CN114156422A - 接合装置 - Google Patents

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CN114156422A CN202110979225.6A CN202110979225A CN114156422A CN 114156422 A CN114156422 A CN 114156422A CN 202110979225 A CN202110979225 A CN 202110979225A CN 114156422 A CN114156422 A CN 114156422A
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刘起相
高京禄
金荣洙
刘宰硕
崔正燮
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Abstract

一种接合装置，包括：支撑件，在所述支撑件中限定多个通孔；隔膜，设置在所述支撑件上以覆盖所述支撑件；施压垫，设置在位于所述支撑件的顶表面上方的所述隔膜上；以及窗固定卡盘，设置在所述施压垫上，并且在所述窗固定卡盘中限定面对所述施压垫的凹槽。在此，所述施压垫包括：垫；和至少一个支撑杆，设置在所述垫中并且在第一方向上延伸。

Description

接合装置
相关申请的交叉引用
本美国申请要求于2020年9月8日提交的第10-2020-0114287号韩国专利申请的优先权及从其获取的所有权益，该韩国专利申请的内容通过引用全部包含于此。
技术领域
本公开在此涉及接合装置和使用接合装置制造显示装置的方法。
背景技术
例如智能电话、数码相机、膝上型计算机、导航单元和智能电视机的用于将图像提供给用户的电子装置包括用于显示图像的显示装置。显示装置生成图像以将生成的图像通过显示屏幕提供给用户。
随着显示装置的技术的发展，开发了各种类型的显示装置。例如，开发了能够在其前表面以及后表面和侧表面上显示图像的显示装置。
显示装置包括用于显示图像的显示面板和设置在显示面板上以保护显示面板的窗。可以将显示面板和窗中的每一者模制成沿着显示装置的前表面、后表面和侧表面设置，以便在显示装置的前表面、后表面和侧表面上显示图像。
发明内容
本公开提供一种能够防止显示面板和窗之间的接合缺陷的接合装置以及使用接合装置制造显示装置的方法。
本发明构思的实施例提供一种接合装置，所述接合装置包括：支撑件，在所述支撑件中限定多个通孔；隔膜，设置在所述支撑件上以覆盖所述支撑件；施压垫，设置在位于所述支撑件的顶表面上方的所述隔膜上；以及窗固定卡盘，设置在所述施压垫上方，并且在所述窗固定卡盘中限定面对所述施压垫的凹槽。在此，所述施压垫包括：垫；和至少一个支撑杆，设置在所述垫中并且在第一方向上延伸。
在本发明构思的实施例中，一种制造显示装置的方法包括：制备设置在支撑件上的隔膜以覆盖所述支撑件以及设置在位于所述支撑件的顶表面上方的所述隔膜上的施压垫；将显示面板布置在所述隔膜和所述施压垫的侧表面上，其中，所述隔膜的侧表面与所述支撑件的侧表面相邻；将窗布置在被设置在所述施压垫上方的窗固定卡盘的凹槽中；将所述隔膜和所述施压垫布置在所述凹槽内；通过在朝向所述施压垫的方向上移动所述窗固定卡盘以按压所述施压垫，将所述显示面板的第一弯曲部分接合到所述窗的与所述第一弯曲部分相邻的第二弯曲部分，其中，所述第一弯曲部分设置在所述施压垫上；并且通过使所述隔膜膨胀将所述显示面板的第一平坦部分接合到所述窗的第二平坦部分，其中，所述第一平坦部分中的每一者在所述窗固定卡盘移动的方向上从所述第一弯曲部分延伸并且与所述隔膜的所述侧表面相邻，并且所述第二平坦部分与所述第一平坦部分相邻。
在本发明构思的实施例中，一种接合装置包括：支撑件，在所述支撑件中限定多个通孔；隔膜，设置在所述支撑件上以覆盖所述支撑件；施压垫，设置在位于所述支撑件的顶表面上的所述隔膜上；以及窗固定卡盘，设置在所述施压垫上，并且在所述窗固定卡盘中限定面对所述施压垫的凹槽。在此，当所述窗固定卡盘移动时，所述施压垫因为由所述窗固定卡盘引起的压力而可变形，使得所述施压垫设置在所述凹槽中。
附图说明
包括附图以提供对本发明构思的进一步理解，并且将附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图示出了本发明构思的示例性实施例，并且与描述一起用于解释本发明构思的原理。在附图中：
图1是示出根据本发明构思的实施例的接合装置的透视图；
图2是示出通过图1中的接合装置彼此接合的显示面板和窗的视图；
图3是示例性地示出图2中的显示面板的截面图；
图4是示例性地示出设置在图3中的显示器件层和电路器件层上的一个像素的截面图；
图5是示出图1中的载台、隔膜和设置在隔膜中的支撑件的透视图；
图6是示出图1中的施压垫的放大透视图；
图7是沿着图5的线I-I'截取的截面图；
图8A是沿着图5的线II-II'截取的截面图；
图8B是示出根据本发明构思的另一实施例的腔的形状的视图；
图9至图17是用于说明通过使用图1中的接合装置制造显示装置的方法的视图；
图18是示出将要与显示面板和窗耦接的面板支撑件的视图；
图19是示出通过彼此耦接的显示面板、窗和面板支撑件形成的显示装置的视图；并且
图20至图22是示出根据本发明构思的各种实施例的施压垫的视图。
具体实施方式
在本说明书中，还将理解的是，当一个组件(或区域、层、部分)被称为“在”另一组件“上”、“连接到”或“耦接到”另一组件时，所述组件可以直接设置在所述另一组件上/直接连接到所述另一组件/直接耦接在所述另一组件上/直接耦接到所述另一组件，或者也可以存在居间第三组件。
同样的附图标记始终指示同样的元件。而且，在附图中，为了示出清楚，夸大了组件的厚度、比例和尺寸。
这里使用的术语仅是为了描述特定实施例的目的，并非旨在进行限制。如这里所使用的，除非上下文另有明确指示，否则单数形式“一个”、“一种”和“所述(该)”旨在包括复数形式，包括“至少一个(种)”。“至少一个(种)”不被解释为限于“一个”或“一种”。“或”是指“和/或”。术语“和/或”包括一个或多个相关所列项的任何组合和所有组合。
