CN114038765A - 一种晶圆裂片设备中空转台机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种晶圆裂片设备中空转台机构，包括桌子、移动杆和晶片，桌子的上表面的上部和下部分别开设有上级滑槽和下级滑槽，桌子的内部设置有一级传动结构，一级传动结构包括一级伺服电机、一级主动轮、一级从动轮和一级螺杆，桌子的上方设置有滑动板，滑动板的内部设置有二级传动结构。该晶圆裂片设备中空转台机构，通过移动杆和一级传动结构的配合设置，使该晶圆裂片设备中空转台机构具备了便于调节移动杆间距的效果，从而起到了适用于夹紧不同尺寸晶片的作用，通过限位结构和一级传动结构的配合，在使用的过程中先夹紧晶片，然后通过限位结构将其限位，进而起到了提高适用性的作用，达到了提高装夹效果的目的。

Description

一种晶圆裂片设备中空转台机构
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆裂片设备中空转台机构。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
晶圆裂片过程中需要上表面和下表面需要相机对位，晶圆需要全部悬空在加工区间中，并且要求相机识别区域覆盖整个面域区间，根据转台需要根据需要旋转指定的角度并稳定停靠。所以该转台结构存在不便于调节角度和装夹效果较差等缺点。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆裂片设备中空转台机构，具备便于调节角度和装夹效果好等优点，解决了不便于调节角度和装夹效果较差的问题。
(二)技术方案
为实现上述便于调节角度和装夹效果好目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆裂片设备中空转台机构，包括桌子、移动杆和晶片，所述桌子的上表面的上部和下部分别开设有上级滑槽和下级滑槽，所述桌子的内部设置有一级传动结构，所述一级传动结构包括一级伺服电机、一级主动轮、一级从动轮和一级螺杆，所述桌子的上方设置有滑动板，所述滑动板的内部设置有二级传动结构，所述二级传动结构包括二级伺服电机、二级螺杆和光杆，所述桌子的一侧设置有三级传动结构，所述三级传动结构包括三级伺服电机、主级锥齿轮、从级锥齿轮、主级传动轮和从级传动轮。
优选的，所述上级滑槽的内侧壁通过轴承与二级螺杆转动连接，所述二级螺杆的一端与二级伺服电机固定连接，所述二级伺服电机的外侧面通过二级伺服电机座与桌子的内底壁固定连接，所述下级滑槽的内侧壁与光杆固定连接。
优选的，所述二级螺杆的外侧面与滑动板螺纹连接，所述滑动板的内壁与光杆滑动连接，所述滑动板的内部开设有凹槽，所述凹槽的内壁通过一级伺服电机座与一级伺服电机固定连接。
优选的，所述一级伺服电机的输出端与一级主动轮固定连接，所述一级主动轮的一侧面通过一级皮带与一级从动轮传动连接，所述一级从动轮的内壁与一级螺杆固定连接，所述一级螺杆的两端均通过轴承与滑动板的内侧壁转动连接。
优选的，所述一级螺杆的外侧面与移动杆螺纹连接，所述滑动板的外侧面中部开设有与移动杆相适配的矩形孔，所述移动杆的一端开设有U型孔，所述移动杆的内部一侧设置有限位结构，所述限位结构包括一级电动伸缩杆、弹簧，固定块和滚轮，所述移动杆的内壁与一级电动伸缩杆固定连接，所述一级电动伸缩杆的活动端外侧面与弹簧固定连接，所述弹簧的一端与固定块固定连接。
优选的，所述固定块的内壁通过转轴与滚轮转动连接，所述晶片的外侧面可拆卸连接有固定环，所述固定环的外侧面固定连接有齿，所述齿与U型孔相适配，所述固定环的外侧面开设有与一级电动伸缩杆相适配的槽，所述槽的内壁中部固定连接有胶皮。
优选的，所述桌子的下表面与三级伺服电机固定连接，所述三级伺服电机的输出端与主级锥齿轮固定连接，所述主级锥齿轮的一侧面与从级锥齿轮啮合，所述从级锥齿轮的内壁固定连接有竖杆。
优选的，所述桌子的外侧面固定连接有矩形板，所述矩形板的内壁与竖杆转动连接，所述竖杆的外侧面上部与主级传动轮固定连接，所述主级传动轮的外侧面通过传送带与从级传动轮传动连接。
