CN113903676A - 镭射机台自动化运行方法及系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种镭射机台自动化运行方法及系统，所述方法包括：(a)根据特征信息判断晶圆是否在镭射机台上完成作业，若是，则跳过镭射机台进行下一工序，若否，则执行步骤(b)；(b)在镭射机台上对晶圆进行处理，所述镭射机台生成记录信息，所述记录信息与所述晶圆在镭射机台上的作业信息相关；(c)获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成特征信息，所述特征信息作为步骤(a)的判断依据。本发明的优点在于，根据镭射机台的本地记录信息生成特征信息，进而利用特征芯片判断晶圆是否在镭射机台上完成镭射作业，进而避免对已经完成镭射作业的晶圆进行再次镭射处理，大大提高了晶圆的良率，降低了损失。

Description

镭射机台自动化运行方法及系统
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种镭射机台自动化运行方法及系统。
背景技术
在半导体制造工艺中，通常需要采用镭射机台对晶圆进行处理，晶圆在作业完成后进入下一工序。其缺点在于，现有的镭射机台为离线作业，生成控制系统无法得知整批晶圆的镭射状况，可能会导致晶圆被重复镭射，晶圆的重复镭射可能会造成晶圆的良率损失。
因此，亟需一种镭射机台自动化运行方法及系统，以解决上述问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，提供一种镭射机台自动化运行方法及系统。
为了解决上述问题，本发明提供了一种镭射机台自动化运行方法，其包括：(a)根据特征信息判断晶圆是否在镭射机台上完成作业，若是，则跳过镭射机台进行下一工序，若否，则执行步骤(b)；(b)在镭射机台上对晶圆进行处理，所述镭射机台生成记录信息，所述记录信息与所述晶圆在镭射机台上的作业信息相关；(c)获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成特征信息，所述特征信息作为步骤(a)的判断依据。
进一步，所述特征信息被存储在预设存储空间，在判断晶圆是否在镭射机台上进行过作业的步骤之前包括自预设存储空间获取所述特征信息的步骤。
进一步，所述特征信息被存储在预设存储空间，形成数据库。
进一步，步骤(a)进一步包括，将所述晶圆的固有信息与数据库中的特征信息进行对比，若所述固有信息与所述特征信息匹配，且所述特征信息记录所述晶圆完成了全部的作业，则所述晶圆在镭射机台上完成作业；若所述固有信息与所述特征信息匹配，且所述特征信息记录所述晶圆完成了部分的作业，则所述晶圆在镭射机台上未完成作业；若所述固有信息与所述特征信息不匹配，则所述晶圆在镭射机台上未完成作业。
进一步，所述特征信息至少包括所述晶圆的固有信息及所述晶圆在镭射机台上的作业信息。
进一步，所述晶圆的固有信息包括所述晶圆的批次号。
进一步，根据特征信息，获取所述晶圆的历史记录。
进一步，对所述数据库进行备份。
进一步，所述作业信息为，所述晶圆在镭射机台上进行过作业。
进一步，所述作业信息为，所述晶圆在镭射机台上完成镭射阶段的作业。
本发明还提供一种镭射机台自动化运行系统，其包括：镭射机台，用于对晶圆进行镭射处理，并能够生成记录信息，所述记录信息与所述晶圆在镭射机台上的作业信息相关；控制系统，用于自所述镭射机台获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成特征信息，且用于根据所述特征信息判断晶圆是否在镭射机台上进行过作业，并生成控制指令。
进一步，所述控制系统包括：自动化系统，能够与所述镭射机台通信，用于自所述镭射机台获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成所述特征信息，还用于将制造执行系统的控制指令发送给所述镭射机台；制造执行系统，能够与所述自动化系统通信，用于获取所述特征信息，并用于根据所述特征信息判断晶圆是否在镭射机台上进行过作业，并能够生成控制指令。
进一步，所述制造执行系统具有一预设存储空间，用于存储所述特征信息形成的数据库。
进一步，所述镭射机台自动化运行系统还包括备份单元，用于对数据库进行备份。
进一步，所述镭射机台自动化运行系统还包括匹配单元，所述匹配单元用于将晶圆的固有信息与数据库中的特征信息进行匹配，所述制造执行系统根据所述匹配结果生成控制指令。
本发明的优点在于，能够根据镭射机台的本地记录生成特征信息，进而利用特征芯片判断晶圆是否在镭射机台上完成镭射作业，进而避免对已经完成镭射作业的晶圆进行再次镭射处理，大大提高了晶圆的良率，降低了损失。
附图说明
图1是本发明镭射机台自动化运行方法的一实施例的流程图；
