CN114188498A - 柔性显示面板及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本申请提供一种柔性显示面板及其制备方法，方法包括：于载板上形成光致形变层；于光致形变层远离载板的一侧形成柔性基板；于柔性基板远离光致形变层的一侧形成发光器件层；采用预设波长的光照射光致形变层直至光致形变层发生形变而与载板分离，得到柔性显示面板。本申请通过在载板上形成光致形变层，在光致形变层上依次形成柔性基板以及发光器件层，通过光致形变层在预设波长的光照射下直至光致形变层发生形变而与载板分离，得到柔性显示面板，以提高柔性显示面板的柔性基板与载板之间的剥离良率。

Description

柔性显示面板及其制备方法
技术领域
本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及其制备方法。
背景技术
柔性有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Display，OLED)由于具有轻薄以及可弯折的优势而被广泛地研究和应用，柔性基板作为柔性有机发光二极管显示器的基板，其性能是保证柔性基板上电路器件稳定性的重要因子。目前，柔性基板是通过在玻璃基板上形成a-Si牺牲层，再在a-Si牺牲层上依次形成第一有机层、第一无机层、第二有机层以及第二无机层，经过激光照射a-Si牺牲层，使得第一有机层、第一无机层、第二有机层以及第二无机层组成的叠层与玻璃基板剥离而得到，由于受激光能量稳定性的影响，在激光剥离时第一有机层从玻璃基板上剥离的良率较低。
因此，有必要提出一种技术方案以提高柔性基板从玻璃基板上剥离下拉的良率。
发明内容
本申请的目的在于提供一种柔性显示面板及其制备方法，以提高柔性显示面板的柔性基板的剥离良率。
为实现上述目的，技术方案如下：
一种柔性显示面板的制备方法，所述方法包括：
于载板上形成光致形变层；
于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板；
于所述柔性基板远离所述光致形变层的一侧形成发光器件层；
采用预设波长的光照射所述光致形变层直至所述光致形变层发生形变而与所述载板分离，得到所述柔性显示面板。
在上述柔性显示面板的制备方法中，于载板上形成光致形变层之后，且于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板之前，所述方法还包括：
采用所述预设波长的光对所述光致形变层进行预处理直至所述光致形变层粘附于所述载板上。
在上述柔性显示面板的制备方法中，经过预处理的所述光致形变层与所述载板之间的粘附力大于或等于0.01N/cm且小于或等于0.5N/cm。
在上述柔性显示面板的制备方法中，所述预设波长大于或等于300纳米且小于或等于400纳米。
在上述柔性显示面板的制备方法中，所述光致形变层包括光固化材料，和/或，所述光致形变层包括光发泡材料。
在上述柔性显示面板的制备方法中，于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板包括：
于所述光致形变层上形成第一无机层；
于所述第一无机层上形成有机层；
于所述有机层上形成第二无机层。
在上述柔性显示面板的制备方法中，所述采用预设波长的光照射所述光致形变层直至所述光致形变层发生形变而与所述载板分离包括：
采用所述预设波长的光从所述载板远离光致形变层的一侧照射所述光致形变层。
一种柔性显示面板，所述柔性显示面板包括：
分离层，所述分离层由光致形变层经过预设波长的光照射后发生形变而形成；
柔性基板，设置所述分离层上；以及
发光器件层，设置于所述柔性基板远离所述分离层的一侧。
在上述柔性显示面板中，支撑层，设置于所述分离层远离所述柔性基板的一侧。
在上述柔性显示面板中，所述柔性基板包括：
第一无机层，设置于分离层上；
有机层，设置于所述第一无机层远离所述分离层的一侧；
第二无机层，设置于所述有机层远离所述第一无机层的一侧。
在上述柔性显示面板中，所述柔性显示面板还包括：
薄膜晶体管阵列层，包括多个薄膜晶体管，且设置于所述柔性基板与所述发光器件层之间。
有益效果：本申请提供一种柔性显示面板及其制备方法，通过采用预设波长的光照射光致形变层直至光致形变层发生形变而与载板分离，得到柔性显示面板，以提高柔性显示面板的柔性基板与载板的剥离良率。
附图说明
图1为制备本申请实施例柔性显示面板的流程示意图；
图2A-2F为制备本申请实施例柔性显示面板的过程示意图；
图3为本申请实施例柔性显示面板的示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
如图1所示，其为制备本申请实施例柔性显示面板的流程示意图。制备本申请柔性显示面板的方法包括：
步骤S100：于载板上形成光致形变层。
具体地，提供一载板10，于载板10上涂布一层光致形变层201，如图2A所示。其中，载板10为玻璃基板。光致形变层201的厚度为0.5微米-1微米，例如为0.8微米或者1微米。光致形变层201包括光固化材料，光固化材料包括环氧树脂和紫外光固化引发剂的混合物。可以理解的是，光致形变层201也可以包括光发泡材料，光发泡材料包括光发泡聚合物和光发泡剂，光发泡聚合物和光发泡剂可以采用现有材料。光致形变层201也可以包括光发泡剂以及光固化材料。
