CN107316952A - 柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置，该制备方法包括：提供一具有形状记忆功能的母板；对母板进行第一次处理，使得母板发生形变；在发生形变的母板之上沉积薄膜基板；对发生形变母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。本申请通过在具有形状记忆功能的母板上形成薄膜基板，对母板进行形变恢复时，可以使得母板与薄膜基板容易分离，降低薄膜基板的翘曲，进而提高制备柔性显示面板的良品率。

Description

柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置

技术领域

本发明一般涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板的制备方法、利用柔性显示面板的制备方法制备的柔性显示面板以及柔性显示装置。

背景技术

现有的柔性显示面板制备的过程中，通常需要提供一具有一定硬度的衬底基板，在该衬底基板上制备具有一定柔性、可弯曲的柔性基板、发光器件等，待各膜层工艺制备完毕后，将柔性基板与衬底基板剥离开来，从而形成具有一定的柔性、可卷曲的柔性显示面板。

然而，现有的将柔性基板与衬底基板剥离的过程通常采用传统的机械剥离、静电剥离或镭射剥离的方法。这样一来，在剥离过程中，容易造成柔性基板的翘曲，从而降低制作柔性显示面板的良品率。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置，以期解决现有技术中存在的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种柔性显示面板的制备方法，该制备方法包括：提供一具有形状记忆功能的母板；对母板进行第一次处理，使得母板发生形变；在发生形变的母板之上沉积薄膜基板；对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。

在一些实施例中，对母板进行第一次处理，使得母板发生形变，包括：通过压板使母板发生形变。

在一些实施例中，母板包括主体部，母板的主体部包括面向压板一侧的第一表面，压板包括主体部，压板的主体部包括面向母板一侧的第二表面；在第一表面和第二表面中，其中一个为平面，另一个形成有多个凸起。

在一些实施例中，第一表面包括多个凸起，第二表面为平面；通过压板使母板发生形变，包括：压板在外界压力下将形成于第一表面的凸起压入母板的主体部，使得第一表面形变为平面。

在一些实施例中，在发生形变的母板之上沉积薄膜基板，包括：在形变后的第一表面之上沉积薄膜基板。

在一些实施例中，第一表面为平面，第二表面形成有多个凸起；通过压板使母板发生形变，包括：压板在外界压力下，形成于第二表面的凸起被压入母板的主体部，第一表面形变为包括与第二表面的凸起形状一致的凹槽。

在一些实施例中，在发生形变的母板之上沉积薄膜基板，包括：在形变后的第一表面之上沉积薄膜基板。

在一些实施例中，方法还包括：在各凹槽中沉积第一材料，以使第一表面形变为水平面；在形变后的第一表面之上沉积第二材料形成薄膜基板，其中，第一材料的硬度大于第二材料的硬度。

在一些实施例中，制备方法还包括：在薄膜基板远离发生形变的母板的一侧形成有像素阵列；其中，像素阵列包括多个子像素。

在一些实施例中，制备方法还包括：在薄膜基板与发生形变的母板相接触的一侧形成平坦化层。

在一些实施例中，母板的材料为记忆合金材料或形状记忆高分子材料。

在一些实施例中，记忆合金材料包括：锑镍合金、锑铜合金、铜锌铝合金、铜铝镍合金或铁铂合金。

在一些实施例中，形状记忆高分子材料包括：聚降冰片烯、反式聚异戊二烯、苯乙烯-丁二烯共聚物或聚氨酯。

在一些实施例中，对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离，包括：加热处理、光照处理、通电处理或化学处理。

在一些实施例中，薄膜基板有以下至少一种材料制造而成：有机薄膜材料，无机薄膜材料，其中有机薄膜材料包括聚酰亚胺，无机薄膜材料包括氮化硅。

第二方面，本申请实施例提供了一种柔性显示面板，该柔性显示面板由上述制备方法制备而成。

第三方面，本申请实施例提供了一种柔性显示装置，该柔性显示装置包括如上所述的柔性显示面板。

按照本申请实施例提供的方案，通过对具有形状记忆功能的母板进行处理，使得该母板发生形变后，在发生形变的母板上沉积薄膜基板，接着对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。由于在柔性显示面板的制备过程中，上述母板均匀受力，从而避免柔性显示面板在与母板剥离的过程中发生翘曲，提高柔性显示面板的良品率。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1示出了本申请提供的一个柔性显示面板的制备方法的流程图；

