CN116825663B - 一种晶圆制造用边缘检测取像装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及晶圆检测技术领域，且公开了一种晶圆制造用边缘检测取像装置，包括载台，所述载台的上表面安装有放置台，所述放置台的内侧安装有内侧件，所述载台上表面安装有伸缩件，所述伸缩件的外侧套接有滑动件，所述伸缩件的输出端安装有连接板，所述滑动件内腔中安装有主动齿轮，所述滑动件的左侧内壁安装有回转件，所述主动齿轮的左侧缠绕有连接绳，所述滑动件内部安装有从动齿轮，所述滑动件内部安装有限位件，所述从动齿轮左右杆体的端部均安装有撞击板，所述内侧件与放置台共同围成容纳腔，所述容纳腔的上部位置安装有接触件。本发明通过伸缩件与滑动件的设置，进而降低大量晶圆接触污染物的概率，间接提高晶圆的质量。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，具体为一种晶圆制造用边缘检测取像装置。
背景技术
晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，它在制作完成后，需要使用边缘检测取像装置来对晶圆的边缘进行检测，进而筛选出不合格的晶圆，避免不合格的晶圆对关联装置产生影响。
现有的边缘检测取像装置在使用时，首先通过机械手将单片晶圆放置到晶圆载台的放置台上，之后，令放置台内部产生负压，使得放置台表面的晶圆被吸附固定，然后，令晶圆载台带动晶圆间歇发生水平移动，并通过摄像头拍摄晶圆边缘，使得拍摄出的图像传递给计算机，从而令计算机判断晶圆边缘是否存在缺陷，通过上述动作，进而实现对晶圆边缘的检测取像作业，但是在上述过程中，由于晶圆是经过一系列工艺制作而成，进而导致其背面容易存在污染物(如晶渣、灰尘等)，之后，当上述晶圆处于放置台表面时，上述污染物容易滞留在放置台上，进而导致后续晶圆接触污染物，使得大量晶圆受到污染，从而令晶圆的质量受到影响。
发明内容
针对背景技术中提出的现有边缘检测取像装置在使用过程中存在的不足，本发明提供了一种晶圆制造用边缘检测取像装置，具备降低大量晶圆接触污染物的概率、提高晶圆质量的优点，解决了上述背景技术中提出的技术问题。
本发明提供如下技术方案：一种晶圆制造用边缘检测取像装置，包括载台，所述载台的上表面固定安装有放置台，所述载台的一侧设置有机械手，用以将晶圆放置在放置台的表面，所述晶圆左侧的位置设置有摄像头，用以拍摄晶圆的边缘图像，所述载台的另一侧设置有检测机构，用以检测摄像头拍摄的图像是否存在缺陷，所述放置台的内侧安装有内侧件，所述载台上表面位于内侧件内侧的位置固定安装有伸缩件，所述伸缩件的外侧滑动套接有滑动件，所述伸缩件的输出端固定安装有连接板，所述连接板的四周与滑动件的内壁形成密封固定，所述滑动件内腔中位于连接板上侧的位置转动安装有主动齿轮，所述滑动件的左侧内壁固定安装有回转件，所述主动齿轮与回转件连接，所述主动齿轮的左侧缠绕有连接绳，所述连接绳的上端与主动齿轮的左侧形成固定连接，所述连接绳的下端穿过滑动件，并与伸缩件的侧面形成固定连接，所述滑动件内部位于主动齿轮上方的位置转动安装有与主动齿轮形成啮合传动的从动齿轮，所述滑动件内部位于从动齿轮上方的位置安装有限位件，用以限制从动齿轮逆时针转动，所述从动齿轮左右两侧杆体的端部均固定安装有撞击板，所述内侧件的外侧面与放置台的内侧面共同围成容纳腔，所述容纳腔的上部位置密封活动安装有接触件，所述接触件与撞击板形成固定连接。
