CN113957387A - 一种银纳米片簇阵列及其制备方法和用途 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种银纳米片簇阵列及其制备方法和用途。该阵列由位于导电衬底表面上且位于多孔氧化铝薄膜孔内的银纳米片簇单元组成，相邻微米孔之间连通，相邻微米孔的孔壁之间彼此围合形成球形空腔；银纳米片簇由直立生长于导电衬底表面且位于氧化铝孔内的银纳米片构成；其制备方法包括在导电衬底上溅射金颗粒，然后在金颗粒上铺设单层有序密排聚苯乙烯微球，在聚苯乙烯微球间隙内充满高浓度硝酸铝溶液，加热分解硝酸铝形成氧化铝多孔薄膜，去除聚苯乙烯微球阵列，在氧化铝孔内电沉积银纳米片簇阵列。该阵列可作为SERS的活性基底来测量其上附着的痕量有机物，能检测出浓度低至10‑15mol/L的罗丹明6G，信号的均匀性和检测灵敏度高。

Description

一种银纳米片簇阵列及其制备方法和用途
技术领域
本发明涉及一种银纳米材料及制备方法和用途，尤其是一种银纳米片簇阵列及其制备方法和用途。
背景技术
表面增强拉曼散射(SERS)光谱技术在有机分子和离子检测等领域具有广泛的应用前景。银纳米片的局域表面等离激元共振(local surface plasmon resonances,简称LSPR)光吸收峰可在400-1000nm范围内调控，能够适合多种激发波长，银纳米片边缘可产生局域电磁场热点(hot spots)，片之间的间隙也可以产生热点,因此在SERS衬底的构筑方面具有显著优势。例如，2010年发表在《Journal ofMaterials Chemistry》第10卷第767–772页(J.Mater.Chem.,2010,20,767–772)，题为“Vertically cross-linking silvernanoplate arrays with controllable density based on seed-assistedelectrochemical growth and their structurally enhanced SERS activity”的文章，报道了一种电沉积制备银纳米片的方法，并研究了产物的SERS性能。然而，这种方法制备的银纳米片的密度有待进一步提高，因为在单位面积内，高密度的银纳米片会产生更多的SERS热点，获得更高的SERS检测灵敏度。此外，这种方法制备的直立银纳米片结构，不是有序阵列，不利于获得很好的SERS信号重复性。这种方法也难以实现对制备的银纳米片结构LSPR吸收峰的可控调控。另外，制备方法也无法克服上述缺点。
发明内容
本发明要解决的技术问题为克服现有技术中的不足之处，提供一种银纳米片簇有序阵列及其制备方法和用途。组成这种银纳米片簇有序阵列银纳米片簇，均匀有序地排列，利于获得高信号均匀性和重现性；每个簇具有众多的SERS热点，保证了这种阵列结构SERS基底具有高SERS检测灵敏度。
为了解决本发明的技术问题，所采取的技术方案为，一种银纳米片簇有序阵列，由多个银纳米片簇单元组成，所述银纳米片簇单元位于氧化铝微孔膜的微米孔内，所述银纳米片簇单元与所述微米孔的直径一致，多个所述的微米孔呈有序的六角排列；所述氧化铝微孔膜位于金纳米颗粒层上，所述金纳米颗粒层位于导电衬底上，所述微米孔呈贯穿状使得银纳米片簇单元与金纳米颗粒层、导电衬底相连接；
所述银纳米片簇单元由至少50个银纳米片竖直且密集排列组成；所述银纳米片为直径的50-200nm的近似圆形或半圆形，厚度为15-35nm；
所述微米孔为200-2000nm的球形空腔，相邻所述微米孔之间连通。
