CN217954524U - 应用于Micro LED的检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于检测装置技术领域，尤其涉及一种应用于Micro LED的检测装置，包括机体和运动机构；机体上安装有检测机构；运动机构包括X轴直线电机模组、Y轴直线电机模组、Z轴升降台以及设置在Z轴升降台上的放置台，放置台用于放置样品，放置台转动连接在Z轴升降台上；X轴直线电机模组用于带动Y轴直线电机模组、Z轴升降台以及放置台沿X方向运动，Y轴直线电机模组用于带动Z轴升降台以及放置台沿Y方向运动，以使得放置台能够移动至检测机构的下方。根据本实用新型实施例的应用于Micro LED的检测装置，通过X轴、Y轴、Z轴设置的直线电机模组带动放置台移动至检测位置，还通过放置台的转动纠偏样品的检测位置。
Description
技术领域
本实用新型属于检测装置技术领域，尤其涉及一种应用于Micro LED的检测装置。
背景技术
Micro LED是新一代显示技术，相较于现有的oled技术，Micro LED亮度更高、发光效率更好、但功耗更低，因此其市场前景备受看好。并且，Micro LED 的尺寸已经缩减至50μm以下。
Micro LED的检测手段有探针检测和PL检测，而现有的检测装置尚未更新换代，其运动机构依然采用丝杆模组，丝杆模组移动带动其上的样品移动至检测机构的下方进行检测。因为Micro LED自身尺寸非常小，检测装置对运动精度要求很高。
现有技术中的运动机构为丝杆模组，移动速度慢且精度低，当放置台上的样品偏离检测机构的预定位置时，丝杆模组仅具有带动放置台做直线位移的功能，其不能直接调节样品相对检测机构的位置，纠偏功能差。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：现有技术中的丝杆模组，移动速度慢且精度低的问题，提供一种应用于Micro LED的检测装置。
为解决上述技术问题，本实用新型实施例提供应用于Micro LED的检测装置，包括机体和运动机构；
所述机体上安装有检测机构；
所述运动机构包括X轴直线电机模组、Y轴直线电机模组、Z轴升降台以及设置在Z轴升降台上的放置台，所述放置台用于放置样品，所述放置台转动连接在所述Z轴升降台上；
所述X轴直线电机模组安装在所述机体上，所述Y轴直线电机模组安装在所述X轴直线电机模组的滑台上，所述Z轴升降台安装在所述Y轴直线电机模组的滑台上，所述X轴直线电机模组用于带动所述Y轴直线电机模组、Z轴升降台以及放置台沿X方向运动，所述Y轴直线电机模组用于带动所述Z轴升降台以及放置台沿Y方向运动，以使得所述放置台能够移动至所述检测机构的下方。
可选地，还包括旋转轴，所述旋转轴的下端连接在所述Z轴升降台上，所述旋转轴的上端连接所述放置台。
可选地，所述旋转轴连接有驱动电机，所述驱动电机连接有第一光栅尺，所述第一光栅尺用于测量驱动电机的转动角度。
可选地，所述第一光栅尺的分辨率为4320000p/rev。
可选地，所述驱动电机为直驱电机。
可选地，所述放置台为真空吸盘，所述真空吸盘固定于所述旋转轴的上端。
可选地，所述机体包括底座和龙门架，所述龙门架安装于所述底座上，所述龙门架高于所述真空吸盘，所述龙门架的上部设置有多个安装孔，所述检测机构安装于所述龙门架上。
可选地，所述X轴直线电机模组、Y轴直线电机均设置有用于测量位移量的第二光栅尺，所述Z轴升降台内置有用于测量Z轴升降台位移量的第三光栅尺。
可选地，所述机体包括机架，所述机架的下方安装有多个支撑座，所述底座的下端安装有多个减震座，所述减震座放置在所述机架上。
可选地，所述减震座为气浮式减震器。
根据本实用新型实施例的应用于Micro LED的检测装置，包括X轴直线电机模组、Y轴直线电机模组、Z轴升降台，利用直线电机替代现有的丝杆模组，具有移动速度快的优点；不仅如此，三者均设置有光栅尺，具有位移精度高的优点。
最重要的是，当样品偏离预定位置后，通过旋转轴带动放置台转动，使得放置台上的样品的随之转动，直至样品正对于检测机构的下方，保持样品的位置始终和检测机构的位置正对应。
附图说明
图1是本实用新型第一实施例提供的应用于Micro LED的检测装置的整体示意图；
图2是本实用新型第一实施例提供的应用于Micro LED的检测装置的立体示意图；
图3是本实用新型第一实施例提供的应用于Micro LED的检测装置的运动机构和底座的配合示意图；
图4是本实用新型第一实施例提供的应用于Micro LED的检测装置的运动机构安装位置示意图；
图5是本实用新型第一实施例提供的应用于Micro LED的检测装置的运动机构的爆炸示意图；
图6是本实用新型第一实施例提供的应用于Micro LED的检测装置的运动机构的整体示意图。
说明书中的附图标记如下：
1、机体；11、底座；12、机架；13、支撑座；14、减震座；15、龙门架； 2、运动机构；21、X轴直线电机模组；22、Y轴直线电机模组；23、Z轴升降台；24、放置架；25、旋转轴；26、驱动电机。
具体实施方式
为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
第一实施例
如图1至图3所示，本实用新型第一实施例提供的应用于Micro LED的检测装置，包括机体1和运动机构2。而机体1上安装有检测机构，检测机构位于运动机构2的上方。运动机构2包括沿着X轴、Y轴、Z轴三个方向上直线运动的X轴直线电机模组21、Y轴直线电机模组22、Z轴升降台23。
具体地，如图4至图6所示，X轴直线电机模组21设置在机体1上，Y轴直线电机模组22设置在X轴直线电机模组21的滑台上，Z轴升降台23设置在 Y轴直线电机模组22的滑台上，X轴直线电机模组用于带动Y轴直线电机模组、 Z轴升降台以及放置台沿X方向运动，Y轴直线电机模组用于带动Z轴升降台以及放置台沿Y方向运动，实现放置台在三个方向上的位移。
