CN219212009U - 片状物激光加工用治具平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了片状物激光加工用治具平台，包括底座和工作台，所述工作台连接于所述底座，所述工作台的端面设置有多个用以吸附固定工件的真空吸附孔。所述底座与所述工作台之间设置有多个水平度调节件，多个所述水平度调节件沿所述工作台的周向分布，所述工作台背离工件的一侧设置有用于连接所述水平度调节件的沉孔，所述水平度调节件包括调节块与调节螺丝，所述调节螺丝连接于所述沉孔，所述调节块连接于所述底座，所述调节块设置有螺孔，所述调节螺丝套设有螺母并插接于所述螺孔。在高速移动中能够确保治具平台的稳定性以及水平度，并且通过沉孔连接水平度调节件，无需额外开孔影响工件与治具平台的接触面，进一步确保了治具平台的稳定性。

Description

片状物激光加工用治具平台

技术领域

本实用新型涉及激光加工设备技术领域，特别涉及一种片状物激光加工用治具平台。

背景技术

目前，在对片状物的激光加工技术中，治具平台用于放置并固定工件。然而治具大体以蝶形弹片(或弹簧)和固定螺栓固定治具和平行度的精度调节，螺栓锁紧方式是自上而下，治具开过孔，底部安装板为螺纹孔。但是，在高速运动过程中，治具通过蝶形弹片(或弹簧)等弹性连接，会产生一定弹性浮动量，影响治具的平面度和水平度，从而影响加工精度，并且螺栓自上而下的锁紧方式，治具需要额外开孔，导致减少了产品与治具接触(或支撑)面积，从而影响加工精度和合格率。

发明内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种片状物激光加工用治具平台，能够确保工件与治具平台的接触面积，确保工件安装放置的稳定性。

根据本实用新型的第一方面实施例的片状物激光加工用治具平台，包括底座和工作台，所述工作台连接于所述底座，所述工作台的端面设置有多个用以吸附固定工件的真空吸附孔。所述底座与所述工作台之间设置有多个水平度调节件，多个所述水平度调节件沿所述工作台的周向分布，所述工作台背离工件的一侧设置有用于连接所述水平度调节件的沉孔，所述水平度调节件包括调节块与调节螺丝，所述调节螺丝连接于所述沉孔，所述调节块连接于所述底座，所述调节块设置有螺孔，所述调节螺丝套设有螺母并插接于所述螺孔。

根据本实用新型实施例的片状物激光加工用治具平台，至少具有如下有益效果：工件通常放置在工作台的端面，工作台的端面为光滑平整的水平面。片状物包括硅晶片等原材料，直接通过真空吸附以起到固定工件的作用，无需额外增设其他固定件既能起到稳定的固定功能。另一方面能够最大化暴露工件表面以及工件与工作台的接触，确保加工效果。水平度调节件设置在工作台背离工件一侧，有利于工人对工作台水平度调节的同时，能减少工作台表面的开孔数量，能进一步增大工件与工作台的接触面积，进而提升工件的安装放置的稳定性。

根据本实用新型的一些实施例，所述水平度调节件还包括有固定螺钉，所述调节螺丝沿轴向设有通孔，所述固定螺钉位于所述调节块背离所述调节螺丝的一侧，所述固定螺钉插接于所述通孔以固定连接所述工作台与所述调节块。

根据本实用新型的一些实施例，所述水平度调节件包括调节块与调节螺丝，所述调节螺丝连接于所述沉孔，所述调节块连接于所述底座，所述调节块设置有螺孔，所述调节螺丝套设有螺母并插接于所述螺孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述水平度调节件还包括有固定螺钉，所述调节螺丝沿轴向设有通孔，所述固定螺钉位于所述调节块背离所述调节螺丝的一侧，所述固定螺钉插接于所述通孔以固定连接所述工作台与所述调节块。

根据本实用新型的一些实施例，所述底座与所述工作台之间设置有支撑板，所述光源组件位于所述支撑板与所述工作台之间，所述调节块连接于所述支撑板。

根据本实用新型的一些实施例，所述工作台的侧壁设置有接头，所述接头连通多个所述真空吸附孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述支撑板连接有真空发生器，所述真空发生器通过导管连通所述接头。

根据本实用新型的一些实施例，所述工作台内部设置有冷却水通道，所述工作台侧壁设置有连通所述冷却水通道的软管，所述软管连接冷水机。

根据本实用新型的一些实施例，所述工作台包括位于中央部分的固定区，多个所述真空吸附孔均设置于所述固定区内，若干所述定位透光孔沿所述固定区的周向分布于外侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述底座设置有光源组件，所述光源组件位于所述底座与所述工作台之间，所述工作台设置有若干个定位透光孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述工作台为矩形状，所述定位透光孔沿所述工作台的对角位置。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型实施例的片状物激光加工用治具平台的示意图；

