CN111175674B - 一种高精度磁场测量设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种高精度磁场测量设备，包括若干用于磁场测量的探头以及用于带动探头移动的移动装置，探头连接有探头调节机构，移动装置包括用于横向驱动的X轴移动机构、用于纵向驱动的Y轴移动机构、用于旋转调整的旋转机构、用于上下驱动的Z轴移动机构以及用于固定探头的安装机构，安装机构包括与第三滑座相连接的移动座，移动座远离第三滑座的一侧连接有用于探头安装的安装座。本发明能够自由调整探头的位置，提高测量的全面精准度，以解决现有的磁场测量设备测量不够全面精准的问题。

Description

一种高精度磁场测量设备

技术领域

本发明涉及磁场测量技术领域，尤其涉及一种高精度磁场测量设备。

背景技术

空间的磁通密度与磁场强度成比例关系，空间磁场强度的测量，实质上也是磁通密度的测量。因而用磁强计测量的实际上是磁通密度。磁场测量主要利用磁测量仪器进行，现有的磁场测量设备也有多种，

现有磁场测量设备通常设置有移动装置带动探头移动来达到对不同区域进行测量的目的，通常移动装置设置为手动调节，定位不够精确，同时仅仅通过移动装置所增大的测量范围有限，探头所测量的区域仅限于一个圆柱体侧表面的范围。同时在加入多个探头进行多角度测量的装置中，针对磁通密度大的区域需要多个探头进行收缩集中测量，针对磁通密度小且范围大的区域需要多个探头进行扩张测量，但是现有的具备多个探头的装置中，对于多个探头测量的重叠范围不能进行调整，容易出现测量范围重叠较多或者出现测量死角的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种高精度磁场测量设备，能够自由调整探头的位置，提高测量的全面精准度，以解决现有的磁场测量设备测量不够全面精准的问题。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种高精度磁场测量设备，包括若干用于磁场测量的探头以及用于带动探头移动的移动装置，所述探头连接有探头调节机构，所述移动装置包括用于横向驱动的X轴移动机构、用于纵向驱动的Y轴移动机构、用于旋转调整的旋转机构、用于上下驱动的Z轴移动机构以及用于固定探头的安装机构；

所述探头调节机构包括上下角度调节组件以及与上下角度调节组件相连接的测量范围调节组件；

所述上下角度调节组件包括与安装机构相连接的安装板，所述安装板远离安装机构的一侧设置有第一安装壳，所述第一安装壳上设置有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出轴伸入第一安装壳内连接有主动齿轮，所述主动齿轮啮合有从动齿轮，所述从动齿轮远离安装板的一侧固定有伸出第一安装壳外部的调节杆，所述主动齿轮的中间连接有第二角度传感器；

所述测量范围调节组件包括与调节杆相连接的第二安装壳，所述第二安装壳内部靠近调节杆的一侧设置有第四伺服电机，所述第四伺服电机的输出轴连接有位于第二安装壳中心位置的第二螺杆，所述第二螺杆螺纹连接有第二螺母座，所述第二螺母座外表面等距铰接有若干连杆，所述连杆内部开设有调节槽，所述第二安装壳内固定有限位杆，所述限位杆的一端固定有与调节槽滑动连接的限位滑块；

所述第二安装壳远离调节杆的一侧中间位置固定有一水平设置的探头，若干连杆远离第二螺母座的一端分别连接有一个探头。

进一步地，所述X轴移动机构包括设置在移动装置底部的X轴基座，所述X轴基座顶部中间设置有第一直线导轨，所述第一直线导轨上匹配有用于横向移动动力输出的第一直线电机，所述X轴基座顶部与第一直线导轨平行的两侧分别设置有一个第一滑轨，所述第一滑轨上匹配有第一滑座，所述X轴基座顶部的一端设置有用于检测Y轴移动机构的位移量的第一位移传感器。

进一步地，所述Y轴移动机构包括与第一滑座和第一直线电机相连接的第一连接座，所述第一连接座底部设置有与第一位移传感器相匹配的第一检测座，所述第一连接座顶部固定有Y轴基座，所述Y轴基座顶部中间设置有第二直线导轨，所述第二直线导轨上匹配有用于纵向移动动力输出的第二直线电机，所述Y轴基座顶部与第二直线导轨平行的两侧分别设置有一个第二滑轨，所述第二滑轨上匹配有第二滑座，所述Y轴基座顶部的一端设置有用于检测旋转机构的位移量的第二位移传感器。