图2是本发明镭射机台自动化运行系统的一实施例的框图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明提供的镭射机台自动化运行方法及系统的实施例做详细说明。
图1是本发明镭射机台自动化运行方法的一实施例的流程图。请参阅图1，本发明镭射机台自动化运行方法包括如下步骤：
步骤S10，根据特征信息判断晶圆是否在镭射机台上完成作业。
其中，所述特征信息与晶圆在镭射机台上的作业信息相关。在本实施例中，所述特征信息至少包括所述晶圆的固有信息及所述晶圆在镭射机台上的作业信息。所述晶圆的固有信息为该批次晶圆区别于其他批次晶圆的信息，例如，晶圆的批次号。所述作业信息用于记录所述晶圆在所述镭射机台上进行过镭射作业的情况。例如，对于仅需要进行一次镭射作业的晶圆，其对应的所述作业信息应包括所述晶圆在镭射机台上进行过作业的内容；对于需要在镭射机台上完成多次镭射作业的晶圆，其对应的所述作业信息应包括所述晶圆在镭射机台上完成镭射阶段的作业的内容。
通过所述晶圆的固有信息可将所述晶圆与其在镭射机台上的作业信息关联。在后续对晶圆进行操作时，可获取所述晶圆的固有信息，并利用所述固有信息作为索引，在所述特征信息内确定所述晶圆在镭射机台上的作业情况。
若所述晶圆在镭射机台上完成作业，则结束，跳过镭射机台进行下一工序；若所述晶圆未在镭射机台上完成作业，则执行步骤S11。
例如，对于仅需要进行一次镭射作业的晶圆，根据所述特征信息判断其是否在所述镭射机台上进行过镭射作业，若是，则跳过镭射机台进行下一工序，若否，则执行步骤S11。
再例如，对于需要在镭射机台上完成多次镭射作业的晶圆，根据所述特征信息判断所述晶圆是否在所述镭射机台上完成了镭射阶段的所有镭射作业，若是，则跳过镭射机台进行下一工序；若所述晶圆在所述镭射机台上仅完成了镭射阶段的部分镭射作业，则判断为否，执行步骤S11；若所述晶圆并未在所述镭射机台上进行过镭射作业，也判断为否，执行步骤S11。
步骤S11，在镭射机台上对晶圆进行处理，所述镭射机台生成记录信息，所述记录信息与所述晶圆在镭射机台上的作业情况相关。
在该步骤中，在所述镭射机台上根据预设程序对晶圆进行处理后，所述镭射机台会自动生成记录信息，所述记录信息为所述镭射机台的本地信息。在本实施例中，所述记录信息至少包含有所述晶圆的固有信息及进行镭射作业的作业信息的内容。
步骤S12，获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成特征信息，所述特征信息作为步骤S10的判断依据。
由于所述记录信息为所述镭射机台的本地信息，其可能存在不能被其他程序或者软件等识别的情况，因此，在获取所述记录信息后，可对所述记录信息进行解析，生成能够被其他程序或者软件识别的特征信息。
在该步骤中生成的特征信息即为步骤S10所述的特征信息。在本发明中，只有所述晶圆在所述镭射机台上进行过镭射作业，才能生成特征信息，若所述晶圆没有在所述镭射机台上进行过作业，其并不会生成特征信息。
进一步，所述特征信息被存储在预设存储空间100中。在本实施例中，所述预设存储空间100为控制系统提供的一存储位置。对于每一个或者每一批晶圆，执行步骤S12后，特征信息被存储在预设存储空间100中。例如，在对某一批次的晶圆执行步骤S12后，生成的特征信息A1被存储在预设存储空间100中，在对另一批次的晶圆执行步骤S12后，其生成的特征信息A1被存储在预设存储空间100中，依此类推。如图1所示，在所述预设存储空间100中存储有特征信息A1～An，每一特征信息对应一个或者一批次晶圆。
进一步，在步骤S10之前，还包括自预设存储空间100获取所述特征信息的步骤S01。该获得的特征信息可用于步骤S10的判断。
进一步，所述特征信息形成数据库，可供步骤S10调取。另外，若所述晶圆产生问题，用户还可根据所述数据库的记录追溯所述晶圆的历史记录，以便于进行问题分析。
进一步，本发明还提供一种根据所述特征信息判断晶圆是否在镭射机台上完成作业的方法。对于仅需要进行一次镭射作业的晶圆及需要在镭射机台上完成多次镭射作业的晶圆其判断参数会存在差别。
例如，对于仅需要进行一次镭射作业的晶圆，将所述晶圆的固有信息与数据库中的特征信息进行对比。若所述固有信息与所述特征信息匹配，即所述特征信息中包含所述固有信息，则判定所述晶圆在镭射机台上完成作业；若所述固有信息与所述特征信息不匹配，即所述特征信息中不包含所述固有信息，则判定所述晶圆在镭射机台上未完成作业。
再例如，对于需要在镭射机台上完成多次镭射作业的晶圆，将所述晶圆的固有信息与数据库中的特征信息进行对比。若所述固有信息与所述特征信息匹配，即所述特征信息中包含所述固有信息，且所述特征信息记录所述晶圆完成了全部的作业，则判定所述晶圆在镭射机台上完成作业；若所述固有信息与所述特征信息匹配，即所述特征信息中包含所述固有信息，且所述特征信息记录所述晶圆完成了部分的作业，则判定所述晶圆在镭射机台上未完成作业；若所述固有信息与所述特征信息不匹配，即所述特征信息中不包含所述固有信息，则判定所述晶圆在镭射机台上未完成作业。
