CN113629085A - 显示面板及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供一种显示面板及其制备方法，显示面板包括：像素单元；基板；感光单元，所述感光单元用于接收显示面板外部的光信号，所述感光单元包括感光薄膜晶体管；以及驱动单元，所述驱动单元与所述像素单元电连接以驱动所述像素单元，所述驱动单元包括驱动薄膜晶体管，所述驱动薄膜晶体管和所述感光薄膜晶体管设置于所述基板上。通过将感光薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管设置于基板上可以使感光单元不用单独制作，由于薄膜晶体管均为层叠的结构，层叠结构的制作过程可以通用，使得本申请实施例的显示面板中感光单元无需外挂单独制作，简化了显示面板的制作工艺。
Description
技术领域
本申请属于显示装置技术领域，尤其涉及一种显示面板及其制备方法。
背景技术
显示面板包括用于驱动面板显示的驱动背板以及可以与激光笔进行交互的感光单元，然而，现有技术中感光单元通常外挂于驱动背板，使得显示面板的制作工艺复杂。
发明内容
本申请实施例提供一种显示面板及其制备方法，以解决现有显示面板的制作工艺复杂的问题。
第一方面，本申请实施例提供一种显示面板，包括：
像素单元；
基板；
感光单元，所述感光单元用于接收显示面板外部的光信号，所述感光单元包括感光薄膜晶体管；以及
驱动单元，所述驱动单元与所述像素单元电连接以驱动所述像素单元，所述驱动单元包括驱动薄膜晶体管，所述驱动薄膜晶体管和所述感光薄膜晶体管设置于所述基板上。
可选的，所述感光薄膜晶体管包括第一有源部，所述驱动薄膜晶体管包括第二有源部，所述第二有源部的材料与所述第一有源部的材料不同。
可选的，所述第一有源部的材料为非晶硅；和/或
所述第二有源部的材料为氧化物半导体。
可选的，所述第一有源部和所述第二有源部同层设置。
可选的，所述感光薄膜晶体管包括第一栅极、第一源极和第一漏极，所述第一栅极连接栅极线以接收栅极信号，所述第一源极连接电源；
所述感光单元还包括开关薄膜晶体管，所述开关薄膜晶体管包括第三栅极、第三源极和第三漏极，所述第三栅极连接所述第一漏极，所述第三源极连接所述电源，所述第三漏极连接信号读取端。
可选的，所述感光薄膜晶体管还包括第一绝缘部和第二绝缘部，所述第一栅极设置于所述基板；所述第一绝缘部设置于所述第一栅极并覆盖住所述第一栅极；所述第一有源部设置于所述第一绝缘部；所述第一源极和所述第一漏极间隔设置于所述第一有源部；所述第二绝缘部设置于所述第一绝缘部并覆盖住所述第一源极、所述第一漏极以及所述第一有源部；
所述驱动薄膜晶体管还包括第二栅极、第三绝缘部、第二源极、第二漏极以及第四绝缘部，所述第二栅极设置于所述基板；所述第三绝缘部设置于所述第二栅极并覆盖住所述第二栅极；所述第二有源部设置于所述第三绝缘部；所述第二源极和所述第二漏极间隔设置于所述第二有源部；所述第四绝缘部设置于所述第三绝缘部并覆盖住所述第二源极和第二漏极以及所述第二有源部；
所述开关薄膜晶体管还包括第五绝缘部、第三有源部和第六绝缘部，所述第三栅极设置于所述基板；所述第五绝缘部设置于所述第三栅极并覆盖住所述第三栅极；所述第三有源部设置于所述第五绝缘部；所述第三源极和所述第三漏极间隔设置于所述第三有源部；所述第六绝缘部设置于所述第五绝缘部并覆盖住所述第三源极、所述第三漏极以及所述第三有源部。
可选的，所述显示面板还包括：
第一遮光部，所述第一遮光部设置于所述第二有源部背离所述基板的一侧；和/或
第二遮光部，所述第二遮光部设置于所述第三有源部背离所述基板的一侧。
第二方面，本申请实施例还提供一种显示面板的制备方法，包括：
提供一基板；
在所述基板上形成感光薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管，所述感光薄膜晶体管形成感光单元，所述感光单元用于接收显示面板外部的光信号，所述驱动薄膜晶体管形成驱动单元；
制作像素单元，并将所述像素单元与所述驱动单元电连接，以使所述驱动单元驱动所述像素单元。
可选的，所述在所述基板上形成感光薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管包括：
在所述基板上分别形成所述感光薄膜晶体管的第一有源部和所述驱动薄膜晶体管的第二有源部，所述第一有源部和所述第二有源部使用不同的材料制成。
