CN113644016B - 一种自动插片机移载托片装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种自动插片机移载托片装置,包括若干个移载装置和将其连接的移载条,所述移载条为多层结构,所述移载条包括条主体,所述条主体外侧为接触部,所述条主体内侧为耐磨层,所述移载装置包括外框,所述外框内部底面设有工字板,所述工字板上方设有匚条,所述匚条两端上方设有边固定块,两个边固定块之间设有水平角度支撑架,所述水平角度支撑架的侧面设有垂直角度支撑架,所述垂直角度支撑架上方通过上弧板固定有两个轴承,所述轴承套设在槽辊的两端,所述槽辊内部设有碳纤维杆,所述耐磨层的轮廓呈半圆形,所述接触部的外圆为平面。该自动插片机移载托片装置,具有良好的承载能力,托片结构稳定可靠,适合普遍推广使用。

Description

一种自动插片机移载托片装置
技术领域
本发明属于机械自动化设备技术领域,具体涉及一种自动插片机移载托片装置。
背景技术
目前在太阳能电池扩散制程工艺中通常使用石英舟作为硅片的承载件,由于是用于在石英炉管内进行扩散工艺其耐受温度可达800℃以上。
现有自动插片机的移载托片装置常常使用橡胶材质的环传动带动插片移动,而且现有的插片机移载托片装置通过线辊带动橡胶环移动硅片时,往往需要保持硅片较为稳定的移载状态,而线辊若不能保证正确的相对位置则可能让硅片偏出硅片承托装置,从而让导致硅片损坏;
为了保证良好的运输精度,现有的自动插片机的移载托片装置在安装时往往需要进行繁琐的调整,但通常不具有全向调整功能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种自动插片机移载托片装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种自动插片机移载托片装置,包括若干个移载装置和将其连接的移载条;
所述移载条为多层结构,所述移载条包括条主体,所述条主体外侧为接触部,所述条主体内侧为耐磨层;
所述移载装置包括外框,所述外框内部底面设有工字板,所述工字板上方设有匚条,所述匚条两端上方设有边固定块,两个边固定块之间设有水平角度支撑架,所述水平角度支撑架的侧面设有垂直角度支撑架,所述垂直角度支撑架上方通过上弧板固定有两个轴承,所述轴承套设在槽辊的两端,所述槽辊内部设有碳纤维杆。
优选的,所述耐磨层的轮廓呈半圆形,所述接触部的外圆为平面。
优选的,所述外框的轮廓呈矩形框状,所述外框的顶面开有水平口,所述外框的侧壁开有垂直口,所述外框的底面开有沉孔和框螺纹孔,所述框螺纹孔位于外框的底面两端;
所述工字板两端的T形部分内开有工板螺纹孔和Y轴滑槽;
所述匚条为开口向上的U形结构,所述匚条的底面两端开有X轴滑槽,所述匚条两端的垂直部分内开有Z轴滑槽。
优选的,所述Y轴滑槽内部设有穿过Y轴垫片的Y轴螺丝,所述Y轴螺丝进入框螺纹孔内部,所述X轴滑槽内部设有穿过X轴垫片的X轴螺丝,所述X轴螺丝进入工板螺纹孔内部。
优选的,所述Z轴滑槽内部设有穿过Z轴垫片的Z轴螺丝,所述Z轴螺丝进入边固定块垂直部分的螺纹孔内,所述水平角度支撑架两端侧面各插接固定有水平的水平螺栓,所述水平角度支撑架的一端内部开有水平定孔,所述水平角度支撑架的另一端内部开有水平角度槽,所述水平定孔和水平角度槽内部均设有穿过水平角度垫片的水平角度螺丝,所述水平角度螺丝进入边固定块水平部分中的螺纹孔内。
优选的,所述垂直角度支撑架的两端各设有一个立板,所述立板上端均设有下弧板,其中一个立板下端开有垂直定孔,另一个立板内开有垂直角度槽,其中一个水平螺栓穿过垂直定孔,另一个水平螺栓穿过垂直角度槽,所述水平螺栓外部套设有垂直角度垫片和垂直角度螺母,所述上弧板位于下弧板上方,所述上弧板两端内部的通孔中设有夹持螺丝,所述夹持螺丝拧入下弧板两端的螺纹孔内,所述轴承位于下弧板和上弧板之间。
