CN112240755B - 一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其包括机箱底座、外设机壳、左装夹件、右装夹件、平行光照射组件以及光感装置，所述机箱底座的上端面右侧垂直固定有右装夹件，所述机箱底座的上端面左侧垂直固定有左装夹件，所述左装夹件将高精度高表面底板左侧沿竖直方向进行上下调节；所述右装夹件将高精度高表面底板右侧沿水平方向进行左右调节，所述暂存腔室内部下侧安装有平行光照射组件，所述平行光照射组件提供多数汇焦平行光线，并倾斜直射于高精度高表面底板的表面；所述机箱底座内靠近所述右装夹件的一侧竖直安装有光感装置。

Description

一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台

技术领域

本发明涉及高精度底板检测设备技术领域，具体为一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台。

背景技术

工件板材的表面制造精度对零件的涂装性能、导热性和接触电阻、反射能力和辐射性能、液体和气体流动的阻力、导体表面电流的流通等都会有不同程度的影响，因此成为了重点关注的指标之一。而尤其对于高精度高表面底板的检测目前最常用为触针式检测方式，其中为确保结果的准确性，用于实验室大批量生产检验的粗糙度设备多采用接触式触针探头，但因试样不固定以及存在高度差，造成测量头触针与试样间存在滑动、接触不良等问题，影响检测结果的准确性，且，在接触测量中易对试样产生磨痕刮伤，影响材料测量质量，因此有必要提出一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，以解决上述问题。

发明内容

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其包括机箱底座、外设机壳、左装夹件、右装夹件、平行光照射组件以及光感装置，其中，所述机箱底座的内部中侧开始设有用于容纳高精度高表面底板的暂存腔室，所述机箱底座的上端面安装有外设机壳，所述机箱底座的上端面右侧垂直固定有右装夹件，所述右装夹件对高精度高表面底板的右端边沿位置进行定位装夹；

所述机箱底座的上端面左侧垂直固定有左装夹件，所述左装夹件对高精度高表面底板的左端边沿位置进行定位装夹，且，所述左装夹件与所述右装夹件分别独立运作，并相互配合对高精度高表面底板两侧进行限位固定，所述左装夹件将高精度高表面底板左侧沿竖直方向进行上下调节；所述右装夹件将高精度高表面底板右侧沿水平方向进行左右调节，使得高精度高表面底板在暂存腔室内呈现空间旋转调节状态；

所述暂存腔室内部下侧安装有平行光照射组件，所述平行光照射组件提供多数汇焦平行光线，并倾斜直射于高精度高表面底板的表面；

所述机箱底座内靠近所述右装夹件的一侧竖直安装有光感装置，所述光感装置对高精度高表面底板表面反射的局部光线进行测量感应，并将感应数据及时输送至外设数据处理装置进行处理。

作为本发明的一种优选技术方案，所述左装夹件包括主支撑件、连接件、滑动导轨、传动链板、驱动轮座、主安装座一以及夹持装置一，其中，所述机箱底座的上端面竖直固定有主支撑件，所述主支撑件上通过横向设置的连接件与所述滑动导轨相固定，所述滑动导轨的一端竖直伸入所述机箱底座的暂存腔室内；

所述滑动导轨上相对上下滑动的设置有驱动轮座，所述驱动轮座通过设置在其内部的多个驱动轮齿与所述滑动导轨啮合传动，所述滑动导轨上还平行设置有传动链板，所述传动链板的一端与所述驱动轮座连接固定，并辅助所述驱动轮座进行限位滑移；

所述驱动轮座远离所述主支撑件的一端固定有主安装座一，所述主安装座一内相对转动的设置有转轴件一，所述转轴件一上固定有夹持装置一，并由所述夹持装置一对高精度高表面底板的侧面边沿进行局部夹护。

作为本发明的一种优选技术方案，所述右装夹件包括连接支柱、中心螺杆、外固定架、旋转电机、主安装座二以及夹持装置二，其中，所述机箱底座的上端面右侧水平固定有外固定架，所述外固定架内两侧均采用轴承相对转动的设置有中心螺杆，所述外固定架上相对左右滑动的竖直设置有连接支柱，所述连接支柱的下端通过螺纹啮合作用与所述中心螺杆啮合传动，所述机箱底座的上端面安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端与所述中心螺杆连接固定，并驱动所述中心螺杆作定向圆周旋转运动；

