜版进行吸附。可继续参考图3，沿托盘指向旋转台的方向，M为第一个吸盘h和第二个吸盘h的中心间距，且已知该间距为25mm，则图3所示掩膜版k沿第二方向的尺寸B＝20时，15≤B<45，此时，选取第一个吸盘h对放置在托盘上的掩膜版k进行吸附。可继续参考图3，示例性的，n＝6时，则A0为第1组吸盘至第6组吸盘中距离第1组吸盘最远吸盘h的中心距离，即A0为第一个吸盘h至第6组吸盘中距离第一个吸盘h最远吸盘h的中心距离，因此A0等于175mm，A1为第1组吸盘至第6+1组吸盘中距离第1组吸盘最远吸盘h的中心距离，即A0为第一个吸盘h至第7组吸盘中距离第一个吸盘h最远吸盘h的中心距离，因此A1等于225mm，因此掩膜版k沿第二方向的尺寸B为195≤B<245时，则选取版叉的第1组吸盘至第6组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版k进行吸附。

S120，控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置。

具体地，控制机械手将被所选中的所有吸盘吸附的掩膜版传输至旋转台的第一位置。

S200，控制机械手沿旋转台指向托盘的方向运动第一距离，第一距离最大为版叉的最外侧两个吸盘的最外侧距离。

S300，沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附，并控制机械手沿托盘指向旋转台的方向将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置，第二位置为夹爪交接位。

本发明实施例提供的掩膜版传输方法，通过根据掩膜版沿第二方向尺寸、掩膜版的初始位置以及机械手的版叉上的吸盘分布，对吸附掩膜版的吸盘的选择方法进行总结和归纳，保证所选中吸盘对掩膜版的稳定吸附，且避免了利用全部吸盘对掩膜版进行吸附而造成的资源浪费。

实施例三

本实施是对上述实施例一的进一步细化，可选地，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置，包括：

根据掩膜版沿第二方向的尺寸，确定沿托盘指向旋转台的方向，对掩膜版进行吸附的版叉的第1组至第n组吸盘；

控制机械手沿托盘指向旋转台的方向，运行第二距离以使沿托盘指向旋转台的方向的第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的中心线与掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合；

控制沿托盘指向旋转台的方向，版叉的第1组至第n组吸盘沿竖直方向向掩膜版运动并对掩膜版吸附；其中，第一方向和第二方向均为水平方向；

控制机械手吸附掩膜版沿托盘指向旋转台的方向继续运行第三距离以达到旋转台的第一位置。

图6为本发明实施例三提供的一种掩膜版传输方法的示意图，如图6所示，该掩膜版传输方法包括：

S101，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，确定沿托盘指向旋转台的方向，对掩膜版进行吸附的版叉的第1组至第n组吸盘。

具体地，可采用实施例二中的S110的方法，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，确定沿托盘指向旋转台的方向，对掩膜版进行吸附的版叉的第1组至第n组吸盘。

S102，控制机械手沿托盘指向旋转台的方向，运行第二距离以使沿托盘指向旋转台的方向的第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的中心线与掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合。

具体地，确定对掩膜版进行吸附的吸盘组之后，控制机械手运行第二距离，以使沿托盘指向旋转台的方向的第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的中心线与掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合，即以将所确定的吸盘组的中心与位于托盘上的掩膜版的中心重合，以备吸附掩膜版。

可选地，第二距离根据如下公式进行计算：S1＝D-L1-C，其中，S1表示第二距离，D表示沿托盘指向旋转台方向第一个吸盘中心到托盘中心的距离，L1表示掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与托盘中心线的距离，C表示托盘指向旋转台的方向第一个吸盘至第n组吸盘中距离第一个吸盘距离最远吸盘中心间距的一半。

示例性地，可继续参考图3并根据图3中的前述相关参数，若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于44mm，则L1等于240.5mm，所选取的吸盘组为第1吸盘组，C等于0，得到第二距离S1等于12mm；若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于20mm，则L1等于252.5mm，C等于0，得到S1等于0；若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于45mm，则L1等于240mm，所选取的吸盘组为第1吸盘组和第2吸盘组，C等于12.5mm，得到S1等于0；若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于64mm，则L1等于230.5mm，C等于12.5mm，得到S1等于9.5mm。