步骤S101：采用预设波长的光对光致形变层进行预处理直至其粘附于载板上，得到预处理光致形变层。
在本实施例后，在载板10上涂布一层光致形变层201之后，采用面光源发射出预设波长的光L对光致形变层201进行预处理直至其粘附于载板10上，得到预处理光致形变层202。
其中，预设波长的光为波长为大于或等于300纳米且小于或等于400纳米的紫外光，例如紫外光的波长为320纳米、350纳米、380纳米或者400纳米。预处理光致形变层202与载板10之间的粘附力大于或等于0.01N/cm且小于或等于0.5N/cm，以保证预处理光致形变层202与载板10之间的粘附力够大而保证后续制备柔性基板以及发光器件时，预处理光致形变层202不会相对于载板10移动，且避免预处理光致形变层202与载板10之间的粘附力太大而导致后续更多的能量才能使预处理光致形变层202发生形变而剥离。例如，预处理光致形变层202与载板10之间的粘附力可以为0.01N/cm、0.03N/cm、0.05N/cm、0.1N/cm、0.15N/cm、0.2N/cm、0.3N/cm或者0.5N/cm。
具体地，如图2B所示，采用波长大于或等于300纳米且小于或等于400纳米的紫外光从光致形变层201远离载板10的一侧照射光致形变层201，光致形变层201中的紫外光引发剂被激活而引发环氧树脂发生预固化，得到的预处理光致形变层202具有粘性及一定的硬度，预处理光致形变层202的粘性使得其能稳定地粘附于载板10上。
步骤S102：于预处理光致形变层远离载板的一侧形成柔性基板。
首先，如图2C所示，于预处理光致形变层202上形成第一无机层301。具体地，采用化学沉积、原子层沉积以及等离子体增强化学气相沉积中的任意一种于预处理光致形变层202远离载板10的表面形成第一无机层301。第一无机层301具有良好的水氧阻隔性能。第一无机层301为无机阻挡层，第一无机层301的厚度为5纳米-50纳米，第一无机层301的制备材料选自SiOx、SiNx或Al2O3中的至少一种。
其次，于第一无机层301上形成有机层302。具体地，在第一无机层301上涂布整面的有机层302。有机层302的厚度为5微米-20微米，有机层302的制备材料为聚酰亚胺。
最后，于有机层302上形成第二无机层303。具体地，采用化学沉积、原子层沉积以及等离子体增强化学气相沉积中的任意一种于有机层302远离第一无机层301的表面上形成第二无机层303。第二无机层303具有良好的水氧阻隔性能。第二无机层303的厚度为5纳米-50纳米，第二无机层303的制备材料选自SiOx、SiNx或Al2O3中的至少一种。
本步骤通过依次形成第一无机层301、有机层302以及第二无机层303以制备得到柔性基板30。相较于传统柔性基板包括两个无机层和两个有机层，本实施例柔性基板30的厚度明显减小的同时，保证柔性基板30具有良好的水氧阻隔性能。
步骤S103：于柔性基板远离预处理光致形变层的一侧形成发光器件层。
具体地，如图2D所示，于第二无机层303远离有机层302的一侧形成薄膜晶体管阵列层40，于薄膜晶体管阵列层40远离柔性基板30的一侧形成发光器件层50。其中，薄膜晶体管阵列层40包括多个阵列排布的薄膜晶体管，薄膜晶体管选自低温多晶硅薄膜晶体管、金属氧化物薄膜晶体管以及非晶硅薄膜晶体管中的任意一种；发光器件层50包括多个发光器件，发光器件为有机发光二极管。
步骤S104：采用预设波长的光照射预处理光致形变层直至预处理光致形变层发生形变而与载板分离，得到柔性显示面板。
具体地，如图2E和图2F所示，采用面光源发出波长大于或等于300纳米且小于或等于400纳米的光从载板10远离预处理光致形变层202的一侧照射预处理光致形变层202，直至预处理光致形变层202发生形变而与载板10分离，得到柔性显示面板，此时预处理光致形变层202经过进一步地固化而体积收缩变为分离层203。
其中，采用面光源发出波长大于或等于300纳米且小于或等于400纳米的光从载板10远离预处理光致形变层202的一侧照射预处理光致形变层202，使得预处理光致形变层202更直接地暴露于紫外光环境中，导致预处理光致形变层202能更快发生体积收缩而与载板10分离，且避免紫外光照射发光器件层等而影响器件的性能。
需要说明的是，预处理光致形变层202进一步固化至体积收缩而与载板10分离时，分离层203已经完全固化，分离层203的固化程度大于预处理光致形变层202的固化程度，且分离层203无粘性。预处理光致形变层202发生形变而与载板10分离所需的紫外光能量大于光致形变层201经过预处理得到具有粘性的预处理光致形变层202所需紫外光能量，紫外光能量的大小调节可以通过控制紫外光照射的时间以及紫外光的波长实现。
相较于传统技术中激光作为点光源用于剥离存在均匀性不易控制而导致能量不均，使得局部的柔性基板无法从玻璃基板上剥离下来，本步骤中采用紫外光照射光致形变层201以使得其发生形变而与载板10分离，可以实现紫外光整面照射而避免能量不均导致柔性基板的局部无法从玻璃基板上剥离下来的问题，提高柔性基板的剥离良率。另外，紫外光对粒子的穿透性强，不同角度的紫外光可以穿过粒子而减少粒子所在位置存在光照能力不足而无法剥离的问题。此外，紫外光照射光致形变层201直至发生形变剥离需要的能量比激光照射剥离所需的能量更少。
