CN206209287U - 掩模版传输系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种传输大尺寸掩模版的掩模版传输系统；该掩模版传输系统包括版库，缓存台，机械手运动模组，掩模台，其中，机械手运动模组上对称地搭载有一机械手版叉，减小了大尺寸掩模版在传输过程中因受力不平衡导致其发生倾斜变形的风险。机械手版叉同时设有多个吸附结构与多个吊钩组件，可以有效避免因掩模版受力不均匀而导致的弹性变形，进而增加掩模版传输系统的安全性。缓存台位于版库与掩模台之间，机械手运动模组横跨于缓存台与掩模台之间。版库具有一版库版叉，用于将未曝光的掩模版推送至缓存台或将已曝光的掩模版载运回版库，减小了从版库取放掩模版的复杂度。

Description

掩模版传输系统

技术领域

本实用新型涉及一种传输系统，尤其涉及一种掩模版传输系统。

背景技术

掩模版传输系统是光刻设备的重要组成部分，其对掩模版的安全传输起着至关重要的作用。在平板显示设备的制备工艺中，掩模版的尺寸与重量都不断增大，因此对掩模版传输系统的传输安全性和可靠性的要求也在不断提高。

现有的六代掩模版的传输系统中，掩模版从版库到掩模台的输送主要由取放版机械手与交换版机械手共同参与，即，取放版机械手从版库内取出掩模版至交接位，再由交换版机械手取掩模版至掩模台，因此工作的行程较大，影响传输效率。此外，由于受到空间布局的限制，取放版机械手与交换版机械手均采用悬臂梁的结构，输送大尺寸掩模版的过程中机械手会产生较大的弹性变形。这些因素对大尺寸掩模版的安全、精密传输都会产生不利影响。

为解决上述问题，本实用新型提出了一种掩模版传输系统，尤其是一种传输大尺寸掩模版的掩模版传输系统，不仅可以提高传输效率，也可以大幅度减小掩膜版传输机构的变形，从而实现大尺寸掩模版的安全、可靠、精密传输。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩模版传输系统，能够安全、可靠、精密地传输掩模版，尤其是大尺寸掩模版。

为达到上述目的，本实用新型提出了一种掩模版传输系统，尤其是一种传输大尺寸掩模版的掩模版传输系统，包括：版库；缓存台；机械手运动模组；掩模台。版库用于储存掩模版，并管理掩模版信息。缓存台具有将掩模版输送至与机械手交接工位的作用。机械手运动模组用于搭载机械手版叉。机械手版叉用于传输掩模版。掩模台具有携带未曝光掩模版至曝光工位及携带已曝光掩模版至与机械手版叉交接工位的作用。

优选地，机械手运动模组横跨于缓存台与掩模版之间。

优选地，机械手运动模组下表面设有一滑轨。

优选地，所述机械手版叉包括机械手版叉第一部和与其连接的机械手版叉第二部。机械手版叉第一部对称地悬挂于滑轨上，机械手版叉第二部沿与滑轨延伸方向垂直的第二方向运动。

优选地，机械手版叉第二部下表面设有多个吊钩组件与多个吸附结构，多个吊钩组件用于固定掩模版，以减少其弹性形变，多个吸附结构用于吸附掩模版，以增加传输安全性。

优选地，机械手版叉第二部下表面为多边形或圆形。

优选地，吊钩组件设于机械手版叉第二部下表面的周边。

优选地，吸附结构设于机械手版叉第二部下表面，呈圆形或正方形均匀分布。

优选地，多个吸附结构均为柱体真空吸附结构或锥体真空吸附结构。

优选地，机械手版叉第二部的下表面设有粗对准装置，用于在多个吊钩组件获取掩模版时进行预对准操作。

优选地，所述版库具有版库版叉，所述版库版叉具有驱使其沿滑轨延伸的方向运动的第一驱动单元，将未曝光的掩模版推送至缓存台或将已曝光的掩模版载运回版库。

优选地，所述缓存台位于版库与掩模台之间，其具有驱使其沿与滑轨延伸的方向垂直的第二方向运动的第二驱动单元。

优选地，所述掩模台具有驱使其沿第二方向运动的第三驱动单元，同时具有携带掩模版运动至曝光位的第四驱动单元。

综上所述，本实用新型提出的掩模版传输系统中，机械手运动模组横跨于缓存台与掩模台之间，且其下表面设有一滑轨。机械手版叉对称地悬挂在滑轨上，其运动轨迹为直线，传输路径简单，增加了系统传输效率，且降低了系统传输风险；进一步，机械手版叉对称地悬挂在滑轨上，避免使用传统传输大尺寸掩模版过程中的悬臂梁或其他非对称结构，可以有效避免因掩模版受力不均匀而导致的倾斜变形和弹性变形，从而增加了掩模版传输系统的安全性。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例的掩模版传输系统的结构示意图；