所述连接支柱的上端固定有主安装座二，所述主安装座二内通过转轴件二相对转动的设置有夹持装置二。

作为本发明的一种优选技术方案，所述夹持装置一与所述夹持装置二的内部组成结构相同，其中，所述夹持装置一包括固定导套、轴芯套件、滑动支杆、连接弹簧、导向轮、侧顶压件、柔性夹板以及伸缩气缸，所述固定导套内同轴相对水平滑动的设置有轴芯套件，所述轴芯套件上呈上下对称滑动设置有滑动支杆，所述滑动支杆伸出所述轴芯套件的一端安装有导向轮；

所述固定导套的套口横截面侧壁为弧形结构，使得当所述导向轮沿所述弧形结构进行滑移时，其定向推动所述滑动支杆对内收缩；所述滑动支杆远离导向轮的一端安装有柔性夹板，并由所述柔性夹板对高精度高表面底板的边沿上下端面位置进行定位装夹；所述滑动支杆伸出所述轴芯套件的一侧外套设有连接弹簧，使得所述滑动支杆在弹簧弹力作用下呈局部伸出状态；

所述固定导套内同轴固定有伸缩气缸，所述伸缩气缸的输出端与所述轴芯套件连接固定，并驱动所述轴芯套件沿所述固定导套滑动；

所述轴芯套件内还设置有侧顶压件，所述侧顶压件对高精度高表面底板的边沿进行对外弹性顶压。

作为本发明的一种优选技术方案，所述侧顶压件还包括连接架、复位弹簧以及弧形垫层，所述连接架上呈上下对称设置有弧形垫层，该弧形垫层内叠设有多个不同塑性材质的复合层板，且所述弧形垫层内还充设有弹性球件；

所述弧形垫层与所述连接架之间平行设有多个复位弹簧。

作为本发明的一种优选技术方案，所述平行光照射组件包括安装导件、弧形轨件、平行光组、调节座、基座以及内置轴子，其中，所述机箱底座的内部两侧对称设有安装导件，所述弧形轨件的两端分别通过安装导件与所述机箱底座连接固定；

所述弧形轨件的横截面呈下凸式结构，且该弧形轨件上相对滑动的设置有基座，所述基座上垂直安装有平行光组，并由所述基座沿弧形轨件的左右滑移对平行光组的垂直面倾角进行局部调整；

所述平行光组的下端面固定有调节座，所述调节座与所述基座转动连接，且所述调节座与基座之间设置有多个内置轴子。

作为本发明的一种优选技术方案，所述基座的外表面设有弧形刻度标。

作为本发明的一种优选技术方案，所述光感装置包括机体、固定载板、光源接收头、支撑件以及可调伸缩杆，其中，所述机体内竖直安装有固定载板，所述固定载板上均匀排设有多个光源接收头，各所述光源接收头对外射光线定点接收；

所述固定载板远离所述光源接收头的一侧通过支撑件与所述机体转动连接；所述固定载板同侧上下对称设置有可调伸缩杆，所述可调伸缩杆的一端与机体连接固定，并通过其伸缩作用对固定载板的垂直面接收夹角进行调节。

与现有技术相比，本发明提供了一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，具备以下有益效果：

本发明中，通过将高精度高表面底板由左装夹件与右装夹件进行装夹，实现非接触式检测；此中，对于高精度高表面底板的检测尤其对于其表面的具体加工精度，通过平行光照射组件对其加工表面进行光线直射，并经由光感装置对高精度高表面底板表面反射的局部光线进行单位面域的定点测量感应，从而达到加工面精度以及粗糙度检测，且，该高精度高表面底板通过左装夹件沿竖直方向进行上下调节，由右装夹件沿水平方向进行左右调节，使得其在空间立体中呈现局部倾斜状态，此中根据高精度高表面底板的加工材质以及其光线穿透性对底板装夹的垂直面倾角作具体调整，且在夹持中还设置有侧顶压件对底板侧面边沿进行顶护作用，提高检测防护。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明中左装夹件的结构示意图；