优选的,所述槽辊外圆开有若干辊槽,所述槽辊的两端开有辊端轴,所述槽辊内部开有将其轴向贯穿的辊腔。
优选的,所述轴承套设在辊端轴外部,所述辊腔内部固定有碳纤维杆。
优选的,所述水平角度支撑架的水平角度槽与垂直角度支撑架的垂直角度槽位于同侧。
优选的,所述移载条的端部挂载在辊槽内部。
1、本发明提出的一种自动插片机移载托片装置,包括移载装置包括外框,外框内部底面设有工字板,工字板上方设有匚条,匚条两端上方设有边固定块,两个边固定块之间设有水平角度支撑架,水平角度支撑架的侧面设有垂直角度支撑架,工字板和外框的相对位置可调,工字板可沿着Y轴滑槽的方向做相对于外框的移动,通过Y轴螺丝锁定工字板和外框的相对位置,此方向为Y轴的方向调整,匚条和工字板的相对位置可调,匚条可沿着X轴滑槽的方向做相对于工字板的移动,通过X轴螺丝锁定匚条和工字板的相对位置,此方向为X轴的方向调整,边固定块可做相对于Z轴滑槽的方向移动,通过Z轴螺丝锁定边固定块和匚条的相对位置,此方向为Z轴方向的调整,由此实现横向位置、纵向位置和高度的调整;
2、本发明提出的一种自动插片机移载托片装置,水平角度支撑架和边固定块的位置可调,水平角度支撑架可在两个边固定块上方以水平定孔为轴心旋转,此为水平角度的调整,水平角度支撑架和边固定块的相对位置通过水平角度螺丝锁定,垂直角度支撑架和水平角度支撑架的位置可调,垂直角度支撑架可在水平角度支撑架一侧以垂直定孔为轴心线旋转,此为的垂直方向的角度调整,由此实现了角度的调整,垂直角度支撑架和水平角度支撑架的相对位置通过垂直角度螺母锁定,由此可在限定范围内让槽辊较为自由的调整相对位置,这些特征可以让不同的移载装置安装在略有落差的平面上时可将若干个槽辊的轴心线调整至完全平行的状态,从而实现移载装置之间的移载条顶面完全平行且在一个平面上,避免硅片偏出移载承托装置导致硅片损坏;
X轴、Y轴、Z轴、水平角度和垂直角度均通过对应的螺丝固定,在调试的过程中避免了频繁使用垫片的麻烦,调节的过程快捷简单,在所安装的表面出现轻微位移时,可通过仅调整X轴、Y轴、Z轴、水平角度和垂直角度的方式进行适应,适合普遍推广使用;
3、本发明提出的一种自动插片机移载托片装置,移载条和装置的数量均按需决定,移载条的数量与移载装置的数量对应,移载装置的数量由所需移载托片装置的规模决定,可按照使用需要增加或减少移载装置的数量调整整体规模,以适应不同大小规模的生产线需要。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明的移载条剖切面结构示意图;
图3为本发明的移载装置结构示意图;
图4为本发明的图3中A处结构示意图;
图5为本发明的图3中B处结构示意图;
图6为本发明的垂直角度垫片和垂直角度螺母位置示意图;
图7为本发明的移载装置分离状态结构示意图;
图8为本发明的槽辊剖切状态结构示意图;
图9为本发明的垂直角度支撑架结构示意图;
图10为本发明的水平角度支撑架结构示意图;
图11为本发明的匚条结构示意图;
图12为本发明的工字板结构示意图;
图13为本发明的外框结构示意图。
图中:1、移载条;101、条主体;102、接触部;103、耐磨层;2、移载装置;3、夹持螺丝;4、上弧板;5、槽辊;501、辊槽;502、辊端轴;503、辊腔;6、轴承;7、碳纤维杆;8、水平角度螺丝;9、水平角度垫片;10、垂直角度支撑架;1001、立板;1002、垂直定孔;1003、垂直角度槽;1004、下弧板;11、垂直角度垫片;12、垂直角度螺母;13、水平角度支撑架;1301、水平螺栓;1302、水平定孔;1303、水平角度槽;14、边固定块;15、X轴螺丝;16、X轴垫片;17、匚条;1701、X轴滑槽;1702、Z轴滑槽;18、Z轴螺丝;19、Z轴垫片;20、Y轴螺丝;21、Y轴垫片;22、工字板;2201、工板螺纹孔;2202、Y轴滑槽;23、外框;2301、水平口;2302、垂直口;2303、沉孔;2304、框螺纹孔。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