图2示出了本申请提供的又一个柔性显示面板的制备方法的流程图；

图3a-图3e示出了本申请提供的与图2所示的流程图对应的柔性显示面板的制备方法的结构示意图；

图4示出了本申请提供的又一个柔性显示面板的制备方法的流程图；

图5a-图5f示出了本申请提供的与图4所示的流程图对应的柔性显示面板的制备方法的结构示意图；

图6示出了本申请提供的一个柔性显示装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关申请，而非对该申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1，其示出了本申请提供的一个柔性显示面板的制备方法的流程图。结合图1，对柔性显示面板的制备方法100进行详细的阐述。

步骤101，提供一具有形状记忆功能的母板。

本实施例中，首先可以提供一具有形状记忆功能的母板。该具有形状记忆功能的母板由具有形状记忆功能的材料制成。形状记忆功能的材料是指具有一定初始形状的材料经过形变并固定成另一种形状后，通过外界条件(如热、电、光、化学感应等)的刺激又可恢复其初始形状的材料。例如，形状记忆材料一般具有固定的形状，在外力的作用下，该形状记忆材料由于软化而发生形变；当对该形状记忆材料通过外界条件刺激时，该形状记忆材料可以恢复为之前的固定形状。具有形状记忆的材料在成型加工中被塑造成具有某种固有的初始形状的物品后，对自身所获得的这种初始形状始终保持有记忆的特殊功能，即使在某些情况下被迫改变了形状，但只要具备了适当的条件，就会迅速恢复到原有的初始形状。这种可逆性的变化可循环往复许多次。

在本实施例的一些可选的实现方式中，上述具有形状记忆功能的母板材料可以为记忆合金材料。形状记忆合金材料是一种在加热升温后能完全消除其在较低的温度下发生的变形，恢复其变形前原始形状的合金材料，即拥有“记忆"效应的合金，该记忆合金材料可以为锑镍合金、锑铜合金、铜锌铝合金、铜铝镍合金或铁铂合金。

在本实施例的另一些可选的实现方式中，上述具有形状记忆功能的母板材料可以为形状记忆高分子材料。形状记忆高分子材料又可以称为形状记忆聚合物，是指具有初始形状的制品在一定的条件下改变其初始形状并固定后，通过外界条件(如热、电、光、化学感应等)的刺激又可恢复其初始形状的高分子材料。上述形状记忆高分子材料可以为聚降冰片烯、反式聚异戊二烯、苯乙烯-丁二烯共聚物或聚氨酯等。

步骤102，对母板进行第一次处理，使得母板发生形变。

本实施例中，由于该母板为具有记忆功能的母板。因此，本步骤可以对母板进行第一次处理，以使该母板发生形变。

可选地，为了使上述母板发生形变，可以对母板进行加热处理。此时，该母板由热致型形状记忆高分子材料制造而成。热致型形状记忆高分子材料在室温以上均可以变形，并能在室温固定形变且可长期存放，当温度再升至某一特定响应温度时，制件能很快恢复初始形状。热致型形状记忆高分子材料可以包括聚降冰片烯、苯乙烯-丁二烯共聚物、形状记忆聚氨酯等。

可选地，为了使上述母板发生形变，可以对母板进行光照处理。此时，该母板由光致型形状记忆高分子材料制造而成。其中，光致型形状记忆高分子材料主要通过将某些特定的光致变色基团引入高分子主链或侧链中来使的光致型形状记忆高分子材料发生形变。当受到光照射时，光致变色基团发生光异构化反应，使分子链的状态发生显著变化，使得材料在宏观上表现为光致形变；光照停止时，光致变色基团发生可逆的光异构化反应，分子链的状态恢复，材料也恢复其初始形状。光致型形状记忆高分子材料可以包括三苯基甲烷等。