进一步地，所述旋转机构包括与第二滑座和第二直线电机相连接的第二连接座，所述第二连接座底部设置有与第二位移传感器相匹配的第二检测座，所述第二连接座顶部设置有旋转基座，所述旋转基座一侧设置有蜗杆固定座，所述蜗杆固定座内部设置有蜗杆，所述蜗杆固定座一侧设置有与蜗杆相连接的连接轴，所述连接轴远离蜗杆的一端连接有第一伺服电机，所述旋转基座内部中间固定有第一角度传感器，所述第一角度传感器转动连接有与蜗杆相啮合的蜗轮，所述蜗轮顶部连接有转盘。

进一步地，所述Z轴移动机构包括与转盘相连接的第三连接座，所述第三连接座顶部固定有竖直设置的Z轴基座，所述Z轴基座顶部设置有用于上下移动动力输出的第二伺服电机，所述第二伺服电机底部连接有伸入Z轴基座内部的第一螺杆，所述第一螺杆上匹配有第一螺母座，所述Z轴基座的一端设置有用于检测安装机构的位移量的第三位移传感器，所述Z轴基座与第一螺杆平行的两侧分别设置有一个第三滑轨，所述第三滑轨上匹配有第三滑座。

进一步地，所述安装机构包括与第三滑座和第一螺母座相连接的移动座，所述移动座远离第三滑座的一侧连接有用于探头安装的安装座，所述移动座和安装座连接一侧的中间滑动连接有挡板，所述挡板的上下两端分别与Z轴基座相固定。

进一步地，所述X轴基座一侧设置有第一拖链，所述第一拖链一端固定在X轴基座上，另一端与第一滑座相连接，所述Y轴基座的一侧设置有第二拖链，所述第二拖链一端固定在Y轴基座上，另一端与第二滑座相连接。

进一步地，所述X轴基座顶部的两端分别设置有一个第一位移传感器，所述Y轴基座顶部的两端分别设置有一个第二位移传感器，所述Z轴基座的上下两端分别设置有一个第三位移传感器。

进一步地，所述X轴基座、Y轴基座、Z轴基座以及旋转基座均采用大理石材质。

进一步地，所述旋转基座顶部固定有固定环，所述固定环与转盘转动连接，所述固定环用于承托转盘。

本发明的有益效果：1.本发明通过设置X轴移动机构、Y轴移动机构以及Z轴移动机构，能够从横向、纵向以及高度上对探头的位置进行调整，通过旋转机构能够调整探头在水平面的朝向，进一步提高探头的测量范围，有助于提高磁场测量的精准全面性。

2.本发明通过探头调节机构中的上下角度调节组件能够带动探头在竖直面上进行角度调整，上下调节组件中的第三伺服电机带动主动齿轮转动，主动齿轮带动从动齿轮转动，从动齿轮带动调节杆进行竖直方向的角度转动，实现对探头的竖直面的角度调整，同时第二角度传感器能够对从动齿轮的转动角度进行检测，能够提高角度转动的精准度。

3.本发明通过探头调节机构中的测量范围调节组件能够对多个探头的测量范围进行调整，其中第四伺服电机带动第二螺杆转动能够使第二螺母座沿第二螺杆进行移动，第二螺母座移动能够通过连杆活动，连杆的调节槽与限位杆的限位滑块滑动连接，能够实现连杆绕限位滑块进行转动，连杆带动探头进行角度调整，实现若干探头以第二安装壳一侧中心位置的探头为中心进行收缩和扩张，实现测量范围的收缩和扩张，能够满足不同磁通密度的磁场测量的需求。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为移动装置的立体图；