图3为本发明中右装夹件的结构示意图；

图4为本发明中夹持装置一的结构示意图；

图5为图4中A处放大示意图；

图6为本发明中平行光照射组件的结构示意图；

图7为本发明中光感装置的结构示意图；

图中：1机箱底座、101外设机壳、2左装夹件、201主支撑件、202连接件、203滑动导轨、204传动链板、205驱动轮座、206主安装座一、207转轴件一、3右装夹件、301连接支柱、302外固定架、303中心螺杆、304旋转电机、305主安装座二、306转轴件二、4光感装置、401机体、402固定载板、403光源接收头、404支撑件、405可调伸缩杆、5平行光照射组件、501安装导件、502弧形轨件、503基座、504调节座、505内置轴子、506平行光组、6夹持装置一、601固定导套、602轴芯套件、603导向轮、604滑动支杆、605柔性夹板、606连接弹簧、607伸缩气缸、7夹持装置二、8侧顶压件、801连接架、802弧形垫层、803复位弹簧。

具体实施方式

参照图1，本发明提供一种技术方案：一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其包括机箱底座1、外设机壳101、左装夹件2、右装夹件3、平行光照射组件5以及光感装置4，其中，所述机箱底座1的内部中侧开始设有用于容纳高精度高表面底板的暂存腔室，所述机箱底座1的上端面安装有外设机壳101，所述机箱底座1的上端面右侧垂直固定有右装夹件3，所述右装夹件3对高精度高表面底板的右端边沿位置进行定位装夹；

所述机箱底座1的上端面左侧垂直固定有左装夹件2，所述左装夹件2对高精度高表面底板的左端边沿位置进行定位装夹，且，所述左装夹件2与所述右装夹件3分别独立运作，并相互配合对高精度高表面底板两侧进行限位固定，所述左装夹件2将高精度高表面底板左侧沿竖直方向进行上下调节；所述右装夹件3将高精度高表面底板右侧沿水平方向进行左右调节，使得高精度高表面底板在暂存腔室内呈现空间旋转调节状态；

所述暂存腔室内部下侧安装有平行光照射组件5，所述平行光照射组件5提供多数汇焦平行光线，并倾斜直射于高精度高表面底板的表面；

所述机箱底座1内靠近所述右装夹件的一侧竖直安装有光感装置4，所述光感装置4对高精度高表面底板表面反射的局部光线进行测量感应，并将感应数据及时输送至外设数据处理装置（图中未示出）进行处理，此中，需要注意的是，对于左装夹件与右装夹件之间的有效夹持间距需保持在底板长度范围内，也就是说在左装夹件作相对上下调节的同时右装夹件与之同时作水平调节，以保持底板的夹持稳定性。

参照图2，本实施例中，所述左装夹件2包括主支撑件201、连接件202、滑动导轨203、传动链板204、驱动轮座205、主安装座一206以及夹持装置一6，其中，所述机箱底座1的上端面竖直固定有主支撑件201，所述主支撑件201上通过横向设置的连接件202与所述滑动导轨203相固定，所述滑动导轨203的一端竖直伸入所述机箱底座1的暂存腔室内；

所述滑动导轨203上相对上下滑动的设置有驱动轮座205，所述驱动轮座205通过设置在其内部的多个驱动轮齿与所述滑动导轨203啮合传动，所述滑动导轨203上还平行设置有传动链板204，所述传动链板204的一端与所述驱动轮座205连接固定，并辅助所述驱动轮座205进行限位滑移；

所述驱动轮座205远离所述主支撑件201的一端固定有主安装座一206，所述主安装座一206内相对转动的设置有转轴件一207，所述转轴件一207上固定有夹持装置一6，并由所述夹持装置一6对高精度高表面底板的侧面边沿进行局部夹护。

参照图3，本实施例中，所述右装夹件3包括连接支柱301、中心螺杆303、外固定架302、旋转电机304、主安装座二305以及夹持装置二7，其中，所述机箱底座1的上端面右侧水平固定有外固定架302，所述外固定架302内两侧均采用轴承相对转动的设置有中心螺杆303，所述外固定架302上相对左右滑动的竖直设置有连接支柱301，所述连接支柱301的下端通过螺纹啮合作用与所述中心螺杆303啮合传动，所述机箱底座1的上端面安装有旋转电机304，所述旋转电机304的输出端与所述中心螺杆303连接固定，并驱动所述中心螺杆303作定向圆周旋转运动；