可选的，所述在所述基板上分别形成所述感光薄膜晶体管的第一有源部和所述驱动薄膜晶体管的第二有源部包括：
将所述第一有源部和所述第二有源部同层设置。
本申请实施例的显示面板和显示面板的制备方法中，显示面板包括基板、感光单元、驱动单元以及像素单元，感光单元用于接收显示面板外部的光信号，驱动单元与像素单元电连接以驱动像素单元。感光单元包括感光薄膜晶体管，驱动单元包括驱动薄膜晶体管，感光薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管设置于基板上。通过将感光薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管设置于基板上可以使感光单元不用单独制作，由于薄膜晶体管均为层叠的结构，层叠结构的制作过程可以通用，使得本申请实施例的显示面板中感光单元无需外挂单独制作，简化了显示面板的制作工艺。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。
图1为本申请实施例提供的显示面板的结构示意图。
图2为图1所示的显示面板中感光单元的电路结构示意图。
图3为图1所示的显示面板中感光单元和驱动单元的结构示意图。
图4为本申请实施例提供的显示面板的制备方法的流程示意图。
图5为本申请实施例提供的感光单元和驱动单元的制备过程示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
随着信息自媒体时代的发展，显示面板已经越来越普及。特别是随着5G时代的来临，具有交互功能的显示设备越来越受到关注。显示面板通常包括用于驱动面板显示的驱动背板以及可以与激光笔进行交互的感光单元，然而，现有技术中感光单元通常外挂于驱动背板，使得显示面板的制作工艺复杂。
为解决上述问题，本申请实施例提供一种显示面板及其制备方法。以下将结合附图分别从显示面板和显示面板的制备方法两个方面进行说明。
示例性的，请参阅图1，图1为本申请实施例提供的显示面板的结构示意图。本申请实施例提供一种显示面板1，显示面板1包括基板10、感光单元20、驱动单元30以及像素单元40。感光单元20用于接收显示面板1外部的光信号，感光单元20可以包括感光薄膜晶体管22。驱动单元30与像素单元40电连接以驱动像素单元40。驱动单元30可以包括驱动薄膜晶体管32。驱动薄膜晶体管32和感光薄膜晶体管22设置于基板10上。通过将感光薄膜晶体管22和驱动薄膜晶体管32设置于基板10上可以使感光单元20不用单独制作，由于薄膜晶体管均为层叠的结构，层叠结构的制作过程可以通用，使得本申请实施例的显示面板1中感光单元20无需外挂单独制作，简化了显示面板1的制作工艺。
需要说明的是，显示面板1的驱动背板通常包括多个驱动单元30，显示面板1也具有多个像素单元40，每一驱动单元30与一个像素单元40电连接以使得驱动背板可以驱动显示面板1进行显示。显示面板1通常还包括多个感光单元20，多个感光单元20可以与显示面板1外界的光信号进行交互，比如，根据多个感光单元20的信号读取情况确定外界光信号的位置信息。其中，光信号可以来自显示面板1外部的激光笔，因此，设置有感光单元20的显示面板1可以增加人机交互的应用场景。然而，现有的感光单元通常是外挂于驱动背板，使得感光单元需要单独的制程来制作，进而增加了显示面板1的制备流程的复杂度。基于此，本申请实施例的感光单元20可以集成在驱动背板上，使得感光薄膜晶体管22可以与驱动薄膜晶体管32同步设置于基板10上，简化了显示面板1的制备流程，同时使得驱动背板也具有感光特性。
其中，感光单元20可以接收显示面板1外部的光信号。示例性的，请结合图1并参阅图2，图2为图1所示的显示面板中感光单元的电路结构示意图。感光单元20可以包括感光薄膜晶体管22和开关薄膜晶体管24，感光薄膜晶体管22和开关薄膜晶体管24相互配合以实现对显示面板1外部的光信号进行接收以及读取。例如，感光薄膜晶体管22可以包括第一栅极221、第一源极224和第一漏极225，第一栅极221连接栅极线以接收栅极信号，第一源极224连接电源VDD。开关薄膜晶体管24可以包括第三栅极241、第三源极244和第三漏极245，第三栅极241连接第一漏极225，第三源极244连接电源VDD，第三漏极245连接信号读取端Readout。感光单元20的工作过程可以为：电源VDD提供一个正向电压，由于电源VDD又充当栅极电压，所以感光薄膜晶体管22处于关闭状态。当有光照射时，感光薄膜晶体管22的IdVg特性曲线向右发生偏移，此时感光薄膜晶体管22处于打开状态，此时的电源VDD的正向电压到开关薄膜晶体管24的第三栅极241电极处，导致开关薄膜晶体管24打开，使电源VDD的电压被读取出来，从而完成了光信号的接收与读取。通过一系列感光单元20的矩阵结构，就可以通过感光薄膜晶体管22的开关情况判断外界激光笔的位置信息。