可选地，掩膜版的初始位置为沿第二方向，掩膜版的边缘与托盘的边缘齐平。

可选地，掩膜版的初始位置为沿第二方向，掩膜版的边缘与托盘的边缘齐平时，掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与托盘中心线的距离L1采用以下公式计算：L1＝D+P-B/2，其中，P表示沿托盘指向旋转台的方向，第一个吸盘中心距离托盘的第一边缘的距离，第一边缘为掩膜版与托盘的边缘齐平的边缘。

具体地，可继续参考图3，图3中所示意的掩膜版k的初始位置是掩膜版k与托盘的边缘齐平，已知图3中第一个吸盘h中心距离托盘的第一边缘的距离为10mm，即P等于10mm；若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于44mm，第一个吸盘h的中心到托盘中心的距离为252.5mm，则L1等于240.5mm。

可选地，在根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向，选取版叉的第1组至第n组所述吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置之前，还包括：掩膜版和托盘不包括重合的边缘时，测量掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与托盘中心线的距离。

具体地，当掩膜版和托盘不包括重合的边缘时，即掩膜版的初始位置不是掩膜版与托盘的边缘齐平，则测量掩膜版此时的初始位置沿第二方向尺寸的中心线与托盘中心线的距离，用测量的该距离替代第二距离的公式S1＝D-L1-C中的L1，以计算出第二距离S1。

S103，控制沿托盘指向旋转台的方向，版叉的第1组至第n组吸盘沿竖直方向向掩膜版运动并对掩膜版吸附；其中，第一方向和第二方向均为水平方向。

具体地，控制机械手运行第二距离之后，对所选中的吸盘组进行抽真空并同时在竖直方向上将掩膜版吸附住。

可选地，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附，之后还包括：

根据沿托盘指向旋转台的方向的第一个吸盘的真空判断吸盘是否吸附住掩膜版。

具体地，在利用版叉上的吸盘对掩膜版进行吸附时，版叉上被选中的吸盘和没有被选中的吸盘会同时与掩膜版接触，在接触之后，对选中的吸盘进行抽真空操作以吸附掩膜版。抽真空时，可以以第一个吸盘为基准对所有所选中的吸盘进行抽真空操作，且所有所选中的吸盘抽真空时为一通路，因此，在抽真空的过程中，还可以以第一个吸盘为准检测并判断抽气质量以及掩膜版是否被吸附住。另外，在沿托盘指向旋转台的方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附之后，是根据沿托盘指向旋转台的方向的第一个吸盘的真空判断吸盘是否吸附住掩膜版。

S104，控制机械手将吸附的掩膜版沿托盘指向旋转台的方向继续运行第三距离以达到旋转台的第一位置。

可选地，第三距离的计算公式如下：S2＝E-S1，其中，S2表示第三距离，E表示机械手的最大行程。

具体地，机械手在理论上的最大行程为900mm时，在实际操作过程中，其最大行程E取890mm，当第二距离S1等于12mm时，控制机械手将吸附的掩膜版沿托盘指向旋转台的方向继续运行第三距离S2为878mm以到达旋转台的第一位置。

可选地，沿托盘指向旋转台的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置时，机械手运行距离大于或等于(E-15)mm，其中E表示机械手的最大行程。

具体地，机械手在理论上的最大行程为900mm时，即机械手自身行程限制在900mm。在实际操作过程中，其最大行程E取890mm，而通常会使得机械手运行885mm或者介于900mm与885mm之间以保证对机械手的维护。因此对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置时，机械手运行距离大于或等于(E-15)mm，且此时即便是机械手以900mm运行至旋转台，也依然无法将掩膜版准确传输至旋转台的第二位置，因此需要再规划出将掩膜版从旋转台的第一位置传输至第二位置所需运行的距离，控制机械手将掩膜版准确传输至旋转台的第二位置。

S200，控制机械手沿旋转台指向托盘的方向运动第一距离，第一距离最大为版叉的最外侧两个吸盘的最外侧距离。

S300，沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附，并控制机械手沿托盘指向旋转台的方向将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置，第二位置为夹爪交接位。

本发明实施例提供的掩膜版传输方法，通过根据掩膜版沿第二方向尺寸、掩膜版的初始位置以及机械手的版叉上的吸盘分布，对机械手将位于托盘的掩膜版的吸附路径，以及在掩膜版被吸附之后将其从托盘传输至旋转台的第一位置的所要运行的距离进行总结、归纳、计算和规划，并最终以公式形式进行体现，进而可以使得对掩膜版进行传输时，通过通用的计算公式即可计算出掩膜版从托盘初始位置运动至旋转台的第一位置需要运行的距离，然后将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置供夹爪将掩膜版一次传输至工件台，减少了夹爪对掩膜版的传输时间，提高了整体的掩膜版传输效率。