所述连接支柱301的上端固定有主安装座二305，所述主安装座二305内通过转轴件二306相对转动的设置有夹持装置二7，此中需要注意的是，在初步确定右装夹件与左装夹件之间的夹持间距后，右装夹件与左装夹件对高精度高表面底板的空间方位的有效装夹转角范围应控制在0°至60°之间，此时，平行光照射组件的内部光线方能在其反射的有效范围内进行定点直射工作，以便于光感装置对其平面反射光线进行测量感知。

参照图4，本实施例中，所述夹持装置一6与所述夹持装置二7的内部组成结构相同，其中，所述夹持装置一6包括固定导套601、轴芯套件602、滑动支杆604、连接弹簧606、导向轮603、侧顶压件8、柔性夹板605以及伸缩气缸607，所述固定导套601内同轴相对水平滑动的设置有轴芯套件602，所述轴芯套件602上呈上下对称滑动设置有滑动支杆604，所述滑动支杆604伸出所述轴芯套件602的一端安装有导向轮603；

所述固定导套601的套口横截面侧壁为弧形结构，使得当所述导向轮603沿所述弧形结构进行滑移时，其定向推动所述滑动支杆604对内收缩；所述滑动支杆604远离导向轮603的一端安装有柔性夹板605，并由所述柔性夹板605对高精度高表面底板的边沿上下端面位置进行定位装夹；所述滑动支杆604伸出所述轴芯套件602的一侧外套设有连接弹簧606，使得所述滑动支杆604在弹簧弹力作用下呈局部伸出状态；

所述固定导套601内同轴固定有伸缩气缸607，所述伸缩气缸607的输出端与所述轴芯套件602连接固定，并驱动所述轴芯套件602沿所述固定导套601滑动；

所述轴芯套件602内还设置有侧顶压件8，所述侧顶压件8对高精度高表面底板的边沿进行对外弹性顶压，此中对于底板的装夹，在不影响正常表面检测的情况下，由柔性夹板对其靠近边沿处的上下两侧进行对应固定，再由侧顶压件辅助顶压，以保证底板装夹稳定性和牢固性。

参照图5，本实施例中，所述侧顶压件8还包括连接架801、复位弹簧803以及弧形垫层802，所述连接架801上呈上下对称设置有弧形垫层802，该弧形垫层802内叠设有多个不同塑性材质的复合层板，且所述弧形垫层802内还充设有弹性球件；

所述弧形垫层802与所述连接架801之间平行设有多个复位弹簧803。

参照图6，本实施例中，所述平行光照射组件5包括安装导件501、弧形轨件502、平行光组506、调节座504、基座503以及内置轴子505，其中，所述机箱底座1的内部两侧对称设有安装导件501，所述弧形轨件502的两端分别通过安装导件501与所述机箱底座1连接固定；

所述弧形轨件502的横截面呈下凸式结构，且该弧形轨件502上相对滑动的设置有基座503，所述基座503上垂直安装有平行光组506，并由所述基座503沿弧形轨件502的左右滑移对平行光组506的垂直面倾角进行局部调整；

所述平行光组506的下端面固定有调节座504，所述调节座504与所述基座503转动连接，且所述调节座504与基座503之间设置有多个内置轴子505。

本实施例中，所述基座503的外表面设有弧形刻度标，能够实现对调节座的精调，进一步提高测量准确性。

参照图7，本实施例中，所述光感装置4包括机体401、固定载板402、光源接收头403、支撑件404以及可调伸缩杆405，其中，所述机体401内竖直安装有固定载板402，所述固定载板402上均匀排设有多个光源接收头403，各所述光源接收头403对外射光线定点接收；

所述固定载板402远离所述光源接收头403的一侧通过支撑件404与所述机体401转动连接；所述固定载板402同侧上下对称设置有可调伸缩杆405，所述可调伸缩杆405的一端与机体401连接固定，并通过其伸缩作用对固定载板402的垂直面接收夹角进行调节，方便对反射的多角度光线进行感应检测。

