CN114199031B - 石墨盘烘烤夹具及烘烤装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种石墨盘烘烤夹具及烘烤装置，所述石墨盘烘烤夹具包括烘烤架(1)，所述烘烤架(1)上安装有多个横梁(2)，每个所述横梁(2)上均设有凹槽(3)，对应所述凹槽(3)构成石墨盘(7)的圆周边；所述烘烤架(1)上还设有两组平行相对的长通孔(4)，所述横梁(2)的两端分别设于一所述长通孔(4)内，在外力作用下，所述横梁(2)旋转和/或沿所述长通孔(4)移动，以调整所述圆周边的半径。本申请实施例的石墨盘烘烤夹具，其烘烤架上设有可供横梁移动和选择的长通孔，横梁能够通过旋转和/或移动来调整支撑角度和支撑位置，从而可以适用于不同半径长度和不同形状的石墨盘。

Description

石墨盘烘烤夹具及烘烤装置

技术领域

本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种石墨盘烘烤夹具及使用该石墨盘烘烤夹具的烘烤装置。

背景技术

随着半导体行业的发展，反应腔内石墨件的种类也越来越多，烤盘炉及烤盘夹具的使用也越来越广泛，因此，各项影响因素也在不断改善中。目前烤盘夹具主要根据石墨件的尺寸制作，功能单一。

发明内容

本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种石墨盘烘烤夹具及使用该石墨盘烘烤夹具的烘烤装置。

根据本申请实施例的第一方面，提供了一种石墨盘烘烤夹具，包括烘烤架，所述烘烤架上安装有多个横梁，每个所述横梁上均设有凹槽，对应所述凹槽构成石墨盘的圆周边；

所述烘烤架上还设有两组平行相对的长通孔，所述横梁的两端分别设于一所述长通孔内，在外力作用下，所述横梁旋转和/或沿所述长通孔移动，以调整所述圆周边的半径。

可选的，所述横梁包括：

梁本体，所述凹槽设于所述梁本体上；

导向杆，每个所述梁本体的两端均同轴连接所述导向杆，所述横梁通过所述导向杆设于所述长通孔内；

紧固件，所述紧固件设于所述导向杆上，用于将所述横梁固定在所处位置。

可选的，所述导向杆穿设在所述长通孔内，所述紧固件设于在所述导向杆穿过所述长通孔的一端。

可选的，所述紧固件包括紧固螺栓，所述紧固螺栓套设于所述导向杆穿过所述长通孔的一端。

可选的，所述横梁的两端设有导向板，所述导向板与所述烘烤架间隙配合。

可选的，每组所述长通孔包括上通孔和下通孔；其中：

所述下通孔设于所述圆周边的圆心下方，且水平设置，部分所述横梁的设于所述下通孔内；

所述上通孔对称的设于所述圆周边的圆心两侧，且向上弯曲设置，其余所述横梁对称的设于所述上通孔内。

可选的，所述上通孔内对称的设有两个所述横梁；所述下通孔内对称的设有两个所述横梁。

可选的，所述上通孔包括弧形段和水平段，所述水平段对称的设于所述弧形段的侧面，且所述水平段与所述弧形段连通。

可选的，所述凹槽的侧面或侧面的开口部分向槽外倾斜。

根据本申请实施例的第二方面，提供了一种烘烤装置，包括第一方面中任一项实施例所述的石墨盘烘烤夹具。

本申请的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

本申请实施例的石墨盘烘烤夹具，其烘烤架上设有可供横梁移动和选择的长通孔，横梁能够通过旋转和/或移动来调整支撑角度和支撑位置，从而可以适用于不同半径长度和不同形状的石墨盘。

附图说明

图 1是本申请示例性实施例中一种石墨盘烘烤夹具的结构示意图；

图2是图1的侧视图；

图3是本申请示例性实施例中一种横梁的结构示意图；

图4是本申请示例性实施例中另一种石墨盘烘烤夹具的结构示意图；

图5是本申请示例性实施例中又一种石墨盘烘烤夹具的结构示意图；

图6是图5的侧视图；

图7是本申请示例性实施例中星型盘的安装示意图；

图8是相关技术中星型盘的安装示意图；

图9是本申请示例性实施例中一种长通孔的分布示意图；

图10是本申请示例性实施例中一种凹槽的结构示意图；

图中，1、烘烤架；2、横梁；21、梁本体；22、导向杆；23、紧固件；3、凹槽；4、长通孔；41、上通孔；411、弧形段；412、水平段；42、下通孔；5、导向板；6、把手；7、石墨盘；8、星型盘。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本申请进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本申请的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本申请的概念。