X轴直线电机模组21、Y轴直线电机模组22均设置有用于测量各自位移量的第二光栅尺，第二光栅尺将测量数据反馈至各自直线电机模组的控制系统，控制X轴直线电机模组21、Y轴直线电机模组的位移量，Z轴升降台23内置有用于测量Z轴升降台23位移量的第三光栅尺。
这样，提高X轴、Y轴、Z轴三个方向的移动精度，第二光栅尺分别测量X 轴直线电机模组21、Y轴直线电机模组22的直线电机，并反馈至各自的直线电机模组的控制系统，以提高移动的精准度，Z轴升降台23则通过第三光栅尺测量并反馈至Z轴升降台的控制系统，使得Z轴升降台的上下位移量更加精确，以提高升降的精准度。
运动机构2还包括放置台，放置台转动连接在Z轴升降台23上，放置台用于放置样品，放置台相对于Z轴升降台23旋转，带动样品转动。这样，当放置台上装载样品后，放置台跟随X轴直线电机模组21、Y轴直线电机模组22、Z 轴升降台23移动，直至移动下检测机构的正下方，此时检测机构开始检测运动。但是，当放置台上的样品和放置台上预定位置出现微小偏移后，放置台转动使得样品随之转动，以调整样品相对于检测机构的位置，起到纠偏的作用，保持样品正对检测机构。
在本实施例中，运动机构2还包括旋转轴25，旋转轴25的下端连接在Z 轴升降台23上，旋转轴25的上端连接放置台。旋转轴25连接有驱动电机26，驱动电机26连接有第一光栅尺，第一光栅尺用于测量驱动电机26的转动角度，将测量到角度数据反馈至旋转轴25的控制系统，精确地控制转动角度。第一光栅尺的分辨率为4320000p/rev。驱动电机26为直驱电机。这样，放置台的旋转随旋转轴25的转动而转动，并且由于第一光栅尺为高精度的光栅尺，确保驱动电机26以小角度带动放置台转动，使得纠偏效果更佳。
在本实施例中，由于主要是用于检测晶圆，因此放置台为真空吸盘，真空吸盘固定于旋转轴25的上端，这样，真空吸盘吸附于晶圆。
参照图2和图3，机体1包括底座11和龙门架15，龙门架15安装于底座 11上，龙门架15高于真空吸盘，龙门架15的上部设置有多个安装孔，检测机构安装于龙门架15上；当然安装孔的个数可以等于当前的检测机构的所需的数量，也可以远大于当前的检测机构所需的数量，设置多个安装孔用于安装其他检测机构或者同时安装多个检测机构。
当然机体1还包括机架12，机架12的下方安装有多个支撑座13，底座11 的下端安装有多个减震座14，减震座14放置在机架12上。减震座14为气浮式减震器。
支撑座13用于支撑机架12，并且调平机架12的水平度；而减震座14用于减震，以减少外界带动运动机构2和检测机构晃动现象的发生，以提高检测精度。
第二实施例
本实用新型第二实施例的应用于Micro LED的检测装置与第一实施例的不同之处在于，所述减震座14为阻尼弹簧减震器。在专用的检测实验室里，外界最多产生轻微晃动，而外界的晃动基本能被阻尼弹簧减震器所消除，此种设置降低成本，也适应了工作环境。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，包括机体和运动机构；
所述机体上安装有检测机构；
所述运动机构包括X轴直线电机模组、Y轴直线电机模组、Z轴升降台以及设置在Z轴升降台上的放置台，所述放置台用于放置样品，所述放置台转动连接在所述Z轴升降台上；
所述X轴直线电机模组安装在所述机体上，所述Y轴直线电机模组安装在所述X轴直线电机模组的滑台上，所述Z轴升降台安装在所述Y轴直线电机模组的滑台上，所述X轴直线电机模组用于带动所述Y轴直线电机模组、Z轴升降台以及放置台沿X方向运动，所述Y轴直线电机模组用于带动所述Z轴升降台以及放置台沿Y方向运动，以使得所述放置台能够移动至所述检测机构的下方。
2.根据权利要求1所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，还包括旋转轴，所述旋转轴的下端连接在所述Z轴升降台上，所述旋转轴的上端连接所述放置台。
3.根据权利要求2所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，所述旋转轴连接有驱动电机，所述驱动电机连接有第一光栅尺，所述第一光栅尺用于测量驱动电机的转动角度。
4.根据权利要求3所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，所述第一光栅尺的分辨率为4320000p/rev。
5.根据权利要求4所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，所述驱动电机为直驱电机。
6.根据权利要求5所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，所述放置台为真空吸盘，所述真空吸盘固定于所述旋转轴的上端。
7.根据权利要求6所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，所述机体包括底座和龙门架，所述龙门架安装于所述底座上，所述龙门架高于所述真空吸盘，所述龙门架的上部设置有多个安装孔，所述检测机构安装于所述龙门架上。
8.根据权利要求7所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，所述机体包括机架，所述机架的下方安装有多个支撑座，所述底座的下端安装有多个减震座，所述减震座放置在所述机架上。
9.根据权利要求8所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，所述减震座为气浮式减震器。
10.根据权利要求1所述的应用于Micro LED的检测装置，其特征在于，所述X轴直线电机模组及Y轴直线电机模组均设置有用于测量各自位移量的第二光栅尺，所述Z轴升降台内置有用于测量所述Z轴升降台位移量的第三光栅尺。
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