图2为X轴移动机构的立体图；

图3为图2中A的放大图；

图4为Y轴移动机构的立体图；

图5为图4的侧视图；

图6为旋转机构的立体图；

图7为旋转机构的俯视剖面图；

图8为Z轴移动机构与安装机构连接的立体图；

图9为Z轴移动机构的立体图；

图10为探头和探头调节机构的连接结构图；

图11为图10的剖面图；

图12为图10位于探头一侧的侧视图。

图中：1-X轴移动机构、101-X轴基座、102-第一滑轨、103-第一直线导轨、104-第一位移传感器、105-第一直线电机、106-第一滑座、107-第一拖链；

2-Y轴移动机构、201-第一检测座、202-Y轴基座、203-第二滑轨、204-第二直线导轨、205-第二滑座、206-第二直线电机、207-第二位移传感器、208-第二拖链、209-第一连接座；

3-旋转机构、301-第二检测座、302-蜗杆固定座、303-第二连接座、304-第一伺服电机、305-连接轴、306-转盘、307-旋转基座、308-固定环、309-蜗杆、310-蜗轮、311-第一角度传感器；

4-Z轴移动机构、401-第二伺服电机、402-Z轴基座、403-第三滑轨、404-第三滑座、405-第一螺母座、406-螺杆固定座、407-第一螺杆、408-第三位移传感器、409-第三连接座；

5-安装机构、501-安装座、502-移动座、503-挡板；

6-移动装置；

7-探头；

8-探头调节机构、81-上下角度调节组件、8101-第一安装壳、8102-第三伺服电机、8103-安装板、8104-主动齿轮、8105-从动齿轮、8106-调节杆、8107-第二角度传感器、82-测量范围调节组件、8201-第二安装壳、8202-第四伺服电机、8203-第二螺杆、8204-第二螺母座、8205-连杆、8206-限位杆、8207-调节槽、8208-限位滑块。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例一：请参阅图1和图10，图1为移动装置的立体图；图10为探头和探头调节机构的连接结构图。

一种高精度磁场测量设备，包括若干用于磁场测量的探头7以及用于带动探头7移动的移动装置6，探头7连接有探头调节机构8，移动装置6包括用于横向驱动的X轴移动机构1、用于纵向驱动的Y轴移动机构2、用于旋转调整的旋转机构3、用于上下驱动的Z轴移动机构4以及用于固定探头7的安装机构5。

探头7采用型号为MODEL536的磁力仪，磁力仪与外界控制器电连接，磁力仪检测到的磁场信息传输给外界控制器。

X轴移动机构1位于移动装置6的最底部，顶部连接Y轴移动机构2，Y轴移动机构2顶部连接旋转机构3，旋转机构3顶部连接Z轴移动机构4，Z轴移动机构4一侧通过安装机构5连接探头7。

X轴移动机构1用于带动其顶部所有部件进行横向的移动，Y轴移动机构2用于带动其顶部的所有部件一起进行纵向的移动，旋转机构3用于带动其顶部的所有部件进行旋转调整，Z轴移动机构4用于带动安装机构5和探头7进行上下移动，实现全方位的移动调整。

请参阅图2和图3，图2为X轴移动机构的立体图；图3为图中A的放大图。

X轴移动机构1包括设置在移动装置6底部的X轴基座101，X轴基座101采用大理石材质，X轴基座101顶部中间设置有第一直线导轨103，第一直线导轨103上匹配有用于横向移动动力输出的第一直线电机105，X轴基座101顶部与第一直线导轨103平行的两侧分别设置有一个第一滑轨102，第一滑轨102上匹配有第一滑座106，X轴基座101顶部的两端分别设置有用于检测Y轴移动机构2的位移量的第一位移传感器104。

X轴基座101一侧设置有第一拖链107，第一拖链107一端固定在X轴基座101上，另一端与第一滑座106相连接，第一拖链107用于对第一直线电机105和第一位移传感器104的导线进行排布，同时移动过程中带动导线移动。

第一直线电机105采用型号为BFMA12的铁芯平板式直线电机，第一位移传感器104采用型号为optoNCDT14xx激光位移传感器。第一直线电机105和第一位移传感器104分别通过导线与外界控制器电连接。

第一直线电机105运作时能够沿第一直线导轨103移动，第一直线电机105移动带动第一连接座209移动，第一连接座209通过两个第一滑座106分别与两个第一滑轨102滑动连接，第一连接座209移动的过程中带动第一检测座201移动，第一位移传感器104通过感应第一检测座201的位移量，将位移信息传输给外界控制器，从而外界控制器能够精确控制第一直线电机105的移动停止位置。