优选的，所述放置台为两段密封式设置，所述内侧件的底面与放置台的斜面之间安装有滤网，所述滤网的底面与放置台内侧位置的斜面形成密封接触，所述滤网的底面固定安装有固定板，所述固定板的底面与载台的上表面形成固定连接，所述放置台内部位于滤网下方的位置开设有固定槽，所述固定板的外侧面与固定槽的外侧壁体贴合。
优选的，所述主动齿轮由轮体、连接杆、滑槽、轮齿、一号挡块、二号挡块与一号弹性件组成，所述滑动件内腔中位于连接板上侧的位置安装有轮体，所述轮体的左右两侧均固定安装有连接杆，右侧所述连接杆与滑动件的右侧内壁形成转动连接，所述轮体的内部周向等距开设有滑槽，所述滑槽的一侧壁体铰接有轮齿，所述轮齿能收入滑槽，所述轮齿的底面与滑槽的侧壁之间共同固定安装有一号弹性件，所述轮齿的左右两侧均固定安装有一号挡块，所述滑槽内壁上位于槽口的位置固定安装有二号挡块，所述一号挡块与二号挡块相互接触，用以限制轮齿过度伸出滑槽，所述轮齿上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，所述主动齿轮的轮齿数少于从动齿轮的齿牙数，所述从动齿轮的齿牙上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，所述连接绳缠绕在左侧连接杆表面，所述连接绳的一端与左侧连接杆形成固定连接。
优选的，所述回转件由壳体与扭簧组成，所述壳体的周向内壁上固定安装有扭簧，左侧所述连接杆与扭簧的另一端固定连接。
优选的，所述撞击板的下表面接触内侧件的上表面，所述连接绳靠近主动齿轮的一段为放松设置。
优选的，所述滑动件与伸缩件形成密封滑动连接，所述滑动件内腔中位于连接板下方位置的腔体为抽吸腔，所述连接板的内部纵向贯穿开设有二号开口，所述二号开口内固定安装有一号单向阀，所述一号单向阀的流通方向为由滑动件内腔中位于连接板上方位置的腔体向抽吸腔流通，所述滑动件内部位于连接板下方的位置开设有导气孔，所述导气孔的一端与抽吸腔连通，所述导气孔的另一端开设在滑动件外侧面的底部位置。
优选的，所述放置台内部位于容纳腔下方的位置开设有气腔，所述气腔中密封活动安装有推板，所述推板的下表面与气腔的底面之间共同固定安装有二号弹性件，所述放置台内部位于气腔的内侧位置开设有进气孔，所述进气孔的一端与气腔中位于推板上侧位置的腔体连通，所述进气孔的另一端开设在放置台内侧面的底部位置，所述放置台内侧面与滑动件外侧面之间共同固定安装有软管，所述软管的长度大于导气孔与进气孔的直线距离，所述软管的长度大于连接绳的长度，所述软管连通进气孔与导气孔，所述进气孔内固定安装有二号单向阀，所述二号单向阀的流通方向为由软管向进气孔流通，所述放置台内部位于气腔上方的位置开设有出气孔，用以连通气腔中位于推板上侧位置的腔体与容纳腔，所述出气孔的上侧端口朝向接触件的下表面，所述出气孔内固定安装有三号单向阀，所述三号单向阀的流通方向为由直孔向环形孔流通。
优选的，所述放置台内侧位于出气孔上侧端口的位置开设有限位槽，所述限位槽中滑动卡接有开合件，所述开合件由封闭环与推动杆组成，所述封闭环与限位槽形成滑动卡接，所述封闭环的上表面固定安装有推动杆，所述推动杆的上端与接触件的下表面接触，所述封闭环的下表面与限位槽的底面之间共同固定安装有三号弹性件，所述开合件为两段密封式设置。
优选的，所述接触件由主体、滑槽、移动件、弹簧与封闭槽组成，所述主体的数量为两个，两个所述主体均密封活动安装在容纳腔的上部位置，两个所述主体的内侧面与对应方向上的撞击板的外侧端连接，所述主体内靠近端部的位置开设有滑槽，所述主体的端部设置有移动件，所述移动件内侧位置的滑块与滑槽形成密封活动连接，所述移动件的内侧面与主体形成密封滑动连接，两个所述主体上相邻的两个移动件相互抵接，所述滑槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的两端分别连接滑块靠近对应方向上撞击板的侧面与滑槽的内壁，所述主体内部的上下两侧均开设有封闭槽，所述封闭槽与对应方向的移动件形成密封活动连接。