为了解决本发明的技术问题，所采取的另一个技术方案为，一种银纳米片簇有序阵列的制备方法，包括如下步骤：S1、在导电衬底的表面溅射金纳米颗粒；取直径为500-2500nm且直径大小一致的聚苯乙烯小球，制备有序排列的单层聚苯乙烯小球模板，将单层聚苯乙烯小球模板转移到金纳米颗粒的表面上，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和铺设有单层聚苯乙烯小球的导电衬底；
S2、将步骤S1制得的导电衬底置于内部温度为105-115℃的烘箱中，使聚苯乙烯小球牢固地附着在导电衬底表面，相邻的聚苯乙烯小球之间相互连接，5-20min后取出，在聚苯乙烯小球上旋涂浓度为0.2-0.4M的硝酸铝水溶液，使溶液充满聚苯乙烯小球的间隙，待溶液干燥后，将导电衬底放入149-175℃的烘箱中5-10h，硝酸铝受热分解转化为氧化铝，得到多孔氧化铝薄膜；然后将聚苯乙烯小球全部溶解，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和附着有氧化铝多孔薄膜的导电衬底；
S3、将步骤S2制得的导电衬底置于银电解液中作为阴极，以长方形石墨片为阳极，在导电衬底上氧化铝多孔薄膜的孔内电沉积银10-40min，制得银纳米片簇阵列；
S4、将步骤S3制得的导电衬底置于去离子水中浸泡并反复清洗数次，产物用惰性气体吹干，即制得银纳米片簇阵列。
作为银纳米片簇有序阵列的制备方法进一步的改进：
优选的，步骤S1中所述金纳米颗粒的粒径为5-20nm。
优选的，步骤S1中利用液面自组装方法制备有序排列的单层聚苯乙烯小球模板，利用液面漂浮方法将单层聚苯乙烯小球模板转移到金纳米颗粒的表面上。
优选的，步骤S2中采用四氯甲烷溶液将聚苯乙烯小球全部溶解。
优选的，步骤S1中所述溅射金纳米颗粒的方法为离子溅射法或磁控溅射法。
优选的，在步骤S2中聚苯乙烯小球上旋涂硝酸铝水溶液之前，将表面覆盖有聚苯乙烯微球阵列的导电衬底放入等离子体刻蚀机内，在氩气环境下的等离子体刻蚀微球5-50min，使微球半径减小，微球之间的间隙增大。
优选的，步骤S3中所述银电解液为含有0.5-2g/L的硝酸银、1-5g/L的柠檬酸、0.5-2g/L的聚乙烯吡咯烷酮的水溶液。
为解决本发明的技术问题，所采取的又一个技术方案为，一种银纳米片簇有序阵列的用途，将银纳米片簇阵列作为表面增强拉曼散射的活性基底，使用激光拉曼光谱仪测量其上附着的罗丹明6G的含量。
作为银纳米片簇有序阵列的用途进一步的改进：
优选的，所述激光拉曼光谱仪的激发光的波长为532nm、功率为0.1-2mW、积分时间为0.3-60s。
本发明相比现有技术的有益效果在于：
其一、制备的银纳米片簇为有序阵列结构，从而使目的产物具有很高的SERS信号均匀性和重复性。将制得的目的产物作为SERS活性基底，经对罗丹明6G进行不同浓度下的多次多批量的测试，当被测物R6G的浓度低至10-15mol/L时，仍能将其有效地检测出来；且当R6G浓度小于10-12mol/L时，其检测的信号均匀性和重复性于目的产物上的任一点和不同批次产物上的任一点都非常的好，特征峰强度的相对标准偏差小于10％。
其二、制备的银纳米片簇有序阵列结构的结构参数可调控。借助聚苯乙烯微球组装技术，能够实现银纳米片簇阵列中相邻簇之间间隙的可控调节。并可通过调控相邻银纳米片簇间隔和纳米片簇的电沉积时间等参数调节目的产物的LSPR峰位置，实现LSPR峰与激发波长相匹配。
其三、制备的银纳米片簇内银纳米片，是直立、密集地挤在一起，所以提供了众多的SERS热点，从而使目的产物具有很高的SERS灵敏度。
其四、制备方法科学、有效。利用自组装的单层聚苯乙烯微球阵列作为模板，制备氧化铝多孔模板，这种方法简便易行、可重复性高。不仅制得了银纳米片密度高、SERS热点密度高的目的产物，还使其具有了较高的SERS灵敏度、结构的均匀性和信号的均匀性，更有着便于简单廉价地批量制备大面积、高密度、结构参数高度可控阵列的优点，进而使目的产物可作为SERS的活性基底来测量其上附着的痕量有机物。