在附图中示出了根据本申请实施例的层结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。

显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的石墨盘烘烤夹具进行详细地说明。

如图1-2所示，本申请实施例提供了一种石墨盘烘烤夹具，包括烘烤架1，所述烘烤架1上安装有多个横梁2，每个所述横梁2上均设有凹槽3，对应所述凹槽3构成石墨盘7的圆周边；所述烘烤架1上还设有两组平行相对的长通孔4，所述横梁2的两端分别设于一所述长通孔4内，在外力作用下，所述横梁2旋转和/或沿所述长通孔4移动，以调整所述圆周边的半径。

其中，每组长通孔4中长通孔4的数量可以是一个或多个，当每组长通孔4中长通孔4的数量是多个时，多个长通孔4的形状可以相同或者不同，例如，长通孔4的形状可以是直线形、弧线形或波浪形等。当每组长通孔4中长通孔4的数量是一个时，该长通孔4可以是直线形、弧线形、波浪形或者两者甚至更多的结合，例如，长通孔4包括水平段412以及对称的设于水平段412两端的弧形段411。

具体的，烘烤架1包括两个平行设置的立板，立板间通过连接件连接固定。其中，两组长通孔4分别设置在一个立板上，且两组长通孔4相对平行。横梁2设置在两个立板间，且每个横梁2的两端分别设于一个立板上的长通孔4内。根据待烘烤的石墨盘7的半径和形状，可以使横梁2在长通孔4内移动，来调整横梁2的间距以满足石墨盘7安装的稳定性，同时，还可以使横梁2在长通孔4内旋转，使石墨盘7的支撑点可以落入凹槽3内，以适应石墨盘7的半径和形状的变化。

因此，该石墨盘烘烤夹具的使用方法：根据待烘烤的石墨盘7的半径和形状，调整横梁2在长通孔4中的位置，以及调整横梁2上的凹槽3的开口方向；将待烘烤的石墨盘7放于对应凹槽3内。

本申请实施例的石墨盘烘烤夹具，其烘烤架1上设有可供横梁2移动和选择的长通孔4，横梁2能够通过旋转和/或移动来调整支撑角度和支撑位置，从而可以适用于不同半径长度和不同形状的石墨盘7。

如图3所示，在一些实施例中，为了适应石墨盘7的半径和形状的变化，所述横梁2包括：

梁本体21，所述凹槽3设于所述梁本体21上；

导向杆22，每个所述梁本体21的两端均同轴连接所述导向杆22，所述横梁2通过所述导向杆22设于所述长通孔4内；

紧固件23，所述紧固件23设于所述导向杆22上，用于将所述横梁2固定在所处位置。

具体的，梁本体21的一端设有一个导向杆22，另一端设有另一个导向杆22，两个导向杆22分别设于对应的长通孔4内，对梁本体21或导向杆22施加拉力或推力时，梁本体21可以通过两个导向杆22在长通孔4内滑动，对梁本体21或导向杆22施加扭力时，梁本体21可以通过两个导向杆22在长通孔4内旋转。当梁本体21的位置和角度满足石墨盘7安装要求后，可以利用紧固件23对横梁2进行限位，使梁本体21停留在该位置及角度。

本实施例中，该石墨盘烘烤夹具的使用方法：根据待烘烤的石墨盘7的半径和形状，调整横梁2在长通孔4中的位置，以及调整横梁2上的凹槽3的开口方向；将待烘烤的石墨盘7放于对应凹槽3内；检查石墨盘7安装是否稳定，若是则通过紧固件23将横梁2固定在现处位置，否则继续调整横梁2的位置和凹槽3的开口方向。

在一些实施例中，为了实现对横梁2的限位，所述导向杆22穿设在所述长通孔4内，所述紧固件23设于在所述导向杆22穿过所述长通孔4的一端。

具体的，当梁本体21的位置和角度满足石墨盘7安装要求后，可以将紧固件23贴合在立板上，利用紧固件23与立板的摩擦力固定横梁2。紧固件23还可以是其他固定方式，例如，导向杆22可以通过紧固件23涨紧在长通孔4内、导向杆22可以通过紧固件23挂装在立板的相应位置等，本申请实施例对紧固件23的结构和紧固方式不做具体限定。