图2是图1所述掩模版传输系统的结构俯视图；

图3是图1中机械手版叉结构示意图；

图4是本实用新型实施例中掩模版传输系统中掩模版上版操作流程图；

图5是本实用新型实施例中掩模版传输系统中掩模版下版操作流程图；

图中：

100-机械手运动模组；110-机械手版叉第一部；120-机械手版叉第二部；121-吸附结构；122-吊钩组件；200-版库；210-版库版叉；300-缓存台；400-掩模台；500-待传输掩模版；610-第一交接工位；620-第二交接工位。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细的描述，以充分了解本实用新型的目的、特征和效果。

参考图1、图2以及图3，在本实施例中，滑轨延伸的方向为x方向，与所述滑轨方向垂直的第二方向为y方向，进一步的，所述y方向在竖直平面内垂直于所述滑轨方向，如图3所示。版库200用于储存并管理掩模版，其具有输送掩模版至缓存台300的版库版叉210，版库版叉210传输掩模版的方向为滑轨方向，本实用新型对此不作任何限制。版库版叉210做直线运动将未曝光的掩模版推至缓存台300上；缓存台300位于版库200与掩模台400之间，机械手运动模组100下方；缓存台300运动方向为y方向。机械手运动模组100用于搭载机械手版叉，在版库200与掩模台400之间传输掩模版；掩模台400用于与机械手版叉进行交接掩模版，运动方向包括y方向，还包括携带掩模版至曝光位的运动方向。

在本实施例中，版库200具有存储及输送掩模版至缓存台300的功能，减小了从版库取放掩模版的复杂度，尤其是大尺寸掩模版的取放；且机械手运动模组100横跨于掩模台400与缓存台300上方，因此机械手版叉的运动轨迹为直线，传输路径简单，增加了系统传输效率，且降低了系统风险。

进一步的，参考图3，机械手版叉搭载在机械手运动模组100上，所述机械手版叉包括机械手版叉第一部110和与所述机械手版叉第一部110连接的机械手版叉第二部120。具体的，所述机械手版叉第一部110对称地悬挂在机械手运动模组100下表面的滑轨上；机械手版叉沿x方向运动，机械手第二部120可以沿y方向运动；机械手版叉第二部120的下表面包括但不限于多边形或圆形，本实用新型实施例不对机械手版叉结构、厚度及材料等作任何限制。机械手版叉第二部120的下表面均匀设有多个吸附结构121，机械手版叉第二部120的下表面均匀设有多个吊钩组件122，进一步的，多个吊钩组件122均匀分布于所述机械手版叉第二部120的下表面的周边，如图3所示。

具体的，所述多个吸附结构121具有吸附传输掩模版的功能，多个吸附结构121一端与机械手版叉第二部120下表面连接，另一端为吸嘴组件，例如可为柱体真空吸附结构和/或锥体真空吸附结构，本实用新型对所述多个吸附结构121与机械手版叉第二部120的连接方式以及吸嘴组件的结构等不作任何限制。多个吸附结构121根据掩模版的结构均匀分布在机械手版叉第二部120下表面，可以为圆形分布，也可以为多边形分布，本实用新型实施例对吸附结构121的数量、形状及分布位置等不作任何限制。所述多个吊钩组件122的位置根据掩模版结构与大小分布，可以处于机械手版叉第二部120的下表面的周边，还可以均匀分布于所述机械手版叉第二部120的下表面上，还可以根据掩模版产生的弹性变形设置所述吊钩组件122的数量及形状，本实用新型实施例不对其数量、分布位置及形状等进行任何限制。

机械手版叉第二部120下表面上设有粗对准装置，多个吊钩组件122在缓存台或掩模台上通过粗对准装置进行预对准操作，以便获取掩模版。在本实施例中，机械手版叉第一部110对称地安装在机械手运动模组100下表面的滑轨上，避免使用传统传输大尺寸掩模版过程中的悬臂梁或非对称结构，减小了因受力不均匀导致的掩模版倾斜变形的风险；机械手版叉第二部120同时具有多个吸附结构121及多个吊钩组件122，在传输大尺寸掩模版时，多个吊钩组件122与多个吸附结构121同时作用于掩模版，能有效避免因掩模版受力不均匀而导致的弹性变形。因此，此掩模版传输系统能够安全可靠地传输大尺寸掩模版。

如图4所示，掩模版上版过程如下。

步骤S1：存储若干块掩模版的版库200通过版库版叉210将未曝光的掩模版500沿x方向运输至缓存台300上，缓存台300受第二驱动单元驱动，沿y方向运动至掩模版第一交接工位610；

