CN114150366A - 一种具有金属丝的拉晶管和拉晶炉 - Google Patents

一种具有金属丝的拉晶管和拉晶炉 Download PDF

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赵丽萍
张文涛
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蔡水占
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张建中
任保国
韩笑
冯玉杰
王军霞
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Abstract

本发明涉及晶粒生产耗材技术领域,是一种具有金属丝的拉晶管和拉晶炉;一种具有金属丝的拉晶管,包括拉晶管本体,所述的拉晶管本体具有侧壁,所述的侧壁内具有金属丝;所述的金属丝是多根的,多根金属丝相互平行设置;所述的金属丝的长度方向平行或垂直拉晶管长度方向设置。拉晶炉,包括拉晶炉本体,所述的拉晶炉本体具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,所述的拉晶管是上述技术特征的拉晶管。这样的拉晶管和拉晶炉具有生产出的晶棒质地更加均匀、拉晶效果更好、品质更加优良的优点。

Description

一种具有金属丝的拉晶管和拉晶炉
技术领域
本发明涉及晶粒生产耗材技术领域,特别是涉及拉晶管,还涉及拉晶炉。
背景技术
晶粒是半导体制冷件生产过程中需要用到的重要材料,它是由晶棒切割而成的,所述的晶粒(晶棒)是由排列整齐的分子组成的,所述晶棒是在拉晶装置中进行的,所述的拉晶装置包括拉晶炉,所述的拉晶炉具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,拉晶时,先把粉末状的原料(半导体原料)放置在拉晶管中,拉晶管放置在拉晶炉中,原料在拉晶管中熔融、分子重新排列、凝固形成晶棒,这个过程就是拉晶,将晶棒切割就变成了小块的晶粒,小块的晶粒就能用来制造半导体制冷件,所以拉晶的过程关系到晶棒分子的排列,分子排列整齐有利于致冷件的质量效率和其他产品质量。
现有技术中,所述的拉晶管中没有帮助原料排列的引子,致使拉晶速度慢,拉晶效果较差。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点,提供一种拉晶速度块,拉晶效果好的拉晶管——一种具有金属丝的拉晶管和拉晶炉。
本发明具有金属丝的拉晶管的技术方案是这样实现的,一种具有金属丝的拉晶管,包括拉晶管本体,所述的拉晶管本体具有侧壁,其特征是:所述的侧壁内具有金属丝。
进一步地讲,所述的金属丝是多根的,多根金属丝相互平行设置。
进一步地讲,所述的金属丝的长度方向平行或垂直拉晶管长度方向设置。
进一步地讲,当金属丝垂直拉晶管长度方向设置时,所述的金属丝是螺旋状或环形结构的。
进一步地讲,所述的金属丝是凝固在拉晶管本体内部的。
进一步地讲,所述的拉晶管本体是双层结构,分别是内层管和外层管,所述的金属丝在内层管和外层管之间。
进一步地讲,所述的内层管和外层管之间是真空的或负压状态的。
进一步地讲,所述的金属丝是镍线、钢丝、钼丝、金丝、银丝、铁丝等。
较好的,所述的金属丝是铁钴镍或其合金。
进一步地讲,所述的金属丝的截面是方形或圆形的结构。
进一步地讲,所述的金属丝的截面面积是0.2—0.5平方毫米。
本发明拉晶炉的技术方案是这样实现的,拉晶炉,包括拉晶炉本体,所述的拉晶炉本体具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,其特征是:所述的拉晶管是上述技术特征的拉晶管。
本发明的有益效果是:这样的拉晶管和拉晶炉具有生产出的晶棒质地更加均匀、拉晶效果更好、品质更加优良的优点。
附图说明
图1是本发明第一种情况的纵剖面结构示意图。
图2是本发明第二种情况的纵剖面结构示意图。
图3是本发明第三种情况的纵剖面结构示意图。
图4是本发明第四种情况的纵剖面结构示意图。
图5是图1的A—A截面结构示意图。
图6是图2的B—B截面结构示意图。
图7是图3的C—C截面结构示意图。
图8是图4的D—D截面结构示意图。
图9是一种金属丝的截面示意图。
其中: 1、拉晶管本体 2、金属丝 3、内层管 4、外层管。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
如图1-8所示,一种具有金属丝的拉晶管,包括拉晶管本体1,所述的拉晶管本体具有侧壁,其特征是:所述的侧壁内具有金属丝2。
本拉晶管使用时,和现有技术中一样,原料粉末放置在拉晶管中,并置于拉晶炉的炉腔中进行拉晶,所述的炉腔处于有磁场和电场的环境内,原料熔化,由于在原料中间设置有金属线,可以促进晶粒分子的排列,达到拉晶速度快的效果,所述的金属线还有益于唤醒更多的原料分子进行重新排列,达到拉晶效果更好的目的,可以实现拉晶效果更好的目的。
如图1-8所示,进一步地讲,所述的金属丝是多根的,多根金属丝相互平行设置。
进一步地讲,所述的金属丝的长度方向平行或垂直拉晶管长度方向设置。
如图2、4所示,进一步地讲,当金属丝垂直拉晶管长度方向设置时,所述的金属丝是螺旋状或环形结构的。
如图1、5、2、6所示,进一步地讲,所述的金属丝是凝固在拉晶管本体内部的。
如图3、7、4、8所示,进一步地讲,所述的拉晶管本体是双层结构的,分别是内层管3和外层管4,所述的金属丝在内层管和外层管之间。
本拉晶管这样设置,还具有可以更好的防止或减少拉晶管在拉晶的过程中的爆裂,减少爆裂造成的生产损失。
进一步地讲,所述的内层管和外层管之间是真空的或负压状态的。
进一步地讲,所述的金属丝是镍线、钢丝、钼丝、金丝、银丝、铁丝等。
较好的,所述的金属丝是铁钴镍或其合金。
所述的金属丝是亲磁性材料,更有利于晶粒的排列,拉晶效果更好。
进一步地讲,如图9所示,所述的金属丝的截面是方形或圆形的结构。
进一步地讲,所述的金属丝的截面面积是0.2—0.5平方毫米。
本发明拉晶炉的技术方案是这样实现的,拉晶炉,包括拉晶炉本体,所述的拉晶炉本体具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,其特征是:所述的拉晶管是上述技术特征的拉晶管。
以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本发明的说明书的范围当中。

