CN207051337U - 一种探针座及其微调装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种探针座及其微调装置，解决了常见探针座微调功能较低甚至不具有微调功能的问题，其技术方案要点是，包括：供一探针组件固定的安装件；与安装件纵向滑动式装配的第一调节座；设于安装件和第一调节座之间的、驱使安装件相对于第一调节座纵向滑移的第一微调组件；与第一调节座横向滑动式装配的第二调节座；设于第一调节座和第二调节座之间的、驱使第一调节座相对于第二调节座横向滑移的第二微调组件；与第二调节座竖向滑动式装配的安装板；以及，设于第二调节座和安装板之间的、驱使第二调节座相对于安装板竖向滑移的第三微调组件，达到该探针座的微调功能较强以及调节精确度更高的目的。

Description

一种探针座及其微调装置

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种探针座及其微调装置。

背景技术

在测试芯粒是否合格时，通常需要用带电的探针来检测芯粒的正负极是否可以导通，从而进行测试。

但是，这些设备在进行接触测试之前，将芯粒固定于以载片台后，在探针水平位置或者竖向位置稍有偏移时，需要对探针的位置进行微调以确保探针的针尖对准芯粒的正负极，由于芯粒越来越小，探针的微调的精度需求越来越高，而常见的用于来固定探针的探针座通常达不到这样的精度要求甚至不具有这种微调功能。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的一是提供一种探针座的微调装置，解决了常见探针座微调功能较低甚至不具有微调功能的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种探针座的微调装置，包括：供一探针组件固定的安装件；与所述安装件纵向滑动式装配的第一调节座；设于所述安装件和所述第一调节座之间的、驱使所述安装件相对于所述第一调节座纵向滑移的第一微调组件；与所述第一调节座横向滑动式装配的第二调节座；设于所述第一调节座和所述第二调节座之间的、驱使所述第一调节座相对于所述第二调节座横向滑移的第二微调组件；与所述第二调节座竖向滑动式装配的安装板；以及，设于所述第二调节座和所述安装板之间的、驱使所述第二调节座相对于所述安装板竖向滑移的第三微调组件。

通过采用上述技术方案，在探针组件相对于测试芯粒的位置需要调节时，第一微调组件驱使安装件及探针组件相对于第一调节座纵向滑移，第二微调组件驱使第一调节座、安装件及探针组件相对于第二调节座横向滑移，第三微调组件驱使第二微调组件、第一调节座、安装件及探针组件相对于第二调节座竖向滑移，从而可以实现对探针组件进行纵向、横向以及竖向微调，这种结构调节更加方便而且精确度更高。

进一步的，所述微调装置中设置有如下结构中的一种或多种的组合：所述第一微调组件包括：固定于所述第一调节座的第一支撑件，固定于所述安装件的抵接件，以及，螺纹连接于所述第一支撑件的、一端抵接于所述抵接件以驱使所述安装件相对于所述第一调节座纵向滑移的第一螺杆；所述第二微调组件包括：固定于所述第二调节座的第二支撑件，设于所述第一调节座上的抵接槽，以及，螺纹连接于所述第二支撑件的、一端抵接于所述抵接槽以驱使所述第一调节座相对于所述第二调节座横向滑移的第二螺杆；所述第三微调组件包括：固定于所述第二调节座的第三支撑件，以及，螺纹连接于所述第三支撑件的、一端抵接于所述安装板以驱使所述第二调节座相对于所述安装板竖向滑移的第三螺杆。

通过采用上述技术方案，第一螺杆螺纹连接于第一支撑件并其一端抵接于抵接件，进而在旋转第一螺杆的过程中即可实现驱动安装板相对于第一调节座纵向滑移；第二螺杆螺纹连接于第二支撑件并其一端抵接于抵接槽，进而在旋转第二螺杆的过程中即可实现驱动第一调节座相对于第二调节座横向滑移；第三螺杆螺纹连接于第三支撑件并其一端抵接于安装板，进而在旋转第三螺杆的过程中即可实现驱动第二调节座相对于安装板竖向滑移。

进一步的，所述第一微调组件还包括：设于所述安装件和所述第一调节座之间的第一拉簧；所述第二微调组件还包括：设于所述第一调节座和所述第二调节座之间的第二拉簧；所述第三微调组件还包括：设于所述第二调节座和所述安装板之间的第三拉簧。