本发明具备以下有益效果：
1、本发明通过伸缩件与滑动件的设置，在晶圆离开放置台后，伸缩件带动滑动件上移，使得主动齿轮带动从动齿轮转动半圈，进而令接触件的底面与上表面发生置换，之后，滑动件下移，使得接触件不发生回转，通过上述动作，进而降低大量晶圆接触污染物的概率，间接提高晶圆的质量。
2、本发明通过撞击板与内侧件的设置，当滑动件下移到初始位置时，会带动撞击板撞击内侧件的上表面，进而令接触件产生振动，通过该振动，促使处于接触件底面的污染物脱离接触件，从而进一步降低大量晶圆接触污染物的概率。
3、本发明通过出气孔与推板的设置，当接触件下移到初始位置时，推板挤压气腔中的气体，使得该气体通过出气孔吹向接触件的底面，进而进一步促使接触件底面粘附的污染物脱落，降低大量晶圆接触污染物的概率。
附图说明
图1为本发明载台与放置台安装状态示意图；
图2为本发明放置台内部结构示意图；
图3为本发明图2中A处结构局部放大示意图；
图4为本发明图2中B处结构局部放大示意图；
图5为本发明主动齿轮与从动齿轮啮合状态示意图；
图6为本发明图5中C处结构局部放大示意图；
图7为本发明主动齿轮内部结构示意图；
图8为本发明接触件组成结构示意图
图9为本发明主体内部结构示意图。
图中：1、载台；2、放置台；3、内侧件；4、滤网；5、固定板；6、伸缩件；7、滑动件；8、连接板；9、主动齿轮；10、回转件；11、连接绳；12、从动齿轮；13、限位件；14、撞击板；15、接触件；150、主体；151、滑槽；152、移动件；153、弹簧；154、封闭槽；16、导气孔；17、气腔；18、推板；19、进气孔；20、软管；21、出气孔；22、限位槽；23、开合件。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图5，一种晶圆制造用边缘检测取像装置，包括载台1，载台1的上表面固定卡接有放置台2，载台1的一侧设置有机械手(未在附图中画出)，用以将容置盒中的晶圆取出，并放置在放置台2的表面，晶圆左上方或左下方的位置设置有摄像头，用以拍摄晶圆的边缘图像，载台1的另一侧设置有检测机构(未在附图中画出)，用以检测摄像头拍摄的图像是否存在缺陷，放置台2的内侧安装有内侧件3，内侧件3的底面焊接有滤网4，滤网4的下端与放置台2的斜面连接，载台1上表面位于内侧件3内侧的位置固定安装有伸缩件6(伸缩件6为现有技术中的电控伸缩杆)，伸缩件6的外侧套接有滑动件7，滑动件7与伸缩件6形成滑动连接，伸缩件6的输出端伸入滑动件7的腔体中，伸缩件6的输出端焊接有连接板8，连接板8的四周与滑动件7的内壁形成焊接固定，连接板8将滑动件7的腔体分隔成上下两个独立腔体，滑动件7内腔中位于连接板8上侧的位置转动安装有主动齿轮9，滑动件7的左侧内壁固定安装有回转件10，主动齿轮9与回转件10连接，用以带动主动齿轮9回转，主动齿轮9的左侧缠绕有连接绳11，滑动件7内部左侧的位置横向贯穿开设有一号开口，连接绳11的上端与主动齿轮9的左侧形成固定连接，连接绳11的下端穿过滑动件7，并与伸缩件6的侧面形成固定连接，连接绳11靠近主动齿轮9的一段为放松设置，滑动件7内部位于主动齿轮9上方的位置转动安装有从动齿轮12，从动齿轮12与主动齿轮9形成啮合传动连接，滑动件7内部位于从动齿轮12上方的位置安装有限位件13(从动齿轮12与限位件13为现有技术中棘轮与棘爪的组