其五、由于结构和SERS性能的高度可调性，在多种激发波长下均可与激发光波长匹配，实现性能的优化，在有机分子检测等领域具有重要应用前景。
附图说明
图1是利用扫描电镜(SEM)表征中间产物氧化铝有序多孔模板的结果之一。
图2是利用如图1所示的氧化铝多孔模板制备的银纳米片簇阵列的扫描电镜照片。
图3为目的产物银纳米片簇的局部放大的的扫描电镜表征结果之一。
图4对含有10-15mol/L的罗丹明6G的目的产物使用共聚焦激光拉曼光谱仪进行表征的结果之一。
图5为导电衬底(黑色部分)上依次覆盖金纳米颗粒膜和聚苯乙烯微球(灰色部分)阵列的扫描电镜表征结果。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面结合附图对本发明的优选方式作进一步详细的描述。
首先从市场购得或自行制得：
选取直径为500nm、1000nm或2000nm的聚苯乙烯微球；
作为导电衬底的氧化铟锡(ITO)玻璃；
实施例1
本实施例提供一种银纳米片簇阵列的制备方法，具体步骤为：
步骤1：利用液面自组装方法获得直径为2微米的聚苯乙烯微球组成的单层密排微球阵列模板，再利用液面漂浮方法将单层聚苯乙烯小球模板转移到表面通过离子溅射法溅射有金纳米颗粒的导电衬底表面；
步骤2：将表面依次溅射有金纳米颗粒和铺设单层聚苯乙烯小球的导电衬底置于内部温度为110℃的烘箱中10min，使聚苯乙烯小球牢固地附着在导电衬底表面，且相邻的聚苯乙烯小球相互连接；然后将导电衬底取出，在其表面旋涂浓度为0.3M的硝酸铝水溶液，使溶液充满聚苯乙烯小球的间隙内，待溶液干燥后，将衬底放入150℃的烘箱中6h，使硝酸铝受热分解转化为氧化铝，得到多孔氧化铝薄膜；然后利用四氯甲烷溶液将聚苯乙烯小球全部溶解，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底；
步骤3：将步骤2制得的表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底置于含有1g/L的硝酸银、3g/L的柠檬酸、0.5/L的聚乙烯吡咯烷酮的混合水溶液中，并作为阴极，以长方形石墨片为阳极，在导电衬底表面的氧化铝模板的孔内电沉积银25min，制得银纳米片簇阵列；
步骤4：将步骤3制得的带有银纳米片簇阵列的导电衬底置于去离子水中浸泡15min，然后用去离子水反复清洗数次，产物清洗后用惰性气体吹干，即制得银纳米片簇阵列。
将制得的中间产物和目的产物使用扫描电镜(SEM)进行表征，结果如图1-3所示。由图1可知，中间产物氧化铝多孔模板为位于导电衬底表面孔洞六方有序排列的结构，相邻孔壁之间彼此围合形成球形空腔，孔壁由导电衬底表面向上孔壁逐渐变薄，每个氧化铝微孔的孔壁处有6个直立的、等间距的三棱柱，且三棱柱的顶端为近似于三角形的结构，一部分这种近似于三角形结构的角与相邻三角形的角相连接。目的产物为位于氧化铝孔内的银纳米片簇阵列(图2和图3)，且银纳米片密集地组成簇状结构；
将制得的目的产物作为SERS活性基底，经对罗丹明6G进行不同浓度下的多次多批量的测试，当被测物R6G的浓度低至10-15mol/L时，仍能将其有效地检测出来(图4)；且当R6G浓度小于10-12mol/L时，其检测的信号均匀性和重复性于目的产物上的任一点和不同批次产物上的任一点都非常的好，特征峰强度的相对标准偏差小于10％。
实施例2
本实施例提供一种银纳米片簇阵列的制备方法，具体步骤为：
步骤1：利用液面自组装方法获得直径为2微米的聚苯乙烯微球组成的单层密排微球阵列模板，再利用液面漂浮方法将单层聚苯乙烯小球模板转移到表面通过离子溅射法溅射有金纳米颗粒的导电衬底表面；
