CN219303640U - 一种晶圆载台装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆载台装置，其特征在于，包括支架组件和载台本体，支架组件的上端面开设有安装槽，载台本体安装于安装槽内；载台本体的上端面若干个位置分别开设有第一螺纹孔，支架组件上对应第一螺纹孔的位置开设有第二螺纹孔，第一螺纹孔内连接有调节螺栓，调节螺栓的一端螺纹连接于第二螺纹孔内。需要调节载台本体的水平度时，通过拧动相对应位置的调节螺栓来改变载台本体相对于支架的高度，使载台本体各个位置都处于同一高度，即实现水平度的调节；本晶圆载台装置能够通过对不同位置的调节螺栓的调节，实现对于载台本体水平度的调节，以便于操作，且调节完成后，能够在相对应的水平度上固定，提高工作效率。

Description

一种晶圆载台装置

技术领域

本实用新型涉及载台技术领域，尤其涉及一种晶圆载台装置。

背景技术

在半导体领域中，通常需要将晶圆放置于载台上，再对晶元进行加工处理，因此为了保证加工精度，对于载台的位置精度要求极高，其中位置精度包括位置、角度和水平度。

现有技术中的载台设备通常设有相对应的调节机构来调节载台的位置精度，其中，位置、角度精度可以通过视觉设备来精确调节，但是水平度的调节较为困难，载台的水平偏差则会极大影响晶圆的加工精度；通常载台和载台支架为一体式设计，这种结构中支架的水平度是通过可调节的旋转组件来调节载台的水平度，转动调节的方式操作困难，调节时间长，且不方便于固定。

鉴于此，需要对现有技术中的晶圆载台设备加以改进，以解决载台调平较为困难的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆载台装置，解决以上的技术问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种晶圆载台装置，其特征在于，包括支架组件和载台本体，所述支架组件的上端面开设有安装槽，所述载台本体安装于所述安装槽内；

所述载台本体的上端面若干个位置分别开设有第一螺纹孔，所述支架组件上对应所述第一螺纹孔的位置开设有第二螺纹孔，所述第一螺纹孔内连接有调节螺栓，所述调节螺栓的一端螺纹连接于所述第二螺纹孔内。

可选的，所述第一螺纹孔的至少一侧设有调节孔，所述调节孔内螺纹连接有顶丝，所述顶丝的另一端与所述安装槽的槽底相抵接。

可选的，所述载台本体的中部开设有放置晶圆盘的容置槽，所述支架组件上对应于所述容置槽的位置开设有镂空槽。

可选的，所述载台本体的每个边角处分别设有一个所述第一螺纹孔。

可选的，所述晶圆载台装置还包括驱动机构，所述驱动机构的驱动端与所述支架组件连接，用于驱动所述支架组件移动。

可选的，所述驱动机构包括安装板、X轴直线模组和Y轴直线模组，所述X轴直线模组设于所述安装板上；

所述X轴直线模组的驱动端与所述Y轴直线模组连接，用于驱动所述Y轴直线模组沿X轴方向直线运动；

所述Y轴直线模组的驱动端与所述支架组件连接，用于驱动所述支架组件沿Y轴反向直线运动。

可选的，所述晶圆载台装置还包括高度检测机构，所述高度检测机构包括底板，以及设于所述底板上的支撑板；所述支撑板的一侧连接有用于检测所述载台本体高度的位置传感器。

可选的，所述位置传感器为接触式传感器。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：安装时，将载台本体放置于安装槽内，同时在每个第一螺纹孔内分别拧进相对应的调节螺栓，使调节螺栓的一端螺纹连接于第二螺纹孔内，需要调节载台本体的水平度时，通过拧动相对应位置的调节螺栓来改变载台本体相对于支架的高度，使载台本体各个位置都处于同一高度，即实现水平度的调节；本晶圆载台装置能够通过对不同位置的调节螺栓的调节，实现对于载台本体水平度的调节，以便于操作，且调节完成后，能够在相对应的水平度上固定，提高工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1为本晶圆载台装置的整体结构示意图；

图2为本晶圆载台装置的主体结构示意图；

图3为本晶圆载台装置的载台本体和支架组件的结构示意图；

图4为本晶圆载台装置的载台本体和支架组件的部件分解结构示意图；

图5为本晶圆载台装置的高度检测机构的结构示意图。

图示说明：支架组件1、载台本体2、安装槽11、第一螺纹孔21、第二螺纹孔12、调节螺栓22、调节孔23、容置槽24、镂空槽13、驱动机构3、安装板31、X轴直线模组32、Y轴直线模组33、高度检测机构4、底板41、支撑板42、位置传感器43。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实用新型实施例提供了一种晶圆载台装置，包括支架组件1和载台本体2，所述支架组件1的上端面开设有安装槽11，所述载台本体2安装于所述安装槽11内；

所述载台本体2的上端面若干个位置开设有第一螺纹孔21，所述支架组件1上对应所述第一螺纹孔21的位置开设有第二螺纹孔12，所述第一螺纹孔21内连接有调节螺栓22，所述调节螺栓22的一端螺纹连接于所述第二螺纹孔12内。