通过采用上述技术方案，在纵向调节第一微调组件的过程中，第一拉簧对安装件和第一调节座具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移；在横向调节第二微调组件的过程中，第二拉簧对第二调节座和第一调节座具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移；在竖向调节第三微调组件的过程中，第三拉簧对第二调节座和安装板具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移。因此，该微调装置的稳定性更强，进一步提高了调节的精确度。

进一步的，所述第一微调组件还包括：分设于所述安装件和所述第一调节座上的、分别供所述第一拉簧两端固定的第一固定柱；所述第二微调组件还包括：分设于所述第一调节座和所述第二调节座上的、分别供所述第二拉簧两端固定的第二固定柱；所述第三微调组件还包括：分设于所述第二调节座和所述安装板上的、分别供所述第三拉簧两端固定的第三固定柱。

通过采用上述技术方案，第一固定柱对第一拉簧具有一定的固定作用，增加了第一拉簧的稳定性；第二固定柱对第二拉簧具有一定的固定作用，增加了第二拉簧的稳定性；第三固定柱对第三拉簧具有一定的固定作用，增加了第三拉簧的稳定性。

进一步的，所述安装件上设有第一滑座，所述第一调节座上设有第一滑件，所述第一滑座上设有纵向布置的、供所述第一滑件滑动式装配的第一滑槽；所述第一调节座上设有第二滑座，所述第二调节座上设有第二滑件，所述第二滑座上设有横向布置的、供所述第二滑件滑动式装配的第二滑槽；所述第二调节座上设有第三滑座，所述安装板上设有第三滑件，所述第三滑座上设有竖向布置的、供所述第三滑件滑动式装配的第三滑槽。

通过采用上述技术方案，第一滑件和第一滑座的第一滑槽配合作用，对安装件的纵向调节具有较佳的导向作用；第二滑件和第二滑座的第二滑槽配合作用，对第一调节座的横向调节具有较佳的导向作用；第三滑件和第三滑座的第三滑槽配合作用，对第二调节座的竖向调节具有较佳的导向作用。

本实用新型实施例的目的二是提供一种探针座，解决了常见探针座微调功能较低甚至不具有微调功能的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种探针座，包括：若干组如上述的微调装置；以及，驱使所述微调装置竖向移动的竖向驱动装置；所述竖向驱动装置包括：座体；设于所述座体且竖向布置的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括：丝杆，以及螺纹装配于所述丝杆的、被所述丝杆传动以上下移动的滑套；固定于所述座体的、受一控制中心控制并带动所述丝杆动作的驱动机构；以及，供若干组所述微调装置固定的、固定装配于所述滑套的安装机构，所述微调装置的所述安装板为所述安装机构的一部分。

通过采用上述技术方案，在对测试芯粒进行接触测试的过程中，驱动机构可以带动丝杆转动，从而驱使滑套升降，由于滑套和探针组件之间通过安装机构牢固连接，实现探针组件的上下移动，从而无需驱动体积及重量较大的载片台上下移动，从而使得整个探针接触测试设备的体积变小，控制也随着探针组件易于驱动而变得简便，有效提升了测试的精确度，更主要的是，探针组件相对于载片台体积和重量更小，有利于节省能源。

进一步的，所述驱动机构包括：通过一电机座固定于所述座体的伺服电机；以及，设于所述丝杆和所述伺服电机的转轴之间的、带动所述丝杆沿竖向轴线转动的传动件。

通过采用上述技术方案，伺服电机在转动时，通过传动件实现带动丝杆同步转动，使得该驱动机构更加易于控制，而且实现自动化驱使探针组件升降，同时还具有较佳的稳定性。

进一步的，所述安装机构包括：所述安装板；以及，固定于所述安装板的相对于所述探针组件的一侧、固定装配于所述滑套的支座。

通过采用上述技术方案，探针组件相对固定于安装板，安装板通过支座固定于被丝杆传动的滑套，从而实现探针组件被驱使上下移动的功能，该结构制作简单，易于实现且稳定性高。

进一步的，所述竖向驱动装置还包括：固定于所述安装机构一侧的挡片；固定于所述座体上的、当所述探针组件移动至下限位置时被所述挡片隔挡的、与所述控制中心连接以控制所述驱动机构动作的第一光电传感器；以及，固定于所述座体上的、当所述探针组件移动至上限位置时被所述挡片隔挡的、与所述控制中心连接以控制所述驱动机构动作的第二光电传感器。