步骤2：将表面依次溅射有金纳米颗粒和铺设单层聚苯乙烯小球的导电衬底置于内部温度为110℃的烘箱中10min，使聚苯乙烯小球牢固地附着在导电衬底表面，且相邻的聚苯乙烯小球相互连接；然后将表面覆盖有聚苯乙烯微球阵列的导电衬底放入等离子体刻蚀机内，利用氩气环境下的等离子体刻蚀微球20min，使其半径减小，增大微球之间的间隙至300nm。接着将导电衬底取出，在其表面旋涂浓度为0.3M的硝酸铝水溶液，使溶液充满聚苯乙烯小球的间隙内，待溶液干燥后，将衬底放入150℃的烘箱中，使硝酸铝受热分解转化为氧化铝，得到多孔氧化铝薄膜；然后利用四氯甲烷溶液将聚苯乙烯小球全部溶解，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底；
步骤3：将步骤2制得的表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底置于含有0.5g/L的硝酸银、2g/L的柠檬酸、0.5/L的聚乙烯吡咯烷酮的混合水溶液中，并作为阴极，以长方形石墨片为阳极，在导电衬底表面的氧化铝模板的孔内电沉积银25min，制得银纳米片簇阵列；
步骤4：将步骤3制得的带有银纳米片簇阵列的导电衬底置于去离子水中浸泡15min，然后用去离子水反复清洗数次，产物清洗后用惰性气体吹干，即制得银纳米片簇阵列。
使用扫描电镜(SEM)对步骤2中溶解掉微球之前的中间产物进行表征(图5)，表明聚苯乙烯微球之间的间隙宽度为300nm。测量目的产物的光吸收谱，其LSPR吸收峰530nm处，与532nm的激发光波长比较匹配。利用目的产物作为SERS衬底检测R6G，当R6G浓度小于10- 12mol/L时，其检测的信号均匀性和重复性于目的产物上的任一点和不同批次产物上的任一点都非常的好，特征峰强度的相对标准偏差小于10％。
实施例3
本实施例提供一种银纳米片簇阵列的制备方法，具体步骤为：
步骤1：利用液面自组装方法获得直径为2.5微米的聚苯乙烯微球组成的单层密排微球阵列模板，再利用液面漂浮方法将单层聚苯乙烯小球模板转移到表面通过离子溅射法溅射有金纳米颗粒的导电衬底表面；
步骤2：将表面依次溅射有金纳米颗粒和铺设单层聚苯乙烯小球的导电衬底置于内部温度为110℃的烘箱中10min，使聚苯乙烯小球牢固地附着在导电衬底表面，且相邻的聚苯乙烯小球相互连接；然后将表面覆盖有聚苯乙烯微球阵列的导电衬底放入等离子体刻蚀机内，利用氩气环境下的等离子体刻蚀微球50min，使其半径减小，增大微球之间的间隙至700nm。接着将导电衬底取出，在其表面旋涂浓度为0.3M的硝酸铝水溶液，使溶液充满聚苯乙烯小球的间隙内，待溶液干燥后，将衬底放入150℃的烘箱中，使硝酸铝受热分解转化为氧化铝，得到多孔氧化铝薄膜；然后利用四氯甲烷溶液将聚苯乙烯小球全部溶解，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底；
步骤3：将步骤2制得的表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底置于含有0.5g/L的硝酸银、1g/L的柠檬酸、2/L的聚乙烯吡咯烷酮的混合水溶液中，并作为阴极，以长方形石墨片为阳极，在导电衬底表面的氧化铝模板的孔内电沉积银，制得银纳米片簇阵列；
步骤4：将步骤3制得的带有银纳米片簇阵列的导电衬底置于去离子水中浸泡15min，然后用去离子水反复清洗数次，产物清洗后用惰性气体吹干，即制得银纳米片簇阵列。
将制得的目的产物使用紫外-可见-红外分光光度计进行表征，其LSPR吸收峰位于650nm。利用目的产物作为SERS衬底检测R6G，当R6G浓度小于10-12mol/L时，其检测的信号均匀性和重复性于目的产物上的任一点和不同批次产物上的任一点都非常的好，特征峰强度的相对标准偏差小于10％。
实施例4
本实施例提供一种银纳米片簇阵列的制备方法，具体步骤为：