请参阅图4和图5，图4为Y轴移动机构2的立体图；图5为图的侧视图。

Y轴移动机构2包括与第一滑座106和第一直线电机105相连接的第一连接座209，第一连接座209底部设置有与第一位移传感器104相匹配的第一检测座201，第一连接座209顶部固定有Y轴基座202，Y轴基座202采用大理石材质，Y轴基座202顶部中间设置有第二直线导轨204，第二直线导轨204上匹配有用于纵向移动动力输出的第二直线电机206，Y轴基座202顶部与第二直线导轨204平行的两侧分别设置有一个第二滑轨203，第二滑轨203上匹配有第二滑座205，Y轴基座202顶部的两端分别设置有用于检测旋转机构3的位移量的第二位移传感器207；

Y轴基座202的一侧设置有第二拖链208，第二拖链208一端固定在Y轴基座202上，另一端与第二滑座205相连接。第二拖链208用于第二直线电机206和第二位移传感器207的导线进行排布。

第二直线电机206采用型号为BFMA12的铁芯平板式直线电机，第二位移传感器207采用型号为optoNCDT14xx激光位移传感器。第二直线电机206和第二位移传感器207分别通过导线与外界控制器电连接。

第二直线电机206运作时能够沿第二直线导轨204移动，第二直线电机206移动带动第二连接座303移动，第二连接座303通过两个第二滑座205分别与两个第二滑轨203滑动连接，第二连接座303移动的过程中带动第二检测座301移动，第二位移传感器207通过感应第二检测座301的位移量，将位移信息传输给外界控制器，从而外界控制器能够精确控制第二直线电机206的移动停止位置。

请参阅图6和图7，图6为旋转机构的立体图；图7为旋转机构的俯视剖面图。

旋转机构3包括与第二滑座205和第二直线电机206相连接的第二连接座303，第二连接座303底部设置有与第二位移传感器207相匹配的第二检测座301，第二连接座303顶部设置有旋转基座307，旋转基座307采用大理石材质，旋转基座307一侧设置有蜗杆固定座302，蜗杆固定座302内部设置有蜗杆309，蜗杆固定座302一侧设置有与蜗杆309相连接的连接轴305，连接轴305远离蜗杆309的一端连接有第一伺服电机304，旋转基座307内部中间固定有第一角度传感器311，第一角度传感器311转动连接有与蜗杆309相啮合的蜗轮310，蜗轮310顶部连接有转盘306。

旋转基座307顶部固定有固定环308，固定环308与转盘306转动连接，固定环308用于承托转盘306。

第一伺服电机304采用型号为42JSF330AS-1000的直流无刷电机，第一角度传感器311采用型号为HW228B高精度无触点角度传感器。第一伺服电机304和第一角度传感器311分别通过导线与外界控制器电连接。

第一伺服电机304运作时能够对转盘306进行转动调整，第一伺服电机304运作的过程中，第一伺服电机304通过连接轴305带动蜗杆309转动，蜗杆309带动蜗轮310转动，蜗轮310转动带动转盘306转动，转盘306转动能够带动顶部的Z轴移动机构4、安装机构5以及探头7进行转动调整，蜗轮310转动时第一角度传感器311能够检测到蜗轮310的转动量，将转动量信息传输给外界控制器分析处理后，外界控制器能够控制第一伺服电机304在指定位置停止运作，方便控制转盘306的角度。

请参阅图8和图9，图8为Z轴移动机构与安装机构连接的立体图；图9为Z轴移动机构的立体图。

Z轴移动机构4包括与转盘306相连接的第三连接座409，第三连接座409顶部固定有竖直设置的Z轴基座402，Z轴基座402采用大理石材质，Z轴基座402顶部设置有用于上下移动动力输出的第二伺服电机401，第二伺服电机401底部连接有伸入Z轴基座402内部的第一螺杆407，第一螺杆407上匹配有第一螺母座405，Z轴基座402的两端分别设置有用于检测安装机构5的位移量的第三位移传感器408，Z轴基座402与第一螺杆407平行的两侧分别设置有一个第三滑轨403，第三滑轨403上匹配有第三滑座404。