优选的，所述从级传动轮的内壁固定连接有短杆，所述短杆的外侧面上部固定连接有齿轮，所述齿轮的一侧面与齿相适配，所述桌子的上表面中部开设有圆槽，所述圆槽的内底壁固定连接有二级电动伸缩杆，所述二级电动伸缩杆的活动端端面固定连接有吸盘，所述吸盘与晶片相适配。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆裂片设备中空转台机构，具备以下有益效果：
1、该晶圆裂片设备中空转台机构，通过移动杆和一级传动结构的配合设置，使该晶圆裂片设备中空转台机构具备了便于调节移动杆间距的效果，从而起到了适用于夹紧不同尺寸晶片的作用，通过限位结构和一级传动结构的配合，在使用的过程中先夹紧晶片，然后通过限位结构将其限位，进而起到了提高适用性的作用，达到了提高装夹效果的目的。
2、该晶圆裂片设备中空转台机构，通过二级传动结构的设置，使该晶圆裂片设备中空转台机构具备了便于调节滑动板间距的效果，从而起到了方便、快捷的作用，通过三级传动结构的设置，在使用的过程中可以通过三级伺服电机间接的带动晶片转动，进而起到了可根据需求对晶片角度进行调整的作用，达到了便于调节角度的目的。
附图说明
图1为本发明提出的一种晶圆裂片设备中空转台机构立体正视结构示意图；
图2为本发明提出的一种晶圆裂片设备中空转台机构侧视剖视结构示意图；
图3为本发明提出的一种晶圆裂片设备中空转台机构俯视局部剖视结构示意图；
图4为本发明提出的一种晶圆裂片设备中空转台机构侧视半剖结构示意图；
图5为本发明提出的一种晶圆裂片设备中空转台机构图4中A处放大结构示意图。
图中：1、桌子；2、一级传动结构；201、一级伺服电机；202、一级主动轮；203、一级从动轮；204、一级螺杆；3、滑动板；4、二级传动结构；401、二级伺服电机；402、二级螺杆；403、光杆；5、三级传动结构；501、三级伺服电机；502、主级锥齿轮；503、从级锥齿轮；504、主级传动轮；505、从级传动轮；6、移动杆；7、限位结构；701、一级电动伸缩杆；702、弹簧；703、固定块；704、滚轮；8、晶片；9、固定环；10、竖杆；11、矩形板；12、短杆；13、齿轮；14、吸盘。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-5，一种晶圆裂片设备中空转台机构，包括桌子1、移动杆6和晶片8，桌子1的上表面的上部和下部分别开设有上级滑槽和下级滑槽，上级滑槽的内侧壁通过轴承与二级螺杆402转动连接，二级螺杆402的一端与二级伺服电机401固定连接，二级伺服电机401的外侧面通过二级伺服电机座与桌子1的内底壁固定连接，下级滑槽的内侧壁与光杆403固定连接，二级螺杆402的外侧面与滑动板3螺纹连接，滑动板3的内壁与光杆403滑动连接，滑动板3的内部开设有凹槽，凹槽的内壁通过一级伺服电机座与一级伺服电机201固定连接，桌子1的内部设置有一级传动结构2，一级传动结构2包括一级伺服电机201、一级主动轮202、一级从动轮203和一级螺杆204，一级伺服电机201的输出端与一级主动轮202固定连接，一级主动轮202的一侧面通过一级皮带与一级从动轮203传动连接，一级从动轮203的内壁与一级螺杆204固定连接，一级螺杆204的两端均通过轴承与滑动板3的内侧壁转动连接，桌子1的上方设置有滑动板3，滑动板3的内部设置有二级传动结构4，二级传动结构4包括二级伺服电机401、二级螺杆402和光杆403，桌子1的一侧设置有三级传动结构5，三级传动结构5包括三级伺服电机501、主级锥齿轮502、从级锥齿轮503、主级传动轮504和从级传动轮505，桌子1的下表面与三级伺服电机501固定连接，三级伺服电机501的输出端与主级锥齿轮502固定连接，主级锥齿轮502的一侧面与从级锥齿轮503啮合，从级锥齿轮503的内壁固定连接有竖杆10，桌子1的外侧面固定连接有矩形板11，矩形板11的内壁与竖杆10转动连接，竖杆10的外侧面上