将理解的是，尽管在这里使用诸如“第一”和“第二”的术语来描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个组件与其他组件区分开。例如，在不脱离所附加权利要求的范围的情况下，在一个实施例中被称为第一元件的元件可以在另一实施例中被称为第二元件。除非相反地指出，否则单数形式的术语可以包括复数形式。
此外，“在……下面”、“在……下方”、“在……上方”和“上”等用于说明附图中示出的组件的关联关系。这些术语可以是相对概念，并且基于附图中表示的方向来描述。
除非另有定义，否则这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本领域技术人员所通常理解的相同的含义。在通用词典中定义的术语应当被解释为具有与在相关技术背景中相同的含义，并且除非在说明书中明确地定义，否则术语将不被理想化地或过度地解释为具有形式化的含义。
“包括”或“包含”的含义列举了属性、固定数、步骤、操作、元件、组件或它们的组合，但不排除其他属性、固定数、步骤、操作、元件、组件或它们的组合。
在下文中，将参照附图详细描述本发明构思的实施例。
图1是示出根据本发明构思的实施例的接合装置的透视图。
参照图1，根据本发明构思的实施例的接合装置BOD可以包括：载台STG、隔膜DPM、施压垫PPD、多个柱COL1和COL2、多个张力部件TNP、多个第一移动部件MOV1、第二移动部件MOV2、多个第三移动部件MOV3、多个辊ROL、多个辊支撑件RSP和窗固定卡盘FCK。
载台STG可以具有由第一方向DR1和与第一方向DR1交叉的第二方向DR2限定的平坦表面。柱COL1和COL2中的每一者可以设置在载台STG上，并且在第三方向DR3上延伸。
第三方向DR3可以被限定为以基本上垂直的方式与由第一方向DR1和第二方向DR2限定的平面交叉的方向。在下文中，在本说明书中，诸如“在……上方”、“在……上”、“在……下方”、“上方向”和“下方向”等空间相对术语可以表示组件相对于第三方向DR3的相对位置和方向。此外，表述“在平面上观察”或“在平面图中”可以限定为当在第三方向DR3上观察时的状态。
柱COL1和COL2可以包括多个第一柱COL1和多个第二柱COL2。第一柱COL1可以设置在第二柱COL2之间。第一柱COL1可以布置在第一方向DR1上，并且在第一方向DR1上彼此面对。
第二柱COL2可以设置在载台STG的两侧，并且所述两侧在第一方向DR1上彼此相对。第二柱COL2可以布置在第一方向DR1上，并且在第一方向DR1上彼此面对。每个第二柱COL2可以具有在第三方向DR3上的大于每个第一柱COL1的长度的长度。
隔膜DPM可以设置在载台STG上。尽管未示出，但是支撑件可以设置在隔膜DPM中，并且下面将在图5中描述支撑件。隔膜DPM可以设置在第一柱COL1之间。
施压垫PPD可以设置在隔膜DPM上。施压垫PPD可以在第一方向DR1上延伸以设置在第一柱COL1上，并且连接到第二柱COL2。
张力部件TNP可以面对载台STG的两侧，并且所述两侧在第二方向DR2上彼此相对。张力部件TNP可以各自在第一方向DR1上延伸。
第一移动部件MOV1可以设置在张力部件TNP和载台STG的两侧之间，并且所述两侧在第二方向DR2上彼此相对。第一移动部件MOV1可以插入到凹入部RES1中，凹入部RES1被限定在载台STG的在第二方向DR2上彼此相对的两侧处，并且第一移动部件MOV1在第二方向DR2(参见图1中的相应的箭头方向)上移动。第一移动部件MOV1可以连接到张力部件TNP，并且在第二方向DR2上移动张力部件TNP。
尽管未示出，但是可以在载台STG中设置用于驱动第一移动部件MOV1的驱动单元。然而，本发明构思的实施例不限于上述的用于驱动第一移动部件MOV1的驱动单元的位置。
第二移动部件MOV2可以具有框架形状。例如，尽管第二移动部件MOV2可以具有矩形框架形状，但是本发明构思的实施例不限于上述的第二移动部件MOV2的形状。第二移动部件MOV2可以连接到第二柱COL2。第二移动部件MOV2可以连接到第二柱COL2的外表面，并且外表面与第二柱COL2的彼此面对的内表面相对。第二移动部件MOV2可以在第三方向DR3(参见图1中的相应的箭头方向)上移动。
尽管未示出，但是可以在第二柱COL2中设置用于驱动第二移动部件MOV2的驱动单元。然而，本发明构思的实施例不限于上述的用于驱动第二移动部件MOV2的驱动单元的位置。
第三移动部件MOV3可以各自在第一方向DR1上延伸，并且在第二方向DR2上彼此面对。第三移动部件MOV3可以连接到第二移动部件MOV2的内表面。在此，第二移动部件MOV2的内表面在第一方向DR1上彼此面对。第三移动部件MOV3可以设置为分别与第二移动部件MOV2的其余内表面相邻。在此，第二移动部件MOV2的其余内表面在第二方向DR2上彼此面对。第三移动部件MOV3可以在第二方向DR2(参见图1中的相应的箭头方向)上移动。
尽管未示出，但是可以在第二移动部件MOV2中设置用于驱动第三移动部件MOV3的驱动单元。然而，本发明构思的实施例不限于上述的用于驱动第三移动部件MOV3的驱动单元的位置。
辊支撑件RSP可以各自在第二方向DR2上延伸。辊支撑件RSP可以连接到第三移动部件MOV3。连接到每个第三移动部件MOV3的辊支撑件RSP可以布置在第一方向DR1上。
每个辊ROL可以设置在连接到每个第三移动部件MOV3的辊支撑件RSP之间，并且连接到辊支撑件RSP。每个辊ROL可以具有在第一方向DR1上延伸的圆柱形状。辊ROL可以在第二方向DR2上彼此面对。辊ROL可以通过第三移动部件MOV3在第二方向DR2上移动，并且通过第二移动部件MOV2在第三方向DR3上移动。
辊ROL可以在连接到辊支撑件RSP的同时旋转。例如，辊ROL可以相对于平行于第一方向DR1的旋转轴旋转。辊ROL可以沿着辊支撑件RSP在第二方向DR2上移动。
