CN114089606A - 通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置 - Google Patents

通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供了通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置，包括：检测光罩的当前对位标记；判断当前对位标记与镜头视野中央是否重合；如果不重合，则根据当前对位标记计算差异值；将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果；通过计算的差异值提前对切换后的产品进行补偿，可以有效避免由于偏移量超出规格而进行的重复补偿，减少首件片的重新加工，有效提升产能。

Description

通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置
技术领域
本发明涉及面板制造领域，尤其是涉及通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置。
背景技术
在面板制造业，一块液晶显示屏分为上板与下板两块玻璃。在普通工艺中，上板需进行CF(Color filter)黄光制程，即将光阻均匀的涂布在基板上，依照设定图案曝光，用显影液将曝光后的光阻显影形成图案，从而得到BM/R/G/B/PS pattern。在进行每一层的制程时，都需要通过对位以及检测OVL(Over Lay，偏移量)来保证与监控当层制程是否对准，若OVL较大，则意味着当层制程相对于前层制程存在较大的偏移量，产品会出现漏光等品质异常，从而导致基板报废造成良率损失。参照图1和图2，在图1中，前层制程与当层制程对准，而在图2中，前层制程与当层制程存在偏移量。
OVL是黄光制程的重要参数，在黄光制程中，经常会进行产品切换和光罩切换，由此很容易造成OVL的偏差。传统的生产监控方式，是采用量测--补偿--量测的方式，即从当前产品切换到下一产品后，量测切换后的产品的偏移量，根据偏移量进行补偿，并对补偿后的结果进行确认。这种方式直接通过偏移量进行补偿，如果偏移量较大，不满足需求，则需要进行多次补偿，从而面临多次补偿的风险；并且先批次的产品，无法确定偏移量的补偿是否有效，如果超出规格，则需要重新加工，从而造成产能浪费。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置，通过计算的差异值提前对切换后的产品进行补偿，可以有效避免由于偏移量超出规格而进行的重复补偿，减少首件片的重新加工，有效提升产能。
第一方面，本发明实施例提供了通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，所述方法包括：
检测光罩的当前对位标记；
判断所述当前对位标记与镜头视野中央是否重合；
如果不重合，则根据所述当前对位标记计算差异值；
将所述差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测所述当前玻璃片的偏移量；
将所述当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。
进一步的，所述根据所述当前对位标记计算差异值，包括：
计算所述当前对位标记偏离所述镜头视野中央的当前光罩偏移量；
根据所述当前光罩偏移量和前一光罩偏移量，计算所述差异值。
进一步的，在检测所述补偿结果后，所述方法还包括：
判断所述补偿结果是否满足要求；
如果不满足，则加量所述补偿结果。
进一步的，在检测所述光罩的当前对位标记前，所述方法还包括：
将所述光罩设置在所述镜头上进行对位。
第二方面，本发明实施例提供了通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，所述装置包括：
检测单元，用于检测光罩的当前对位标记；
第一判断单元，用于判断所述当前对位标记与镜头视野中央是否重合；
差异值计算单元，用于在不重合的情况下，根据所述当前对位标记计算差异值；
第一补偿单元，用于将所述差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测所述当前玻璃片的偏移量；
第二补偿单元，用于将所述当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。
进一步的，所述差异值计算单元具体用于：
计算所述当前对位标记偏离所述镜头视野中央的当前光罩偏移量；
根据所述当前光罩偏移量和前一光罩偏移量，计算所述差异值。
进一步的，所述装置还包括：
第二判断单元，用于在检测所述补偿结果后，判断所述补偿结果是否满足要求；如果不满足，则加量所述补偿结果。
进一步的，所述装置还包括：
对位单元，用于在检测所述光罩的当前对位标记前，将所述光罩设置在所述镜头上进行对位。
第三方面，本发明实施例提供了电子设备，包括存储器、处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的方法。
第四方面，本发明实施例提供了具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质，所述程序代码使所述处理器执行如上所述的方法。
本发明实施例提供了通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置，包括：检测光罩的当前对位标记；判断当前对位标记与镜头视野中央是否重合；如果不重合，则根据当前对位标记计算差异值；将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果；通过计算的差异值提前对切换后的产品进行补偿，可以有效避免由于偏移量超出规格而进行的重复补偿，减少首件片的重新加工，有效提升产能。
本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有的当层制程与前层制程对位示意图；
图2为现有的另一当层制程与前层制程对位示意图；
图3为本发明实施例一提供的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法流程图；
图4为本发明实施例一提供的光罩与镜头的对位示意图；
图5为本发明实施例二提供的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置示意图。
图标：
1-检测单元；2-第一判断单元；3-差异值计算单元；4-第一补偿单元；5-第二补偿单元。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
为便于对本实施例进行理解，下面对本发明实施例进行详细介绍。
实施例一：
图3为本发明实施例一提供的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法流程图。
参照图3，该方法包括以下步骤：
步骤S101，检测光罩的当前对位标记；
步骤S102，判断当前对位标记与镜头视野中央是否重合；
步骤S103，如果不重合，则根据当前对位标记计算差异值；
步骤S104，将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；
步骤S105，将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。
本实施例中，通过差异值提前对切换后的产品进行补偿，以避免OVL的偏移。将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。通过上述方式，可以有效避免由于偏移量超出规格而进行的重复补偿，减少首件片的重新加工，有效提升产能。
进一步的，步骤S103包括以下步骤：
步骤S201，计算当前对位标记偏离镜头视野中央的当前光罩偏移量；
步骤S202，根据当前光罩偏移量和前一光罩偏移量，计算差异值。
