CN112582438B - 显示面板及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种显示面板及其制备方法，所述显示面板包括基板、薄膜晶体管层以及紫外探测器，将紫外探测器集成于阵列基板的内，使得紫外探测器上方没有其他膜层的遮挡，光线可以直接从直射于紫外探测器上，提高光线的透过率，可实现智能手机或手表等设备对环境中的紫外光进行智能探测，使人们在出行或旅游时随时随地关注到当地紫外辐射的强度有多大，指导人们是否适合户外运动或者做好防护准备，提高人们的出行品质。

Description

显示面板及其制备方法
技术领域
本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板及其制备方法。
背景技术
显示技术发展日新月异，在高品质和高附加值应用方面竞争尤为激烈，目前各厂商均在大力开发将各种传感器集成于中小尺寸面板中，增加功能，提高用户体验。光学式传感器可以将光信号转换为电学信号，然后进行识别，其技术稳定性较好，穿透能力强，造价成本相对较低。
紫外线有化学作用，能使照相底片感光，荧光作用强，日光灯、各种荧光灯和农业上用来诱杀害虫的黑光灯都是用紫外线激发荧光物质发光的。紫外线还可以防伪，紫外线还有生理作用，能杀菌、消毒、治疗皮肤病和软骨病等。但是过强的紫外线会对皮肤可产生强烈的光损伤，被照射部位真皮血管扩张，皮肤可出现红肿、水泡等症状。长久照射皮肤会出现红斑、炎症、皮肤老化，严重者可引起皮肤癌。因此，如何了解当前的紫外线强度以及如何进行防护成为了人们必不可少的出行信息。
因此，如何方便快捷地对环境中的紫外光进行探测，使人们在出行或旅游时随时随地关注到当地紫外辐射的强度有多大，指导人们是否适合户外运动或者做好防护准备，提高人们的出行品质，是人们亟需解决的一大难题。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种显示面板及其制备方法，以解决现有显示设备无法方便快捷地对环境的紫外光进行检测的技术问题。
为实现上述目的，本发明提供一种显示面板，包括：
基板；薄膜晶体管层，设于所述基板上，所述薄膜晶体管层具有阵列排布的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括用以控制像素的第一薄膜晶体管和用以控制紫外探测器的第二薄膜晶体管；以及紫外探测器，设于所述薄膜晶体管层的上方且电连接至所述第二薄膜晶体管。
进一步地，所述紫外探测器包括：第一电极，电连接至所述第二薄膜晶体管；感应层，设于所述第一电极上，用以感应紫外光的强度；以及第二电极，设于所述感应层上。
进一步地，所述感应层的材料包括铟镓锌氧化物、氧化锌、氧化镓中的至少一种；所述感应层的厚度为50nm-500nm。
进一步地，所述薄膜晶体管层包括：遮光层；缓冲层，设于所述遮光层上；有源层，设于所述缓冲层上且正对于所述遮光层；第一绝缘层，设于所述有源层和所述缓冲层上；栅极层，设于所述第一绝缘层上，且正对于所述有源层；第一介电层，设于所述栅极层和所述第一绝缘层上；第一金属层，具有触控走线、源极走线和漏极走线，设于所述第一介电层上，其中所述源极走线和所述漏极走线还分别连接至所述有源层；以及第二介电层，设于所述第一介电层上且覆盖所述第一金属层；所述第一电极贯穿所述第二介电层且与所述第二薄膜晶体管的所述漏极走线连接。
进一步地，所述显示面板还包括：第二绝缘层，设于所述第二介电层上；第一钝化层，设于所述第二绝缘层；平坦层，设于所述第一钝化层上；透明电极层，设于所述平坦层上，所述透明电极层包括电容电极走线、公共电极走线和触控过桥走线，所述触控过桥走线连接于所述触控走线，所述电容电极走线连接于所述源极走线或者所述漏极走线，所述透明电极层与所述第二电极形成所述紫外探测器的电容；第二钝化层，设于所述平坦层和所述透明电极层上；以及像素电极，设于所述第二钝化层上且连接至所述源极走线或者所述漏极走线。
进一步地，所述显示面板还包括一凹槽，从所述第二钝化层贯穿至所述第二介电层的表面；其中，所述第一电极从所述凹槽的槽底延伸至所述第二绝缘层下表面；所述感应层从所述凹槽中的第一电极上延伸至所述第一钝化层的下表面；所述第二电极从所述凹槽中的所述感应层上沿所述凹槽的槽壁延伸至所述第二钝化层的表面。
为实现上述目的，本发明还提供一种显示面板的制备方法，包括如下步骤：提供一基板；形成一薄膜晶体管层于所述基板上，所述薄膜晶体管层具有阵列排布的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括用以控制像素的第一薄膜晶体管和用以控制紫外探测器的第二薄膜晶体管；以及形成一紫外探测层于所述薄膜晶体管层上方且电连接至所述第二薄膜晶体管。