在一些实施例中，为了实现对横梁2的限位，所述紧固件23包括紧固螺栓，所述紧固螺栓套设于所述导向杆22穿过所述长通孔4的一端。

具体的，当梁本体21的位置和角度满足石墨盘7安装要求后，可以旋拧紧固螺栓，使紧固螺栓沿导向杆22向立板移动，最终紧固螺栓与立板贴合，从而实现对横梁2的固定。

如图4所示，在一些实施例中，为了保证横梁2能够顺畅的移动和旋转，所述横梁2的两端设有导向板5，所述导向板5与所述烘烤架1间隙配合。

具体的，横梁2在移动或旋转过程中，导向板5始终与立板间隙配合，可以实现对横梁2的导向和限位，防止横梁2活动偏差，出现卡死或运行不畅的情况。

如图5-6所示，在一些实施例中，为了提高石墨盘7安装在夹具中的稳定性，防止石墨盘7倾倒的风险，每组所述长通孔4包括上通孔41和下通孔42；其中：所述下通孔42设于所述圆周边的圆心下方，且水平设置，部分所述横梁2的设于所述下通孔42内；所述上通孔41对称的设于所述圆周边的圆心两侧，且向上弯曲设置，其余所述横梁2对称的设于所述上通孔41内。

具体的，下通孔42中的横梁2可以设置在石墨盘7下方，上通孔41中的横梁2可以设置在石墨盘7的上方，上通孔41与下通孔42中的横梁2可以对石墨盘7进行不共线多点固定，尤其是用于半径较大的石墨盘7时，可以避免石墨盘7因为倾倒而导致的磕碰损坏。

本实施例中，该石墨盘烘烤夹具的使用方法：根据待烘烤的石墨盘7的半径和形状，调整下通孔42中横梁2的位置，以及调整下通孔42中横梁2上的凹槽3的开口方向；将待烘烤的石墨盘7放于对应凹槽3内；检查石墨盘7安装是否稳定，若是则通过紧固件23将横梁2固定在现处位置，否则继续调整横梁2的位置和凹槽3的开口方向；待下通孔42中的横梁2位置和角度调整完成后，调整上通孔41中横梁2的位置和角度；待上通孔41中的横梁2位置和角度调整完成后，通过紧固件23将横梁2固定在现处位置。

在一些实施例中，为了保证石墨盘7的安装效果，所述上通孔41内对称的设有两个所述横梁2；所述下通孔42内对称的设有两个所述横梁2。

具体的，两个上通孔41中分别设置有一个横梁2，下通孔42中设置有两个横梁2。下通孔42中的两个横梁2可以通过调整位置支撑在石墨盘7的下方两点，上通孔41中的横梁2可以通过调整位置分别套设在石墨盘7的上方两点，即四个横梁2给石墨盘7提供了两个支撑点和两个限位点。进一步的，每个通孔中的横梁2数量可以更多，从而可以对石墨盘7提供更稳固的安装效果。

示例性的，在用于星型盘8时，可以拉近两个支撑点的距离，使该两个支撑点设置在星型盘8的同一个弧形边，如图7所示，相比在星型盘8的两个弧形边分别设置一个支撑点，如图8所示，星型盘8的安装高度增加，星型盘8的两个弧形边之间的尖角不易发生磕碰损坏，影响石墨盘7的使用。

如图9所示，在一些实施例中，为了拓展夹具的适用性，所述上通孔41包括弧形段411和水平段412，所述水平段412对称的设于所述弧形段411的侧面，且所述水平段412与所述弧形段411连通。

具体的，上通孔41内的横梁2可以在弧形段411进行高度位置和水平位置的调整，上通孔41内的横梁2也可以仅在水平段412进行水平位置的调整，其中，水平段412中横梁2位置对应的石墨盘7半径与弧形段411中横梁2位置对应的石墨盘7半径不同，从而使上通孔41内的横梁2可以适应更多石墨盘7的半径变化。

在一些实施例中，所述下通孔42可以是弧线形、直线形或波浪形等，也可以是两种或多种形式的结合。例如，下通孔42可以是波浪形，下通孔42的每个波谷位置可以分别对应一种规格的石墨盘7，采用这种形式的下通孔42不仅可以实现横梁2的移动和旋转，还可以对横梁2进行限位，保证横梁2的位置精度。在其他实施例中，下通孔42可以是直线形或者弧线形，进一步的，可以在下通孔42的下表面设有限位槽，从而实现与波浪形下通孔42同样的效果。

如图10所示，在一些实施例中，为了提高石墨盘7外缘部分的烘烤效果，所述凹槽3的侧面或侧面的开口部分向槽外倾斜。

示例性的，石墨盘7倾斜放置在凹槽3内，石墨盘7的外缘抵在凹槽3的底面，石墨盘7的侧面抵在凹槽3的一个侧面的开口位置，凹槽3的另一个侧面的整体或者开口部分向槽外倾斜设置。这样的凹槽3设计可以增大凹槽3的开口面积，从而增加凹槽3内的通风量，以提高石墨盘7外缘部分的烘烤效果，避免石墨盘7与横梁2接触部分出现烘烤不干净或者留有印记的情况，影响石墨件的使用性能。