步骤1：利用液面自组装方法获得直径为1微米的聚苯乙烯微球组成的单层密排微球阵列模板，再利用液面漂浮方法将单层聚苯乙烯小球模板转移到表面通过离子溅射法溅射有金纳米颗粒的导电衬底表面；
步骤2：将表面依次溅射有金纳米颗粒和铺设单层聚苯乙烯小球的导电衬底置于内部温度为110℃的烘箱中10min，使聚苯乙烯小球牢固地附着在导电衬底表面，且相邻的聚苯乙烯小球相互连接；然后将表面覆盖有聚苯乙烯微球阵列的导电衬底放入等离子体刻蚀机内，利用氩气环境下的等离子体刻蚀微球18min，使其半径减小，增大微球之间的间隙至300nm。接着将导电衬底取出，在其表面旋涂浓度为0.3M的硝酸铝水溶液，使溶液充满聚苯乙烯小球的间隙内，待溶液干燥后，将衬底放入150℃的烘箱中，使硝酸铝受热分解转化为氧化铝，得到多孔氧化铝薄膜；然后利用四氯甲烷溶液将聚苯乙烯小球全部溶解，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底；
步骤3：将步骤2制得的表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底置于含有1g/L的硝酸银、4g/L的柠檬酸、0.5/L的聚乙烯吡咯烷酮的混合水溶液中，并作为阴极，以长方形石墨片为阳极，在导电衬底表面的氧化铝模板的孔内电沉积银，制得银纳米片簇阵列；
步骤4：将步骤3制得的带有银纳米片簇阵列的导电衬底置于去离子水中浸泡15min，然后用去离子水反复清洗数次，产物清洗后用惰性气体吹干，即制得银纳米片簇阵列。
将制得的目的产物使用紫外-可见-红外分光光度计进行表征，其LSPR吸收峰位于510nm。利用目的产物作为SERS衬底检测R6G，当R6G浓度小于10-12mol/L时，其检测的信号均匀性和重复性于目的产物上的任一点和不同批次产物上的任一点都非常的好，特征峰强度的相对标准偏差小于10％。
实施例5
本实施例提供一种银纳米片簇阵列的制备方法，具体步骤为：
步骤1：利用液面自组装方法获得直径为500nm的聚苯乙烯微球组成的单层密排微球阵列模板，再利用液面漂浮方法将单层聚苯乙烯小球模板转移到表面通过离子溅射法溅射有金纳米颗粒的导电衬底表面；
步骤2：将表面依次溅射有金纳米颗粒和铺设单层聚苯乙烯小球的导电衬底置于内部温度为110℃的烘箱中10min，使聚苯乙烯小球牢固地附着在导电衬底表面，且相邻的聚苯乙烯小球相互连接。接着将导电衬底取出，在其表面旋涂浓度为0.3的硝酸铝水溶液，使溶液充满聚苯乙烯小球的间隙内，待溶液干燥后，将衬底放入150℃的烘箱中，使硝酸铝受热分解转化为氧化铝，得到多孔氧化铝薄膜；然后利用四氯甲烷溶液将聚苯乙烯小球全部溶解，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底；
步骤3：将步骤2制得的表面依次溅射有金纳米颗粒和附着氧化铝多孔薄膜的导电衬底置于含有1.5g/L的硝酸银、5g/L的柠檬酸、1/L的聚乙烯吡咯烷酮的混合水溶液中，并作为阴极，以长方形石墨片为阳极，在导电衬底表面的氧化铝模板的孔内电沉积银30min，制得银纳米片簇阵列；
步骤4：将步骤3制得的带有银纳米片簇阵列的导电衬底置于去离子水中浸泡15min，然后用去离子水反复清洗数次，产物清洗后用惰性气体吹干，即制得银纳米片簇阵列。
将制得的目的产物使用紫外-可见-红外分光光度计进行表征，其LSPR吸收峰位于490nm。利用目的产物作为SERS衬底检测R6G，当R6G浓度小于10-12mol/L时，其检测的信号均匀性和重复性于目的产物上的任一点和不同批次产物上的任一点都非常的好，特征峰强度的相对标准偏差小于10％。
