CN213381223U - 一种承载装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种承载装置及检测设备，所述承载装置包括滑台和吸附支撑组件；所述吸附支撑组件与所述滑台之间设有旋转对准组件，所述旋转对准组件安装于所述滑台且连接所述吸附支撑组件；所述滑台远离所述吸附支撑组件的一侧与X轴运动组件运动连接，所述X轴运动组件用以驱动所述滑台和吸附支撑组件沿X轴方向移动。该装置的旋转对准组件与吸附支撑组件集成在一起，使得运动平台的负载也随之减轻，相应的降低了成本，可以提高运动平台的运动速度，提高检测效率。

Description

一种承载装置及检测设备

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其是在OLED面板等产品的生产、检测过程中所使用的承载装置。本实用新型还涉及设有所述承载装置的检测设备。

背景技术

近年来，OLED显示技术得到了很大的发展，其应用范围涉及手机及数码相机等移动终端的显示屏、仪器仪表的显示屏以及电脑显示器、电视等多个领域。

OLED面板在正式投入使用或被组装成成品前，都需要进行缺陷的检测，以保证最终的产品质量，在OLED面板检测行业中，有限数量检测设备的检测时间一直制约着整个面板的检测率，而运动速度一直是制约检测设备检测速度的关键因素。

对于目前大部分的OLED面板检测设备，主要采用的是面板运动的形式，而为了保证面板运动的高平稳性，良好的平面度和较高的速度，需要对应的结构对面板进行支撑和吸附，其支撑吸附结构布局一般为(从下往上)：运动平台-旋转对准平台-升降片平台-吸附平台。其中旋转对准平台和运动平台集合在一起的，然后在旋转对准平台上装配升降片平台和吸附平台。

这种结构形式，在OLED面板检测过程中，需要OLED面板和整个结构同步运动，这样就导致整个运动负载大，一方面使得运动平台需要采用推力大的驱动电机，而且负载的增加使得系统运动惯量增加，对驱动电机的要求也增加，相应的设备成本就会增加；另一方面由于负载的增加限制了面板的运动速度，进而限制了检测效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种承载装置。该承载装置大大地减少了运动平台的负载，一方面可以降低产品成本；另一方面可以提高面板的运动速度，提高检测效率。

本实用新型的另一目的是提供一种设有所述承载装置的检测设备。

为实现上述目的，本实用新型提供一种承载装置，包括滑台和用于固定待承载物的吸附支撑组件，所述吸附支撑组件具有吸附面，所述吸附面用于固定待承载物；所述吸附支撑组件与所述滑台上下间隔设置并与所述滑台之间设有旋转对准组件，所述旋转对准组件安装于所述滑台且连接所述吸附支撑组件，所述滑台远离所述吸附支撑组件的一侧与X轴运动组件运动连接，所述X轴运动组件用以驱动所述滑台和吸附支撑组件沿X轴方向移动。

优选地，还包括升降机构组件，所述升降机构组件位于所述滑台的下方且位置固定，所述滑台设有若干竖向的第一通孔，所述吸附支撑组件设有若干竖向的第二通孔，所述升降机构组件设有用于穿过所述第一通孔和第二通孔以托举和下放所述待承载物的支撑杆。

优选地，所述第二通孔与所述支撑杆之间在所述吸附支撑组件的旋转方向上留有活动余量。

优选地，所述第二通孔呈中垂线经过所述吸附支撑组件的旋转中心的长圆孔，在多个同圆心的圆周方向上，所述第二通孔间隔分布；或者，

所述第二通孔呈圆心与所述吸附支撑组件的旋转中心重合的弧形孔，在多个同圆心的圆周方向上，所述第二通孔间隔分布。

优选地，处于外圈圆周方向上的第二通孔的长度大于处于内圈圆周方向上的第二通孔的长度。

优选地，所述旋转对准组件包括旋转驱动机构、旋转导向机构和辅助导向机构中的一者或多者，所述旋转对准组件以驱动所述吸附支撑组件相对于所述滑台旋转。

优选地，还包括支撑底座组件、隔振台组件和支撑组件；所述隔振台组件由所述支撑底座组件支撑，所述支撑组件包括由所述隔振台组件支撑的支撑平台和左右对称地设于所述支撑平台的支撑件，所述升降机构组件位于所述支撑件左右间隔的区域内并固设于所述支撑平台，所述滑台通过所述X轴运动组件安装于所述支撑件。