其中，调节螺栓22的水平调节过程需要配合水平检测仪来使用，从而检测载台本体2各个位置的高度差异；

本实用新型的工作原理为：安装时，将载台本体2放置于安装槽11内，同时在每个第一螺纹孔21内分别拧进相对应的调节螺栓22，使调节螺栓22的一端螺纹连接于所述第二螺纹孔12内，需要调节载台本体2的水平度时，通过拧动相对应位置的调节螺栓22来改变载台本体2相对于支架的高度，使载台本体2各个位置都处于同一高度，即实现水平度的调节；相较于现有技术中的载台调节设备，本晶圆载台装置能够通过对不同位置的调节螺栓22的调节，实现对于载台本体2水平度的调节，以便于操作，且调节完成后，能够在相对应的水平度上固定，提高工作效率。

需要说明的是，由于载台装置在使用过程中会发生物理震动导致其水平度方式变化，因此需要对载台本体2进行多次水平度检测，并进行相对应的水平度调节工作，从而保证载台本体2时刻处于一个水平面上，以便于确保晶圆的加工精度。

作为本实施例的一优选方案，所述第一螺纹孔21的至少一侧设有调节孔23，所述调节孔23内螺纹连接有顶丝，所述顶丝的另一端与所述安装槽11的槽底相抵接。

结合图3所示，本方案中在第一螺纹孔21的两侧分别设有一个调节孔23；调节所述载台高度时，可通过拧动顶丝来改变载台本体2相对应位置的空间高度；其中，调节螺栓22起到初步调节的作用，为了调高精度，配合顶丝来对载台本体2起到二次调节，由于顶丝的位置精度较高，因此可以提高载台本体2的水平精度。

在本实施例中，所述载台本体2的中部开设有放置晶圆盘的容置槽24，所述支架组件1上对应于所述容置槽24的位置开设有镂空槽13。结合图2所示，容置槽24内安装有晶圆盘用来中转晶圆，通过镂空槽13的设计来连通容置槽24。

在本实施例中，所述载台本体2的每个边角处分别设有一个所述第一螺纹孔21。即本方案中的载台本体2为方向结构，通过在各个角落处分别设置调节机构，有利于提高调节载台本体2水平度的精度。

在本实施例中，所述晶圆载台装置还包括驱动机构3，所述驱动机构3的驱动端与所述支架组件1连接，用于驱动所述支架组件1移动。

进一步说明的是，所述驱动机构3包括安装板31、X轴直线模组32和Y轴直线模组33，所述X轴直线模组32设于所述安装板31上；所述X轴直线模组32的驱动端与所述Y轴直线模组33连接，用于驱动所述Y轴直线模组33沿X轴方向直线运动；所述Y轴直线模组33的驱动端与所述支架组件1连接，用于驱动所述支架组件1沿Y轴反向直线运动。

通过驱动机构3来带动载台本体2平面移动，从而适应于不同工位的调整需求，方便于对接晶圆的转接工作。

在本实施例中，所述晶圆载台装置还包括高度检测机构4，所述高度检测机构4包括底板41，以及设于所述底板41上的支撑板42；所述支撑板42的一侧连接有用于检测所述载台本体2高度的位置传感器43。其中可选的，所述位置传感器43为接触式传感器。其中，本方案中通过接触式传感器来检测载台本体2的高度，有利于提高检测的精度。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种晶圆载台装置，其特征在于，包括支架组件和载台本体，所述支架组件的上端面开设有安装槽，所述载台本体安装于所述安装槽内；

所述载台本体的上端面若干个位置分别开设有第一螺纹孔，所述支架组件上对应所述第一螺纹孔的位置开设有第二螺纹孔，所述第一螺纹孔内连接有调节螺栓，所述调节螺栓的一端螺纹连接于所述第二螺纹孔内。

2.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述第一螺纹孔的至少一侧设有调节孔，所述调节孔内螺纹连接有顶丝，所述顶丝的另一端与所述安装槽的槽底相抵接。

3.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述载台本体的中部开设有放置晶圆盘的容置槽，所述支架组件上对应于所述容置槽的位置开设有镂空槽。

4.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述载台本体的每个边角处分别设有一个所述第一螺纹孔。

5.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，还包括驱动机构，所述驱动机构的驱动端与所述支架组件连接，用于驱动所述支架组件移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述驱动机构包括安装板、X轴直线模组和Y轴直线模组，所述X轴直线模组设于所述安装板上；

所述X轴直线模组的驱动端与所述Y轴直线模组连接，用于驱动所述Y轴直线模组沿X轴方向直线运动；

所述Y轴直线模组的驱动端与所述支架组件连接，用于驱动所述支架组件沿Y轴反向直线运动。

7.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，还包括高度检测机构，所述高度检测机构包括底板，以及设于所述底板上的支撑板；所述支撑板的一侧连接有用于检测所述载台本体高度的位置传感器。

8.根据权利要求7所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述位置传感器为接触式传感器。

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