合设置)，用以限制从动齿轮12逆时针转动，从动齿轮12左右两侧的杆体均伸出滑动件7，并与撞击板14的内侧端形成焊接固定，内侧件3的外侧面与放置台2的内侧面共同围成容纳腔，容纳腔的上部位置密封滑动安装有接触件15，接触件15的内侧面与撞击板14的外侧端形成焊接固定，在晶圆离开放置台2后，令伸缩件6带动滑动件7上移，使得连接绳11带动主动齿轮9转动，进而令从动齿轮12随之转动半圈，同时，转动的从动齿轮12带动撞击板14与接触件15同步转动，进而令接触件15的底面与上表面发生置换，之后，伸缩件6带动滑动件7下移，使得接触件15不发生回转，而回转件10带动主动齿轮9回转复位，最后，将晶圆放置在发生置换后的接触件15的表面，通过上述动作，进而降低大量晶圆接触污染物的概率，间接提高晶圆的质量，同时，由于连接绳11的一段为放松设置，进而使得接触件15初步上移时，不会发生转动，进而避免内侧件3与放置台2影响接触件15的转动，另外，上述连接绳11缠绕的圈数可做适应性调整，以使主动齿轮9的转动圈数可进行规定设置，之后，当载台1向放置台2内侧施加负压时，部分负压会通过滤网4，进而对接触件15底面粘附的污染物产生吸引，促使污染物落到容纳腔中，进而降低大量晶圆接触污染物的概率。
放置台2为两段密封式设置(如两个半圆柱体共同组成一个完整的圆柱体，且贴合处为密封设置)，滤网4的底面与放置台2内侧位置的斜面形成密封接触，滤网4的底面焊接有固定板5，固定板5的底面与载台1的上表面形成焊接固定，放置台2内部位于滤网4下方的位置开设有固定槽，固定板5的外侧面与固定槽的外侧壁体贴合，通过上述结构的设置，使得容纳腔中的污染物达到一定数量后，可打开放置台2，进而取出容纳腔中的污染物。
请参阅图3-图7，主动齿轮9由轮体、连接杆、滑槽、轮齿、一号挡块、二号挡块与一号弹性件组成，滑动件7内腔中位于连接板8上侧的位置安装有轮体，轮体的左右两侧均焊接有连接杆，轮体的右侧连接杆与滑动件7的右侧内壁形成转动连接，轮体的内部周向等距开设有滑槽，滑槽的一侧壁体铰接有轮齿，轮齿能收入滑槽中，轮齿的底面固定安装有一号弹性件，一号弹性件的另一端与滑槽的侧壁固定连接，轮齿的左右两侧均焊接有一号挡块，滑槽内壁上位于槽口的位置焊接有二号挡块，一号挡块与二号挡块接触，用以限制轮齿过度伸出滑槽，轮齿上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，主动齿轮9的轮齿数少于从动齿轮12的齿牙数，从动齿轮12的齿牙上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，连接绳11缠绕在左侧连接杆表面，连接绳11的一端与左侧连接杆形成固定连接，当滑动件7上移时，连接绳11会拉动主动齿轮9产生逆时针转动，进而实现主动齿轮9与从动齿轮12的传动，之后，当滑动件7下移复位时，回转件10带动主动齿轮9顺时针转动，进而令从动齿轮12产生逆时针转动动作，由于从动齿轮12被限位件13阻止逆时针转动，进而使得主动齿轮9的轮齿受到阻力，导致轮齿收入滑槽中，并压缩一号弹性件，通过上述动作，进而实现主动齿轮9的顺利复位，另外，主动齿轮9的轮齿数与从动齿轮12的齿牙数可进行相应调整，以使主动齿轮9转动规定圈数时，从动齿轮12只转动半周。
请参阅图3，回转件10由壳体与扭簧组成，壳体的周向内壁上固定安装有扭簧，主动齿轮9的左侧连接杆伸入壳体，并与扭簧的另一端固定连接，当滑动件7上移时，主动齿轮9的左侧连接杆带动扭簧扭转，之后，当滑动件7下移时，扭簧释放弹力，使得主动齿轮9回转复位。