实施例四

本实施例是对上述实施例一的进一步细化，可选地，沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附，并控制机械手沿托盘指向旋转台的方向将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置，包括：

根据掩膜版沿第二方向的尺寸，确定沿旋转台指向托盘的方向，对掩膜版进行吸附的版叉的第1组至第n组吸盘；

控制机械手沿旋转台指向托盘的方向，运行第四距离以使沿旋转台指向托盘的方向的第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的中心线与述掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合；

控制沿旋转台指向托盘的方向，版叉的第1组至第n组吸盘沿竖直方向向掩膜版运动并对掩膜版吸附；其中，第一方向和第二方向均为水平方向；

控制机械手吸附掩膜版沿托盘指向旋转台的方向继续运行第五距离以达到旋转台的第二位置。

图7为本实施例四提供的一种掩膜版传输方法的示意图，如图7所示，该掩膜版传输方法包括：

S100，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置，其中n和m均为正整数。

S200，控制机械手沿旋转台指向托盘的方向运动第一距离，第一距离最大为版叉的最外侧两个吸盘的最外侧距离。

S301，根据掩膜版沿第二方向的尺寸，确定沿旋转台指向托盘的方向，对掩膜版进行吸附的版叉的第1组至第n组吸盘。

具体地，可继续参考图4，此时沿托盘指向旋转台方向的第12组吸盘作为沿旋转台指向托盘的第1组吸盘，可采用实施例二中的S110的方法，确定沿旋转台指向托盘的方向，对掩膜版进行吸附的版叉的第1组至第n组吸盘。

S302，控制机械手沿旋转台指向托盘的方向，运行第四距离以使沿旋转台指向托盘的方向的第1组至第n组吸盘中最外侧两个吸盘的最外侧连线的中心线与述掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合。

可选地，第四距离根据如下公式进行计算：S4＝385-B/2-F，其中，S4表示第四距离，B表示掩膜版沿第二方向的尺寸，F表示沿旋转台指向托盘方向，第一个吸盘和第n组吸盘中距离第一个吸盘最远吸盘中心间距的一半。

具体地，确定对掩膜版进行吸附的吸盘组之后，控制机械手运行第四距离，以将所确定的吸盘组的中线与位于旋转台的第一位置的掩膜版的中线重合，以备吸附掩膜版。可继续参考图4，已知图4中第一个吸盘h和第十二组吸盘h的最外侧吸盘距离为385mm，且此时的第1组吸盘的中心距离掩膜版k靠近旋转台的第二位置的边的距离为10mm，示例性地，若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于44mm，所选取的吸盘组为第1吸盘组，则F等于0，得到S4等于363mm；若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于20mm，F等于0，得到S4等于375mm；若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于45mm，所选取的吸盘组为第1吸盘组和第2吸盘组，即此时的第12吸盘组和第11吸盘组，则F等于12.5mm，得到S4等于350mm；若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于64mm，F等于12.5mm，得到S4等于331mm。

S303，控制沿旋转台指向托盘的方向，版叉的第1组至第n组吸盘沿竖直方向向掩膜版运动并对掩膜版吸附；其中，第一方向和第二方向均为水平方向。

具体地，控制机械手运行第四距离之后，对所选中的吸盘组进行抽真空并同时在竖直方向上将掩膜版吸附住。

可选地，在沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附，之后还包括：

根据旋转台指向托盘方向的第一个吸盘的真空判断吸盘是否吸附住掩膜版。

具体地，在沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附之后，根据旋转台指向托盘方向的第一个吸盘的真空判断吸盘是否吸附住掩膜版，即以第一个吸盘为基准判断吸盘是否吸附住掩膜版。

S304，控制机械手吸附掩膜版沿托盘指向旋转台的方向继续运行第五距离以达到旋转台的第二位置。

可选地，第五距离的计算公式如下：S5＝G-B，其中，G表示旋转台沿第二方向的尺寸。

具体地，可继续参考图4，图4中所示的旋转台沿第二方向的尺寸为430mm，而在实际计算过程中，掩膜版k的沿第一方向延伸且靠近托盘的一条边，与旋转台的第一位置所在线条R-1的距离为15mm，该15mm可忽略不计，以及，掩膜版k沿第一方向的延伸且靠近工件台的一条边，与旋转台第二位置所在线条R-2的间距为15mm，该15mm可忽略不计，因此，旋转台沿第二方向的尺寸可直接取400mm进行计算，若掩膜版k沿第二方向的尺寸B等于44mm，则控制机械手吸附掩膜版k沿托盘指向旋转台的方向继续运行356mm。