窗固定卡盘FCK可以设置为高于施压垫PPD。可以在窗固定卡盘FCK中限定在第一方向DR1上延伸的凹槽GOV。凹槽GOV可以具有具备凹入形状的内端。
图2是示出通过图1中的接合装置彼此接合的显示面板和窗的视图。
图2示例性地示出了当在第一方向DR1上观察时的显示面板DP和窗WIN的侧表面。
参照图1和图2，在接合装置BOD中，将要接合到窗WIN的显示面板DP可以设置在施压垫PPD和隔膜DPM上。窗WIN可以设置在窗固定卡盘FCK的凹槽GOV中。下面将在图14中示出设置在施压垫PPD和隔膜DPM上的显示面板DP的形状以及设置在窗固定卡盘FCK的凹槽GOV中的窗WIN的形状。
显示面板DP可以通过引导膜GFM设置在施压垫PPD和隔膜DPM上，而不是直接设置在施压垫PPD和隔膜DPM上。例如，可以制备引导膜GFM，并且然后可以在引导膜GFM上设置显示面板DP。引导膜GFM可以设置在施压垫PPD和隔膜DPM上(参见图14)。
引导膜GFM可以包括柔性塑料材料。例如，引导膜GFM可以包括诸如聚酰亚胺(“PI”)或聚对苯二甲酸乙二醇酯(“PET”)的塑料材料。
显示面板DP可以是柔性显示面板。根据本发明构思的实施例的显示面板DP可以是发光显示面板。然而，本发明构思的实施例不具体限于此。例如，显示面板DP可以是有机发光显示面板或量子点发光显示面板。有机发光显示面板可以包括含有有机发光材料的发光层。量子点发光显示面板可以包括含有量子点或量子棒的发光层。在下文中，显示面板DP将被描述为有机发光显示面板。
窗WIN可以设置在显示面板DP上。窗WIN可以包括玻璃。窗WIN可以限定为超薄玻璃(“UTG”)。超薄玻璃可以是即使当弯曲时也不易破碎的具有强耐久性的钢化玻璃。
除了玻璃之外，窗WIN还可以包括合成树脂膜。此外，窗WIN可以具有多层结构或单层结构。例如，窗WIN可以包括通过粘合剂耦接的多个合成树脂膜或者通过粘合剂耦接的玻璃基底和合成树脂膜。
粘合剂ADH可以设置在显示面板DP和窗WIN之间。尽管粘合剂ADH可以包括光学透明粘合剂(“OCA”)，但是本发明构思的实施例不限于此。
粘合剂ADH可以首先设置在显示面板DP的顶表面上，并且然后窗WIN可以接合到粘合剂ADH。显示面板DP和窗WIN可以通过粘合剂ADH彼此接合。可以使用图1中的接合装置BOD将显示面板DP和窗WIN彼此接合。
在将显示面板DP接合到窗WIN之后，引导膜GFM可以与显示面板DP分离。尽管未示出，但是用于将引导膜GFM接合到显示面板DP的粘合剂可以设置在引导膜GFM和显示面板DP之间。接合到显示面板DP的窗WIN可以保护显示面板DP免受外部划擦和冲击的影响。
尽管未示出，但是用于感测外部输入的输入感测部件和用于防止外部光反射的防反射层可以进一步设置在显示面板DP和窗WIN之间。
图3是示例性地示出图2中的显示面板的截面图。图4是示例性地示出设置在图3中的显示器件层和电路器件层中的一个像素的截面图。
参照图3，显示面板DP可以包括基底SUB、设置在基底SUB上的电路器件层DP-CL、设置在电路器件层DP-CL上的显示器件层DP-OLED以及设置在显示器件层DP-OLED上的薄膜封装层TFE。
基底SUB可以包括显示区域DA和设置在显示区域DA周围的非显示区域NDA。基底SUB可以包括诸如聚酰亚胺(PI)的柔性塑料材料。显示器件层DP-OLED可以设置在显示区域DA上。
多个像素可以设置在电路器件层DP-CL和显示器件层DP-OLED中的每一个中。像素中的每一个可以包括设置在电路器件层DP-CL中的晶体管和设置在显示器件层DP-OLED中并连接到晶体管的发光器件。
薄膜封装层TFE可以设置在电路器件层DP-CL上，以覆盖显示器件层DP-OLED。薄膜封装层TFE包括无机层和/或设置在无机层之间的有机层。无机层可以保护像素免受湿气/氧的影响。有机层可以保护像素免受诸如尘粒的异物的影响。
参照图4，像素PX可以包括晶体管TR和发光器件OLED。发光器件OLED可以包括第一电极AE、第二电极CE、空穴控制层HCL、电子控制层ECL和发光层EML。第一电极AE可以是阳极电极，并且第二电极CE可以是阴极电极。
晶体管TR和发光器件OLED可以设置在基底SUB上。尽管示例性地示出了一个晶体管TR，但是像素PX可以基本上包括用于驱动发光器件OLED的多个晶体管和至少一个电容器。显示区域DA可以包括其中设置有发光器件OLED的发光区域PA和设置在发光区域PA周围的非发光区域NPA。
缓冲层BFL可以设置在基底SUB上。缓冲层BFL可以是无机层。半导体图案可以设置在缓冲层BFL上。半导体图案可以包括多晶硅。然而，本发明构思的实施例不限于此。例如，半导体图案可以包括非晶硅或金属氧化物。
半导体图案可以掺杂有n型掺杂剂或p型掺杂剂。半导体图案可以包括重掺杂区域和轻掺杂区域。重掺杂区域可以具有大于轻掺杂区域的电导率的电导率。基本上，重掺杂区域可以用作晶体管TR的源极电极和漏极电极。轻掺杂区域可以基本上与晶体管的有源(或沟道)层相对应。
可以从半导体图案提供晶体管TR的源极S、有源区A和漏极D。第一绝缘层INS1可以设置在半导体图案上。晶体管TR的栅极G可以设置在第一绝缘层INS1上。
第二绝缘层INS2可以设置在栅极G上。第三绝缘层INS3可以设置在第二绝缘层INS2上。用于连接晶体管TR和发光器件OLED的连接电极CNE可以设置在晶体管TR和发光器件OLED之间。连接电极CNE可以包括第一连接电极CNE1和设置在第一连接电极CNE1上的第二连接电极CNE2。
第一连接电极CNE1可以设置在第三绝缘层INS3上，并且通过限定在第一绝缘层INS1至第三绝缘层INS3中的第一接触孔CH1连接到漏极D。第四绝缘层INS4可以设置在第一连接电极CNE1上。第五绝缘层INS5可以设置在第四绝缘层INS4上。第二连接电极CNE2可以设置在第五绝缘层INS5上。第二连接电极CNE2可以通过限定在第四绝缘层INS4和第五绝缘层INS5中的第二接触孔CH2连接到第一连接电极CNE1。
第六绝缘层INS6可以设置在第二连接电极CNE2上。从缓冲层BFL至第六绝缘层INS6的各层可以限定为电路器件层DP-CL。第一绝缘层INS1至第六绝缘层INS6中的每一个可以是无机层或有机层。