参考图1-图7,一种自动插片机移载托片装置,包括若干个移载装置2和将其连接的移载条1,移载条1为多层结构,移载条1包括条主体101,条主体101外侧为接触部102,条主体101内侧为耐磨层103,耐磨层103需要与旋转的槽辊5接触,为此需要良好的耐磨性能保证使用寿命,条主体101和接触部102的材质相同,均为柔软的硅胶,接触部102与硅片接触时为面接触,可增加硅片与接触部102的摩擦力,避免硅片受外力作用移动,移载装置2包括外框23,外框23内部底面设有工字板22,工字板22上方设有匚条17,匚条17两端上方设有边固定块14,两个边固定块14之间设有水平角度支撑架13,水平角度支撑架13的侧面设有垂直角度支撑架10,垂直角度支撑架10上方通过上弧板4固定有两个轴承6,轴承6套设在槽辊5的两端,槽辊5内部设有碳纤维杆7,工字板22和外框23的相对位置决定Y轴的位移,匚条17和工字板22的相对位置决定X轴的位移,边固定块14和匚条17的相对位置决定Z轴的位移,水平角度支撑架13和边固定块14的位置决定水平角度,垂直角度支撑架10和水平角度支撑架13的位置决定垂直角度,耐磨层103的轮廓呈半圆形,接触部102的外圆为平面,半圆形的耐磨层103适应辊槽501,外圆为平面的接触部102以适应硅片。
参考图5-图13,外框23的轮廓呈矩形框状,外框23的顶面开有水平口2301,外框23的侧壁开有垂直口2302,外框23的底面开有沉孔2303和框螺纹孔2304,框螺纹孔2304位于外框23的底面两端,工字板22两端的T形部分内开有工板螺纹孔2201和Y轴滑槽2202,匚条17为开口向上的U形结构,匚条17的底面两端开有X轴滑槽1701,匚条17两端的垂直部分内开有Z轴滑槽1702,Y轴滑槽2202内部设有穿过Y轴垫片21的Y轴螺丝20,Y轴螺丝20进入框螺纹孔2304内部,X轴滑槽1701内部设有穿过X轴垫片16的X轴螺丝15,X轴螺丝15进入工板螺纹孔2201内部,Y轴螺丝20锁定工字板22和外框23的相对位置,X轴螺丝15锁定匚条17和工字板22的相对位置。
参考图5-图13,Z轴滑槽1702内部设有穿过Z轴垫片19的Z轴螺丝18,Z轴螺丝18进入边固定块14垂直部分的螺纹孔内,Z轴螺丝18锁定边固定块14和匚条17的相对位置,水平角度支撑架13两端侧面各插接固定有水平的水平螺栓1301,水平角度支撑架13的一端内部开有水平定孔1302,水平角度支撑架13的另一端内部开有水平角度槽1303,水平定孔1302和水平角度槽1303内部均设有穿过水平角度垫片9的水平角度螺丝8,水平角度螺丝8进入边固定块14水平部分中的螺纹孔内,水平角度螺丝8锁定水平角度支撑架13和边固定块14的相对位置。
参考图5-图13,垂直角度支撑架10的两端各设有一个立板1001,立板1001上端均设有下弧板1004,其中一个立板1001下端开有垂直定孔1002,另一个立板1001内开有垂直角度槽1003,其中一个水平螺栓1301穿过垂直定孔1002,另一个水平螺栓1301穿过垂直角度槽1003,水平螺栓1301外部套设有垂直角度垫片11和垂直角度螺母12,垂直角度螺母12锁定垂直角度支撑架10和水平角度支撑架13的相对位置,上弧板4位于下弧板1004上方,上弧板4两端内部的通孔中设有夹持螺丝3,夹持螺丝3拧入下弧板1004两端的螺纹孔内,轴承6位于下弧板1004和上弧板4之间。
参考图1-图8,槽辊5外圆开有若干辊槽501,槽辊5的两端开有辊端轴502,槽辊5内部开有将其轴向贯穿的辊腔503,轴承6套设在辊端轴502外部,辊腔503内部固定有碳纤维杆7,水平角度支撑架13的水平角度槽1303与垂直角度支撑架10的垂直角度槽1003位于同侧,移载条1的端部挂载在辊槽501内部。