可选地，在根据掩膜版沿第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在托盘上的掩膜版进行吸附并控制机械手将掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置之后，以及沿旋转台指向托盘的方向，选取版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在旋转台的第一位置处的掩膜版进行吸附，并控制机械手沿托盘指向旋转台的方向将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置之后还包括：检测掩膜版在旋转台上是否有偏移，以判断掩膜版在旋转台上是否到位。

具体地，机械手的版叉上可以设置有传感器，该传感器在版叉连带吸盘运行至托盘、旋转台的任意位置时，均可以检测当前版叉停留的位置有无掩膜版存在，也可以在目标位置检测没有掩膜版存在，若不存在掩膜版，则掩膜版存在放偏于目标位置的可能，进而帮助工作人员对掩膜版的位置及时人工调整。

本发明实施例提供的掩膜版传输方法，通过根据掩膜版沿第二方向尺寸、掩膜版的初始位置以及机械手的版叉上的吸盘分布，对机械手将位于旋转台第一位置的掩膜版的吸附路径，以及在掩膜版被吸附之后将其从旋转台第一位置传输至旋转台的第二位置的所要运行的距离进行总结、归纳、计算和规划，并最终以公式形式进行体现，进而可以使得对掩膜版进行传输时，通过通用的计算公式即可计算出掩膜版从旋转台第一位置运动至旋转台的第二位置需要运行的距离，然后依照该距离将掩膜版从旋转台的第一位置传输至旋转台的第二位置供夹爪将掩膜版一次传输至工件台，减少了夹爪对掩膜版的传输时间，提高了整体的掩膜版传输效率。

综上所述，本发明实施例提供的掩膜版传输方法，根据掩膜版沿第二方向的尺寸和掩膜版的初始位置，先控制机械手沿托盘指向旋转台方向运行第二距离，以采用沿托盘指向旋转台方向的第1组至第n组吸盘于托盘中吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向运行第三距离，以将所吸附的掩膜版从托盘传输至旋转台的第一位置；再控制机械手沿旋转台指向托盘方向运动第一距离，以充分利用版叉长度，沿旋转台指向托盘方向运行第四距离，以采用沿旋转台指向托盘方向的第1组至第n组吸盘于旋转台第一位置上吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向运行第五距离，以将所吸附的掩膜版从旋转台的第一位置传输至第二位置，从而使得夹爪能够于旋转台的第二位置仅用一个步骤便可将掩膜版传输至工件台，大大降低了夹爪必须采用两个步骤才能将掩膜版传输至工件台而耗费的时间成本。即本发明实施例通过根据掩膜版沿第二方向的尺寸和掩膜版初始位置，对机械手提高了掩膜版传输效率，进而更有利于掩膜版的批量传输。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (11)

1.一种掩膜版传输方法，其特征在于，采用机械手进行搬运，所述机械手包括至少两个第一方向具有预设距离的版叉；每个所述版叉包括m组对称分布的吸盘，每组吸盘包括至少一个所述吸盘，各所述吸盘沿第二方向等间距排列，所述第一方向和所述第二方向垂直；所述掩膜版传输方法包括：

根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取所述版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附并控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置；

控制所述机械手沿所述旋转台指向所述托盘的方向缩回运动第一距离，所述第一距离最大为所述版叉的最外侧两个所述吸盘的最外侧距离；

沿所述旋转台指向所述托盘的方向，选取所述版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在所述旋转台的第一位置处的所述掩膜版进行吸附，并控制所述机械手沿所述托盘指向所述旋转台的方向将所述掩膜版从所述旋转台的第一位置传输至所述旋转台的第二位置，所述第二位置为夹爪交接位；

其中，m和n均为整数且n≤m。

2.根据权利要求1所述的掩膜版传输方法，其特征在于，沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取所述版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附并控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置，包括：

所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸B为1.5d≤B<(M+20)时，选取沿所述托盘指向所述旋转台的方向的所述第1组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附，其中，d表示所述吸盘的直径，M表示沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述第1组吸盘和所述第2组吸盘的中心间距；