第一螺杆407的上下两端分别匹配有一个螺杆固定座406，螺杆固定座406能够提高第一螺杆407转动时的稳定性。

第二伺服电机401选用型号为42JSF330AS-1000的直流无刷电机，第三位移传感器408采用型号为optoNCDT14xx激光位移传感器。第二伺服电机401和第三位移传感器408分别通过导线与外界控制器电连接。

第二伺服电机401在运作时带动第一螺杆407转动，通过控制第二伺服电机401带动第一螺杆407正反转，能够使第一螺母座405沿第一螺杆407进行上下移动，第一螺母座405选用滚珠第一螺母座405，第一螺母座405移动带动移动座502进行上下移动，移动座502通过第三滑座404与第三滑轨403进行滑动连接，实现移动座502沿Z轴基座402进行上下稳定的移动。

请参阅图9，图9为Z轴移动机构与安装机构连接的立体图。

安装机构5固定于第三滑座404的一侧。安装机构5包括与第三滑座404和第一螺母座405相连接的移动座502，移动座502靠近第三滑座404的一侧设置有与第三位移传感器408相匹配的第三检测座，移动座502远离第三滑座404的一侧连接有用于探头7安装的安装座501。移动座502和安装座501连接一侧的中间滑动连接有挡板503，挡板503的上下两端分别与Z轴基座402相固定。

移动座502移动的过程中带动安装座501移动，移动座502和安装座501可沿挡板503进行上下滑动连接，进一步提高移动时的稳定性。

请参阅图10-图12，图10为探头和探头调节机构的连接结构图；图11为图10的剖面图；图12为图10位于探头一侧的侧视图。

探头调节机构8包括上下角度调节组件81以及与上下角度调节组件81相连接的测量范围调节组件82。

上下角度调节组件81包括与安装机构5相连接的安装板8103，安装板8103远离安装机构5的一侧设置有第一安装壳8101，第一安装壳8101上设置有第三伺服电机8102，第三伺服电机8102的输出轴伸入第一安装壳8101内连接有主动齿轮8104，主动齿轮8104啮合有从动齿轮8105，从动齿轮8105远离安装板8103的一侧固定有伸出第一安装壳8101外部的调节杆8106，第一安装壳8101与调节杆8106对应的上下两侧分别开设有用于调节杆8106活动的槽口，主动齿轮8104的中间连接有第二角度传感器8107。

第三伺服电机8102选用型号为60ZFMA1-0D40DB小型交流伺服电机，第二角度传感器8107选用型号为HW228B高精度无触点角度传感器。第三伺服电机8102和第二角度传感器8107通过导线与外界控制器电连接。

第三伺服电机8102运作时通过输出轴带动主动齿轮8104转动，主动齿轮8104转动带动从动齿轮8105转动，从动齿轮8105转动能带动调节杆8106进行角度调整，从动齿轮8105转动过程中第二角度传感器8107能够检测到其转动量，通过导线将转动量信息传输给外界控制器，外界控制器能够及时控制第三伺服电机8102停止运作，方便角度的定位精准。

测量范围调节组件82包括与调节杆8106相连接的第二安装壳8201，第二安装壳8201内部靠近调节杆8106的一侧设置有第四伺服电机8202，第四伺服电机8202的输出轴连接有位于第二安装壳8201中心位置的第二螺杆8203，第二螺杆8203螺纹连接有第二螺母座8204，第二螺母座8204外表面等距铰接有若干连杆8205，连杆8205内部开设有调节槽8207，第二安装壳8201内固定有限位杆8206，限位杆8206的一端固定有与调节槽8207滑动连接的限位滑块8208。

第四伺服电机8202选用型号为60ZFMA1-0D40DB小型交流伺服电机，第四伺服电机8202通过导线与外界控制器电连接。

第四伺服电机8202运作时带动第二螺杆8203转动，第二螺杆8203转动时能够使第二螺母座8204沿其移动，第二螺母座8204移动带动连杆8205活动，连杆8205通过调节槽8207与限位杆8206的限位滑块8208滑动连接，能够调整连杆8205的角度，连杆8205带动探头7进行角度调整。