本领域的技术人员应理解，以上所述仅为本发明的若干个具体实施方式，而不是全部实施例。应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，还可以做出许多变形和改进，所有未超出权利要求所述的变形或改进均应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种银纳米片簇阵列，其特征在于，由多个银纳米片簇单元组成，所述银纳米片簇单元位于氧化铝微孔膜的微米孔内，所述银纳米片簇单元与所述微米孔的直径一致，多个所述的微米孔呈有序的六角排列；所述氧化铝微孔膜位于金纳米颗粒层上，所述金纳米颗粒层位于导电衬底上，所述微米孔呈贯穿状使得银纳米片簇单元与金纳米颗粒层、导电衬底相连接；
所述银纳米片簇单元由至少50个银纳米片竖直且密集排列组成；所述银纳米片为直径50-200nm的近似圆形或半圆形，厚度为15-35nm；
所述微米孔为200-2000nm的球形空腔，相邻所述微米孔之间连通。
2.一种权利要求1所述银纳米片簇阵列的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、在导电衬底的表面溅射金纳米颗粒；取直径为500-2500nm且直径大小一致的聚苯乙烯小球，制备有序排列的单层聚苯乙烯小球模板，将单层聚苯乙烯小球模板转移到金纳米颗粒的表面上，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和铺设有单层聚苯乙烯小球的导电衬底；
S2、将步骤S1制得的导电衬底置于内部温度为105-115℃的烘箱中，使聚苯乙烯小球牢固地附着在导电衬底表面，相邻的聚苯乙烯小球之间连接，5-20min后取出，在聚苯乙烯小球上旋涂浓度为0.2-0.4M的硝酸铝水溶液，使溶液充满聚苯乙烯小球的间隙，待溶液干燥后，将导电衬底放入149-175℃的烘箱中5-10h，硝酸铝受热分解转化为氧化铝，得到多孔氧化铝薄膜；然后将聚苯乙烯小球全部溶解，得到表面依次溅射有金纳米颗粒和附着有氧化铝多孔薄膜的导电衬底；
S3、将步骤S2制得的导电衬底置于银电解液中作为阴极，以长方形石墨片为阳极，在导电衬底上氧化铝多孔薄膜的孔内电沉积银10-40min，制得银纳米片簇阵列；
S4、将步骤S3制得的导电衬底置于去离子水中浸泡并反复清洗数次，产物用惰性气体吹干，即制得银纳米片簇阵列。
3.根据权利要求2所述的银纳米片簇阵列的制备方法，其特征在于，步骤S1中所述金纳米颗粒的粒径为5-20nm。
4.根据权利要求2所述的银纳米片簇阵列的制备方法，其特征在于，步骤S1中利用液面自组装方法制备有序排列的单层聚苯乙烯小球模板，利用液面漂浮方法将单层聚苯乙烯小球模板转移到金纳米颗粒的表面上。
5.根据权利要求2所述的银纳米片簇阵列的制备方法，其特征在于，步骤S2中采用四氯甲烷溶液将聚苯乙烯小球全部溶解。
6.根据权利要求2所述的银纳米片簇阵列的制备方法，其特征在于，步骤S1中所述溅射金纳米颗粒的方法为离子溅射法或磁控溅射法。
7.根据权利要求2所述的银纳米片簇阵列的制备方法，其特征在于，在步骤S2中聚苯乙烯小球上旋涂硝酸铝水溶液之前，将表面覆盖有聚苯乙烯微球阵列的导电衬底放入等离子体刻蚀机内，在氩气环境下等离子体刻蚀微球5-50min，使微球半径减小，微球之间的间隙增大。
8.根据权利要求2所述的银纳米片簇阵列的制备方法，其特征在于，步骤S3中所述银电解液为含有0.5-2g/L的硝酸银、1-5g/L的柠檬酸、0.5-2g/L的聚乙烯吡咯烷酮的水溶液。
9.一种权利要求1所述银纳米片簇阵列的用途，其特征在于，将银纳米片簇阵列作为表面增强拉曼散射的活性基底，使用激光拉曼光谱仪测量其上附着的罗丹明6G的含量。
10.根据权利要求9所述的银纳米片簇阵列的用途，其特征在于，所述激光拉曼光谱仪的激发光的波长为532nm、功率为0.1-2mW、积分时间为0.3-60s。
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