步骤S2：机械手版叉沿x方向运动至掩模版第一交接工位610上方；

步骤S3：粗对准装置进行预对准操作，机械手版叉第二部120沿y运动方向运动至掩模版第一交接工位610；

步骤S4：机械手版叉第二部120根据掩模版尺寸大小及结构，分配吊钩组件122的位置与形状，多个吊钩组件122运行获取掩模版，同时，多个吸附结构121的吸嘴组件对掩模版进行吸附，对未曝光的掩模版加以保护，机械手版叉此时成功获取掩模版；

步骤S5：机械手版叉第二部120沿y方向运动至机械手运动模组100下方，之后机械手版叉在机械手运动模组100下表面的滑轨上沿x方向运动至第二交接工位620上方，同时，掩模台400受第三驱动单元驱动，沿y方向运动至第二交接工位620，机械手版叉第二部120沿y方向运动至掩模版第二交接工位620与掩模台400交接掩模版；

步骤S6：掩模台400受第四驱动单元驱动，携带掩模版运动至曝光工位，完成掩模版上版过程。

如图5所示，掩模版下版过程如下。

步骤S1：掩模版曝光操作完成后，掩模台400携带已曝光的掩模版运动至掩模版第二交接工位620；机械手版叉在机械手运动模组100上沿x运动方向运动至第二交接工位620上方，同时，粗对准装置进行预对准操作，机械手版叉第二部120沿y运动方向运动至掩模版第二交接工位620；

步骤S2：机械手版叉第二部120的多个吊钩组件122运行获取已曝光掩模版，同时，多个吸附结构121的吸嘴组件对已曝光掩模版进行吸附，对已曝光掩模版加以保护；

步骤S3：机械手版叉第二部120沿y方向运动至机械手运动模组100下方，之后机械手版叉在机械手运动模组100上沿x方向运动至第一交接位610上方，接着机械手版叉第二部120沿y运动方向运动至掩模版第一交接工位610处，同时缓存台300受第二驱动单元驱动，沿y运动方向也运动至掩模版第一交接工位610处，机械手版叉释放已曝光的掩模版，缓存台获取已曝光的掩模版之后受第二驱动单元驱动，沿y方向运动至其初始位置；

步骤S4：版库版叉210从缓存台300上获取已曝光掩模版，受第一驱动单元沿x方向运动将已曝光掩模版输送至版库200内，完成掩模版下版过程。

综上所述，本实用新型提出的掩模版传输系统中，机械手运动模组横跨于缓存台与掩模台之间，且其下表面设有一滑轨。机械手版叉对称地悬挂在滑轨上，其运动轨迹为直线，传输路径简单，增加了系统传输效率，且降低了系统传输风险；进一步，机械手版叉对称地悬挂在滑轨上，避免使用传统传输大尺寸掩模版过程中的悬臂梁或其他非对称结构，可以有效避免因掩模版受力不均匀而导致的倾斜变形和弹性变形，也可以增加掩模版传输系统的安全性。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (18)

1.一种掩模版传输系统，其特征在于，包括：版库，缓存台，机械手运动模组以及掩模台，其中，所述缓存台位于所述版库与掩模台之间，所述机械手运动模组横跨于所述缓存台与掩模台之间，所述机械手运动模组的下表面设有一滑轨，一机械手版叉对称地悬挂于所述滑轨上，并沿所述滑轨在所述缓存台与掩模台之间滑动。

2.如权利要求1所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉包括机械手版叉第一部和与所述机械手版叉第一部连接的机械手版叉第二部，所述机械手版叉第一部悬挂于所述滑轨上，所述机械手版叉第二部沿与所述滑轨延伸的方向垂直的第二方向运动。

3.如权利要求2所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉第二部的下表面的周边均匀设置有多个用于固定掩膜版的吊钩组件。

4.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吊钩组件均为单钩组件。

5.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吊钩组件均为双钩组件。

6.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉第二部的下表面设有所述多个吊钩组件获取掩模版时进行预对准操作的粗对准装置。

7.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉第二部的下表面呈多边形。

8.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉第二部的下表面呈圆形。

9.如权利要求2所述的掩模版传输系统，其特征在于，多个吸附结构均匀分布于所述机械手版叉第二部的下表面上。

10.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结构呈圆形均匀分布。

11.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结 构呈多边形均匀分布。

12.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结构均为真空吸附结构。

13.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结构均为柱体吸附结构。

14.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结构均为锥体吸附结构。

15.如权利要求2所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述缓存台具有驱使所述缓存台沿所述第二方向运动的第二驱动单元。

16.如权利要求2所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述掩模台具有驱使所述掩模台沿所述第二方向运动的第三驱动单元以及驱使所述掩模台向掩模版曝光位运动的第四驱动单元。

17.如权利要求1所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述版库设有用于载运掩模版至所述缓存台的版库版叉。

18.如权利要求17所述掩模版传输系统，其特征在于，所述版库版叉具有驱使所述版库版叉沿所述滑轨延伸的方向运动的第一驱动单元。