优选地，所述支撑底座组件包括支撑地脚和钢架，所述钢架安装在支撑地脚上，所述隔振台组件安装在所述钢架上。

优选地，所述隔振台组件包括多个隔振台，所述多个隔振台在所述支撑底座组件上左右对称设置，且在所述X轴方向上间隔分布。

优选地，所述X轴运动组件包括X轴驱动电机，所述支撑件呈凸台朝向外侧的“L”型，所述支撑件的顶部设有X轴直线导轨，所述滑台两边底部的X轴滑块与所述X轴直线导轨滑动配合，所述X轴驱动电机与所述滑台传动连接，以驱动所述滑台沿所述X轴直线导轨滑动。

优选地，所述X轴驱动电机为直线电机，其设于所述支撑件的外侧面，并通过电机连接件与所述滑台相连接。

优选地，所述支撑平台为大理石平台，所述支撑件为大理石支撑件。

优选地，所述升降机构组件包括升降机构安装件、升降机构以及由所述升降机构驱动的升降支撑板，所述支撑杆设于所述升降支撑板并在上端设有支撑头。

优选地，所述吸附支撑组件包括用于固定所述待承载物的吸附板和设于所述吸附板的若干支撑接触部，所述支撑接触部在所述吸附板的吸附表面以点阵形式分布。

为实现上述又一目的，本实用新型提供一种检测设备，包括：

如上述任一项所述的承载装置，所述承载装置用于调节待检测的待承载物的周向位置；

检测系统，用于对所述承载装置调节过的待承载物进行检测；

机械手，用于在检测前将待承载物放置于所述承载装置的吸附支撑组件，并在检测后从所述承载支撑组件取走待承载物。

本实用新型所提供的承载装置，其吸附支撑组件通过旋转对准组件安装于滑台，通过将旋转对准组件与吸附支撑组件集成在一起，使得旋转对准组件可直接驱动吸附支撑组件进行旋转，以与检测设备等进行对准，而且，滑台设有X轴运动组件，滑台和吸附支撑组件能够一起沿X轴方向移动。该结构使得现有产品中的运动部分减少了旋转对准平台用于支撑升降片平台和吸附平台的部分和升降片平台，由于零部件和平台层数减少，结构更为简单合理，运动平台的负载也随之减轻，负载的减轻使得运动惯量变小，从而降低了对驱动电机的要求，相应的降低了成本，而且，由于负载的减轻，可以提高运动平台的运动速度，提高检测效率。

本实用新型还提供一种检测设备，由于所述吸附装置具有上述技术效果，则设有该吸附装置的检测设备也应具有相应的技术效果。

附图说明

图1为本实用新型的实施例公开的一种承载装置的结构示意图；

图2为图1所示承载装置的俯视图；

图3为图1所示承载装置在X轴方向上的结构示意图；

图4为图3中所示旋转对准组件的俯视图；

图5为图3的A-A视图；

图6为旋转对准组件的旋转驱动机构的结构示意图；

图7为旋转对准组件的辅助旋转机构的结构示意图。

图中：

1.支撑底座组件 101.支撑地脚 102.钢架

2.隔振台组件

3.大理石支撑组件 301.大理石平台 302.大理石支撑件

4.X轴运动组件 401.X轴驱动电机 402.电机连接件 403.X轴直线导轨 404.X轴滑块

5.旋转对准组件 501.滑轨 502.滑块 503.第三导轨 504.第一滑块 505.下支撑板 506.第四导轨 507.第二滑块 508.上支撑板509.旋转轴承 510.驱动电机 511.安装座512.联轴器 513.丝杠514.螺母 515.螺母连接块 516.第一导轨 517.第二导轨 518.安装板519.第三滑块 520.第四滑块

6.升降机构组件 601.升降机构安装件 602.升降机构 603.升降支撑板 604.支撑杆 605.支撑头

7.吸附支撑组件 701.吸附板 702.支撑接触部 703.第二通孔

8.滑台 801.第一通孔

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

在本文中，“上、下、左、右”等用语是基于附图所示的位置关系而确立的，根据附图的不同，相应的位置关系也有可能随之发生变化，因此，并不能将其理解为对保护范围的绝对限定；而且，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个与另一个具有相同名称的部件区分开来，而不一定要求或者暗示这些部件之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