第一电极AE可以设置在第六绝缘层INS6上。第一电极AE可以通过限定在第六绝缘层INS6中的第三接触孔CH3连接到第二连接电极CNE2。用于暴露第一电极AE的预定部分的像素限定层PDL可以设置在第一电极AE和第六绝缘层INS6上。用于暴露第一电极AE的预定部分的开口PX_OP可以限定在像素限定层PDL中。
空穴控制层HCL可以设置在第一电极AE和像素限定层PDL上。空穴控制层HCL可以公共地设置在发光区域PA和非发光区域NPA上。空穴控制层HCL可以包括空穴传输层和空穴注入层。
发光层EML可以设置在空穴控制层HCL上。发光层EML可以设置在与开口PX_OP相对应的区域中。发光层EML可以包括有机材料和/或无机材料。发光层EML可以产生红光、绿光和蓝光中的一种。
电子控制层ECL可以设置在发光层EML和空穴控制层HCL上。电子控制层ECL可以公共地设置在发光区域PA和非发光区域NPA上。电子控制层ECL可以包括电子传输层和电子注入层。
第二电极CE可以设置在电子控制层ECL上。第二电极CE可以公共地设置在像素中。薄膜封装层TFE可以设置在发光器件OLED上。其中设置发光器件OLED的层可以限定为显示器件层DP-OLED。
可以通过晶体管TR将第一电压施加到第一电极AE，并且可以将具有小于第一电压的电平的第二电压施加到第二电极CE。在这种情况下，注入到发光层EML的空穴和电子可以复合以提供激子，并且当激子跃迁到基态时，发光器件OLED可以发光。
图5是示出图1中的载台、隔膜和设置在隔膜中的支撑件的透视图。
参照图5，可以在载台STG的顶表面中限定凹入部RES。多个空气注入孔AIH可以限定在凹入部RES中。支撑件SUP可以设置在载台STG上。支撑件SUP可以具有设置在凹入部RES中的下部。
支撑件SUP可以在第一方向DR1和第三方向DR3上延伸。支撑件SUP可以具有由第一方向DR1和第三方向DR3限定的板形状。支撑件SUP可以具有由第一方向DR1和第二方向DR2限定的平坦的顶表面。支撑件SUP的顶表面可以在第一方向DR1上比在第二方向DR2上延伸得更多。
支撑件SUP可以具有刚性类型，并且包括不锈钢。相对于第一方向DR1和第二方向DR2，支撑件SUP的下部可以具有大于支撑件SUP的其他部分的宽度。
在支撑件SUP中可以限定多个通孔AH。通孔AH可以限定在支撑件SUP的两个侧表面中。在此，支撑件SUP的两个侧表面在第二方向DR2上彼此相对。
隔膜DPM可以设置在支撑件SUP上，以覆盖支撑件SUP。下面将在图7和图8中示出隔膜DPM覆盖支撑件SUP的结构。隔膜DPM可以包括具有弹性性质且因外力而膨胀的材料。例如，隔膜DPM可以包括硅。
隔膜DPM可以包括用于覆盖支撑件SUP的覆盖部COV和从覆盖部COV的下端延伸的连接部CNP。连接部CNP可以在第一方向DR1和第二方向DR2上延伸以限定框架形状。可以在连接部CNP中限定多个耦接孔CPH。
图6是示出图1中的施压垫的放大透视图。
参照图6，施压垫PPD可以包括在第一方向DR1上延伸的垫PD以及设置在垫PD中并在第一方向DR1上延伸的多个支撑杆SB1和SB2。
当在第一方向DR1上观察时，垫PD可以具有具备在第三方向DR3上延伸的主轴的大致塔形形状(参见图7)。当在第一方向DR1上观察时，垫PD的顶表面可以是朝向向上的方向(即，朝向凹槽GOV的方向)的凸曲面。当在第一方向DR1上观察时，垫PD的底表面可以是朝向向下的方向(即，朝向隔膜DPM的方向)凸曲面。
垫PD可以具有弹性，并且垫PD因外力而可变形。例如，垫PD可以包括具有弹性且因外力而可变形的硅。垫PD可以由支撑杆SB1和SB2支撑。
支撑杆SB1和SB2中的每一个可以具有在第一方向DR1上延伸的圆柱形状。然而，本发明构思的实施例不限于上述的支撑杆SB1和SB2中的每一个的形状。支撑杆SB1和SB2中的每一个可以延伸到垫PD的外部。例如，支撑杆SB1和SB2中的每一个可以在第一方向DR1上比垫PD延伸得更多。尽管示例性地示出了两个支撑杆SB1和SB2，但是本发明构思的实施例不限于这种数量的支撑杆。
支撑杆SB1和SB2中的每一个可以具有大于垫PD的刚性。支撑杆SB1和SB2中的每一个可以包括具有大于垫PD的刚性的金属。例如，支撑杆SB1和SB2可以包括不锈钢。支撑杆SB1和SB2可以设置在垫PD中以支撑垫PD。
垫PD和支撑杆SB1和SB2可以设置在第二柱COL2之间。支撑杆SB1和SB2可以在第一方向DR1上延伸以设置在第一柱COL1上方，并且连接到第二柱COL2。支撑杆SB1和SB2可以连接到第二柱COL2的内表面的部分，并且连接的部分设置在第一柱COL1上方。
支撑杆SB1和SB2中的每一者的两侧可以连接并固定到第二柱COL2。然而，本发明构思的实施例不限于此。例如，支撑杆SB1和SB2中的每一者的两侧可以连接到第二柱COL2，并且在第三方向DR3上移动预定的距离。对于上述构造，垂直缓冲的弹性构件可以设置在第二柱COL2中，并且连接到支撑杆SB1和SB2中的每一者的两侧。
垫PD可以不连接到第一柱COL1。垫PD可以由连接到第二柱COL2的支撑杆SB1和SB2支撑。
支撑杆SB1和SB2可以包括在第一方向DR1上延伸的第一支撑杆SB1以及在第一方向DR1上延伸并设置在第一支撑杆SB1上方的第二支撑杆SB2。第一支撑杆SB1可以具有与第二支撑杆SB2的尺寸不同的尺寸。所述尺寸可以限定为第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2中的每一者的直径。
图7是沿着图5的线I-I'截取的截面图。
在图7中，还示例性地示出了图1中的载台STG和图6中的施压垫PPD的截面。
参照图7，隔膜DPM和施压垫PPD可以设置在支撑件SUP上。施压垫PPD可以设置在隔膜DPM上，隔膜DPM设置在支撑件SUP的顶表面上/上方。第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2可以设置在垫PD中以支撑垫PD。