撞击板14的下表面接触内侧件3的上表面，当滑动件7下移到初始位置时，会带动撞击板14撞击内侧件3的上表面，进而令接触件15产生振动，通过该振动，促使处于接触件15底面的污染物脱离接触件15，从而进一步降低大量晶圆接触污染物的概率。
请参阅图2，滑动件7与伸缩件6形成密封滑动连接(该连接关系类似现有技术中油缸与活塞之间的连接关系)，滑动件7内腔中位于连接板8下方位置的腔体为抽吸腔，连接板8的内部纵向贯穿开设有二号开口，二号开口内固定安装有一号单向阀，一号单向阀的流通方向为由滑动件7内腔中位于连接板8上方位置的腔体向抽吸腔流通，滑动件7内部位于连接板8下方的位置开设有导气孔16，导气孔16的一端与抽吸腔连通，导气孔16的另一端开设在滑动件7外侧面的底部位置，当滑动件7上移时，抽吸腔会通过二号开口与一号单向阀，进而抽取滑动件7内位于连接板8上方位置腔体中的气体(外界环境中的气体通过一号开口等结构进入上述腔体)，之后，当滑动件7下移时，抽吸腔中的气体通过导气孔16排出到后续关联机构中，进而为后续功能的实现提供动力支持。
放置台2内部位于容纳腔下方的位置开设有气腔17，气腔17中密封滑动安装有推板18，推板18的下表面固定安装有二号弹性件，二号弹性件的另一端与气腔17的底面固定连接，放置台2内部位于气腔17的内侧位置开设有进气孔19，进气孔19的一端与气腔17中位于推板18上侧位置的腔体连通，进气孔19的另一端开设在放置台2内侧面的底部位置，放置台2内侧面与滑动件7外侧面之间共同固定安装有软管20，软管20的长度大于导气孔16与进气孔19的直线距离，软管20的长度大于连接绳11的长度，软管20连通进气孔19与导气孔16，进气孔19内固定安装有二号单向阀，二号单向阀的流通方向为由软管20向进气孔19流通，放置台2内部位于气腔17上方的位置开设有出气孔21，出气孔21由环形孔与直孔组成，直孔的下侧端口与气腔17中位于推板18上侧位置的腔体连通，直孔的上侧端口与环形孔的下侧端口连通，环形孔的上侧端口与容纳腔连通，环形孔的上侧端口朝向接触件15的下表面，直孔内固定安装有三号单向阀，三号单向阀的流通方向为由直孔向环形孔流通，上述从导气孔16排出的气体通过软管20、进气孔19与二号单向阀，进而进入气腔17中，并推动推板18下移，使得推板18压缩二号弹性件，之后，当接触件15下移到初始位置时，二号弹性件释放弹力，使得推板18挤压上述气体，令该气体通过出气孔21与三号单向阀，进而喷向接触件15的底面，通过上述动作，从而进一步促使接触件15底面粘附的污染物脱落，降低大量晶圆接触污染物的概率。
请参阅图2与图4，放置台2内侧位于环形孔上侧端口的位置开设有限位槽22，限位槽22中滑动卡接有开合件23，开合件23由封闭环与推动杆组成，封闭环与限位槽22形成滑动卡接，封闭环的上表面焊接有推动杆，推动杆的上端与接触件15的下表面接触，封闭环的下表面固定安装有三号弹性件，三号弹性件的下端与限位槽22的底面固定连接，开合件23为两段密封式设置，使得当放置台2被打开时，开合件23同步打开，另外，当接触件15下移到初始位置时，会推动开合件23下移，进而打开出气孔21的上侧端口，使得气腔17中的气体可以顺利喷出。