本实用新型所提供的吸附装置用于承载OLED面板等产品，以便将待检测的OLED面板等产品吸附固定，并将OLED面板等产品进行旋转以进行对准，从而保证检测的准确性，下面将主要以OLED面板作为待承载物进行说明。

请参考图1、图2、图3，图1为本实用新型的实施例公开的一种承载装置的结构示意图；图2为图1所示承载装置的俯视图；图3为图1所示承载装置的轴侧图。

如图所示，在一种实施例中，本实用新型所提供承载装置主要由支撑底座组件1、隔振台组件2、大理石支撑组件3、滑台8、旋转对准组件5、升降机构组件6和吸附支撑组件7等部分组成。

其中，隔振台组件2由支撑底座组件1支撑，大理石支撑组件3的大理石平台301由隔振台组件2支撑，大理石支撑件302左右对称地设于大理石平台301，升降机构组件6位于大理石支撑件302左右间隔的区域内并固定设置在大理石平台301上，滑台8通过X轴运动组件4安装于大理石支撑件302，大理石平台301和大理石支撑件302两者均采用花岗石材料，可保证运动台运行的精确性和稳定性，同时也有吸振的效果。

在不影响结构强度的情况下，滑台8上设计有多个矩形孔位，可进一步减轻滑台的重量，同时，这些孔位也便于在组装和拆卸过程中进行操作。

具体地，支撑底座组件1主要由支撑地脚101和钢架102组成，钢架102安装在支撑地脚101上，隔振台组件2安装在钢架102上，隔振台组件2具有多个隔振台，用于隔离环境振动对运动台产生的振动，本实施例一共设有六个隔振台，左右两边分别三个隔振台，在钢架102上左右对称设置，且每一边的三个隔振台在X轴方向上间隔分布。

X轴运动组件4主要由X轴驱动电机401、X轴直线导轨403和X轴滑块404等组成，大理石支撑件302呈凸台朝向外侧的“L”型，X轴直线导轨403安装在大理石支撑件302的顶部，滑台两边底部的X轴滑块404与X轴直线导轨403滑动配合，X轴驱动电机401为直线电机，其设于大理石支撑件302的外侧面，并通过电机连接件402与滑台8相连接，以驱动所述滑台8沿所述X轴直线导轨403滑动，X轴驱动电机401和X轴直线导轨403形成X轴运动组件4的固定部分，电机连接件402和X轴滑块404形成X轴运动组件4的移动部分。

请一并参考图4、图5，图4为图3中所示旋转对准组件的俯视图；图5为图3的A-A视图。

如图所示，旋转对准组件5用于驱动吸附支撑组件7进行旋转，以便进行对准，升降机构组件6用于向上托举和下放OLED面板，以便于机械手取放OLED面板，吸附支撑组件7具有吸附面，用于以吸附的方式固定OLED面板，其具有由旋转对准组件5支撑的中心区域，以吸附和支撑OLED面板的中心部位，可保证OLED面板在移动时的稳定性、平面度以及移动的速度，旋转对准组件5除了在中心区域对吸附支撑组件7进行支撑之外，还在中心区域的两侧和四个直角区域的附近对吸附支撑组件7进行支撑。

从高度方向来讲，吸附支撑组件7与滑台8上下间隔一定距离，而且吸附支撑组件7与滑台8之间设置旋转对准组件5，旋转对准组件5安装于滑台8且直接连接吸附支撑组件7，以驱动吸附支撑组件7相对于滑台8整体旋转，升降机构组件6位于滑台8的下方，并固定安装在大理石平台301的上表面，处于左边的大理石支撑件302和右边的大理石支撑件302左右间隔的区域内，滑台8设有若干竖向的第一通孔801，吸附支撑组件7设有若干竖向的第二通孔703，升降机构组件6设有与第一通孔801和第二通孔703一一对应的支撑杆604，支撑杆604用于穿过第一通孔801和第二通孔703以托举和下放QLED面板，便于机械手进行取放作业。

吸附支撑组件7的主体部分为吸附板701，在吸附板701的上表面设有若干以点阵方式分布的支撑接触部702，在吸附的过程中，支撑接触部702起到支撑OLED面板的作用，以保证OLED面板在检测过程中的平面度。