示例性的，请结合图1和图2并参阅图3，图3为图1所示的显示面板中感光单元和驱动单元的结构示意图。感光薄膜晶体管22包括第一有源部223。驱动薄膜晶体管32包括第二有源部323，第一有源部223和第二有源部323可以同层设置。其中，第二有源部323的材料与第一有源部223的材料不同。第一有源部223的材料可以选择对可见光强响应材料，第二有源部323的材料可以选择电子迁移率高和稳定性高的材料。示例性的，第一有源部223的材料可以为非晶硅(a-Si)和/或第二有源部323的材料为氧化物半导体，如氧化铟镓锌(IGZO)。
需要说明的是，氧化物半导体层比如氧化铟镓锌(IGZO)相比于传统的a-Si半导体层具有更高的电子迁移率和稳定性。IGZO由于具有较高的带宽，只对波长较短的紫外光具有吸收效应，而对可见光没有吸收，导致IGZO不适合做可见光的光传感器，这也大大限制金属氧化物背板在可见光或者近红外光方面的应用场景。将光感传感器集成到氧化物显示基板中，可以增加显示基板与人的信息交互特性，同时拓宽氧化物背板的使用领域，并提高显示产品的附加价值。其中，对氧化物背板测试顶部IGZO器件的感光特性，发现漏电流在468纳米波长以下有明显的响应，但对于400纳米至760纳米可见光范围较窄，感光制程窗口相对较窄，限制了氧化物背板感光特性的应用场景。a-Si虽为一种良好的感光材料，但因材料特性所限，本身迁移率和开态电流较低，无法满足更高阶产品背板需求。氧化物背板仍是未来大尺寸、高分辨率、高刷新率显示面板的主流背板技术。
需要说明的是，开关薄膜晶体管24可以与感光薄膜晶体管22以及驱动薄膜晶体管32并列设置于基板10上，示例性的，开关薄膜晶体管24可以位于感光薄膜晶体管22和驱动薄膜晶体管32之间。当然，开关薄膜晶体管24也可以设置在其他位置，本申请实施例以开关薄膜晶体管24设置于感光薄膜晶体管22和驱动薄膜晶体管32之间为例进行说明，而不应理解为对开关薄膜晶体管24设置位置的限制。
其中，感光薄膜晶体管22还包括第一绝缘部222和第二绝缘部226。感光薄膜晶体管22的层叠结构可以为：第一栅极221设置于基板10上，第一绝缘部222设置于第一栅极221并覆盖住第一栅极221，第一有源部223设置于第一绝缘部222，第一源极224和第一漏极225间隔设置于第一有源部223。第二绝缘部226设置于第一绝缘部222并覆盖住第一源极224、第一漏极225以及第一有源部223。其中，第一栅极221的材料可以为钼(Mo)或者钼和铜(Cu)。由于第一栅极221通常为沉积形成的，所以第一栅极221的形状通常呈岛状。第一绝缘部222和第二绝缘部226均起绝缘作用以防止器件之间的干扰。示例性的，第一绝缘部222和第二绝缘部226的材质可以为SiOx，或SiNx/SiOx叠层。第一源极224和第一漏极225的材料也可以为钼(Mo)或者钼和铜(Cu)。此外，感光薄膜晶体管22还可以包括第一导线227，第一导线227穿过第二绝缘部226并与第一漏极225连接以使得感光薄膜晶体管22可以通过第一导线227连接于其他部件。
驱动薄膜晶体管32还可以包括第二栅极321、第三绝缘部322、第二源极324和第二漏极325和第四绝缘部326。第二栅极321设置于基板10，第三绝缘部322设置于第二栅极321并覆盖住第二栅极321，第二有源部323设置于第三绝缘部322，第二源极324和第二漏极325间隔设置于第二有源部323。第四绝缘部326设置于第三绝缘部322并覆盖住第二源极324、第二漏极325以及第二有源部323。其中，第二栅极321的材料可以为钼(Mo)或者钼和铜(Cu)。由于第二栅极321通常为沉积形成的，所以第二栅极321的形状通常呈岛状。第三绝缘部322和第四绝缘部326均起绝缘作用以防止器件之间的干扰。示例性的，第三绝缘部322和第四绝缘部326的材质可以为SiOx，或SiNx/SiOx叠层。