请参阅图2、图8与图9，接触件15由主体150、滑槽151、移动件152、弹簧153与封闭槽154组成，主体150的数量为两个，两个主体150均密封滑动安装在容纳腔的上部位置，两个主体150的内侧面与对应方向上的撞击板14的外侧端形成焊接固定，主体150内靠近端部的位置开设有滑槽151，主体150的端部设置有移动件152，移动件152内侧位置的滑块与滑槽151形成密封滑动卡接设置，移动件152的内侧面与主体150形成密封滑动连接，两个主体150上相邻的两个移动件152相互抵接，相邻的两个移动件152相抵接的侧面上均安装有橡胶垫(图中未示出)，相邻的两个移动件152的内侧端均为弧形结构设置，滑动件7面向弧形结构的侧面为斜面结构设置，滑槽151的内部设置有弹簧153，弹簧153的两端分别连接滑块靠近对应方向上撞击板14的侧面与滑槽151的内壁，主体150内部的上下两侧均开设有封闭槽154，封闭槽154与对应方向的移动件152形成密封滑动连接，在接触件15转动的过程中，主体150会带动一侧位置的移动件152靠近滑动件7的斜面结构，使得移动件152沿滑动件7的斜面，进而收入封闭槽154中，在这个过程中，移动件152的滑块压缩弹簧153，之后，当移动件152越过滑动件7后，弹簧153释放弹力，使得移动件152复位，由于相邻的两个移动件152相对的侧面上均安装有橡胶垫，进而使得两者的接触端为密封端。
本发明的使用方法(工作原理)如下：
工作时，首先通过机械手将容置盒中的晶圆放置到接触件15表面，之后，令载台1内部的负压机构(现有技术)向放置台2内部产生负压，使得接触件15表面的晶圆被吸附固定，然后，令移动机构(现有技术)带动载台1发生水平移动，并通过摄像头拍摄晶圆边缘，使得拍摄出的图像传递给检测机构(如现有技术中的计算机)，从而令检测机构将该图像与标准图像进行比对，并判断晶圆边缘是否存在缺陷，通过上述动作，进而实现对晶圆边缘的检测取像作业，之后，令放置台2内部的负压消失，并取下晶圆，然后，令伸缩件6带动滑动件7与接触件15上移，使得连接绳11被逐渐拉紧，之后，拉紧的连接绳11带动主动齿轮9逆时针转动，使得从动齿轮12与接触件15随之转动，在接触件15转动的过程中，主体150会带动一侧位置的移动件152靠近滑动件7的斜面结构，使得移动件152沿滑动件7的斜面，进而收入封闭槽154中，同时，移动件152的滑块压缩弹簧153，之后，当移动件152越过滑动件7后，弹簧153释放弹力，使得移动件152复位，另外，主动齿轮9会扭转回转件10中的扭簧，当滑动件7上移到极限位置时，接触件15转动半周，然后，伸缩件6带动滑动件7与接触件15下移，使得扭簧释放弹力，令带动主动齿轮9回转复位，由于从动齿轮12被限位件13限制，进而令接触件15不转动，之后，当接触件15下移到初始位置时，撞击板14会撞击内侧件3的上表面，进而产生振动，促使接触件15底面粘附的污染物落到容纳腔中，在上述滑动件7上移的过程中，抽吸腔会通过二号开口与一号单向阀抽取外界气体，之后，当滑动件7下移时，抽吸腔中的气体会通过导气孔16、软管20、进气孔19与二号单向阀，进而进入气腔17中，并使推板18向下挤压二号弹性件，然后，当滑动件7带动接触件15下移到初始位置时，接触件15带动开合件23下移，并压缩三号弹性件，使得出气孔21的上侧端口打开，进而令二号弹性件释放弹力，并带动推板18挤压气腔17中的气体，令上述气体通过出气孔21与三号单向阀，进而喷向接触件15的底面，最后，将下一晶圆放到接触件15的表面，并再次向放置台2内部施加负压，使得晶圆被吸附固定，与此同时，部分负压通过容纳腔吸引接触件15底面的污染物，从而进一步促使污染物脱落，此为一个工作循环。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (9)