本实用新型在改进之后，升降机构组件6独立于滑台8，始终处于初始位置，不跟随吸附支撑组件7和滑台8一起旋转，仅吸附支撑组件7单独旋转，为了保证吸附支撑组件7在旋转之后，支撑杆604能够顺利穿过第二通孔703，第二通孔703与支撑杆604之间在吸附支撑组件7的旋转方向上留有活动余量。

具体地，第二通孔703可以是长圆孔，其中垂线经过吸附支撑组件7的旋转中心，在多个同圆心的圆周方向上，每一个圆周上的第二通孔703均间隔分布，且处于外圈圆周方向上的第二通孔703的长度大于处于内圈圆周方向上的第二通孔703的长度，也就是说，越是靠近圆心，第二通孔703的长度越短，越是远离圆心，第二通孔703的长度越长。

或者，第二通孔703呈弧形孔，其圆心与吸附支撑组件7的旋转中心重合，在多个同圆心的圆周方向上，每一个圆周上的第二通孔703均间隔分布，同理，处于外圈圆周方向上的第二通孔703的长度大于处于内圈圆周方向上的第二通孔703的长度。

由于滑台8上的第一通孔801不会与支撑杆604错位，因此可以设计为圆孔或其他便于支撑杆604向上穿过的结构形式。

升降机构组件6主要由升降机构安装件601、升降机构602以及由升降机构驱动的升降支撑板603等组成，升降机构602通过升降机构安装件601安装在大理石平台301上，升降支撑板603平行于大理石平台301的上表面和吸附支撑组件7的支撑面，安装在升降机构602的上端，在升降机构602的驱动下，升降支撑板603能够在大理石平台301和吸附支撑组件7之间上下移动，当其处于下降位置时，大体处于滑台8和吸附支撑组件7间隔空间的中间位置，此时，支撑杆604的高度不超过吸附支撑组件7的支撑面，当其处于上升位置时，支撑杆604的高度超过吸附支撑组件7的支撑面一定距离，支撑杆704的下端安装在升降支撑板603上，支撑杆604的上端设有支撑头605，以便通过支撑头605与OLED面板接触，避免直接接触造成损伤。

升降机构602主要起到上升和下降升降支撑板603的作用，用于OLED面板的取片和放片，升降机构602具体可以是气缸结构，也可以是丝杠结构，也可以采用直线电机结构。

为了驱动吸附支撑组件7绕圆心旋转，旋转对准组件5主要由旋转驱动机构、旋转导向机构以及辅助旋转机构等部分组成。

旋转导向机构主要由滑轨501和滑块502组成，其中，滑轨501安装在滑台上，滑块502与滑轨501滑动配合，滑块502连接吸附支撑组件7的下表面。

本实施例一共设有四个旋转导向机构，各旋转导向机构的滑轨501分别呈圆心重合的弧形，并在同一圆周方向上间隔分布，大体位于吸附支撑组件7的中心区域的下方。当然，旋转导向机构也可以有两组，一组分布在小圆周方向上，另一组分布在大圆周方向上。

这样，便限定了吸附支撑组件7相对于滑台8只具有旋转自由度，以引导吸附支撑组件7绕中心旋转。

请进一步参考图6，图6为旋转对准组件的旋转驱动机构的结构示意图。

如图所示，旋转驱动机构的电机安装座511大体呈开口向上的槽形结构，驱动电机510安装在电机安装座511的一端，用于提供动力，实现旋转的驱动。

丝杠513安装在电机安装座511的槽口内部，其一端通过联轴器512与驱动电机510连接，另一端与丝杠安装件转动配合，丝杠安装件安装在电机安装座511上，用于支撑丝杠513进行转动，螺母514与丝杠513配合，两条平行的第一导轨516安装在电机安装座511上，第一滑块504与第一导轨516滑动配合，螺母514装配在螺母连接块515的中部，第一滑块504装配在螺母连接块515两边的底部，第二导轨517安装在螺母连接块515的顶部，第二滑块507与第二导轨517滑动配合，安装板518安装在第二滑块507上，旋转轴承509安装在安装板518上，旋转轴承509进一步与吸附支撑组件7的吸附板701连接。