部与主级传动轮504固定连接，主级传动轮504的外侧面通过传送带与从级传动轮505传动连接，从级传动轮505的内壁固定连接有短杆12，短杆12的外侧面上部固定连接有齿轮13，齿轮13的一侧面与齿相适配，桌子1的上表面中部开设有圆槽，圆槽的内底壁固定连接有二级电动伸缩杆，二级电动伸缩杆的活动端端面固定连接有吸盘14，吸盘14与晶片8相适配，一级螺杆204的外侧面与移动杆6螺纹连接，滑动板3的外侧面中部开设有与移动杆6相适配的矩形孔，移动杆6的一端开设有U型孔，移动杆6的内部一侧设置有限位结构7，限位结构7包括一级电动伸缩杆701、弹簧702，固定块703和滚轮704，移动杆6的内壁与一级电动伸缩杆701固定连接，一级电动伸缩杆701的活动端外侧面与弹簧702固定连接，弹簧702的一端与固定块703固定连接，固定块703的内壁通过转轴与滚轮704转动连接，晶片8的外侧面可拆卸连接有固定环9，固定环9的外侧面固定连接有齿，齿与U型孔相适配，固定环9的外侧面开设有与一级电动伸缩杆701相适配的槽，槽的内壁中部固定连接有胶皮。
在使用时，将该晶圆裂片设备中空转台机构移至到指定位置后，先将晶片8的外侧套上固定环9，然后将其放置再吸盘14上并且固定住，防止掉落破损的情况，然后使用者先启动二级伺服电机401，二级伺服电机401的输出端带动二级螺杆402转动，从而带动滑动板3在光杆403上向一侧移动，使该晶圆裂片设备中空转台机构具备了便于调节滑动板3间距的效果，从而起到了方便、快捷的作用，然后使用者再启动一级伺服电机201，一级伺服电机201的输出端带动一级主动轮202转动，一级主动轮202带动一级从动轮203转动，一级从动轮203带动一级螺杆204转动，使得移动杆6向一侧移动，之后将晶片8卡在移动杆6的外侧面上，之后通过一级电动伸缩杆701将活动杆伸进槽内，通过弹簧702和滚轮704的设置，避免卡死晶片8转动的情况，然后就可以对晶片8进行加工，当需要调整角度进行加工时，使用者启动三级伺服电机501，三级伺服电机501的输出端带动主级锥齿轮502转动，主级锥齿轮502带动从级锥齿轮503转动，从级锥齿轮503通过竖杆10带动主级传动轮504转动，主级传动轮504带动从级传动轮505转动，从级传动轮505带动齿轮13转动，齿轮13通过固定环9带动晶片8转动，即可调整角度加工晶片8，进而起到了可根据需求对晶片8角度进行调整的作用，达到了便于调节角度的目的。
综上，该晶圆裂片设备中空转台机构，通过移动杆6和一级传动结构2的配合设置，使该晶圆裂片设备中空转台机构具备了便于调节移动杆6间距的效果，从而起到了适用于夹紧不同尺寸晶片8的作用，通过限位结构7和一级传动结构2的配合，在使用的过程中先夹紧晶片8，然后通过限位结构7将其限位，进而起到了提高适用性的作用，达到了提高装夹效果的目的，通过二级传动结构4的设置，使该晶圆裂片设备中空转台机构具备了便于调节滑动板3间距的效果，从而起到了方便、快捷的作用，通过三级传动结构5的设置，在使用的过程中可以通过三级伺服电机501间接的带动晶片8转动，进而起到了可根据需求对晶片8角度进行调整的作用，达到了便于调节角度的目的。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种晶圆裂片设备中空转台机构，包括桌子(1)、移动杆(6)和晶片(8)，其特征在于：所述桌子(1)的上表面的上部和下部分别开设有上级滑槽和下级滑槽，所述桌子(1)的内部设置有一级传动结构(2)，所述一级传动结构(2)包括一级伺服电机(201)、一级主动轮(202)、一级从动轮(203)和一级螺杆(204)，所述桌子(1)的上方设置有滑动板(3)，所述滑动板(3)的内部设置有二级传动结构(4)，所述二级传动结构(4)包括二级伺服电机(401)、二级螺杆(402)和光杆(403)，所述桌子(1)的一侧设置有三级传动结构(5)，所述三级传动结构(5)包括三级伺服电机(501)、主级锥齿轮(502)、从级锥齿轮(503)、主级传动轮(504)和从级传动轮(505