这里，将当前光罩偏移量与前一光罩偏移量相减，可以计算得到差异值。
进一步的，在检测补偿结果后，该方法还包括以下步骤：
步骤S301，判断补偿结果是否满足要求；
步骤S302，如果不满足，则加量补偿结果。
这里，将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果；此时需要判断补偿结果是否满足要求，如果不满足，则加量补偿结果，然后再根据补偿结果再次进行补偿，直到补偿结果满足要求为止。
进一步的，在检测光罩的当前对位标记前，该方法还包括：
将光罩设置在镜头上进行对位。
这里，在彩膜制程中，OVL(偏移量)主要由曝光工艺决定。光罩在上机前会与镜头进行对位；如果光罩对位不正，则曝光机会自动进行补正，使光罩的当前对位标记位于镜头视野中央，这个补正值所带来的差异便会影响OVL的表现。如果将这部分差异值提前进行补偿，则可以很大程度避免OVL的偏移，具体参照图4。
本发明实施例提供了通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，包括：检测光罩的当前对位标记；判断当前对位标记与镜头视野中央是否重合；如果不重合，则根据当前对位标记计算差异值；将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果；通过计算的差异值提前对切换后的产品进行补偿，可以有效避免由于偏移量超出规格而进行的重复补偿，减少首件片的重新加工，有效提升产能。
实施例二：
图5为本发明实施例二提供的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置示意图。
参照图5，该装置包括：
检测单元1，用于检测光罩的当前对位标记；
第一判断单元2，用于判断当前对位标记与镜头视野中央是否重合；
差异值计算单元3，用于在不重合的情况下，根据当前对位标记计算差异值；
第一补偿单元4，用于将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；
第二补偿单元5，用于将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。
进一步的，差异值计算单元3具体用于：
计算当前对位标记偏离镜头视野中央的当前光罩偏移量；
根据当前光罩偏移量和前一光罩偏移量，计算差异值。
进一步的，该装置还包括：
第二判断单元(未示出)，用于在检测补偿结果后，判断补偿结果是否满足要求；如果不满足，则加量补偿结果。
进一步的，该装置还包括：
对位单元(未示出)，用于在检测光罩的当前对位标记前，将光罩设置在镜头上进行对位。
本发明实施例提供了通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，包括：检测光罩的当前对位标记；判断当前对位标记与镜头视野中央是否重合；如果不重合，则根据当前对位标记计算差异值；将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果；通过计算的差异值提前对切换后的产品进行补偿，可以有效避免由于偏移量超出规格而进行的重复补偿，减少首件片的重新加工，有效提升产能。
本发明实施例还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行计算机程序时实现上述实施例提供的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法的步骤。
本发明实施例还提供一种具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质，计算机可读介质上存储有计算机程序，计算机程序被处理器运行时执行上述实施例的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法的步骤。
本发明实施例所提供的计算机程序产品，包括存储了程序代码的计算机可读存储介质，所述程序代码包括的指令可用于执行前面方法实施例中所述的方法，具体实现可参见方法实施例，在此不再赘述。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统和装置的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
另外，在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，其特征在于，所述方法包括：
检测光罩的当前对位标记；
判断所述当前对位标记与镜头视野中央是否重合；
如果不重合，则根据所述当前对位标记计算差异值；
将所述差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测所述当前玻璃片的偏移量；
将所述当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。
2.根据权利要求1所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，其特征在于，所述根据所述当前对位标记计算差异值，包括：
计算所述当前对位标记偏离所述镜头视野中央的当前光罩偏移量；
根据所述当前光罩偏移量和前一光罩偏移量，计算所述差异值。
3.根据权利要求1所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，其特征在于，在检测所述补偿结果后，所述方法还包括：
判断所述补偿结果是否满足要求；
如果不满足，则加量所述补偿结果。
4.根据权利要求1所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，其特征在于，在检测所述光罩的当前对位标记前，所述方法还包括：
将所述光罩设置在所述镜头上进行对位。
5.一种通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，其特征在于，所述装置包括：
检测单元，用于检测光罩的当前对位标记；
第一判断单元，用于判断所述当前对位标记与镜头视野中央是否重合；
差异值计算单元，用于在不重合的情况下，根据所述当前对位标记计算差异值；
第一补偿单元，用于将所述差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测所述当前玻璃片的偏移量；
第二补偿单元，用于将所述当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。
6.根据权利要求5所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，其特征在于，所述差异值计算单元具体用于：
计算所述当前对位标记偏离所述镜头视野中央的当前光罩偏移量；
根据所述当前光罩偏移量和前一光罩偏移量，计算所述差异值。
7.根据权利要求5所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，其特征在于，所述装置还包括：
第二判断单元，用于在检测所述补偿结果后，判断所述补偿结果是否满足要求；如果不满足，则加量所述补偿结果。
8.根据权利要求5所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，其特征在于，所述装置还包括：
对位单元，用于在检测所述光罩的当前对位标记前，将所述光罩设置在所述镜头上进行对位。
9.一种电子设备，包括存储器、处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述权利要求1至4任一项所述的方法。
10.一种具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质，其特征在于，所述程序代码使所述处理器执行所述权利要求1至4任一项所述的方法。
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