具体地，在对高精度高表面底板进行非接触检测中，该高精度高表面底板的左右两侧分别通过左装夹件与右装夹件进行锁紧固定，使得其在初始状态下保持水平呈放，根据具体底板材质以及光线穿透性对底板装夹的垂直面倾角作具体调整（多数底板材质的正常倾斜角度范围一般在25°至60°之间），由平行光照射组件对其提供高强度光线直射，此中，可通过基座与调节座对平行光组作精调，以便于其反射光线强度能达到被所述光感装置感应检测的效果；且，在光感装置中，还可通过可调伸缩杆对其固定载板进行局部调整，使得其底板反射光线能被光源接收头垂直接收，以提高检测准确性。

以上所述，仅为发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其包括机箱底座(1)、外设机壳(101)、左装夹件(2)、右装夹件(3)、平行光照射组件(5)以及光感装置(4)，其中，所述机箱底座(1)的内部中侧设有用于容纳高精度高表面底板的暂存腔室，所述机箱底座(1)的上端面安装有外设机壳(101)，其特征在于：所述机箱底座(1)的上端面右侧垂直固定有右装夹件(3)，所述右装夹件(3)对高精度高表面底板的右端边沿位置进行定位装夹；

所述机箱底座(1)的上端面左侧垂直固定有左装夹件(2)，所述左装夹件(2)对高精度高表面底板的左端边沿位置进行定位装夹，且所述左装夹件(2)与所述右装夹件(3)分别独立运作，并相互配合对高精度高表面底板两侧进行限位固定，所述左装夹件(2)将高精度高表面底板左侧沿竖直方向进行上下调节；所述右装夹件(3)将高精度高表面底板右侧沿水平方向进行左右调节，使得高精度高表面底板在暂存腔室内呈现空间旋转调节状态；

所述暂存腔室内部下侧安装有平行光照射组件(5)，所述平行光照射组件(5)提供多束汇焦平行光线，并倾斜直射于高精度高表面底板的表面；

所述机箱底座(1)内靠近所述右装夹件的一侧竖直安装有光感装置(4)，所述光感装置(4)对高精度高表面底板表面反射的局部光线进行测量感应，并将感应数据及时输送至外设数据处理装置进行处理；

所述光感装置(4)包括机体(401)、固定载板(402)、光源接收头(403)、支撑件(404)以及可调伸缩杆(405)，其中，所述机体(401)内竖直安装有固定载板(402)，所述固定载板(402)上均匀排设有多个光源接收头(403)，各所述光源接收头(403)对外射光线定点接收；

所述固定载板(402)远离所述光源接收头(403)的一侧通过支撑件(404)与所述机体(401)转动连接；所述固定载板(402)同侧上下对称设置有可调伸缩杆(405)，所述可调伸缩杆(405)的一端与机体(401)连接固定，并通过其伸缩作用对固定载板(402)的垂直面接收夹角进行调节。

2.根据权利要求1所述的一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其特征在于：所述左装夹件(2)包括主支撑件(201)、连接件(202)、滑动导轨(203)、传动链板(204)、驱动轮座(205)、主安装座一(206)以及夹持装置一(6)，其中，所述机箱底座(1)的上端面竖直固定有主支撑件(201)，所述主支撑件(201)上通过横向设置的连接件(202)与所述滑动导轨(203)相固定，所述滑动导轨(203)的一端竖直伸入所述机箱底座(1)的暂存腔室内；

所述滑动导轨(203)上相对上下滑动的设置有驱动轮座(205)，所述驱动轮座(205)通过设置在其内部的多个驱动轮齿与所述滑动导轨(203)啮合传动，所述滑动导轨(203)上还平行设置有传动链板(204)，所述传动链板(204)的一端与所述驱动轮座(205)连接固定，并辅助所述驱动轮座(205)进行限位滑移；

所述驱动轮座(205)远离所述主支撑件(201)的一端固定有主安装座一(206)，所述主安装座一(206)内相对转动的设置有转轴件一(207)，所述转轴件一(207)上固定有夹持装置一(6)，并由所述夹持装置一(6)对高精度高表面底板的侧面边沿进行局部夹护。