进一步的，为了保证石墨盘7安装的稳定性，本申请实施例凹槽3未与石墨盘7接触的侧面仅开口部分向槽外倾斜。这是由于凹槽3的侧面与底面的角度会影响石墨盘7的安装效果，例如，当凹槽3的侧面与底面的角度大于90°时，石墨盘7会由于自身重量产生倾倒的趋势，此时，凹槽3的侧面非但不能阻止石墨盘7倾倒的趋势，还给石墨盘7倾倒提供了滑动面。

在一些实施例中，为了提高石墨盘7外缘部分的烘烤效果，横梁2还可以采用框架设计。但是，这种结构设计时，横梁2对材料的要求较高。

在一些实施例中，为了提高石墨盘7外缘部分的烘烤效果，还可以在横梁2中设置通风管道，在凹槽3中设置该通风管道的出口，利用通风管道对石墨盘7位于凹槽3中的部分进行烘烤，从而避免该部分烘烤不到位的情况。

在一些实施例中，所述烘烤架1上还设有把手6。示例性的，把手6设置在立板外表面，移动烘烤架1时，操作人员或者机器抓手可以先抓取把手6，然后对烘烤架1进行搬运。

在一些实施例中，所述横梁2的内外两侧均设有凹槽3。示例性的，横梁2内侧的凹槽3可以用于安装圆形石墨盘7，横梁2外侧的凹槽3可以用于星型盘8，具体的，起支撑作用的横梁2的内外两侧均设置凹槽3。

本申请实施例还提供了一种烘烤装置，包括前述任一项实施例所述的石墨盘烘烤夹具。

本申请实施例所述的烘烤装置包括所述石墨盘烘烤夹具，具有与所述石墨盘烘烤夹具相同的技术效果，此处不再一一赘述。

上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。

Claims (9)

1.一种石墨盘烘烤夹具，包括烘烤架(1)，所述烘烤架(1)上安装有多个横梁(2)，每个所述横梁(2)上均设有凹槽(3)，对应所述凹槽(3)构成石墨盘(7)的圆周边；其特征在于：

所述横梁(2) 的内外两侧均设有凹槽(3)，所述横梁(2)内侧的凹槽(3)用于安装圆形石墨盘，所述横梁(2)外侧的凹槽(3)用于安装星型盘；

所述烘烤架(1)上还设有两组平行相对的长通孔(4)，所述横梁(2)的两端分别设于一所述长通孔(4)内，在外力作用下，所述横梁(2)旋转和/或沿所述长通孔(4)移动，以调整所述圆周边的半径；

所述凹槽(3)的侧面或侧面的开口部分向槽外倾斜。

2.如权利要求1所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述横梁(2)包括：

梁本体(21)，所述凹槽(3)设于所述梁本体(21)上；

导向杆(22)，每个所述梁本体(21)的两端均同轴连接所述导向杆(22)，所述横梁(2)通过所述导向杆(22)设于所述长通孔(4)内；

紧固件(23)，所述紧固件(23)设于所述导向杆(22)上，用于将所述横梁(2)固定在所处位置。

3.如权利要求2所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述导向杆(22)穿设在所述长通孔(4)内，所述紧固件(23)设于在所述导向杆(22)穿过所述长通孔(4)的一端。

4.如权利要求3所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述紧固件(23)包括紧固螺栓，所述紧固螺栓套设于所述导向杆(22)穿过所述长通孔(4)的一端。

5.如权利要求1所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述横梁(2)的两端设有导向板(5)，所述导向板(5)与所述烘烤架(1)间隙配合。

6.如权利要求1所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，每组所述长通孔(4)包括上通孔(41)和下通孔(42)；其中：

所述下通孔(42)设于所述圆周边的圆心下方，且水平设置，部分所述横梁(2)的设于所述下通孔(42)内；

所述上通孔(41)对称的设于所述圆周边的圆心两侧，且向上弯曲设置，其余所述横梁(2)对称的设于所述上通孔(41)内。

7.如权利要求6所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述上通孔(41)内对称的设有两个所述横梁(2)；所述下通孔(42)内对称的设有两个所述横梁(2)。

8.如权利要求6所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述上通孔(41)包括弧形段(411)和水平段(412)，所述水平段(412)对称的设于所述弧形段(411)的侧面，且所述水平段(412)与所述弧形段(411)连通。

9.一种烘烤装置，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的石墨盘烘烤夹具。

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