支撑件SUP和隔膜DPM可以设置在载台STG上。支撑件SUP可以具有设置在凹入部RES中的下部，凹入部RES限定在载台STG中。可以在支撑件SUP中限定腔CVT。腔CVT可以在支撑件SUP中向下开口。腔CVT可以被限定为主空气通道，所述主空气通道在第三方向DR3上延伸且限定在支撑件SUP中。腔CVT可以是空气流动通道。
在实施例中，例如，腔CVT可以在第三方向DR3上延伸。然而，本发明构思的实施例不限于此。在另一实施例中，腔CVT可以相对于第三方向DR3具有预定的倾斜角，并且在向上的方向上延伸。
通孔AH可以从腔CVT延伸到支撑件SUP的两个侧表面。在此，支撑件SUP的两个侧表面在第二方向DR2上彼此相对。因此，通孔AH可以限定在支撑件SUP的在第二方向DR2上彼此相对的两个侧表面中。
在实施例中，例如，通孔AH可以各自在第二方向DR2上延伸。然而，本发明构思的实施例不限于此。在另一实施例中，例如，通孔AH中的每一个可以相对于第二方向DR2具有预定的倾斜角，并且朝向支撑件SUP的两个侧表面延伸。通孔AH中的每一个可以限定为在第二方向DR2上延伸的子空气通道。通孔AH中的每一个可以是空气流动通道。
在限定有凹入部RES的载台STG中所限定的空气注入孔AIH可以在第三方向DR3上延伸。当在第三方向DR3上观察时，空气注入孔AIH可以与腔CVT重叠。空气注入孔AIH可以限定为空气通过所经由的空气注入通道。
尽管可以将空气AIR(参见图17)供应到空气注入孔AIH、腔CVT和通孔AH，但是本发明构思的实施例不限于此。例如，可以将包括空气的各种气体或各种流体供应到空气注入孔AIH、腔CVT和通孔AH。
隔膜DPM可以覆盖支撑件SUP，并且然后连接到载台STG。覆盖部COV可以覆盖支撑件SUP。连接部CNP可以从覆盖部COV的下端与载台STG平行地延伸，并且连接到载台STG。为了将连接部CNP连接到载台STG，多个耦接单元CU可以布置在耦接孔CPH中并且连接到载台STG。
当在第一方向DR1上观察时，第一支撑杆SB1的截面可以具有与第二支撑杆SB2的截面的尺寸不同的尺寸。例如，第一支撑杆SB1的截面可以具有大于第二支撑杆SB2的截面的尺寸的尺寸。
图8A是沿着图5的线II-II'截取的截面图。
在图8A中，还示例性地示出了图1中的载台STG和图6中的施压垫PPD的截面。
参照图8A，腔CVT可以提供为多个。多个腔CVT可以各自在第三方向DR3上延伸并且布置在第一方向DR1上。当在平面上(即，在平面图中)观察时，腔CVT可以与垫PD重叠。通孔AH(参见图7)可以从腔CVT延伸。
多个空气注入孔AIH可以被限定在载台STG的其中限定有凹入部RES的部分中。空气注入孔AIH可以限定为分别与腔CVT相对应。当在平面上观察时，空气注入孔AIH中的每一个可以与多个腔CVT中的相应腔CVT重叠。
图8B是示出根据本发明构思的另一实施例的腔的形状的视图。
在实施例中，例如，图8B示出了与图8A相对应的另一截面图。图8B示出了当支撑件SUP在中间被切割时的截面图(参见图7)。
参照图8B，与图8A中的多个腔CVT不同，可以在支撑件SUP中限定单个腔CVT。与图8A中的结构不同，更大的单个腔CVT可以限定在支撑件SUP中。当在平面上观察，单个腔CVT可以与垫PD重叠。在这种情况下，通孔AH(参见图7)可以从单个腔CVT延伸。
图9至图17是用于说明通过使用图1中的接合装置制造显示装置的方法的视图。
在图9至图17中，示例性地示出了显示面板DP和引导膜GFM，但是省略了粘合剂ADH。
参照图9，引导膜GFM可以具有在第二方向DR2上的大于显示面板DP的长度的长度。显示面板DP可以设置在引导膜GFM上并且接合到引导膜GFM。可以在第一处理室(未示出)中执行接合引导膜GFM和显示面板DP的工艺。尽管未示出，但是粘合剂ADH可以设置在显示面板DP上。此外，可以进一步使用用于将显示面板DP接合到引导膜GFM的粘合剂。
可以将彼此接合的引导膜GFM和显示面板DP传送到第二处理室(未示出)。在第二处理室中，可以执行将窗WIN(参见图2)接合到显示面板DP的工艺。下面将描述的所有工艺可以基本上在第二处理室中执行。
参照图10，可以提供多个夹具JIG，并且多个夹具JIG设置在引导膜GFM的多个部分上。所述多个部分与引导膜GFM的在第二方向DR2上的两端相邻。夹具JIG可以保持引导膜GFM的在第一方向DR1上彼此相对的两侧。因此，如图10中所示，四个夹具JIG可以分别在上述多个部分处保持引导膜GFM。然而，这仅仅是示例性的，并且本发明构思的实施例不限于这种数量的夹具JIG。引导膜GFM可以通过夹具JIG传送。
参照图11，引导膜GFM可以通过夹具JIG设置在隔膜DPM和施压垫PPD上。夹具JIG可以在向下的方向(即，朝向施压垫PPD的方向)上移动，以将引导膜GFM提供在施压垫PPD上。
参照图11和图12，引导膜GFM可以通过夹具JIG在向下的方向上移动，并且引导膜GFM的与显示面板DP的中央部分重叠的部分可以设置在施压垫PPD上。引导膜GFM的与显示面板DP的中央部分重叠的部分可以接触施压垫PPD的垫PD。显示面板DP的接触垫PD的中央部分可以沿着垫PD的顶表面的曲面弯曲。
夹具JIG可以在向下的方向上传送引导膜GFM的两端，使得所述两端设置在被限定在张力部件TNP中的固定凹槽FGV中。此后，可以从引导膜GFM去除夹具JIG(参见图10)。
引导膜GFM的两端可以固定到固定凹槽FGV。尽管未示出，但是固定单元(例如，用于按压引导膜GFM的螺钉)可以设置在固定凹槽FGV中，以固定引导膜GFM的两端。张力部件TNP可以通过第一移动部件MOV1移动，以在第二方向DR2上彼此间隔开，使得引导膜GFM展开成平坦的。
参照图1、图12和图13，辊ROL可以在第二方向DR2和第三方向DR3上移动。如上所述，辊ROL可以通过第二移动部件MOV2在第三方向DR3上移动(即，向下移动)，并且通过第三移动部件MOV3在第二方向DR2上移动。即，两个辊ROL沿着第二方向DR2在相反的方向上移动，以彼此更靠近。