第二源极324和第二漏极325的材料也可以为钼(Mo)或者钼和铜(Cu)。此外，驱动薄膜晶体管32还可以包括第二导线327，第二导线327穿过第四绝缘部326并与第二漏极325连接以使得驱动薄膜晶体管32可以通过第二导线327连接于其他部件。其中，显示面板1还可以包括第一遮光部328，第一遮光部328设置于第二有源部323背离基板10的一侧，第一遮光部328用于遮挡外部的光线以防止对驱动薄膜晶体管32的影响。需要说明的是，驱动薄膜晶体管32为氧化物薄膜晶体管，其本身在光照下阈值电压易发生负向偏移，造成氧化物薄膜晶体管无法关断而四周漏电。因此，为防止上述情况的发生，本申请实施例在第四绝缘部326背离基板10的一侧设置了第一遮光部328。
开关薄膜晶体管24还可以包括第五绝缘部242、第三有源部243和第六绝缘部246。开关薄膜晶体管24的层叠结构可以为：第三栅极241设置于基板10，第五绝缘部242设置于第三栅极241并覆盖住第三栅极241。第三有源部243设置于第五绝缘部242，第三源极244和第三漏极245间隔设置于第三有源部243。第六绝缘部246设置于第五绝缘部242并覆盖住第三源极244、第三漏极245以及第三有源部243。其中，第三栅极241的材料可以为钼(Mo)或者钼和铜(Cu)。由于第三栅极241通常为沉积形成的，所以第三栅极241的形状通常呈岛状。由于开关薄膜晶体管24只用作开关，因此，第三有源部243的材料不作限制，半导体即可。示例性的，第三有源部243的材料可以为氧化物半导体，如IGZO。第五绝缘部242和第六绝缘部246均起绝缘作用以防止器件之间的干扰。示例性的，第五绝缘部242和第六绝缘部246的材质可以为SiOx，或SiNx/SiOx叠层。第三源极244和第三漏极245的材料也可以为钼(Mo)或者钼和铜(Cu)。此外，开关薄膜晶体管24还可以包括第三导线247，第三导线247穿过第六绝缘部246并与第三漏极245连接以使得开关薄膜晶体管24可以通过第三导线247连接于其他部件。其中，显示面板1还可以包括第二遮光部248，第二遮光部248设置于第三有源部243背离基板10的一侧，第二遮光部248用于遮挡外部的光线以防止对开关薄膜晶体管24的影响。需要说明的是，开关薄膜晶体管24为氧化物薄膜晶体管，其本身在光照下阈值电压易发生负向偏移，造成氧化物薄膜晶体管无法关断而四周漏电。因此，为防止上述情况的发生，本申请实施例在第六绝缘部246背离基板10的一侧设置了第二遮光部248。
其中，感光薄膜晶体管22、开关薄膜晶体管24和驱动薄膜晶体管32的层叠结构的可以相对应设置，可以理解的是，第一栅极221、第三栅极241和第二栅极321可以同层设置，第一有源部223、第三有源部243和第二有源部323可以同层设置，第一源极224和第一漏极225、第三源极244和第三漏极245以及第二源极324和第二漏极325可以同层设置，这样在制作显示面板1时，可以节省工序，简化了显示面板1的制作流程。
为了更清楚的说明本申请实施例显示面板1的结构组成，以下将从显示面板的制备方法的角度进行说明。
示例性的，请结合图1至图3并参阅图4和图5，图4为本申请实施例提供的显示面板的制备方法的流程示意图，图5为本申请实施例提供的感光单元和驱动单元的制备过程示意图。对于显示面板1各组成部分的说明可以参照图1至图3以及上述说明，在此不再赘述。显示面板的制备方法包括：
101、提供一基板。
基板10的材料可以为玻璃材料，提供一基板10并对其进行清洗，以方便后续制备工艺。
102、在基板上形成感光薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管，感光薄膜晶体管形成感光单元，感光单元用于接收显示面板外部的光信号，驱动薄膜晶体管形成驱动单元。
在基板10上形成感光薄膜晶体管22和驱动薄膜晶体管32包括：在基板10上分别形成感光薄膜晶体管22的第一有源部223和驱动薄膜晶体管32的第二有源部323，第一有源部223和第二有源部323使用不同的材料制成。其中，在基板10上分别形成感光薄膜晶体管22的第一有源部223和驱动薄膜晶体管32的第二有源部323包括：将第一有源部223和第二有源部323同层设置。通过将感光薄膜晶体管22和驱动薄膜晶体管32设置于基板10上可以使感光单元20不用单独制作，由于薄膜晶体管均为层叠的结构，层叠结构的制作过程可以通用，使得本申请实施例的显示面板1中感光单元20无需外挂单独制作，简化了显示面板1的制作工艺。