通过采用上述技术方案，当安装机构带动探针组件移动至下限位置时，第一光电传感器感应到挡片所处位置，以将该信息反馈至控制中心，以控制伺服电机停止工作或者逆转，从而对探针组件和待测试芯粒均具有保护作用；当安装机构带动探针组件移动至上限位置时，第二光电传感器感应到挡片所处位置，以将该信息反馈至控制中心，以控制伺服电机停止工作或者逆转，从而对竖向驱动装置具有保护作用。

进一步的，所述竖向驱动装置还包括：固定于所述座体的、设有若干散热孔的、以阻止外界物体撞击所述伺服电机的防护罩。

通过采用上述技术方案，防护罩在对伺服电机具有保护作用，以使伺服电机的使用寿命更长；同时由于散热孔的结构，有助于伺服电机快速散热，进一步延长了伺服电机的使用寿命。

综上所述，本实用新型实施例具有以下有益效果：

其一，需要微调探针组件的位置时，可以通过第一微调组件、第二微调组件和第三微调组件来实现调节，不仅精确度更高，而且操作方便，稳定性高；

其二，通过驱动探针组件上下的方式来替换常见需要驱动载片台上下的方式，更加稳定及节能，同时精确度更高。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中微调装置的爆炸示意图；

图3是本实用新型实施例中竖向驱动装置的爆炸示意图。

附图标记：1、座体；11、转接板；12、垫块；13、导轴座；21、丝杆；22、滑套；23、第一支撑单元；24、第二支撑单元；31、伺服电机；32、传动件；321、带轮；322、同步带；41、安装板；42、支座；43、导轨；44、滑块；5、旋钮；61、挡片；62、第一光电传感器；63、第二光电传感器；7、防护罩；71、散热孔；8、微调装置；81、安装件；82、第一调节座；821、抵接槽；83、第一微调组件；831、第一支撑件；832、抵接件；833、第一螺杆；834、第一拉簧；835、第一固定柱；84、第二调节座；85、第二微调组件；851、第二支撑件；852、第二螺杆；853、第二拉簧；854、第二固定柱；86、第三微调组件；861、第三支撑件；862、第三螺杆；863、第三拉簧；864、第三固定柱；871、第一滑座；872、第一滑件；873、第二滑座；874、第二滑件；875、第三滑座；876、第三滑件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：一种探针座，如图1和图2所示，包括：两组供探针组件固定的微调装置8；以及，驱使所述微调装置8竖向移动的竖向驱动装置；所述竖向驱动装置包括：座体1；设于座体1且竖向布置的滚珠丝杠，滚珠丝杠包括：丝杆21，以及螺纹装配于丝杆21的、被丝杆21传动以上下移动的滑套22；固定于座体1的、受一控制中心控制并带动丝杆21动作的驱动机构；以及，供微调装置8固定的、固定装配于滑套22的安装机构。本实施例中的描述的探针组件均未在附图中展示。

滚珠丝杠还包括：转动装配于丝杆21的一端的、固定于座体1的第一支撑单元23；以及，固定于丝杆21另一端和座体1之间的第二支撑单元24。第一支撑单元23和第二支撑单元24在使丝杆21竖向固定于座体1的同时还确保丝杆21可以沿竖向轴线自由转动，使得滚珠丝杠的结构更加稳定，进一步有效提升了测试的精确度。

座体1包括：供竖向驱动装置固定的转接板11，固定于转接板11的垫块12，以及，供安装机构和驱动机构固定的、固定于垫块12的导轴座13，转接板11、垫块12以及导轴座13的结构易于制作且结构稳定，便于后期拆卸以及安装，方便维修。

驱动机构包括：通过一电机座固定于导轴座13的伺服电机31；以及，设于丝杆21和伺服电机31的转轴之间的、带动丝杆21沿竖向轴线转动的传动件32。伺服电机31在转动时，通过传动件32实现带动丝杆21同步转动，使得该驱动机构更加易于控制，而且实现自动化驱使探针组件升降，同时还具有较佳的稳定性。

竖向驱动装置还包括：固定于座体1的、设有若干散热孔71的、以阻止外界物体撞击伺服电机31的防护罩7，防护罩7在对伺服电机31具有保护作用，以使伺服电机31的使用寿命更长；同时由于散热孔71的结构，有助于伺服电机31快速散热，进一步延长了伺服电机31的使用寿命。

传动件32为带轮传动结构，传动件32包括：分别固定于丝杆21以及伺服电机31的转轴的两个带轮321，以及，紧套在两个带轮321之间的同步带322。在其他实施例中传动件32还可以为链轮传动结构、或齿轮传动结构。链轮传动结构、带轮传动结构或齿轮传动结构易于制作，成本较低，稳定性高，易于实现传动功能。