辊ROL可以接触引导膜GFM以传送引导膜GFM。辊ROL可以接触引导膜GFM的与显示面板DP相邻的部分。辊ROL可以设置为与支撑件SUP的下端相邻。辊ROL可以设置为与支撑件SUP的在第二方向DR2上彼此相对的侧表面相邻。辊ROL可以设置为与隔膜DPM的下端相邻。例如，辊ROL可以设置为与覆盖部COV的下端相邻。
引导膜GFM可以设置在施压垫PPD和隔膜DPM的侧表面上，并且显示面板DP可以通过引导膜GFM设置在施压垫PPD和隔膜DPM的侧表面上。隔膜DPM的侧表面可以限定为隔膜DPM的部分，隔膜DPM的侧表面可以设置为与支撑件的侧表面相邻，并且在第二方向DR2上彼此相对。
如图12中所示，显示面板DP可以与辊ROL在第二方向DR2和/或第三方向DR3上隔开。基本上，辊ROL可以引导显示面板DP，使得显示面板DP设置为与支撑件SUP和隔膜DPM相邻。
当引导膜GFM通过辊ROL移动时，张力部件TNP也可以与辊ROL一起移动。随着辊ROL移动以在朝向支撑件SUP的方向上彼此相邻，张力部件TNP可以通过第一移动部件MOV1移动以在第二方向DR2上彼此相邻。
在下文中，将从图14起省略张力部件TNP。
参照图14，窗固定卡盘FCK可以设置在隔膜DPM和施压垫PPD上方。窗固定卡盘FCK可以设置为面对隔膜DPM和施压垫PPD。基本上，载台STG可以移动到设置窗固定卡盘FCK所在的位置，使得窗固定卡盘FCK设置在施压垫PPD上。
在窗固定卡盘FCK中限定的凹槽GOV可以面对施压垫PPD。凹槽GOV的面对支撑件SUP的内端可以具有凹入形状。具体地，窗固定卡盘FCK可以在凹槽GOV的面对垫PD的顶表面的内端处具有凹曲面。
窗WIN可以设置在窗固定卡盘FCK的凹槽GOV中。设置在凹槽GOV中的窗WIN可以具有弯曲形状。尽管未示出，但是可以在窗固定卡盘FCK的其中限定有凹槽GOV的内表面中限定用于吸附并固定窗WIN的真空吸附孔。
尽管在图14中未示出，但是粘合剂ADH可以设置在显示面板DP上。
因为显示面板DP沿着垫PD的具有凸曲面的顶表面和具有在第三方向DR3上延伸的板形状的支撑件SUP设置(例如，如图14中所示，沿着垫PD的具有凸曲面的顶表面和两个侧表面以及支撑件SUP的两个侧表面设置)，所以显示面板DP可以具有弯曲形状。显示面板DP可以包括第一弯曲部分BP1和第一平坦部分PP1。第一平坦部分PP1中的每一个具有从第一弯曲部分BP1延伸的平坦形状。
第一弯曲部分BP1可以设置在具有凸曲面的垫PD上。第一平坦部分PP1可以各自从第一弯曲部分BP1在向下的方向(即，第三方向DR3)上延伸，并且设置在隔膜DPM的与支撑件SUP的侧表面相邻地设置的侧表面上。此外，第一平坦部分PP1可以设置在垫PD的在第二方向DR2上彼此相对的侧表面上。当显示面板DP展开时，第一弯曲部分BP1可以设置在第一平坦部分PP1之间。
窗WIN可以包括与第一弯曲部分BP1相对应的第二弯曲部分BP2和与第一平坦部分PP1相对应的第二平坦部分PP2。第二平坦部分PP2可以各自从第二弯曲部分BP2在向下的方向(即，第三方向DR3)上延伸。
当窗WIN展开时，第二弯曲部分BP2可以设置在第二平坦部分PP2之间。第一弯曲部分BP1可以通过接合装置BOD接合到第二弯曲部分BP2，并且第一平坦部分PP1可以通过接合装置BOD接合到第二平坦部分PP2。下面将详细描述上述操作。
参照图14和图15A，由于支撑件SUP、隔膜DPM和施压垫PPD设置在凹槽GOV中，因此显示面板DP可以设置在凹槽GOV中。窗固定卡盘FCK可以在第三方向DR3上移动，使得支撑件SUP、隔膜DPM和施压垫PPD设置在凹槽GOV中。
然而，本发明构思的实施例不限于此。载台STG可以在第三方向DR3上移动，使得支撑件SUP、隔膜DPM和施压垫PPD设置在凹槽GOV中。可代替地，窗固定卡盘FCK和载台STG可以在第三方向DR3上一起移动，以设置为彼此相邻。
当随着窗固定卡盘FCK在第三方向DR3上移动而将隔膜DPM和施压垫PPD插入到凹槽GOV中时，显示面板DP和窗WIN可以彼此间隔开，使得显示面板DP未通过粘合剂ADH(参见图2)接合到窗WIN。因此，在凹槽GOV中，显示面板DP可以与窗WIN隔开预定的距离。例如，显示面板DP和窗WIN之间的距离可以在从大约0.3mm至大约0.7mm的范围内。
图15B是图15A中的施压垫的放大图。
参照图15A和图15B，设置在窗固定卡盘FCK中的窗WIN不与显示面板DP接触。由于窗固定卡盘FCK不按压施压垫PPD，因此施压垫PPD可以保持其初始形状。在这种情况下，第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2可以在第三方向DR3上彼此隔开第一间隙GP1。垫PD可以在第三方向DR3上具有第一厚度TH1。垫PD可以在第二方向DR2上具有第一宽度WM1。
参照图16A，窗固定卡盘FCK可以在向下的方向(即，箭头方向)上进一步移动，以按压施压垫PPD。当窗固定卡盘FCK按压施压垫PPD时，施压垫PPD会变形。具体地，当窗固定卡盘FCK按压垫PD时，垫PD会因为由窗固定卡盘FCK引起的压力而变形。
通过由窗固定卡盘FCK引起的压力，垫PD可以在第三方向DR3上收缩并在第二方向DR2上膨胀。垫PD可以被变形为与窗固定卡盘FCK的限定凹槽GOV的凹曲面相对应的形状。随着垫PD在第三方向DR3上收缩，第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2之间的间隙会减小。
显示面板DP的设置在施压垫PPD上的第一弯曲部分BP1可以接合到窗WIN的与第一弯曲部分BP1相邻地设置的第二弯曲部分BP2。具体地，当窗固定卡盘FCK按压垫PD时，随着垫PD的形状变形，第一弯曲部分BP1可以通过垫PD的压力接合到第二弯曲部分BP2。
基本上，第一弯曲部分BP1可以通过设置在显示面板DP上的粘合剂ADH(参见图2)接合到第二弯曲部分BP2。
根据在第二方向DR2上膨胀的垫PD的压力，第一平坦部分PP1的与第一弯曲部分BP1相邻的部分可以朝向第二平坦部分PP2的与第二弯曲部分BP2相邻的部分移动。因此，随着垫PD变形，第一平坦部分PP1的与第一弯曲部分BP1相邻的部分也可以接合到第二平坦部分PP2的与第二弯曲部分BP2相邻的部分。