Claims (10)

1.一种具有金属丝的拉晶管,包括拉晶管本体,所述的拉晶管本体具有侧壁,其特征是:所述的侧壁内具有金属丝。
2.根据权利要求1所述的具有金属丝的拉晶管,其特征是:所述的金属丝是多根的,多根金属丝相互平行设置。
3.根据权利要求1或2所述的具有金属丝的拉晶管,其特征是:所述的金属丝的长度方向平行或垂直拉晶管长度方向设置。
4.根据权利要求3所述的具有金属丝的拉晶管,其特征是:当金属丝垂直拉晶管长度方向设置时,所述的金属丝是螺旋状或环形结构的。
5.根据权利要求3所述的具有金属丝的拉晶管,其特征是:所述的金属丝是凝固在拉晶管本体内部的。
6.根据权利要求3所述的具有金属丝的拉晶管,其特征是:所述的拉晶管本体是双层结构的,分别是内层管和外层管,所述的金属丝在内层管和外层管之间。
7.根据权利要求6所述的具有金属丝的拉晶管,其特征是:所述的内层管和外层管之间是真空的。
8.根据权利要求6所述的具有金属丝的拉晶管,其特征是:所述的金属丝是镍线、钢丝、钼丝、金丝、银丝、铁丝等。
9.根据权利要求6所述的具有金属丝的拉晶管,其特征是:所述的金属丝是铁钴镍或其合金;所述的金属丝的截面是方形或圆形的结构;所述的金属丝的截面面积是0.2—0.5平方毫米。
10.拉晶炉,包括拉晶炉本体,所述的拉晶炉本体具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,其特征是:所述的拉晶管是上述权利要求1-9中技术特征的拉晶管。
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