旋转驱动机构在吸附板701下方处于偏向一侧的位置，当驱动电机510旋转时，可以将旋转运动通过丝杠螺母机构转变为直线运动，由于第一导轨516与第二导轨517限定的移动方向在投影上相垂直，安装板518通过旋转轴承509连接吸附板701，同时，吸附板701仅具有旋转自由度。这样，安装板518可灵活地达到运动范围内的任意位置，从而可以带动吸附板701旋转，而不会发生干涉和卡滞现象，与采用电机通过减速后在圆心处驱动吸附板701旋转的方式相比，这种驱动方式运行更为平稳，具有更高的控制精度。

请一并参考图7，图7为旋转对准组件的辅助旋转机构的结构示意图。

如图所示，旋转对准组件还设有六个辅助旋转机构，其中四个辅助旋转机构位于吸附板701下方的四角处，另外两个辅助旋转机构位于吸附板701下方对称的两边。

各辅助旋转机构的第三导轨503安装在滑台8上，第三滑块519与第三导轨503滑动配合，下支撑板505安装在第三滑块519上，第四导轨506安装在下支撑板505上，第四滑块520与第四导轨506滑动配合，上支撑板508安装在第四滑块520上，第三导轨503与第四导轨506限定的移动方向在投影上相垂直，旋转轴承509安装在上支撑板508上，并与吸附板701连接，起到辅助支撑吸附板701的作用，增加吸附板701的刚度和减少吸附板701自重下的变形。

位于中心区域的四个旋转导向机构确定的旋转半径为R1，旋转驱动机构和位于中心区域两侧的两个辅助旋转机构确定的旋转半径为R2，位于四个直角区域的四个辅助旋转机构确定的旋转半径为R3，三者之间的关系为R1＜R2＜R3。

上述实施例仅是本实用新型的优选方案，具体并不局限于此，在此基础上可根据实际需要作出具有针对性的调整，从而得到不同的实施方式。例如，吸附板701上的第二通孔703不局限于长圆孔或弧形孔，还可以是在各个方向上都具有活动余量的大圆孔；或者，旋转导向机构的滑轨501和滑块502的位置互换，等等。由于可能实现的方式较多，这里就不再一一举例说明。

工作时，首先升降机构组件6的支撑杆604向上升起，采用机械手将OLED面板放置于支撑杆604，支撑杆604下降后，OLED面板由吸附板701承载，然后吸附支撑组件7开始工作，将OLED面板吸附固定，然后旋转对准组件5、吸附支撑组件7和OLED面板在滑台8的承载下移动到检测位置，旋转对准组件5开始运行，驱动吸附支撑组件7及其上的OLED面板一起旋转，进行对准，在对准之后，开始对OLED面板进行，检测完毕后，滑台8移出检测位置，吸附支撑组件7停止工作，升降机构组件6的支撑杆604再次向上升起，将OLED面板向上托起，最后，由机械手从吸附支撑组件7上取下OLED面板。

由于将吸附支撑组件7通过旋转对准组件5安装于滑台8，通过将旋转对准组件5与吸附支撑组件7集成在一起，使得旋转对准组件5可直接驱动吸附支撑组件7进行旋转，滑台8设有X轴运动组件4，滑台8和吸附支撑组件7能够一起沿X轴方向移动，而且，升降机构组件6位置固定，独立于滑台8，不跟随滑台8一起运动。使得运动平台的负载也随之减轻，负载的减轻使得运动惯量变小，从而降低了对X轴驱动电机401和驱动电机510的要求，相应的降低了成本，而且，由于负载的减轻，可以提高运动平台的运动速度，提高检测效率。

本实用新型还提供一种检测设备，包括：

如上文所描述的承载装置，此承载装置用于调节待检测的OLED面板的周向位置；

检测系统，用于对承载装置调节过的OLED面板进行检测；

机械手，用于在检测前将OLED面板放置于承载装置的吸附支撑组件7上，并在检测后从承载支撑组件7取走OLED面板，有关检测设备的其余结构，请参考现有技术，本文不再赘述。

以上对本实用新型所提供的承载装置及检测设备进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (15)