可选地，为了使上述母板发生形变，还可以对母板进行通电处理。此时，该母板由电致型形状记忆高分子材料制造而成。电致型形状记忆高分子材料为热致型形状记忆功能高分子与具有导电性能物质(如金属粉末及导电高分子)复合材料。该复合材料通过电流产生的热量使体系温度升高，致使形状恢复。

可选地，为了使上述母板发生形变，还可以对母板进行化学处理。此时，该母板由化学感应型形状记忆高分子材料制造而成。化学感应型形状记忆高分子材料时利用材料周围的介质性质的变化来激发材料变形和形状恢复。常见的化学感应方式有PH值变化，平衡离子置换，螯合反应，相转变反应和氧化还原反应等，化学感应型形状记忆高分子材料可以包括聚乙烯醇、聚丙烯酸混合物等。

步骤103，在发生形变的母板之上沉积薄膜基板。

本实施例中，在通过步骤102对母板进行的第一次处理，使得上述母板发生形变后，本步骤中，可以在发生形变的母板之上沉积薄膜基板。其中，该薄膜基板的材料可以为有机物，或者可以为无机物，或者还可以为有机物与无机物的组合。例如，薄膜基板可以包括三层结构，该三层几结构可以为有机层-无机层-有机层。上述两层有机层可以具有相同的材质例如可以为聚酰亚胺，上述无机层可以为氮化硅。

步骤104，对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。

本实施例中，对沉积过薄膜基板的母板进行第二次处理，例如通过加热处理、光照处理、通电处理或化学处理等，使得发生形变的母板恢复形变之前的形状，即上述第一次处理之前的形状，从而使得母板与薄膜基板之间互相分离。

当形成上述母板的材料为由热致型形状记忆高分子材料时，可以对母板进行加热处理，使得母板恢复形变之前的形状。

当形成上述母板的材料为电致型形状记忆高分子材料时，可以对母板施加电压，使得母板产生电流。该母板通过电流产生的热量使母板的温度升高，从而使得母板恢复形变之前的形状。

当形成上述母板的材料为光致型形状记忆高分子材料时，可以将导致母板形变的光照停止，此时母板可以恢复形变之前的形状。

当形成上述母板的材料为化学感应型形状记忆高分子材料时，当化学感应方式为PH值变化时，在上述母板发生形变后，可以向该母板材料中加入可以中和导致母板形变的材料，从而使得母板恢复形变。

本实施例的一些可选的实现方式中，可以通过压板使得上述母板发生形变。

本实施例中，上述薄膜基板为柔性基板，在与母板分离时容易产生弯曲。本实施例通过利用具有记忆功能的母板，对母板进行第一次处理、使得该母板发生形变后，在发生形变的母板上沉积薄膜基板，接着对母板进行第二此处理，使得母板恢复初始形状，从而与薄膜基板分离。这样一来，在薄膜基板与母板剥离的过程中，可以使得上述薄膜基板均匀受力，避免了薄膜基板的翘曲，从而提高薄膜基板的良品率。

请继续参考图2，其示出了本申请提供的又一个柔性显示面板的制备方法200的流程图。图3a-图3e为与图2所示的流程图对应的柔性显示面板的制备过程的结构示意图。下面，将结合图2、以及图3a-图3e，来对本实施例的制备方法200进行详细的阐述。

步骤201，提供一具有形状记忆功能的母板。

本实施例中，具有形状记忆功能的母板可以为具有形状记忆功能的材料，例如形状记忆合金材料、形状记忆高分子材料等，其具体的材料以及具体功能可以参考步骤101，在此不再赘述。

步骤202，压板在外界压力下将形成于第一表面的凸起压入母板的主体部，使得第一表面形变为平面。

本实施例中，如图3a所示，上述母板31包括主体部311，主体部包括面向压板32一侧的第一表面3111，压板32可以包括主体部321，主体部321包括面向母板31一侧的第二表面3211。在这里，形成压板32的材料的硬度可以大于形成上述母板31的材料的硬度。这样一来，在外界压力下，压板32可以更加容易的将形成在第一表面3111的凸起压入母板31的主体部。