)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片设备中空转台机构，其特征在于：所述上级滑槽的内侧壁通过轴承与二级螺杆(402)转动连接，所述二级螺杆(402)的一端与二级伺服电机(401)固定连接，所述二级伺服电机(401)的外侧面通过二级伺服电机座与桌子(1)的内底壁固定连接，所述下级滑槽的内侧壁与光杆(403)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片设备中空转台机构，其特征在于：所述二级螺杆(402)的外侧面与滑动板(3)螺纹连接，所述滑动板(3)的内壁与光杆(403)滑动连接，所述滑动板(3)的内部开设有凹槽，所述凹槽的内壁通过一级伺服电机座与一级伺服电机(201)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片设备中空转台机构，其特征在于：所述一级伺服电机(201)的输出端与一级主动轮(202)固定连接，所述一级主动轮(202)的一侧面通过一级皮带与一级从动轮(203)传动连接，所述一级从动轮(203)的内壁与一级螺杆(204)固定连接，所述一级螺杆(204)的两端均通过轴承与滑动板(3)的内侧壁转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片设备中空转台机构，其特征在于：所述一级螺杆(204)的外侧面与移动杆(6)螺纹连接，所述滑动板(3)的外侧面中部开设有与移动杆(6)相适配的矩形孔，所述移动杆(6)的一端开设有U型孔，所述移动杆(6)的内部一侧设置有限位结构(7)，所述限位结构(7)包括一级电动伸缩杆(701)、弹簧(702)，固定块(703)和滚轮(704)，所述移动杆(6)的内壁与一级电动伸缩杆(701)固定连接，所述一级电动伸缩杆(701)的活动端外侧面与弹簧(702)固定连接，所述弹簧(702)的一端与固定块(703)固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆裂片设备中空转台机构，其特征在于：所述固定块(703)的内壁通过转轴与滚轮(704)转动连接，所述晶片(8)的外侧面可拆卸连接有固定环(9)，所述固定环(9)的外侧面固定连接有齿，所述齿与U型孔相适配，所述固定环(9)的外侧面开设有与一级电动伸缩杆(701)相适配的槽，所述槽的内壁中部固定连接有胶皮。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆裂片设备中空转台机构，其特征在于：所述桌子(1)的下表面与三级伺服电机(501)固定连接，所述三级伺服电机(501)的输出端与主级锥齿轮(502)固定连接，所述主级锥齿轮(502)的一侧面与从级锥齿轮(503)啮合，所述从级锥齿轮(503)的内壁固定连接有竖杆(10)。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆裂片设备中空转台机构，其特征在于：所述桌子(1)的外侧面固定连接有矩形板(11)，所述矩形板(11)的内壁与竖杆(10)转动连接，所述竖杆(10)的外侧面上部与主级传动轮(504)固定连接，所述主级传动轮(504)的外侧面通过传送带与从级传动轮(505)传动连接。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆裂片设备中空转台机构，其特征在于：所述从级传动轮(505)的内壁固定连接有短杆(12)，所述短杆(12)的外侧面上部固定连接有齿轮(13)，所述齿轮(13)的一侧面与齿相适配，所述桌子(1)的上表面中部开设有圆槽，所述圆槽的内底壁固定连接有二级电动伸缩杆，所述二级电动伸缩杆的活动端端面固定连接有吸盘(14)，所述吸盘(14)与晶片(8)相适配。
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