1.一种承载装置，包括滑台(8)和用于固定待承载物的吸附支撑组件，所述吸附支撑组件具有吸附面，所述吸附面用于固定待承载物；其特征在于，所述吸附支撑组件与所述滑台(8)上下间隔设置并与所述滑台(8)之间设有旋转对准组件(5)，所述旋转对准组件(5)安装于所述滑台(8)且连接所述吸附支撑组件，以驱动所述吸附支撑组件相对于所述滑台(8)旋转；所述滑台远离所述吸附支撑组件的一侧与X轴运动组件运动连接，所述X轴运动组件用以驱动所述滑台和吸附支撑组件沿X轴方向移动。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括升降机构组件(6)，所述升降机构组件(6)位于所述滑台(8)的下方且位置固定，所述滑台(8)设有若干竖向的第一通孔(801)，所述吸附支撑组件设有若干竖向的第二通孔(703)，所述升降机构组件(6)设有用于穿过所述第一通孔(801)和第二通孔(703)以托举和下放所述待承载物的支撑杆(604)。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述第二通孔(703)与所述支撑杆(604)之间在所述吸附支撑组件的旋转方向上留有活动余量。

4.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述第二通孔(703)呈中垂线经过所述吸附支撑组件的旋转中心的长圆孔，在多个同圆心的圆周方向上，所述第二通孔(703)间隔分布；或者，

所述第二通孔(703)呈圆心与所述吸附支撑组件的旋转中心重合的弧形孔，在多个同圆心的圆周方向上，所述第二通孔(703)间隔分布。

5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，处于外圈圆周方向上的第二通孔(703)的长度大于处于内圈圆周方向上的第二通孔(703)的长度。

6.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述旋转对准组件(5)包括旋转驱动机构、旋转导向机构和辅助导向机构中的一者或多者，所述旋转对准组件(5)以驱动所述吸附支撑组件相对于所述滑台(8)旋转。

7.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，还包括支撑底座组件(1)、隔振台组件(2)和支撑组件(3)；所述隔振台组件(2)由所述支撑底座组件(1)支撑，所述支撑组件(3)包括由所述隔振台组件(2)支撑的支撑平台和左右对称地设于所述支撑平台的支撑件，所述升降机构组件(6)位于所述支撑件左右间隔的区域内并固设于所述支撑平台，所述滑台(8)通过所述X轴运动组件(4)安装于所述支撑件。

8.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述支撑底座组件(1)包括支撑地脚(101)和钢架(102)，所述钢架(102)安装在支撑地脚(101)上，所述隔振台组件(2)安装在所述钢架(102)上。

9.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述隔振台组件(2)包括多个隔振台，所述多个隔振台在所述支撑底座组件(1)上左右对称设置，且在所述X轴方向上间隔分布。

10.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述X轴运动组件(4)包括X轴驱动电机(401)，所述支撑件呈凸台朝向外侧的“L”型，所述支撑件的顶部设有X轴直线导轨(403)，所述滑台(8)两边底部的X轴滑块(404)与所述X轴直线导轨(403)滑动配合，所述X轴驱动电机(401)与所述滑台(8)传动连接，以驱动所述滑台(8)沿所述X轴直线导轨(403)滑动。

11.根据权利要求10所述的承载装置，其特征在于，所述X轴驱动电机(401)为直线电机，其设于所述支撑件的外侧面，并通过电机连接件(402)与所述滑台(8)相连接。

12.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述支撑平台为大理石平台(301)，所述支撑件为大理石支撑件(302)。

13.根据权利要求2至12中任一项所述的承载装置，其特征在于，所述升降机构组件(6)包括升降机构安装件(601)、升降机构(602)以及由所述升降机构(602)驱动的升降支撑板(603)，所述支撑杆(604)设于所述升降支撑板(603)并在上端设有支撑头(605)。

14.根据权利要求1至12中任一项所述的承载装置，其特征在于，所述吸附支撑组件包括用于固定所述待承载物的吸附板(701)和设于所述吸附板(701)的若干支撑接触部(702)，所述支撑接触部(702)在所述吸附板(701)的吸附面以点阵形式分布。

15.一种检测设备，包括：

如上述权利要求1至14中任一项所述的承载装置，所述承载装置用于调节待检测的待承载物的周向位置；

检测系统，用于对所述承载装置调节过的待承载物进行检测；

机械手，用于在检测前将待承载物放置于所述承载装置的吸附支撑组件，并在检测后从所述承载支撑组件取走待承载物。

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