进一步地，所述形成一紫外探测层于所述薄膜晶体管层的步骤，具体包括如下步骤：形成第一电极于所述薄膜晶体管层上，所述第一电极电连接至所述第二薄膜晶体管；形成感应层于所述第一电极上，用以感应紫外光的强度；以及形成第二电极于所述感应层上。
所述形成一薄膜晶体管层于所述基板上的步骤，具体包括如下步骤：形成一遮光层于所述基板上；形成一缓冲层于所述遮光层上；形成一有源层于所述缓冲层上，所述有源层正对于所述遮光层；形成一第一绝缘层于所述有源层和所述缓冲层上；形成一栅极层于所述第一绝缘层上，所述栅极层正对于所述有源层；形成第一介电层于所述栅极层和所述第一绝缘层上；形成一第一通孔，所述第一通孔从所述第一介电层贯穿至所述有源层表面；形成一第一金属层，所述第一金属层填充所述第一通孔形成源极走线和漏极走线，且部分覆于所述第一介电层表面形成触控走线；形成一第二介电层于所述第一金属层上；以及形成一第二通孔，所述第二通孔从所述第二介电层贯穿至所述第一金属层表面；其中，所述第一电极设于所述第二介电层上，且通过所述第二通孔与所述第二薄膜晶体管的所述漏极走线连接。
进一步地，所述形成一第二通孔的步骤之后，还包括：形成第二绝缘层于所述第二介电层上；形成第一钝化层于所述第二绝缘层；形成平坦层于所述第一钝化层上；形成透明电极层于所述平坦层上，所述透明电极层包括电容电极走线、公共电极走线和触控过桥走线，所述触控过桥走线连接于所述触控走线，所述电容电极走线连接于所述源极走线或者所述漏极走线，所述透明电极层与所述第二电极形成所述紫外探测器的电容；形成第二钝化层于所述平坦层和所述透明电极层上；以及形成像素电极于所述第二钝化层上且连接至所述源极走线或者所述漏极走线；其中，一凹槽，从所述第二钝化层贯穿至所述第二介电层的表面；所述第一电极从所述凹槽的槽底延伸至所述第二绝缘层下表面；所述感应层从所述凹槽中的第一电极上延伸至所述第一钝化层的下表面；所述第二电极从所述凹槽中的所述感应层上沿所述凹槽的槽壁延伸至所述第二钝化层的表面。
本发明的技术效果在于，提供一种显示面板及其制备方法，将紫外探测器集成于阵列基板的凹槽内，使得紫外探测器上方没有其他膜层的遮挡，光线可以直接从所述凹槽直射于紫外探测器上，提高光线的透过率，可实现智能手机或手表等设备对环境中的紫外光进行智能探测，使人们在出行或旅游时随时随地关注到当地紫外辐射的强度有多大，指导人们是否适合户外运动或者做好防护准备，提高人们的出行品质。此外，本发明采用紫外探测器与驱动电路(即薄膜晶体管层)堆叠的方案，极大地提高了传感器在阵列基板中的摆放自由度，降低了开口率损失，提升背板的品质，降低功耗。
附图说明
下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为本申请实施例提供的显示面板的结构示意图。
图2为本申请实施例提供的显示面板的制备方法流程图。
图3为本申请实施例提供的遮光层形成的结构示意图。
图4为本申请实施例提供的有源层形成的结构示意图。
图5为本申请实施例提供的栅极层形成的结构示意图。
图6为本申请实施例提供的第一通孔形成的结构示意图。
图7为本申请实施例提供的第一金属层形成的结构示意图。
图8为本申请实施例提供的第二通孔形成的结构示意图。
图9为本申请实施例提供的第一电极形成的结构示意图。
图10为本申请实施例提供的第二绝缘层形成的结构示意图。
图11为本申请实施例提供的感应层形成的结构示意图。
图12为本申请实施例提供的第四通孔形成的结构示意图。
图13为本申请实施例提供的第五、第六通孔形成的结构示意图。
图14为本申请实施例提供的透明电极层形成的结构示意图。
图15为本申请实施例提供的第七通孔形成的结构示意图。
图16为本申请实施例提供的像素电极形成的结构示意图。
附图部件标识如下：
100显示面板； 10基板；
20薄膜晶体管层； 30紫外探测器；
T1第一薄膜晶体管； T2第二薄膜晶体管；
201遮光层； 202缓冲层；
203有源层； 204第一绝缘层；
205栅极层； 206第一介电层；
207第一金属层； 208第二介电层；
301第一电极； 302感应层；
303第二电极； 207a触控走线；
207b源极走线； 207c漏极走线；
401第二绝缘层； 402第一钝化层；
403平坦层； 404透明电极层；
405第二钝化层； 406像素电极；
404a电容电极走线； 404b公共电极走线；
404c触控过桥走线； 110凹槽；