安装机构包括：供微调装置8固定的安装板41；以及，固定于安装板41的相对于探针组件的一侧、固定装配于滑套22的支座42。探针组件固定于安装板41，安装板41通过支座42固定于被丝杆21传动的滑套22，从而实现探针组件被驱使上下移动的功能，该结构制作简单，易于实现且稳定性高。

安装机构还包括：竖向布置于导轴座13的一侧壁的、分设于丝杆21的两侧的导轨43；以及，滑动式装配于导轨43的、固定于安装板41的相对于探针组件的一侧的滑块44。在探针组件和安装板41被滑套22驱动而升降的过程中，导轨43和滑块44配合对安装板41及探针组件具有导向作用，从而探针组件在上下移动时更加稳定，进一步有效提升了测试的精确度。

竖向驱动装置还包括：设于第二支撑单元24的相对于丝杆21的一侧的、以手动调节丝杆21相对于座体1上下位置的旋钮5。旋钮5可以对丝杆21相对于座体1上下位置进行手动调整，从而在需要微调探针组件的高度时，更易于操作。

竖向驱动装置还包括：固定于安装板41一侧的挡片61；固定于导轴座13上的、当探针组件移动至下限位置时被挡片61隔挡的、与控制中心连接以控制驱动机构动作的第一光电传感器62；以及，固定于导轴座13上的、当探针组件移动至上限位置时被挡片61隔挡的、与控制中心连接以控制驱动机构动作的第二光电传感器63。当安装机构带动探针组件移动至下限位置时，第一光电传感器62感应到挡片61所处位置，以将该信息反馈至控制中心，以控制伺服电机31停止工作或者逆转，从而对探针组件和待测试芯粒均具有保护作用；当安装机构带动探针组件移动至上限位置时，第二光电传感器63感应到挡片61所处位置，以将该信息反馈至控制中心，以控制伺服电机31停止工作或者逆转，从而对竖向驱动装置具有保护作用。

结合图1-3所示，微调装置8，包括：供一探针组件固定的安装件81；与安装件81纵向滑动式装配的第一调节座82；设于安装件81和第一调节座82之间的、驱使安装件81相对于第一调节座82纵向滑移的第一微调组件83；与第一调节座82横向滑动式装配的第二调节座84；设于第一调节座82和第二调节座84之间的、驱使第一调节座82相对于第二调节座84横向滑移的第二微调组件85；与第二调节座84竖向滑动式装配的安装板41；以及，设于第二调节座84和安装板41之间的、驱使第二调节座84相对于安装板41竖向滑移的第三微调组件86。

两组微调装置8中的一组去除第三调节座以及第三微调组件86，直接将该组的第二微调组件85设于安装板41和第二调节座84之间，从而可以将该组上的探针组件作为标准位置，以方便将另一具有第三调节座以及第三微调组件86的微调装置8上的探针组件调节成同一水平高度。在其他实施例中，固定于安装板41上的微调装置8数量不限，且微调装置8可以组合使用上述的第一微调组件83、第二微调组件85或者第三微调组件86。

微调装置8中设置有如下结构中的一种或多种的组合：第一微调组件83包括：固定于第一调节座82的第一支撑件831，固定于安装件81的抵接件832，以及，螺纹连接于第一支撑件831的、一端抵接于抵接件832以驱使安装件81相对于第一调节座82纵向滑移的第一螺杆833，第一螺杆833螺纹连接于第一支撑件831并其一端抵接于抵接件832，进而在旋转第一螺杆833的过程中即可实现驱动安装板41相对于第一调节座82纵向滑移；第二微调组件85包括：固定于第二调节座84的第二支撑件851，设于第一调节座82上的抵接槽821，以及，螺纹连接于第二支撑件851的、一端抵接于抵接槽821以驱使第一调节座82相对于第二调节座84横向滑移的第二螺杆852，第二螺杆852螺纹连接于第二支撑件851并其一端抵接于抵接槽821，进而在旋转第二螺杆852的过程中即可实现驱动第一调节座82相对于第二调节座84横向滑移；第三微调组件86包括：固定于第二调节座84的第三支撑件861，以及，螺纹连接于第三支撑件861的、一端抵接于安装板41以驱使第二调节座84相对于安装板41竖向滑移的第三螺杆862，第三螺杆862螺纹连接于第三支撑件861并其一端抵接于安装板41，进而在旋转第三螺杆862的过程中即可实现驱动第二调节座84相对于安装板41竖向滑移。