在具体的应用场景中，上述第一表面3111形成有多个凸起312，该凸起312的材料可以与上述母板的材料相同，即也可以为形状记忆材料，其具体的材料在此不再赘述。在这里，凸起312可以为圆柱体，可以为四面体等，在此不做限定。上述第二表面3211可以为平面。

本实施例中，可以通过压板32使上述母板31发生形变。由于上述母板31为形状记忆材料，因此，如图3b所示，压板32可以在外界压力的作用下，将形成在上述第一表面3111的凸起312压入母板31的主体部311，从而使得母板31的第一表面3111发生形变，通过该形变，上述凸起312完全嵌入母板31的主体部311中。

步骤203，在形变后的第一表面上沉积薄膜基板。

本实施例中，根据步骤202中利用压板对母板31进行变形处理，使得母板31的第一表面3111变为平面后，本实施例可以在上述第一表面3111上沉积薄膜基板。如图3c所示，其中，附图标记33为薄膜基板，薄膜基板33可以为包括第一膜层331、第二膜层332以及第三膜层333。上述第一膜层331和第三膜层333可以为有机膜层，该膜层的材料可以为聚酰亚胺，第二膜层332可为无机膜层。

步骤204，在薄膜基板远离发生形变的母板的一侧形成像素阵列。

本实施例中，步骤203中，在第一表面沉积了薄膜基板33，接着，可以在该薄膜基板33上形成有像素阵列34，如图3d所示。在这里，像素阵列34可以包括多个子像素，该子像素例如可以包括红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素等，每一个子像素包括有机发光二极管以及用于驱动该有机发光二极管发光的像素驱动电路。有机发光二极管为自发光器件，根据有机发光二极管的有机发光层所采用的发光材料的颜色的不同，该有机发光二极管在像素驱动电路生成的驱动电流的控制下，可以发出不同颜色、不同亮度的光，从而实现柔性显示面板的全彩显示。

步骤205，对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。

本实施例中，步骤204中在薄膜基板33上制备完像素阵列34后，本步骤可以对上述母板31进行第二次处理，该处理方法可以包括加热处理、光照处理、通电处理或化学处理等，使得母板31可以与薄膜基板33彼此分离，如图3e所示。

从如图2所示的实施例可以看出，与图1所示的实施例不同的是，本实施例对母板进行第一次处理的方法进行了详细的描述。从而，通过利用如图2所示的方法制备的柔性显示面板，可以比较容易的将薄膜基板与母板分离开来，降低制备柔性显示面板的工艺复杂度，提高柔性显示面板的良品率。

请继续参考图4，其示出了本申请提供的再一个柔性显示面板的制备方法的流程图。图5a-图5f示出了与图4所示的流程图对应的柔性显示面板的制备过程的结构示意图，结合图4、以及图5a-图5f，对柔性显示面板的制备方法400进行详细的阐述。

步骤401，提供一具有形状记忆功能的母板。

本实施例中，具有形状记忆功能的母板可以为具有形状记忆功能的材料，例如形状记忆合金材料、形状记忆高分子材料等，其具体的材料以及具体功能可以参考步骤101，在此不再赘述。

步骤402，压板在外界压力下，形成于第二表面的凸起被压入母板的主体部，第一表面形变为包括与第二表面的凸起形状一致的凹槽。

本实施例中，如图5a所示，母板51包括主体部511，主体部包括面向压板52一侧的第一表面5111，压板52可以包括主体部521，主体部521包括面向母板51一侧的第二表面5211。在这里，形成压板52的材料的硬度可以大于形成上述母板51的材料的硬度。

在具体的应用场景中，母板51的第一表面5111为平面，压板52的第二表面5211形成有多个凸起522，该凸起522的材料可以与上述压板52的材料相同，在这里，凸起522可以为圆柱体，可以为四面体等，在此不做限定，只要该凸起可以使得母板51发生形变即可。