本实施例柔性显示面板的制备方法通过采用预设波长的光照射光致形变层直至光致形变层发生形变而与载板分离，得到柔性显示面板，以提高柔性显示面板的柔性基板与载板的剥离良率。
如图3所示，本申请还提供一种柔性显示面板100，柔性显示面板100包括依次叠置的分离层203、柔性基板30、薄膜晶体管阵列层40、发光器件层50，分离层203由光致形变层经过预设波长的光照射后发生形变而形成。其中，预设波长的光为波长为大于或等于300纳米且小于或等于400纳米的紫外光。
具体地，分离层203是包括光固化材料的光致形变层在紫外光照射下发生体积收缩而得到的膜层。光固化材料包括环氧树脂和紫外光固化引发剂的混合物。
在本实施例中，柔性显示面板100还包括支撑层60，支撑层60设置于分离层203远离柔性基板30的一侧，以起到保护和支撑柔性基板30的作用。其中，支撑层60为聚对苯二甲酸二甲酯薄膜。
在本实施例中，柔性基板30包括第一无机层301、有机层302以及第二无机层303，第一无机层301设置于分离层203上，有机层302设置于第一无机层301远离分离层203的一侧，第二无机层303设置于有机层302远离第一无机层301的一侧。其中，第一无机层301的厚度为5纳米-50纳米，第一无机层301的制备材料选自SiOx、SiNx或Al2O3中的至少一种；有机层302的厚度为5微米至20微米，有机层302的制备材料为聚酰亚胺；第二无机层303的厚度为5纳米-50纳米，第二无机层303的制备材料选自SiOx、SiNx或Al2O3中的至少一种。
本实施例柔性显示面板的柔性基板由两个无机层以及一个有机层组成，相较于传统柔性基板的厚度变薄，有利于柔性显示面板的厚度变薄。
以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (11)

1.一种柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
于载板上形成光致形变层；
于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板；
于所述柔性基板远离所述光致形变层的一侧形成发光器件层；
采用预设波长的光照射所述光致形变层直至所述光致形变层发生形变而与所述载板分离，得到所述柔性显示面板。
2.根据权利要求1所述柔性显示面板的制备方法，其特征在于，于载板上形成光致形变层之后，且于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板之前，所述方法还包括：
采用所述预设波长的光对所述光致形变层进行预处理直至所述光致形变层粘附于所述载板上，得到预处理光致形变层。
3.根据权利要求2所述柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述预处理光致形变层与所述载板之间的粘附力大于或等于0.01N/cm且小于或等于0.5N/cm。
4.根据权利要求1-3任一项所述柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述预设波长大于或等于300纳米且小于或等于400纳米。
5.根据权利要求1-3任一项所述柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述光致形变层包括光固化材料，和/或，所述光致形变层包括光发泡材料。
6.根据权利要求1-3任一项所述柔性显示面板的制备方法，其特征在于，于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板包括：
于所述光致形变层上形成第一无机层；
于所述第一无机层上形成有机层；
于所述有机层上形成第二无机层。
7.根据权利要求1-3任一项所述柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述采用预设波长的光照射所述光致形变层直至所述光致形变层发生形变而与所述载板分离包括：
采用所述预设波长的光从所述载板远离光致形变层的一侧照射所述光致形变层。
8.一种柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括：
分离层，所述分离层由光致形变层经过预设波长的光照射后发生形变而形成；
柔性基板，设置所述分离层上；以及
发光器件层，设置于所述柔性基板远离所述分离层的一侧。
9.根据权利要求8所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：
支撑层，设置于所述分离层远离所述柔性基板的一侧。
10.根据权利要求8所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性基板包括：
第一无机层，设置于分离层上；
有机层，设置于所述第一无机层远离所述分离层的一侧；
第二无机层，设置于所述有机层远离所述第一无机层的一侧。
11.根据权利要求8所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：
薄膜晶体管阵列层，包括多个薄膜晶体管，且设置于所述柔性基板与所述发光器件层之间。
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