其中，感光单元20可以接收显示面板1外部的光信号。示例性的，感光单元20可以包括感光薄膜晶体管22和开关薄膜晶体管24，感光薄膜晶体管22和开关薄膜晶体管24相互配合以实现对显示面板1外部的光信号进行接收以及读取。开关薄膜晶体管24可以与感光薄膜晶体管22以及驱动薄膜晶体管32并列设置于基板10上，示例性的，开关薄膜晶体管24可以位于感光薄膜晶体管22和驱动薄膜晶体管32之间。
制作形成感光薄膜晶体管22、开关薄膜晶体管24以及驱动薄膜晶体管32的过程可以参照下述步骤。
在基板10上利用物理气相溅射沉积第一金属层，第一金属层可为诸如Mo或Mo/Cu等，第一金属层可采用H2O2系药液作为蚀刻剂。图形化第一金属层并分别形成第一栅极221、第三栅极241和第二栅极321。
化学气相沉积栅极绝缘层和感光层并形成第一绝缘部222、第五绝缘部242、第三绝缘部322和第一有源部223。需要说明的是，第一绝缘部222、第五绝缘部242和第三绝缘部322为便于区分三个薄膜晶体管而划分的部分，在实际制作中，第一绝缘部222、第五绝缘部242和第三绝缘部322可以为一体的结构。栅极绝缘层材质可为SiOx，或SiNx/SiOx叠层，感光层材质可为a-Si等对可见光强响应材料，并图形化形成光感传感器的第一有源部223，光感层可采用干法刻蚀进行图案化，为防止氧化物热退火过程中对a-Si等感光层感光特性的影响，可在感光层图形化时采用等离子体或浸润对感光特性做增强处理。
物理气相法沉积IGZO，IGZTO、IGTO等半导体金属氧化物并图形化形成有源层，此有源层分别为开关薄膜晶体管24的第三有源部243和驱动薄膜晶体管32的第二有源部323。有源层图形化可采用草酸等蚀刻剂。
将栅极绝缘层图形化挖孔处理，可采用干法刻蚀进行图形化。需要说明的是，由于开关薄膜晶体管24的第三栅极241与感光薄膜晶体管22的第一源极224连接，所以此步骤需要对第五绝缘部242进行挖孔处理，以露出第三栅极241。
物理气相溅射沉积第二金属层并图形化为源漏极，此步骤可形成同层的第一源极224、第一漏极225、第三源极244、第三漏极245、第二源极324和第二漏极325。第二金属层可为诸如Mo或Mo/Cu等，光感部分的光响应信号通过栅极绝缘层过孔连接到开关薄膜晶体管24的第三栅极241转换成可读取的电信号，第二金属层可采用H2O2系药液作为蚀刻剂。
化学气相沉积钝化保护层，形成第二绝缘部226、第六绝缘部246和第四绝缘部326。需要说明的是，第二绝缘部226、第六绝缘部246和第四绝缘部326为便于区分三个薄膜晶体管而划分的部分，实际制作过程中，第二绝缘部226、第六绝缘部246和第四绝缘部326可以为一体的钝化保护层，膜层材质可为SiOx，或SiOx/SiNx叠层，并在钝化保护层上涂布一层黑色有机光阻并图形化后热烘烤处理，形成第二遮光部248和第一遮光部328，遮挡外界光对开关薄膜晶体管24及驱动薄膜晶体管32的影响。其中，图形化形成钝化保护层图形，可采用干法刻蚀进行图案化。
物理气相沉积氧化铟锡层并图形化以形成第一导线227、第三导线247和第二导线327，图形化可采用草酸等蚀刻剂；氧化铟锡层作为后续COF(Chip On Flex，or，Chip OnFilm，覆晶薄膜)bonding Lead(绑定引线)。其中，驱动薄膜晶体管32的第二源极324和第二漏极325也可无氧化铟锡图形，直接以Cu Pad(铜板)作为Mini-LED或Micro-LED(微型发光二极管)芯片的固晶Pad(板)。
上述步骤即为薄膜晶体管的制备过程。
103、制作像素单元，并将像素单元与驱动单元电连接，以使驱动单元驱动像素单元。
Mini-LED或Micro-LED的发光不仅需要驱动其发光的驱动单元30，还需要被驱动单元30驱动以发光的像素单元40。多数LED显示器将每个像素单元分解为4个子像素；一个红，二个绿，和一个蓝。显示面板1的显示正是通过驱动单元30驱动每个像素单元40的发光与否来实现的。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。
以上对本申请实施例所提供的显示面板及其制备方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
Claims (10)