进一步，在镭射机台自动化系统掉电或者重启的情况下，可能会发生数据库丢失的情况，则需要重新整理晶圆的特征信息，可能会发生误判断的情况，导致晶圆被再次执行镭射作业，因此，在本实施例中，本发明镭射机台自动化运行方法还包括对所述数据库进行备份的步骤。对所述数据库进行定期备份，例如，以周或者天或者小时为单位定期备份。在数据丢失的情况下，可将备份的数据恢复至镭射机台自动化系统，从而避免误操作，大大提高了晶圆的良率。
本发明镭射机台自动化运行方法能够根据镭射机台的本地记录生成特征信息，进而利用特征芯片判断晶圆是否在镭射机台上完成镭射作业，进而避免对已经完成镭射作业的晶圆进行再次镭射处理，大大提高了晶圆的良率，降低了损失。
本发明还提供一种镭射机台自动化运行系统。图2是本发明镭射机台自动化运行系统的一实施例的框图。请参阅图2，本发明镭射机台自动化运行系统包括镭射机台200及控制系统210。
所述镭射机台200用于根据预设设置对晶圆进行镭射处理，并能够生成记录信息。所述记录信息为所述镭射机台200的本地信息。所述记录信息与所述晶圆在镭射机台上的作业情况相关。进一步，在本实施例中，所述记录信息至少包括所述晶圆的固有信息及所述晶圆完成镭射作业的作业信息。
所述控制系统210用于自所述镭射机台200获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成特征信息。且所述控制系统210还用于根据所述特征信息判断晶圆在镭射机台200上的作业情况，并生成控制指令。
由于所述记录信息为所述镭射机台200的本地信息，其可能存在不能被其他程序或者软件等识别的情况，因此，在获取所述记录信息后，所述控制系统210对所述记录信息进行解析，生成能够被其他程序或者软件识别的特征信息。
进一步，所述控制系统210包括自动化系统211及制造执行系统212。
所述自动化系统211能够与所述镭射机台200通信，用于自所述镭射机台200获取所述记录信息。所述自动化系统211可通过通信协议与所述镭射机台200通信，进而传递信息。
所述自动化系统211还能够根据所述记录信息生成所述特征信息。例如，所述自动化系统211对所述记录信息进行解析，并生成具有预设格式的特征信息。所述预设格式的特征信息具有一定规律性，且能够被各种程序式语法识别，即所述特征信息能够被各种程序及软件识别，以使得其可作为所述晶圆的身份信息而被使用。例如，所述自动化系统211根据所述记录信息生成能够被所述制造执行系统211识别的特征信息，以使得所述制造执行系统211能够根据所述特征信息判断所述晶圆是否需要进行镭射作业。其中，对所述记录信息进行解析的方法为本领域常规的方法，不再赘述。
所述自动化系统211还用于将制造执行系统212的控制指令发送给所述镭射机台200。在本实施例中，所述自动化系统211为EAP(Equipment Automation Programing)系统。
所述制造执行系统212能够与所述自动化系统211通信。例如，所述制造执行系统212与所述自动化系统211通过通信协议通信。
所述制造执行系统212能够获取所述特征信息，并根据所述特征信息判断晶圆在镭射机台上的作业情况。所述制造执行系统212还能够根据判断结果所述生成控制指令。
例如，所述制造执行系统212根据所述特征信息判断所述晶圆是否在镭射机台上完成作业，若所述晶圆在镭射机台上完成作业，则所述制造执行系统212向所述自动化系统211发布跳过镭射机台进行下一工序的指令，所述自动化系统211将该指令发送至下一工序的机台；若所述晶圆未在镭射机台上完成作业，则所述制造执行系统212向所述自动化系统211发布启动镭射机台200的控制指令，所述自动化系统211将该控制指令发送至镭射机台200，所述镭射机台200启动，对晶圆进行镭射作业。
进一步，所述制造执行系统212具有一预设存储空间，用于存储所述特征信息形成的数据库。在本实施例中，所述预设存储空间为所述制造执行系统212提供的一存储位置。对于每一个或者每一批晶圆，在制造执行系统212获取特征信息后，所述特征信息均被存储在预设存储空间中，形成数据库。所述数据库可供所述制造执行系统212调取。另外，若所述晶圆产生问题，用户还可根据所述数据库的记录追溯所述晶圆的历史记录，以便于进行问题分析。
进一步，在本实施例中，所述镭射机台自动化运行系统还包括比较单元213。所述比较单元213用于将晶圆的固有信息与数据库中的特征信息进行比较。若所述固有信息与所述特征信息匹配，即所述特征信息中包含所述固有信息，则判定所述晶圆在镭射机台上完成作业；若所述固有信息与所述特征信息不匹配，即所述特征信息中不包含所述固有信息，则判定所述晶圆在镭射机台上未完成作业。
所述制造执行系统212根据所述比较结果生成控制指令。若判定所述晶圆在镭射机台上完成作业，则所述制造执行系统212向所述自动化系统211发布跳过镭射机台进行下一工序的指令；若判定所述晶圆在镭射机台上未完成作业，则所述制造执行系统212向所述自动化系统211发布启动镭射机台200的控制指令，以控制所述镭射机台对晶圆进行镭射作业。