本实施例中，可以通过压板52使上述母板51发生形变。由于上述母板51为形状记忆材料，因此，如图5b所示，压板52可以在外界压力的作用下，将形成于压板52的第二表面5211的凸起压入母板51的主体部，从而使得母板51的第一表面5111形变为与形成于压板52的第二表面5211的凸起522形状一致的凹槽512。

步骤403，在形变后的第一表面之上沉积薄膜基板。

本实施例中，在步骤403中利用压板52对母板51进行变形处理，使得母板51的第一表面5111形成有与形成于第二表面5211的凸起形状一致的凹槽512后，本实施例可以在上述第一表面5111上沉积薄膜基板53，如图3c所示。薄膜基板53可以为包括第一膜层531、第二膜层532以及第三膜层533。上述第一膜层531和第三膜层533可以为有机膜层，该有机膜层例如可以由聚酰亚胺材料制成，第二膜层532可为无机膜层。

本实施例中，在沉积薄膜基板53时，可以首先在上述凹槽中沉积与薄膜基板53的材料相同的有机材料，使得上述母板51的第一表面5111为水平面。接着，第一表面5111上继续沉积薄膜基板53。

在本实施例的一些可选的实现方式中，可以首先在上述母板51的第一表面5111形成的凹槽中沉积第一材料。接着，在上述第一表面5111之上沉积第二材料以形成薄膜基板。上述第一材料可以为有机材料，也可以为无机材料，上述第二材料可以为有机材料，可以为无机材料，也可以为有机材料和无机材料的组合。其中，上述第一材料的硬度大于第二材料的硬度。通过将上述凹槽512与上述薄膜基板53设置为不同种类的材料，同时设置第一材料的硬度大于第二材料的硬度，这样一来，将母板51与薄膜基板53之间互相分离的过程中，可以给予薄膜基板53一定的缓冲，从而进一步降低薄膜基板53在分离过程中的弯折。

步骤404，在薄膜基板远离发生形变的母板的一侧形成像素阵列。

本实施例中，在步骤403中母板51的第一表面5111沉积薄膜基板53后，可以在薄膜基板53远离母板51的一侧形成有像素阵列54，如图5d所示。像素阵列54的具体结构请参见步骤204，在此不再赘述。

步骤405，对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。

本实施例中，在步骤403中在薄膜基板53上制备完像素阵列54后，本步骤可以对上述母板51进行第二次处理，该处理方法可以包括加热处理、光照处理、通电处理或化学处理等，经过第二次处理，母板51恢复为形变之前的形状，这样使得母板51可以与薄膜基板53彼此分离，如图5e所示。此时，薄膜基板53与母板51接触的一侧形成有多个凸起56，该凸起56与形成于上述压板52的第二表面5211的凸起的大小、形状相同。

步骤406，在薄膜基板与发生形变的母板相接触的一侧形成平坦化层。

由于步骤405中在薄膜基板53与母板51相接触的一侧形成有多个凸起56，本实施例中，为了使得柔性显示面板更加平滑，可以在薄膜基板53与母板51相接触的一侧制备平坦化成55，如图5f所示。

通过图4、图5a-图5f可以看出，与图2所示的实施例不同的是，本实施例将凸起设置于压板上，在形成凹槽的母板上沉积薄膜基板，薄膜基板与母板之间剥离后，在薄膜基板与母板接触的一侧形成平坦化层。由于上述薄膜基板为柔性基板，通过在薄膜基板上形成凸起，这样一来，在将薄膜基板与母板分离的过程中，薄膜基板上的凸起可对薄膜基板进行保护，从而进一步降低薄膜基板的翘曲，提高制造柔性显示面板的良品率。

本申请还提供了一种柔性显示面板，该柔性显示面板包括薄膜基板，薄膜基板可以由一层薄膜层构成，也可以由多层薄膜层构成。当上述薄膜层为一层时，该薄膜层可以为有机层，也可以为无机层；当上述薄膜层为多层薄膜层时，该多层薄层可以为有机层-无机层-有机层的组合。薄膜基板之上设置有像素阵列，像素阵列可以包括多个子像素，该子像素例如可以包括红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素等，每一个子像素包括有机发光二极管以及用于驱动该有机发光二极管发光的驱动晶体管、使能晶体管等。该有机发光二极管为自发光器件，根据有机发光二极管的有机发光层所采用的发光材料的颜色的不同，该有机发光二极管在驱动电流的控制下可以发出不同颜色的光，从而呈现在柔性显示面板上。