1.一种晶圆制造用边缘检测取像装置，包括载台(1)，所述载台(1)的上表面固定安装有放置台(2)，所述载台(1)的一侧设置有机械手，用以将晶圆放置在放置台(2)的表面，所述晶圆左侧的位置设置有摄像头，用以拍摄晶圆的边缘图像，所述载台(1)的另一侧设置有检测机构，用以检测摄像头拍摄的图像是否存在缺陷，其特征在于：所述放置台(2)的内侧安装有内侧件(3)，所述载台(1)上表面位于内侧件(3)内侧的位置固定安装有伸缩件(6)，所述伸缩件(6)的外侧滑动套接有滑动件(7)，所述伸缩件(6)的输出端固定安装有连接板(8)，所述连接板(8)的四周与滑动件(7)的内壁形成密封固定，所述滑动件(7)内腔中位于连接板(8)上侧的位置转动安装有主动齿轮(9)，所述滑动件(7)的左侧内壁固定安装有回转件(10)，所述主动齿轮(9)与回转件(10)连接，所述主动齿轮(9)的左侧缠绕有连接绳(11)，所述连接绳(11)的上端与主动齿轮(9)的左侧形成固定连接，所述连接绳(11)的下端穿过滑动件(7)，并与伸缩件(6)的侧面形成固定连接，所述滑动件(7)内部位于主动齿轮(9)上方的位置转动安装有与主动齿轮(9)形成啮合传动的从动齿轮(12)，所述滑动件(7)内部位于从动齿轮(12)上方的位置安装有限位件(13)，用以限制从动齿轮(12)逆时针转动，所述从动齿轮(12)左右两侧杆体的端部均固定安装有撞击板(14)，所述内侧件(3)的外侧面与放置台(2)的内侧面共同围成容纳腔，所述容纳腔的上部位置密封活动安装有接触件(15)，所述接触件(15)与撞击板(14)形成固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述放置台(2)为两段密封式设置，所述内侧件(3)的底面与放置台(2)的斜面之间安装有滤网(4)，所述滤网(4)的底面与放置台(2)内侧位置的斜面形成密封接触，所述滤网(4)的底面固定安装有固定板(5)，所述固定板(5)的底面与载台(1)的上表面形成固定连接，所述放置台(2)内部位于滤网(4)下方的位置开设有固定槽，所述固定板(5)的外侧面与固定槽的外侧壁体贴合。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述主动齿轮(9)由轮体、连接杆、滑槽、轮齿、一号挡块、二号挡块与一号弹性件组成，所述滑动件(7)内腔中位于连接板(8)上侧的位置安装有轮体，所述轮体的左右两侧均固定安装有连接杆，右侧所述连接杆与滑动件(7)的右侧内壁形成转动连接，所述轮体的内部周向等距开设有滑槽，所述滑槽的一侧壁体铰接有轮齿，所述轮齿能收入滑槽，所述轮齿的底面与滑槽的侧壁之间共同固定安装有一号弹性件，所述轮齿的左右两侧均固定安装有一号挡块，所述滑槽内壁上位于槽口的位置固定安装有二号挡块，所述一号挡块与二号挡块相互接触，用以限制轮齿过度伸出滑槽，所述轮齿上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，所述主动齿轮(9)的轮齿数少于从动齿轮(12)的齿牙数，所述从动齿轮(12)的齿牙上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，所述连接绳(11)缠绕在左侧连接杆表面，所述连接绳(11)的一端与左侧连接杆形成固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述回转件(10)由壳体与扭簧组成，所述壳体的周向内壁上固定安装有扭簧，左侧所述连接杆与扭簧的另一端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述撞击板(14)的下表面接触内侧件(3)的上表面，所述连接绳(11)靠近主动齿轮(9)的一段为放松设置。