第一微调组件83还包括：设于安装件81和第一调节座82之间的第一拉簧834；第二微调组件85还包括：设于第一调节座82和第二调节座84之间的第二拉簧853；第三微调组件86还包括：设于第二调节座84和安装板41之间的第三拉簧863。在纵向调节第一微调组件83的过程中，第一拉簧834对安装件81和第一调节座82具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移；在横向调节第二微调组件85的过程中，第二拉簧853对第二调节座84和第一调节座82具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移；在竖向调节第三微调组件86的过程中，第三拉簧863对第二调节座84和安装板41具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移。因此，该微调装置8的稳定性更强，进一步提高了调节的精确度。

第一微调组件83还包括：分设于安装件81和第一调节座82上的、分别供第一拉簧834两端固定的第一固定柱835；第二微调组件85还包括：分设于第一调节座82和第二调节座84上的、分别供第二拉簧853两端固定的第二固定柱854；第三微调组件86还包括：分设于第二调节座84和安装板41上的、分别供第三拉簧863两端固定的第三固定柱864。第一固定柱835对第一拉簧834具有一定的固定作用，增加了第一拉簧834的稳定性；第二固定柱854对第二拉簧853具有一定的固定作用，增加了第二拉簧853的稳定性；第三固定柱864对第三拉簧863具有一定的固定作用，增加了第三拉簧863的稳定性。

安装件81上设有第一滑座871，第一调节座82上设有第一滑件872，第一滑座871上设有纵向布置的、供第一滑件872滑动式装配的第一滑槽，第一滑件872和第一滑座871的第一滑槽配合作用，对安装件81的纵向调节具有较佳的导向作用；第一调节座82上设有第二滑座873，第二调节座84上设有第二滑件874，第二滑座873上设有横向布置的、供第二滑件874滑动式装配的第二滑槽，第二滑件874和第二滑座873的第二滑槽配合作用，对第一调节座82的横向调节具有较佳的导向作用；第二调节座84上设有第三滑座875，安装板41上设有第三滑件876，第三滑座875上设有竖向布置的、供第三滑件876滑动式装配的第三滑槽，第三滑件876和第三滑座875的第三滑槽配合作用，对第二调节座84的竖向调节具有较佳的导向作用。

工作过程：在对测试芯粒进行接触测试的过程中，驱动机构可以带动丝杆21转动，从而驱使滑套22升降，由于滑套22和探针组件之间通过安装机构牢固连接，实现探针组件的上下移动，从而无需驱动体积及重量较大的载片台上下移动，从而使得整个探针接触测试设备的体积变小，控制也随着探针组件易于驱动而变得简便，有效提升了测试的精确度，更主要的是，探针组件相对于载片台体积和重量更小，有利于节省能源。

在探针组件相对于测试芯粒的位置需要调节时，第一微调组件83驱使安装件81及探针组件相对于第一调节座82纵向滑移，第二微调组件85驱使第一调节座82、安装件81及探针组件相对于第二调节座84横向滑移，第三微调组件86驱使第二微调组件85、第一调节座82、安装件81及探针组件相对于第二调节座84竖向滑移，从而可以实现对探针组件进行纵向、横向以及竖向微调，这种结构调节更加方便而且精确度更高。

以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种探针座的微调装置，其特征在于，包括：

供一探针组件固定的安装件(81)；

与所述安装件(81)纵向滑动式装配的第一调节座(82)；

设于所述安装件(81)和所述第一调节座(82)之间的、驱使所述安装件(81)相对于所述第一调节座(82)纵向滑移的第一微调组件(83)；

与所述第一调节座(82)横向滑动式装配的第二调节座(84)；

设于所述第一调节座(82)和所述第二调节座(84)之间的、驱使所述第一调节座(82)相对于所述第二调节座(84)横向滑移的第二微调组件(85)；

与所述第二调节座(84)竖向滑动式装配的安装板(41)；以及，

设于所述第二调节座(84)和所述安装板(41)之间的、驱使所述第二调节座(84)相对于所述安装板(41)竖向滑移的第三微调组件(86)。

2.根据权利要求1所述的一种探针座的微调装置，其特征在于，所述微调装置中设置有如下结构中的一种或多种的组合：

所述第一微调组件(83)包括：固定于所述第一调节座(82)的第一支撑件(831)，固定于所述安装件(81)的抵接件(832)，以及，螺纹连接于所述第一支撑件(831)的、一端抵接于所述抵接件(832)以驱使所述安装件(81)相对于所述第一调节座(82)纵向滑移的第一螺杆(833)；