3.根据权利要求2所述的一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其特征在于：所述右装夹件(3)包括连接支柱(301)、外固定架(302)、中心螺杆(303)、旋转电机(304)、主安装座二(305)以及夹持装置二(7)，其中，所述机箱底座(1)的上端面右侧水平固定有外固定架(302)，所述外固定架(302)内两侧均采用轴承相对转动的设置有中心螺杆(303)，所述外固定架(302)上相对左右滑动的竖直设置有连接支柱(301)，所述连接支柱(301)的下端通过螺纹啮合作用与所述中心螺杆(303)啮合传动，所述机箱底座(1)的上端面安装有旋转电机(304)，所述旋转电机(304)的输出端与所述中心螺杆(303)连接固定，并驱动所述中心螺杆(303)作定向圆周旋转运动；

所述连接支柱(301)的上端固定有主安装座二(305)，所述主安装座二(305)内通过转轴件二(306)相对转动的设置有夹持装置二(7)。

4.根据权利要求3所述的一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其特征在于：所述夹持装置一(6)与所述夹持装置二(7)的内部组成结构相同，其中，所述夹持装置一(6)包括固定导套(601)、轴芯套件(602)、导向轮(603)、滑动支杆(604)、柔性夹板(605)、连接弹簧(606)、伸缩气缸(607)以及侧顶压件(8)，所述固定导套(601)内同轴相对水平滑动的设置有轴芯套件(602)，所述轴芯套件(602)上呈上下对称滑动设置有滑动支杆(604)，所述滑动支杆(604)伸出所述轴芯套件(602)的一端安装有导向轮(603)；

所述固定导套(601)的套口横截面侧壁为弧形结构，使得当所述导向轮(603)沿所述弧形结构进行滑移时，其定向推动所述滑动支杆(604)对内收缩；所述滑动支杆(604)远离导向轮(603)的一端安装有柔性夹板(605)，并由所述柔性夹板(605)对高精度高表面底板的边沿上下端面位置进行定位装夹；所述滑动支杆(604)伸出所述轴芯套件(602)的一侧外套设有连接弹簧(606)，使得所述滑动支杆(604)在弹簧弹力作用下呈局部伸出状态；

所述固定导套(601)内同轴固定有伸缩气缸(607)，所述伸缩气缸(607)的输出端与所述轴芯套件(602)连接固定，并驱动所述轴芯套件(602)沿所述固定导套(601)滑动；

所述轴芯套件(602)内还设置有侧顶压件(8)，所述侧顶压件(8)对高精度高表面底板的边沿进行对外弹性顶压。

5.根据权利要求4所述的一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其特征在于：所述侧顶压件(8)包括连接架(801)、弧形垫层(802)以及复位弹簧(803)，所述连接架(801)上呈上下对称设置有弧形垫层(802)，该弧形垫层(802)内叠设有多个不同塑性材质的复合层板，且所述弧形垫层(802)内还充设有弹性球件；

所述弧形垫层(802)与所述连接架(801)之间平行设有多个复位弹簧(803)。

6.根据权利要求1所述的一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其特征在于：所述平行光照射组件(5)包括安装导件(501)、弧形轨件(502)、基座(503)、调节座(504)、内置轴子(505)以及平行光组(506)，其中，所述机箱底座(1)的内部两侧对称设有安装导件(501)，所述弧形轨件(502)的两端分别通过安装导件(501)与所述机箱底座(1)连接固定；

所述弧形轨件(502)的横截面呈下凸式结构，且该弧形轨件(502)上相对滑动的设置有基座(503)，所述基座(503)上垂直安装有平行光组(506)，并由所述基座(503)沿弧形轨件(502)的左右滑移对平行光组(506)的垂直面倾角进行局部调整；

所述平行光组(506)的下端面固定有调节座(504)，所述调节座(504)与所述基座(503)转动连接，且所述调节座(504)与基座(503)之间设置有多个内置轴子(505)。

7.根据权利要求6所述的一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其特征在于：所述基座(503)的外表面设有弧形刻度标。

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