工作原理,该自动插片机移载托片装置,工字板22和外框23的相对位置可调,此方向为Y轴的方向调整,Y轴螺丝20穿过Y轴滑槽2202进入框螺纹孔2304内部,工字板22在外框23内部的滑动范围受到Y轴滑槽2202长度的限制,Y轴螺丝20拧紧压迫工字板22从而完成工字板22和外框23的固定,由此实现纵向位置的调整;
匚条17和工字板22的相对位置可调,此方向为X轴的方向调整,X轴螺丝15穿过X轴滑槽1701进入工板螺纹孔2201内部,匚条17的滑动范围受到X轴滑槽1701长度的限制,X轴螺丝15拧紧压迫匚条17从而完成匚条17和工字板22的固定,由此实现横向位置的调整;
边固定块14和匚条17的相对位置可调,此方向为Z轴方向的调整,Z轴螺丝18穿过Z轴滑槽1702进入边固定块14垂直部分的螺纹孔内,边固定块14的滑动范围受到Z轴滑槽1702长度的限制,Z轴螺丝18拧紧压迫匚条17从而完成匚条17和边固定块14的固定,由此实现高度位置的调整;
水平角度支撑架13和边固定块14的位置可调,此为水平角度的调整,水平角度螺丝8穿过水平角度槽1303进入边固定块14水平部分内的螺纹孔中,水平角度支撑架13的转动角度受到水平角度槽1303弧长的限制,水平角度螺丝8拧紧压迫水平角度支撑架13从而完成水平角度支撑架13和边固定块14的固定,由此实现水平角度的锁定;
垂直角度支撑架10和水平角度支撑架13的位置可调,此为的垂直方向的角度调整,松开垂直角度螺母12即可让垂直角度支撑架10和水平角度支撑架13解除锁定,垂直角度支撑架10的转动角度受垂直角度槽1003的弧长限制,拧紧垂直角度螺母12压迫垂直角度支撑架10从而完成垂直角度支撑架10和水平角度支撑架13的固定,由此实现了垂直角度的锁定;
通过上述的角度调整组件可让槽辊5较为自由的调整相对位置,这些特征可以让不同的移载装置2安装在略有落差的平面上时可将若干个槽辊5的轴心线调整至完全平行的状态,从而实现移载装置2之间的移载条1顶面完全平行且在一个平面上,避免硅片偏出移载承托装置导致硅片损坏;
槽辊5内部内置的碳纤维杆7用于提升整体的刚性,槽辊5的材质为铝合金,用于减轻槽辊5的重量并增强其散热性能,另一个目的是用于降低转动惯量,提升槽辊5的转动灵敏度,耐磨层103需要与旋转的槽辊5接触,为此需要良好的耐磨性能保证使用寿命,条主体101和接触部102的材质相同,均为柔软的硅胶,接触部102与硅片接触时为面接触,可增加硅片与接触部102的摩擦力,避免硅片受外力作用移动, 轴承6降低槽辊5的转动阻力。
以上所述,仅为发明较佳的具体实施方式,但发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在发明揭露的技术范围内,根据发明的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种自动插片机移载托片装置,包括若干个移载装置(2)和将其连接的移载条(1),其特征在于:
所述移载条(1)为多层结构,所述移载条(1)包括条主体(101),所述条主体(101)外侧为接触部(102),所述条主体(101)内侧为耐磨层(103);
所述移载装置(2)包括外框(23),所述外框(23)内部底面设有工字板(22),所述工字板(22)上方设有匚条(17),所述匚条(17)两端上方设有边固定块(14),两个边固定块(14)之间设有水平角度支撑架(13),所述水平角度支撑架(13)的侧面设有垂直角度支撑架(10),所述垂直角度支撑架(10)上方通过上弧板(4)固定有两个轴承(6),所述轴承(6)套设在槽辊(5)的两端,所述槽辊(5)内部设有碳纤维杆(7)。
2.根据权利要求1所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述耐磨层(103)的轮廓呈半圆形,所述接触部(102)的外圆为平面。