图2为本实用新型实施例的片状物激光加工用治具平台的爆炸图；

图3为本实用新型实施例的片状物激光加工用治具平台的另一实施例的示意图；

图4为图3示出的片状物激光加工用治具平台的爆炸图；

图5为本实用新型实施例的片状物激光加工用治具平台拼接工作台的示意图。

附图标记：工作台100；真空吸附孔101；定位透光孔102；水平度调节件110；调节块111；调节螺丝112；螺母113；固定螺钉114；固定区120；接头130；底座200；支撑板300；避让缺口301；避空槽302；光源组件400；真空发生器500。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

目前，在对片状物的激光加工技术中，治具平台用于放置并固定工件。然而治具大体以蝶形弹片(或弹簧)和固定螺栓固定治具和平行度的精度调节，螺栓锁紧方式是自上而下，治具开过孔，底部安装板为螺纹孔。但是，在高速运动过程中，治具通过蝶形弹片(或弹簧)等弹性连接，会产生一定弹性浮动量，影响治具的平面度和水平度，从而影响加工精度，并且螺栓自上而下的锁紧方式，治具需要额外开孔，导致减少了产品与治具接触(或支撑)面积，从而影响加工精度和合格率。

为此，参照图1，为本实用新型提出的一种片状物激光加工用治具平台，包括设置有光源组件400的底座200以及工作台100，工作台100用于片状物加工时放置支撑工件，工件通常放置在工作台100的端面，工作台100的端面为光滑平整的水平面。可以理解的是，工件摆放位置基于其加工位置而定，以最大化确保加工效果。工作台100的端面设置有多个用以吸附固定工件的真空吸附孔101，可以理解的是，片状物包括硅晶片等原材料，直接通过真空吸附以起到固定工件的作用，无需额外增设其他固定件即能起到稳定的固定功能。另一方面能够最大化暴露工件表面以及保证工件与工作台100的接触，确保加工效果。工作台100的侧壁设置有接头130，接头130用于连通多个真空吸附孔101，以创造真空吸附的条件。

参照图1，光源组件400位于底座200与工作台100之间，工作台100设置有若干个定位透光孔102。可以理解的是，光源组件400发出光线以穿过定位透光孔102，治具平台移动到加工位时，加工位通过设置的感光件接受光线信号，以此对治具平台的位置进行定位，进而进行加工。无需增设用以定位的结构或构件，进一步优化并简化了治具平台整体的结构，并使定位精度更精确。

参照图1、图2、图3和图4，可以理解的是，底座200与工作台100之间设置有多个水平度调节件110，多个水平度调节件110沿工作台100的周向分布，工作台100背离工件的一侧设置有用于连接水平度调节件110的沉孔。水平度调节件110包括调节块111与调节螺丝112，调节螺丝112连接于沉孔，调节块111连接于底座200，调节块111设置有螺孔，调节螺丝112套设有螺母113并插接于螺孔。多个水平度调节件110沿工作台100的周向布置并配合作用，以调节工作台100的水平度，进而，工件相对工作台100的位置精度更高。具体地，水平度调节件110包括调节螺丝112，调节螺丝112的一端与工作台100的沉孔通过螺纹连接，另一端与底座200连接，结构简单，人工转动调节螺丝112即可便捷地调整调节螺丝112的局部高度，水平调节件沿工作台100周向分布，配合测量仪器对各个工作台100各个部分的高度进行调节，进而实现调整工作台100整体的水平度。

可以理解的是，调节螺丝112套接有螺母113并插接于调节块111，调节块111通过支撑板300与工作台100固定连接。其中，调节螺丝112的上端与工作台100的沉孔固定，工作台100与工件的接触面无需额外开孔以安装水平度调节件110，不会影响工件与治具平台的接触面，并且工作台100与工件的接触面能够实现完全平整，进而进一步确保了治具平台的稳定性和水平度。底座200与工作台100之间可以设置有支撑板300。可以理解的是，如调节螺丝112的上端与工作台100轴孔配合，此时，工作台100与调节螺丝112插接配合，工作台100能够便捷地取出。调节螺丝112下端设置有外螺纹，调节螺丝112的下端与调节块111螺纹连接，以调整调节螺丝112的高度，进而调节工作台100整体的水平度。并且，调节螺丝112调节完成后，螺母113与调节螺丝112螺接，以将调节螺丝112固定于调节块111。可以理解的是，支撑板连接有真空发生器500，真空发生器500通过导管连通所述接头，以提供真空吸附的条件。