图16B是图16A中施压垫的放大图。
参照图16B，当窗固定卡盘FCK按压施压垫PPD时，施压垫PPD会变形，并且窗WIN可以接触显示面板DP。在这种情况下，第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2可以在第三方向DR3上彼此隔开第二间隙GP2。第二间隙GP2可以小于第一间隙GP1。即，第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2可以设置为比图15B中的第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2更靠近。
当窗固定卡盘FCK在第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2固定到如图6中所示的第二柱COL2的状态下按压施压垫PPD时，垫PD中的第一支撑杆SB1和第二支撑杆SB2可以向下弯曲。
当窗固定卡盘FCK如图16A中所示地按压施压垫PPD时，垫PD可以如图16B中所示地具有在第三方向DR3上的小于第一厚度TH1(参见图15B)的第二厚度TH2。即，垫PD可以在第三方向DR3上收缩。垫PD可以具有在第二方向DR2上的大于第一宽度WM1的第二宽度WM2。即，垫PD可以在第二方向DR2上膨胀。
当垫PD变形时，隔膜DPM的设置在垫PD和支撑件SUP之间的部分可以弯曲。
参照图17，空气AIR可以注入到空气注入孔AIH，并且空气AIR可以通过空气注入孔AIH供应到腔CVT。供应到腔CVT的空气AIR可以通过腔CVT被供应到通孔AH。腔CVT和通孔AH可以限定空气AIR大体上移动所经由的空气路径。空气AIR可以通过通孔AH供应到隔膜DPM。
尽管可以示例性地将空气AIR通过空气注入孔AIH供应到腔CVT和通孔AH，但是本发明构思的实施例不限于此。例如，包括空气的各种气体或各种流体可以通过空气注入孔AIH供应到腔CVT和通孔AH。
隔膜DPM可以经由通过通孔AH供应的空气AIR朝向支撑件SUP的外部膨胀。膨胀的隔膜DPM可以将显示面板DP的第一平坦部分PP1朝向支撑件SUP的外部推动。在此，第一平坦部分PP1可以设置为与隔膜DPM的侧表面相邻。结果，第一平坦部分PP1可以朝向与第一平坦部分PP1相邻的第二平坦部分PP2移动，并且接合到第二平坦部分PP2。
基本上，第一平坦部分PP1可以通过设置在显示面板DP上的粘合剂ADH(参见图2)接合到第二平坦部分PP2。
尽管未示出，但是显示面板DP可以接合到窗WIN，并且然后引导膜GFM可以与显示面板DP分离。
当不使用根据本发明构思的实施例的接合装置BOD将弯曲的显示面板DP插入并接合到弯曲的窗WIN时，第一平坦部分PP1可以首先接合到第二平坦部分PP2。在这种情况下，可能发生第一弯曲部分BP1未接合到第二弯曲部分BP2的接合故障。
然而，由于显示面板DP通过本发明构思的实施例中的接合装置BOD从第一弯曲部分BP1至第一平坦部分PP1顺序地接合，因此显示面板DP可以更容易地接合到窗WIN。因此，可以有效地防止显示面板DP与窗WIN之间的接合故障。
描述了这样的工艺：当平坦显示面板DP和平坦窗WIN中的每一者根据施压垫PPD、支撑件SUP和窗固定卡盘FCK中的每一者的结构而弯曲大约180度(°)时，接合各自具有半圆形形状的第一弯曲部分BP1和第二弯曲部分BP2。在平坦显示面板DP的情况下弯曲大约180°的状态表示这样的结构：第一平坦部分PP1中的一个第一平坦部分PP1相对于第一弯曲部分BP1移动大约180°以面对另一第一平坦部分PP1并在第三方向DR3上延伸。
然而，本发明构思的实施例不限于此。接合装置BOD可以用于接合各自具有各种曲面的显示面板DP和窗WIN。在另一实施例中，例如，通过改变限定在窗固定卡盘FCK中的凹槽GOV的形状以及施压垫PPD和支撑件SUP中的每一者的形状，显示面板DP和窗WIN可以在从大约90°至大约180°的范围内弯曲并且彼此接合。即，第一弯曲部分BP1和第二弯曲部分BP2可以模制成具有各种弯曲的形状。
图18是示出将要与显示面板和窗耦接的面板支撑件的视图。图19是示出通过彼此耦接的显示面板、窗和面板支撑件形成的显示装置的视图。
参照图18，具有弯曲结构且彼此接合的显示面板DP和窗WIN可以耦接到面板支撑件P_SP。面板支撑件P_SP可以设置在显示面板DP的第一平坦部分PP1之间。面板支撑件P_SP可以包括用于支撑显示面板DP的支架、用于向显示面板DP供电的电池以及用于控制显示面板DP的操作的系统板。
参照图18和图19，显示面板DP的第一弯曲部分BP1可以限定显示装置DD的侧面显示部分SSD。显示面板DP的第一平坦部分PP1可以限定显示装置DD的正面显示部分USD和背面显示部分LSD。
正面显示部分USD、背面显示部分LSD和侧面显示部分SSD中的每一者可以显示预定的图像。例如，正面显示部分USD可以显示预定的图标，并且侧面显示部分SSD可以显示日期和天气。然而，这仅仅是说明性的。例如，正面显示部分USD和侧面显示部分SSD中的每一者可以显示各种图像。尽管在透视图中未示出，但是背面显示部分LSD也可以显示各种图像。
在下文中，将描述施压垫PPD的各种实施例。此外，将主要描述不同于上述施压垫PPD的根据各种实施例的施压垫的特征，并且相同的组件由相同的附图标记表示。
图20至图22是示出根据本发明构思的各种实施例的施压垫的视图。
在实施例中，例如，图20至图22示出了与图7相对应的截面。因此，在图20至图22中分别示出了施压垫PPD_1、PPD_2和PPD_3的截面。
参照图20，施压垫PPD_1可以设置在支撑件SUP和隔膜DPM上，并且包括垫PD以及设置在垫PD中且在第一方向DR1上延伸的多个支撑杆SB1_1和SB2_1。支撑杆SB1_1和SB2_1可以包括在第一方向DR1上延伸的第一支撑杆SB1_1以及在第一方向DR1上延伸且设置在第一支撑杆SB1_1上方的第二支撑杆SB2_1。