进一步，所述镭射机台自动化运行系统还包括备份单元214，其能够备份所述数据库。在存储在预设存储空间100中的数据丢失的情况下，可将数据自所述备份单元214恢复至预设存储空间100中，避免对晶圆的误操作，大大提高了晶圆的良率。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (15)

1.一种镭射机台自动化运行方法，其特征在于，包括：
(a)根据特征信息判断晶圆是否在镭射机台上完成作业，若是，则跳过镭射机台进行下一工序，若否，则执行步骤(b)；
(b)在镭射机台上对晶圆进行处理，所述镭射机台生成记录信息，所述记录信息与所述晶圆在镭射机台上的作业信息相关；
(c)获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成特征信息，所述特征信息作为步骤(a)的判断依据。
2.根据权利要求1所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，所述特征信息被存储在预设存储空间，在判断晶圆是否在镭射机台上进行过作业的步骤之前包括自预设存储空间获取所述特征信息的步骤。
3.根据权利要求1所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，所述特征信息被存储在预设存储空间，形成数据库。
4.根据权利要求3所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，步骤(a)进一步包括，将所述晶圆的固有信息与数据库中的特征信息进行对比，若所述固有信息与所述特征信息匹配，且所述特征信息记录所述晶圆完成了全部的作业，则所述晶圆在镭射机台上完成作业；若所述固有信息与所述特征信息匹配，且所述特征信息记录所述晶圆完成了部分的作业，则所述晶圆在镭射机台上未完成作业；若所述固有信息与所述特征信息不匹配，则所述晶圆在镭射机台上未完成作业。
5.根据权利要求4所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，所述特征信息至少包括所述晶圆的固有信息及所述晶圆在镭射机台上的作业信息。
6.根据权利要求5所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，所述晶圆的固有信息包括所述晶圆的批次号。
7.根据权利要求3所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，根据特征信息，获取所述晶圆的历史记录。
8.根据权利要求3所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，对所述数据库进行备份。
9.根据权利要求1所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，所述作业信息为，所述晶圆在镭射机台上进行过作业。
10.根据权利要求1所述的镭射机台自动化运行方法，其特征在于，所述作业信息为，所述晶圆在镭射机台上完成镭射阶段的作业。
11.一种镭射机台自动化运行系统，其特征在于，包括：
镭射机台，用于对晶圆进行镭射处理，并能够生成记录信息，所述记录信息与所述晶圆在镭射机台上的作业信息相关；
控制系统，用于自所述镭射机台获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成特征信息，且用于根据所述特征信息判断晶圆是否在镭射机台上进行过作业，并生成控制指令。
12.根据权利要求11所述的镭射机台自动化运行系统，其特征在于，所述控制系统包括：
自动化系统，能够与所述镭射机台通信，用于自所述镭射机台获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成所述特征信息，还用于将制造执行系统的控制指令发送给所述镭射机台；
制造执行系统，能够与所述自动化系统通信，用于获取所述特征信息，并用于根据所述特征信息判断晶圆是否在镭射机台上进行过作业，并能够生成控制指令。
13.根据权利要求12所述的镭射机台自动化运行系统，其特征在于，所述制造执行系统具有一预设存储空间，用于存储所述特征信息形成的数据库。
14.根据权利要求13所述的镭射机台自动化运行系统，其特征在于，所述镭射机台自动化运行系统还包括备份单元，用于对数据库进行备份。
15.根据权利要求12所述的镭射机台自动化运行系统，其特征在于，所述镭射机台自动化运行系统还包括匹配单元，所述匹配单元用于将晶圆的固有信息与数据库中的特征信息进行匹配，所述制造执行系统根据所述匹配结果生成控制指令。
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