在一些可选的实现方式中，上述薄膜基板还包括多个凸起，柔性显示面板还包括平坦化层，该平坦化层设置在上述薄膜基板形成有凸起的一侧，其中，平坦化层将凸起覆盖，可以使得柔性显示面板趋于平坦。

具体的，柔性显示面板可以由上述任意一个实施例所示的柔性显示面板的制备方法制备而成，该柔性显示面板的具体结构可以参考图3e或图5f。

本实施例提出一种柔性显示装置，如图6所示。本实施方式涉及的柔性显示装置600能用于例如智能电话、平板终端、便携电话终端、笔记本类型的个人计算机、游戏设备等各种装置。具体的，该柔性显示装置600包括前述实施例提供的柔性显示面板。

本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的技术方案范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述技术方案构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (17)

1.一种柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

提供一具有形状记忆功能的母板；

对所述母板进行第一次处理，使得所述母板发生形变；

在发生形变的母板之上沉积薄膜基板；

对所述发生形变的母板进行第二次处理，使得所述发生形变的母板形变为所述第一次处理之前的形状，并且与所述薄膜基板分离。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述对所述母板进行第一次处理，使得所述母板发生形变，包括：

通过压板使所述母板发生形变。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述母板包括主体部，所述母板的主体部包括面向所述压板一侧的第一表面，所述压板包括主体部，所述压板的主体部包括面向所述母板一侧的第二表面；在所述第一表面和所述第二表面中，其中一个为平面，另一个形成有多个凸起。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，

所述第一表面形成有多个凸起，所述第二表面为平面；所述通过压板使所述母板发生形变，包括：

所述压板在外界压力下将形成于所述第一表面的凸起压入所述母板的主体部，使得所述第一表面形变为平面。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，

所述在发生形变的母板之上沉积薄膜基板，包括：

在形变后的第一表面之上沉积所述薄膜基板。

6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，

所述第一表面为平面，所述第二表面形成有多个凸起；所述通过压板使所述母板发生形变，包括：

所述压板在外界压力下，形成于所述第二表面的凸起被压入所述母板的主体部，所述第一表面形变为包括与所述第二表面的凸起形状一致的凹槽。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，

所述在发生形变的母板之上沉积薄膜基板，包括：

在形变后的第一表面之上沉积所述薄膜基板。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：

在各所述凹槽中沉积第一材料，以使所述第一表面形变为水平面；

在形变后的第一表面之上沉积第二材料形成所述薄膜基板，其中，所述第一材料的硬度大于所述第二材料的硬度。

9.根据权利要求5或8所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：

在所述薄膜基板远离所述发生形变的母板的一侧形成像素阵列；其中，所述像素阵列包括多个子像素。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述薄膜基板与所述发生形变的母板相接触的一侧形成平坦化层。

11.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述母板的材料为记忆合金材料或形状记忆高分子材料。

12.根据权利要11所述的制备方法，其特征在于，所述记忆合金材料包括：锑镍合金、锑铜合金、铜锌铝合金、铜铝镍合金或铁铂合金。

13.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，所述形状记忆高分子材料包括：聚降冰片烯、反式聚异戊二烯、苯乙烯-丁二烯共聚物或聚氨酯。

14.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，对所述发生形变的母板进行第二次处理，使得所述发生形变的母板形变为所述第一次处理之前的形状，并且与所述薄膜基板分离，包括：

加热处理、光照处理、通电处理或化学处理。

15.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述薄膜基板由以下至少一种材料制造而成：有机薄膜材料，无机薄膜材料；其中所述有机薄膜材料包括聚酰亚胺，所述无机薄膜材料包括氮化硅。

16.一种柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板由权利要求1-15之一所述的制备方法制备而成。

17.一种柔性显示装置，其特征在于，所述柔性显示装置包括如权利要求16所述的柔性显示面板。