第二安装壳8201远离调节杆8106的一侧中间位置固定有一水平设置的探头7，若干连杆8205远离第二螺母座8204的一端分别连接有一个探头7。第二安装壳8201对应连杆8205上安装的探头7活动的位置分别开设有通槽，其中探头7和连杆8205的数量优选为三个，安装在连杆8205上的探头7能够通过连杆8205的角度调整沿中心的探头7进行收缩和扩张运作，从而实现探头7测量范围的缩小和扩大。

工作原理：在探头7进行磁场检测时，通过X轴移动机构1的第一直线电机105的移动，能够带动顶部的部件进行横向移动，通过Y轴移动机构2的第二直线电机206的移动，能够带动顶部的部件进行纵向的移动，通过旋转机构3能够调整顶部的部件的朝向，通过Z轴移动机构4的第二伺服电机401的运作，能够带动一侧的安装机构5和探头7进行上下移动，实现对探头7的位置进行全方位的移动调整，有助于提高探头7磁场检测的精准全面性。

上下角度调节组件81中的第三伺服电机8102运作时，能通过调节杆8106带动范围调节组件和探头7一起进行上下转动，能够提高探头7进行多个角度的检测，同时测量范围调节组件82的第四伺服电机8202运作时能够通过连杆8205带动探头7进行收缩和扩张运作，实现对测量范围的缩小和扩大，方便调整探头7的测量范围。

最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种高精度磁场测量设备，包括若干用于磁场测量的探头(7)以及用于带动探头(7)移动的移动装置(6)，其特征在于：所述探头(7)连接有探头调节机构(8)，所述移动装置(6)包括用于横向驱动的X轴移动机构(1)、用于纵向驱动的Y轴移动机构(2)、用于旋转调整的旋转机构(3)、用于上下驱动的Z轴移动机构(4)以及用于固定探头(7)的安装机构(5)；

所述探头调节机构(8)包括上下角度调节组件(81)以及与上下角度调节组件(81)相连接的测量范围调节组件(82)；

所述上下角度调节组件(81)包括与安装机构(5)相连接的安装板(8103)，所述安装板(8103)远离安装机构(5)的一侧设置有第一安装壳(8101)，所述第一安装壳(8101)上设置有第三伺服电机(8102)，所述第三伺服电机(8102)的输出轴伸入第一安装壳(8101)内连接有主动齿轮(8104)，所述主动齿轮(8104)啮合有从动齿轮(8105)，所述从动齿轮(8105)远离安装板(8103)的一侧固定有伸出第一安装壳(8101)外部的调节杆(8106)，所述主动齿轮(8104)的中间连接有第二角度传感器(8107)；

所述测量范围调节组件(82)包括与调节杆(8106)相连接的第二安装壳(8201)，所述第二安装壳(8201)内部靠近调节杆(8106)的一侧设置有第四伺服电机(8202)，所述第四伺服电机(8202)的输出轴连接有位于第二安装壳(8201)中心位置的第二螺杆(8203)，所述第二螺杆(8203)螺纹连接有第二螺母座(8204)，所述第二螺母座(8204)外表面等距铰接有若干连杆(8205)，所述连杆(8205)内部开设有调节槽(8207)，所述第二安装壳(8201)内固定有限位杆(8206)，所述限位杆(8206)的一端固定有与调节槽(8207)滑动连接的限位滑块(8208)；

所述第二安装壳(8201)远离调节杆(8106)的一侧中间位置固定有一水平设置的探头(7)，若干连杆(8205)远离第二螺母座(8204)的一端分别连接有一个探头(7)，所述连杆(8205)通过调节槽(8207)与限位杆(8206)的限位滑块(8208)滑动连接，安装在所述连杆(8205)上的探头(7)通过连杆(8205)的角度调整沿中心的探头(7)进行收缩和扩张做适应性修改。