1.一种显示面板，其特征在于，包括：
像素单元；
基板；
感光单元，所述感光单元用于接收显示面板外部的光信号，所述感光单元包括感光薄膜晶体管；以及
驱动单元，所述驱动单元与所述像素单元电连接以驱动所述像素单元，所述驱动单元包括驱动薄膜晶体管，所述驱动薄膜晶体管和所述感光薄膜晶体管设置于所述基板上。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述感光薄膜晶体管包括第一有源部，所述驱动薄膜晶体管包括第二有源部，所述第二有源部的材料与所述第一有源部的材料不同。
3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一有源部的材料为非晶硅；和/或
所述第二有源部的材料为氧化物半导体。
4.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一有源部和所述第二有源部同层设置。
5.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述感光薄膜晶体管包括第一栅极、第一源极和第一漏极，所述第一栅极连接栅极线以接收栅极信号，所述第一源极连接电源；
所述感光单元还包括开关薄膜晶体管，所述开关薄膜晶体管包括第三栅极、第三源极和第三漏极，所述第三栅极连接所述第一漏极，所述第三源极连接所述电源，所述第三漏极连接信号读取端。
6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述感光薄膜晶体管还包括第一绝缘部和第二绝缘部，所述第一栅极设置于所述基板；所述第一绝缘部设置于所述第一栅极并覆盖住所述第一栅极；所述第一有源部设置于所述第一绝缘部；所述第一源极和所述第一漏极间隔设置于所述第一有源部；所述第二绝缘部设置于所述第一绝缘部并覆盖住所述第一源极、所述第一漏极以及所述第一有源部；
所述驱动薄膜晶体管还包括第二栅极、第三绝缘部、第二源极、第二漏极以及第四绝缘部，所述第二栅极设置于所述基板；所述第三绝缘部设置于所述第二栅极并覆盖住所述第二栅极；所述第二有源部设置于所述第三绝缘部；所述第二源极和所述第二漏极间隔设置于所述第二有源部；所述第四绝缘部设置于所述第三绝缘部并覆盖住所述第二源极和第二漏极以及所述第二有源部；
所述开关薄膜晶体管还包括第五绝缘部、第三有源部和第六绝缘部，所述第三栅极设置于所述基板；所述第五绝缘部设置于所述第三栅极并覆盖住所述第三栅极；所述第三有源部设置于所述第五绝缘部；所述第三源极和所述第三漏极间隔设置于所述第三有源部；所述第六绝缘部设置于所述第五绝缘部并覆盖住所述第三源极、所述第三漏极以及所述第三有源部。
7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：
第一遮光部，所述第一遮光部设置于所述第二有源部背离所述基板的一侧；和/或
第二遮光部，所述第二遮光部设置于所述第三有源部背离所述基板的一侧。
8.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括：
提供一基板；
在所述基板上形成感光薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管，所述感光薄膜晶体管形成感光单元，所述感光单元用于接收显示面板外部的光信号，所述驱动薄膜晶体管形成驱动单元；
制作像素单元，并将所述像素单元与所述驱动单元电连接，以使所述驱动单元驱动所述像素单元。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述在所述基板上形成感光薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管包括：
在所述基板上分别形成所述感光薄膜晶体管的第一有源部和所述驱动薄膜晶体管的第二有源部，所述第一有源部和所述第二有源部使用不同的材料制成。
10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述在所述基板上分别形成所述感光薄膜晶体管的第一有源部和所述驱动薄膜晶体管的第二有源部包括：
将所述第一有源部和所述第二有源部同层设置。
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