3.根据权利要求2所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述外框(23)的轮廓呈矩形框状,所述外框(23)的顶面开有水平口(2301),所述外框(23)的侧壁开有垂直口(2302),所述外框(23)的底面开有沉孔(2303)和框螺纹孔(2304),所述框螺纹孔(2304)位于外框(23)的底面两端;
所述工字板(22)两端的T形部分内开有工板螺纹孔(2201)和Y轴滑槽(2202);
所述匚条(17)为开口向上的U形结构,所述匚条(17)的底面两端开有X轴滑槽(1701),所述匚条(17)两端的垂直部分内开有Z轴滑槽(1702)。
4.根据权利要求3所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述Y轴滑槽(2202)内部设有穿过Y轴垫片(21)的Y轴螺丝(20),所述Y轴螺丝(20)进入框螺纹孔(2304)内部,所述X轴滑槽(1701)内部设有穿过X轴垫片(16)的X轴螺丝(15),所述X轴螺丝(15)进入工板螺纹孔(2201)内部。
5.根据权利要求3所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述Z轴滑槽(1702)内部设有穿过Z轴垫片(19)的Z轴螺丝(18),所述Z轴螺丝(18)进入边固定块(14)垂直部分的螺纹孔内,所述水平角度支撑架(13)两端侧面各插接固定有水平的水平螺栓(1301),所述水平角度支撑架(13)的一端内部开有水平定孔(1302),所述水平角度支撑架(13)的另一端内部开有水平角度槽(1303),所述水平定孔(1302)和水平角度槽(1303)内部均设有穿过水平角度垫片(9)的水平角度螺丝(8),所述水平角度螺丝(8)进入边固定块(14)水平部分中的螺纹孔内。
6.根据权利要求5所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述垂直角度支撑架(10)的两端各设有一个立板(1001),所述立板(1001)上端均设有下弧板(1004),其中一个立板(1001)下端开有垂直定孔(1002),另一个立板(1001)内开有垂直角度槽(1003),其中一个水平螺栓(1301)穿过垂直定孔(1002),另一个水平螺栓(1301)穿过垂直角度槽(1003),所述水平螺栓(1301)外部套设有垂直角度垫片(11)和垂直角度螺母(12),所述上弧板(4)位于下弧板(1004)上方,所述上弧板(4)两端内部的通孔中设有夹持螺丝(3),所述夹持螺丝(3)拧入下弧板(1004)两端的螺纹孔内,所述轴承(6)位于下弧板(1004)和上弧板(4)之间。
7.根据权利要求1所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述槽辊(5)外圆开有若干辊槽(501),所述槽辊(5)的两端开有辊端轴(502),所述槽辊(5)内部开有将其轴向贯穿的辊腔(503)。
8.根据权利要求7所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述轴承(6)套设在辊端轴(502)外部,所述辊腔(503)内部固定有碳纤维杆(7)。
9.根据权利要求1所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述水平角度支撑架(13)的水平角度槽(1303)与垂直角度支撑架(10)的垂直角度槽(1003)位于同侧。
10.根据权利要求7所述的一种自动插片机移载托片装置,其特征在于:所述移载条(1)的端部挂载在辊槽(501)内部。
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