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述滑动件(7)与伸缩件(6)形成密封滑动连接，所述滑动件(7)内腔中位于连接板(8)下方位置的腔体为抽吸腔，所述连接板(8)的内部纵向贯穿开设有二号开口，所述二号开口内固定安装有一号单向阀，所述一号单向阀的流通方向为由滑动件(7)内腔中位于连接板(8)上方位置的腔体向抽吸腔流通，所述滑动件(7)内部位于连接板(8)下方的位置开设有导气孔(16)，所述导气孔(16)的一端与抽吸腔连通，所述导气孔(16)的另一端开设在滑动件(7)外侧面的底部位置。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述放置台(2)内部位于容纳腔下方的位置开设有气腔(17)，所述气腔(17)中密封活动安装有推板(18)，所述推板(18)的下表面与气腔(17)的底面之间共同固定安装有二号弹性件，所述放置台(2)内部位于气腔(17)的内侧位置开设有进气孔(19)，所述进气孔(19)的一端与气腔(17)中位于推板(18)上侧位置的腔体连通，所述进气孔(19)的另一端开设在放置台(2)内侧面的底部位置，所述放置台(2)内侧面与滑动件(7)外侧面之间共同固定安装有软管(20)，所述软管(20)的长度大于导气孔(16)与进气孔(19)的直线距离，所述软管(20)的长度大于连接绳(11)的长度，所述软管(20)连通进气孔(19)与导气孔(16)，所述进气孔(19)内固定安装有二号单向阀，所述二号单向阀的流通方向为由软管(20)向进气孔(19)流通，所述放置台(2)内部位于气腔(17)上方的位置开设有出气孔(21)，用以连通气腔(17)中位于推板(18)上侧位置的腔体与容纳腔，所述出气孔(21)的上侧端口朝向接触件(15)的下表面，所述出气孔(21)内固定安装有三号单向阀，所述三号单向阀的流通方向为由直孔向环形孔流通。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述放置台(2)内侧位于出气孔(21)上侧端口的位置开设有限位槽(22)，所述限位槽(22)中滑动卡接有开合件(23)，所述开合件(23)由封闭环与推动杆组成，所述封闭环与限位槽(22)形成滑动卡接，所述封闭环的上表面固定安装有推动杆，所述推动杆的上端与接触件(15)的下表面接触，所述封闭环的下表面与限位槽(22)的底面之间共同固定安装有三号弹性件，所述开合件(23)为两段密封式设置。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述接触件(15)由主体(150)、滑槽(151)、移动件(152)、弹簧(153)与封闭槽(154)组成，所述主体(150)的数量为两个，两个所述主体(150)均密封活动安装在容纳腔的上部位置，两个所述主体(150)的内侧面与对应方向上的撞击板(14)的外侧端连接，所述主体(150)内靠近端部的位置开设有滑槽(151)，所述主体(150)的端部设置有移动件(152)，所述移动件(152)内侧位置的滑块与滑槽(151)形成密封活动连接，所述移动件(152)的内侧面与主体(150)形成密封滑动连接，两个所述主体(150)上相邻的两个移动件(152)相互抵接，所述滑槽(151)的内部设置有弹簧(153)，所述弹簧(153)的两端分别连接滑块靠近对应方向上撞击板(14)的侧面与滑槽(151)的内壁，所述主体(150)内部的上下两侧均开设有封闭槽(154)，所述封闭槽(154)与对应方向的移动件(152)形成密封活动连接。
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