所述第二微调组件(85)包括：固定于所述第二调节座(84)的第二支撑件(851)，设于所述第一调节座(82)上的抵接槽(821)，以及，螺纹连接于所述第二支撑件(851)的、一端抵接于所述抵接槽(821)以驱使所述第一调节座(82)相对于所述第二调节座(84)横向滑移的第二螺杆(852)；

所述第三微调组件(86)包括：固定于所述第二调节座(84)的第三支撑件(861)，以及，螺纹连接于所述第三支撑件(861)的、一端抵接于所述安装板(41)以驱使所述第二调节座(84)相对于所述安装板(41)竖向滑移的第三螺杆(862)。

3.根据权利要求2所述的一种探针座的微调装置，其特征在于，所述第一微调组件(83)还包括：

设于所述安装件(81)和所述第一调节座(82)之间的第一拉簧(834)；

所述第二微调组件(85)还包括：设于所述第一调节座(82)和所述第二调节座(84)之间的第二拉簧(853)；

所述第三微调组件(86)还包括：设于所述第二调节座(84)和所述安装板(41)之间的第三拉簧(863)。

4.根据权利要求3所述的一种探针座的微调装置，其特征在于，所述第一微调组件(83)还包括：

分设于所述安装件(81)和所述第一调节座(82)上的、分别供所述第一拉簧(834)两端固定的第一固定柱(835)；

所述第二微调组件(85)还包括：分设于所述第一调节座(82)和所述第二调节座(84)上的、分别供所述第二拉簧(853)两端固定的第二固定柱(854)；

所述第三微调组件(86)还包括：分设于所述第二调节座(84)和所述安装板(41)上的、分别供所述第三拉簧(863)两端固定的第三固定柱(864)。

5.根据权利要求1所述的一种探针座的微调装置，其特征在于，所述安装件(81)上设有第一滑座(871)，所述第一调节座(82)上设有第一滑件(872)，所述第一滑座(871)上设有纵向布置的、供所述第一滑件(872)滑动式装配的第一滑槽；

所述第一调节座(82)上设有第二滑座(873)，所述第二调节座(84)上设有第二滑件(874)，所述第二滑座(873)上设有横向布置的、供所述第二滑件(874)滑动式装配的第二滑槽；

所述第二调节座(84)上设有第三滑座(875)，所述安装板(41)上设有第三滑件(876)，所述第三滑座(875)上设有竖向布置的、供所述第三滑件(876)滑动式装配的第三滑槽。

6.一种探针座，其特征在于，包括：

若干组如权利要求1-5中任一项所述的微调装置(8)；以及，

驱使所述微调装置(8)竖向移动的竖向驱动装置；

所述竖向驱动装置包括：座体(1)；设于所述座体(1)且竖向布置的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括：丝杆(21)，以及螺纹装配于所述丝杆(21)的、被所述丝杆(21)传动以上下移动的滑套(22)；固定于所述座体(1)的、受一控制中心控制并带动所述丝杆(21)动作的驱动机构；以及，供若干组所述微调装置(8)固定的、固定装配于所述滑套(22)的安装机构，所述微调装置(8)的所述安装板(41)为所述安装机构的一部分。

7.根据权利要求6所述的一种探针座，其特征在于，所述驱动机构包括：通过一电机座固定于所述座体(1)的伺服电机(31)；以及，设于所述丝杆(21)和所述伺服电机(31)的转轴之间的、带动所述丝杆(21)沿竖向轴线转动的传动件(32)。

8.根据权利要求6所述的一种探针座，其特征在于，所述安装机构包括：所述安装板(41)；以及，固定于所述安装板(41)的相对于所述探针组件的一侧、固定装配于所述滑套(22)的支座(42)。

9.根据权利要求6所述的一种探针座，其特征在于，所述竖向驱动装置还包括：固定于所述安装机构一侧的挡片(61)；固定于所述座体(1)上的、当所述探针组件移动至下限位置时被所述挡片(61)隔挡的、与所述控制中心连接以控制所述驱动机构动作的第一光电传感器(62)；以及，固定于所述座体(1)上的、当所述探针组件移动至上限位置时被所述挡片(61)隔挡的、与所述控制中心连接以控制所述驱动机构动作的第二光电传感器(63)。

10.根据权利要求7所述的一种探针座，其特征在于，所述竖向驱动装置还包括：固定于所述座体(1)的、设有若干散热孔(71)的、以阻止外界物体撞击所述伺服电机(31)的防护罩(7)。