所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸B为(A0+20)≤B<(A1+20)时，其中，A0为沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述第1组吸盘至所述第n组吸盘中距离所述第1组吸盘最远吸盘的中心距离，A1为所述第1组吸盘至第n+1组吸盘中距离所述第1组吸盘最远吸盘的中心距离，选取所述版叉的所述第1组吸盘至所述第n组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附；

控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置。

3.根据权利要求1所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向，选取所述版叉的第1组至第n组吸盘对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附并控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置，包括：

根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，确定沿所述托盘指向所述旋转台的方向，对所述掩膜版进行吸附的所述版叉的所述第1组至所述第n组吸盘；

控制所述机械手沿所述托盘指向所述旋转台的方向，运行第二距离以使沿所述托盘指向所述旋转台的方向的所述第1组至所述第n组吸盘中最外侧两个所述吸盘的最外侧连线的中心线与所述掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合；

控制沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述版叉的所述第1组至所述第n组吸盘沿竖直方向向所述掩膜版运动并对所述掩膜版吸附；其中，所述第一方向和所述第二方向均为水平方向；

控制所述机械手将吸附的所述掩膜版沿所述托盘指向所述旋转台的方向继续运行第三距离以达到所述旋转台的第一位置。

4.根据权利要求3所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述第二距离根据如下公式进行计算：

S1＝D-L1-C，

其中，S1表示所述第二距离，D表示沿所述托盘指向所述旋转台方向第一个所述吸盘中心到所述托盘中心的距离，L1表示所述掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与所述托盘中心线的距离，C表示所述托盘指向所述旋转台的方向第一个所述吸盘至所述第n组吸盘中距离第一个所述吸盘距离最远吸盘中心间距的一半；

所述第三距离的计算公式如下：

S2＝E-S1，

其中，S2表示所述第三距离，E表示所述机械手的最大行程。

5.根据权利要求3所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述掩膜版的初始位置为沿所述第二方向，所述掩膜版的边缘与所述托盘的边缘齐平。

6.根据权利要求5所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与所述托盘中心线的距离L1采用以下公式计算：

L1＝D+P-B/2，

其中，P表示沿所述托盘指向所述旋转台的方向，第一个所述吸盘中心距离所述托盘的第一边缘的距离，所述第一边缘为所述掩膜版与所述托盘的边缘齐平的边缘。

7.根据权利要求3所述的掩膜版传输方法，其特征在于，在所述根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向，选取所述版叉的第1组至第n组所述吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附并控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置之前，还包括：

所述掩膜版和所述托盘不包括重合的边缘时，测量所述掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与所述托盘中心线的距离。

8.根据权利要求1所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述沿所述旋转台指向所述托盘的方向，选取所述版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在所述旋转台的第一位置处的所述掩膜版进行吸附，并控制所述机械手沿所述托盘指向所述旋转台的方向将所述掩膜版从所述旋转台的第一位置传输至所述旋转台的第二位置，包括：

根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，确定沿所述旋转台指向所述托盘的方向，对所述掩膜版进行吸附的所述版叉的所述第1组至第n组吸盘；

控制所述机械手沿所述旋转台指向所述托盘的方向，运行第四距离以使沿所述旋转台指向所述托盘的方向的所述第1组至所述第n组吸盘中最外侧两个所述吸盘的最外侧连线的中心线与所述掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合；

控制沿所述旋转台指向所述托盘的方向，所述版叉的所述第1组至所述第n组吸盘沿竖直方向向所述掩膜版运动并对所述掩膜版吸附；其中，所述第一方向和所述第二方向均为水平方向；

控制所述机械手吸附所述掩膜版沿所述托盘指向所述旋转台的方向继续运行第五距离以达到所述旋转台的第二位置。

9.根据权利要求7所述的掩膜版传输方法，其特征在于，

所述第四距离根据如下公式进行计算：

S4＝385-B/2-F，

其中，S4表示所述第四距离，B表示所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，F表示沿所述旋转台指向所述托盘方向，第一个所述吸盘和所述第n组吸盘中距离所述第一个吸盘最远吸盘中心间距的一半；

所述第五距离的计算公式如下：

S5＝G-B，

其中，G表示所述旋转台沿所述第二方向的尺寸。

10.根据权利要求1所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述预设距离大于所述掩膜版沿所述第一方向尺寸的一半，且小于所述掩膜版沿所述第一方向的尺寸。

11.根据权利要求1所述的掩膜版传输方法，其特征在于，沿所述托盘指向所述旋转台的方向，选取所述版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附并控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置时，所述机械手运行距离大于或等于(E-15)mm，其中E表示所述机械手的最大行程。

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