第一支撑杆SB1_1和第二支撑杆SB2_1中的每一个可以具有在第一方向DR1上延伸的圆柱形状。当在第一方向DR1上观察时，第一支撑杆SB1_1的截面可以具有与第二支撑杆SB2_1的截面相同的尺寸。
参照图21，施压垫PPD_2可以包括垫PD以及设置在垫PD中且在第一方向DR1上延伸的多个支撑杆SB1_2和SB2_2。支撑杆SB1_2和SB2_2可以包括在第一方向DR1上延伸的第一支撑杆SB1_2以及在第一方向DR1上延伸且设置在第一支撑杆SB1_2上方的第二支撑杆SB2_2。第一支撑杆SB1_2可以具有在第一方向DR1上延伸的柱状形状。
当在第一方向DR1上观察时，第一支撑杆SB1_2的截面可以具有与第二支撑杆SB2_2的截面的尺寸不同的尺寸。例如，第一支撑杆SB1_2的截面可以具有大于第二支撑杆SB2_2的截面的尺寸的尺寸。当在第一方向DR1上观察时，第一支撑杆SB1_2可以具有与第二支撑杆SB2_2不同的形状(例如，新月形状)。
参照图22，施压垫PPD_3可以包括垫PD_1以及设置在垫PD_1中且在第一方向DR1上延伸的支撑杆SB1_3。与前述实施例不同，施压垫PPD_3可以包括单个支撑杆SB1_3。支撑杆SB1_3可以具有在第一方向DR1上延伸的圆柱形状。垫PD_1的顶表面可以具有凸曲面。垫PD_1的底表面可以具有平坦表面。
根据本发明构思的实施例，显示面板的第一弯曲部分可以接合到窗的与第一弯曲部分相邻的第二弯曲部分，并且然后显示装置的第一平坦部分可以接合到窗的与第一平坦部分相邻的第二平坦部分。因此，可以有效地防止在第一弯曲部分和第二弯曲部分之间产生的接合缺陷。
尽管已经描述了本发明的示例性实施例，但是理解的是，本发明不应限于这些示例性实施例，而是在如下文中要求保护的本发明的精神和范围内，本领域普通技术人员可以做出各种改变和修改。因此，在法律允许的最大限度内，本发明的范围将由以下权利范围及其等同物的最广泛的可允许的解释来确定，并且不应受前述详细描述的制约或限制。

Claims (19)

1.一种接合装置，其中，所述接合装置包括：
支撑件，在所述支撑件中限定多个通孔；
隔膜，设置在所述支撑件上以覆盖所述支撑件；
施压垫，设置在位于所述支撑件的顶表面上方的所述隔膜上；以及
窗固定卡盘，设置在所述施压垫上方，并且在所述窗固定卡盘中限定面对所述施压垫的凹槽，
其中，所述施压垫包括：
垫；和
至少一个支撑杆，设置在所述垫中并且在第一方向上延伸。
2.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述垫具有弹性，并且所述垫因外力而可变形。
3.根据权利要求2所述的接合装置，其中，所述垫包括硅。
4.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述至少一个支撑杆具有大于所述垫的刚性的刚性。
5.根据权利要求4所述的接合装置，其中，所述至少一个支撑杆包括金属。
6.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述垫在所述第一方向上延伸，并且当在所述第一方向上观察时，所述垫的顶表面具有在朝向所述凹槽的方向上凸出的曲面。
7.根据权利要求6所述的接合装置，其中，所述凹槽在所述第一方向上延伸，并且所述窗固定卡盘在所述凹槽的内端处具有凹曲面，并且所述凹曲面面对所述垫的所述曲面。
8.根据权利要求6所述的接合装置，其中，所述接合装置还包括布置在所述第一方向上的多个柱，
其中，所述支撑件和所述施压垫设置在所述柱之间，并且所述至少一个支撑杆在所述第一方向上比所述垫延伸得更多，且所述至少一个支撑杆连接到所述多个柱中的至少两个柱。
9.根据权利要求1所述的接合装置，其中，与所述第一方向交叉的方向被限定为第二方向，并且与由所述第一方向和所述第二方向限定的平面交叉的方向被限定为第三方向，并且
所述支撑件具有由所述第一方向和所述第三方向限定的板的形状。
10.根据权利要求9所述的接合装置，其中，在所述支撑件中限定在所述第三方向上延伸的至少一个腔，并且
所述通孔从所述至少一个腔延伸并且被限定在所述支撑件的两侧表面中，且所述两侧表面在所述第二方向上彼此相对。
11.根据权利要求9所述的接合装置，其中，所述窗固定卡盘在所述第三方向上移动，使得所述隔膜和所述施压垫设置在所述凹槽中。
12.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述隔膜经由通过所述通孔注入的空气朝向所述支撑件的外部膨胀。
13.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述接合装置还包括载台，
其中，所述支撑件和所述隔膜设置在所述载台上，并且所述隔膜覆盖所述支撑件并且连接到所述载台。
14.根据权利要求13所述的接合装置，其中，所述隔膜包括：
覆盖部，覆盖所述支撑件；和
连接部，从所述覆盖部的下端与所述载台平行地延伸并且连接到所述载台。
15.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述至少一个支撑杆包括：
第一支撑杆，在所述第一方向上延伸；和
第二支撑杆，在所述第一方向上延伸并且设置在所述第一支撑杆上方。
16.根据权利要求15所述的接合装置，其中，当在所述第一方向上观察时，所述第一支撑杆的截面具有与所述第二支撑杆的截面的尺寸不同的尺寸。
17.根据权利要求15所述的接合装置，其中，当在所述第一方向上观察时，所述第一支撑杆的截面具有与所述第二支撑杆的截面的尺寸相同的尺寸。
18.根据权利要求15所述的接合装置，其中，当在所述第一方向上观察时，所述第一支撑杆具有与所述第二支撑杆的形状不同的形状。
19.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述至少一个支撑杆包括具有在所述第一方向上延伸的圆柱形状的支撑杆。
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