容易理解的是，为了给治具及其上面的硅片进行降温，本实施例还在工作台内部开设冷却水通道，在工作台侧壁设置有连通冷却水通道的软管，软管连接冷水机。冷水可在冷却水通道中流动，带走工作台表面的热量，对治具以及硅片进行降温。进一步的，冷却水通道和真空吸附孔101并不连通。

进一步地，参照图3和图4，治具平台还包括有固定螺钉114，调节螺丝112沿轴向设有通孔，固定螺钉114位于调节块111背离调节螺丝112的一侧，固定螺钉114插接于通孔以固定连接工作台100与调节块111。调节螺丝112调整后采用固定螺钉114固定调节螺丝112和工作台100，此时，底座200与工作台100牢固安装。容易理解的是，当采用固定螺钉114固定工作台100，调节螺丝112的中部设置有供固定螺钉114的螺柱通过的通孔，底座200设置有与固定螺钉114的螺柱螺纹配合的沉孔，因此，调节螺丝112调整时，不影响固定螺钉114与工作台100的螺接，如向下调整调节螺丝112后，转动固定螺钉114下拉工作台100抵压调节螺丝112的端面以实现工作台100的固定。

参照图1和图2，可以理解的是，光源组件400位于支撑板300与工作台100之间，支撑板300设有用以避让调节螺丝112和固定螺钉114的避让缺口301，避让缺口301能够增大空间，方便工人调节工作台100的水平度，调节块111连接于支撑板300。支撑板300为铸件，并且进一步地，再参照图4，采用端面设置有避空槽302的支撑板300能够进一步减轻重量，并有利于铸造成型，更方便于治具平台的组装。

参照图1，可以理解的是，工作台100包括位于中央部分的固定区120，多个真空吸附孔101均布于固定区120内，若干定位透光孔102沿固定区120的周向分布于外侧。工件的主要放置区域位于固定区120，并将定位透光孔102分布在固定区120的外侧，以不干涉工件的放置以及吸附孔对真空吸附孔101的作用，进而确保真空吸附孔101对工件的固定作用。可选的定位透光孔102设置有2个，2个定位透光孔102两两相对设置并位于固定区120的外侧，以确保定位的精确性。进一步的，工作台100为矩形状，定位透光孔102位于工作台100的对角位置，进一步地，矩形状的工作台100的四个转交部位均可设置定位透光孔102，以进一步确保工作台100的定位精确性。

参照图5，可以理解的是，底座200连接有两个或多个工作台100，两个或多个工作台100互相平齐、并列设置。以此能够扩大治具平台的兼容性，并且两个和多个工作台100拼接安装能简化多个工作台100的安装步骤，并确保工作台100的稳定性。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.一种片状物激光加工用治具平台，其特征在于，包括：

底座；

工作台，连接于所述底座，所述工作台的端面设置有多个用以吸附固定工件的真空吸附孔；

所述底座与所述工作台之间设置有多个水平度调节件，多个所述水平度调节件沿所述工作台的周向分布，所述工作台背离工件的一侧设置有用于连接所述水平度调节件的沉孔。

2.根据权利要求1所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述水平度调节件包括调节块与调节螺丝，所述调节螺丝连接于所述沉孔，所述调节块连接于所述底座，所述调节块设置有螺孔，所述调节螺丝套设有螺母并插接于所述螺孔。

3.根据权利要求2所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述水平度调节件还包括有固定螺钉，所述调节螺丝沿轴向设有通孔，所述固定螺钉位于所述调节块背离所述调节螺丝的一侧，所述固定螺钉插接于所述通孔以固定连接所述工作台与所述调节块。

4.根据权利要求2所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述底座与所述工作台之间设置有支撑板，所述调节块连接于所述支撑板。

5.根据权利要求4所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述工作台的侧壁设置有接头，所述接头连通多个所述真空吸附孔。

6.根据权利要求5所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述支撑板连接有真空发生器，所述真空发生器通过导管连通所述接头。

7.根据权利要求1所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述工作台内部设置有冷却水通道，所述工作台侧壁设置有连通所述冷却水通道的软管，所述软管连接冷水机。

8.根据权利要求1所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述工作台包括位于中央部分的固定区，多个所述真空吸附孔均设置于所述固定区内。

9.根据权利要求1所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述底座设置有光源组件，所述光源组件位于所述底座与所述工作台之间，所述工作台设置有若干个定位透光孔。

10.根据权利要求9所述的片状物激光加工用治具平台，其特征在于，所述工作台为矩形状，所述定位透光孔沿所述工作台的对角位置。

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