2.根据权利要求1所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述X轴移动机构(1)包括设置在移动装置(6)底部的X轴基座(101)，所述X轴基座(101)顶部中间设置有第一直线导轨(103)，所述第一直线导轨(103)上匹配有用于横向移动动力输出的第一直线电机(105)，所述X轴基座(101)顶部与第一直线导轨(103)平行的两侧分别设置有一个第一滑轨(102)，所述第一滑轨(102)上匹配有第一滑座(106)，所述X轴基座(101)顶部的一端设置有用于检测Y轴移动机构(2)的位移量的第一位移传感器(104)。

3.根据权利要求2所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述Y轴移动机构(2)包括与第一滑座(106)和第一直线电机(105)相连接的第一连接座(209)，所述第一连接座(209)底部设置有与第一位移传感器(104)相匹配的第一检测座(201)，所述第一连接座(209)顶部固定有Y轴基座(202)，所述Y轴基座(202)顶部中间设置有第二直线导轨(204)，所述第二直线导轨(204)上匹配有用于纵向移动动力输出的第二直线电机(206)，所述Y轴基座(202)顶部与第二直线导轨(204)平行的两侧分别设置有一个第二滑轨(203)，所述第二滑轨(203)上匹配有第二滑座(205)，所述Y轴基座(202)顶部的一端设置有用于检测旋转机构(3)的位移量的第二位移传感器(207)。

4.根据权利要求3所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述旋转机构(3)包括与第二滑座(205)和第二直线电机(206)相连接的第二连接座(303)，所述第二连接座(303)底部设置有与第二位移传感器(207)相匹配的第二检测座(301)，所述第二连接座(303)顶部设置有旋转基座(307)，所述旋转基座(307)一侧设置有蜗杆固定座(302)，所述蜗杆固定座(302)内部设置有蜗杆(309)，所述蜗杆固定座(302)一侧设置有与蜗杆(309)相连接的连接轴(305)，所述连接轴(305)远离蜗杆(309)的一端连接有第一伺服电机(304)，所述旋转基座(307)内部中间固定有第一角度传感器(311)，所述第一角度传感器(311)转动连接有与蜗杆(309)相啮合的蜗轮(310)，所述蜗轮(310)顶部连接有转盘(306)。

5.根据权利要求4所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述Z轴移动机构(4)包括与转盘(306)相连接的第三连接座(409)，所述第三连接座(409)顶部固定有竖直设置的Z轴基座(402)，所述Z轴基座(402)顶部设置有用于上下移动动力输出的第二伺服电机(401)，所述第二伺服电机(401)底部连接有伸入Z轴基座(402)内部的第一螺杆(407)，所述第一螺杆(407)上匹配有第一螺母座(405)，所述Z轴基座(402)的一端设置有用于检测安装机构(5)的位移量的第三位移传感器(408)，所述Z轴基座(402)与第一螺杆(407)平行的两侧分别设置有一个第三滑轨(403)，所述第三滑轨(403)上匹配有第三滑座(404)。

6.根据权利要求5所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述安装机构(5)包括与第三滑座(404)和第一螺母座(405)相连接的移动座(502)，所述移动座(502)远离第三滑座(404)的一侧连接有用于探头(7)安装的安装座(501)，所述移动座(502)和安装座(501)连接一侧的中间滑动连接有挡板(503)，所述挡板(503)的上下两端分别与Z轴基座(402)相固定。

7.根据权利要求6所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述X轴基座(101)一侧设置有第一拖链(107)，所述第一拖链(107)一端固定在X轴基座(101)上，另一端与第一滑座(106)相连接，所述Y轴基座(202)的一侧设置有第二拖链(208)，所述第二拖链(208)一端固定在Y轴基座(202)上，另一端与第二滑座(205)相连接。

8.根据权利要求7所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述X轴基座(101)顶部的两端分别设置有一个第一位移传感器(104)，所述Y轴基座(202)顶部的两端分别设置有一个第二位移传感器(207)，所述Z轴基座(402)的上下两端分别设置有一个第三位移传感器(408)。

9.根据权利要求8所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述X轴基座(101)、Y轴基座(202)、Z轴基座(402)以及旋转基座(307)均采用大理石材质。

10.根据权利要求4所述的一种高精度磁场测量设备，其特征在于：所述旋转基座(307)顶部固定有固定环(308)，所述固定环(308)与转盘(306)转动连接，所述固定环(308)用于承托转盘(306)。

Images