111第一通孔； 112第二通孔；
113第三通孔； 114第四通孔；
115第五通孔； 116第六通孔；
117第七通孔。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
如图1所示，本申请实施例提供的显示面板的结构示意图。
本实施例提供一种显示面板100，包括基板10、薄膜晶体管层20以及紫外探测器30。所述薄膜晶体管层20设于所述基板10上，所述薄膜晶体管层20具有阵列排布的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括用以控制像素的第一薄膜晶体管T1和用以控制紫外探测器30的第二薄膜晶体管T2。
具体的，所述基板10为玻璃基板(glass)。
所述薄膜晶体管层包括遮光层201、缓冲层202、有源层203、第一绝缘层204、栅极层205、第一介电层206、第一金属层207以及第二介电层208。
所述遮光层201的材质包括但不限于非晶硅，主要是对薄膜晶体管T1、T2进行遮光处理。
所述缓冲层202设于所述遮光层201上。所述缓冲层202的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅，具有良好的缓冲效果。
所述有源层203设于所述缓冲层202上且正对于所述遮光层201。所述有源层203是将a-Si转变为poly Si，并采用曝光蚀刻方法形成图案，最后对poly-Si层进行磷离子掺杂，形成N+掺杂区，进而形成有源层203。
所述第一绝缘层204设于所述有源层203和所述缓冲层202上。所述第一绝缘层204的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅，具有良好的绝缘效果。
所述栅极层205设于所述第一绝缘层204上，且正对于所述有源层203。所述栅极层205具有多条扫描线。
所述第一介电层206设于所述栅极层205和所述第一绝缘层204上。所述第一介电层206的材质包括但不限于硅氧化物、硅氮化合物，例如，所述第一介电层206可以为SiNx/SiOx的叠层结构。通过所述第一绝缘层204和所述第一介电层206将所述栅极层205完全包覆，有利于提高所述栅极层205的阻隔水氧的能力。
所述第一金属层207具有触控走线207a、源极走线207b和漏极走线207c，设于所述第一介电层206上，其中所述源极走线207b和所述漏极走线207c还分别连接至所述有源层202。所述触控走线207a主要用以驱动显示面板100实现触控功能，所述源极走线207b和所述漏极走线207c可以形成显示面板100的数据线。
所述第二介电层208设于所述第一介电层206上且覆盖所述第一金属层207。所述第二介电层208的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅，所述第一介电层206和所述第二介电层208将所述第一金属层207完全包覆，有利于提高所述第一金属层207的阻隔水氧的能力。
紫外探测器30，设于所述薄膜晶体管层20的上方且电连接至所述第二薄膜晶体管T2。所述紫外探测器30包括第一电极301、感应层302以及第二电极303。
具体的，第一电极301电连接至所述第二薄膜晶体管T2。所述第一电极301贯穿所述第二介电层208且与所述第二薄膜晶体管T2的所述漏极走线207c连接。所述第二薄膜晶体管T2用于驱动紫外探测器30实现紫外线的探测功能。
感应层302设于所述第一电极301上，用以感应紫外光的强度。所述感应层302的材料包括铟镓锌氧化物(IGZO)、氧化锌(ZnO)、氧化镓(Ga2O3)中的至少一种。当所述感应层302的材料为铟镓锌氧化物(IGZO)时，所述感应层302的光学带隙在3.1eV～3.3eV左右，可以满足400nm以下的紫外光探测需求。当所述感应层302的材料为氧化锌(ZnO)或者氧化镓(Ga2O3)时，所述感应层302的光学带隙大于3.2eV，也可用于紫外探测，与铟镓锌氧化物(IGZO)相比，铟镓锌氧化物(IGZO)该材料普遍使用于各面板厂，工艺成熟，易于实现大面积量产。
在本实施例中，所述感应层302的厚度为50nm-500nm，可以使得紫外探测器30对环境中的紫外辐射实现智能的探测功能，可指导人们是否适合户外运动或者做好防护准备，提高人们的出行品质。
第二电极303设于所述感应层302上。
在本实施例中，显示面板100还包括第二绝缘层401、第一钝化层402、平坦层403、透明电极层404、第二钝化层405以及像素电极406。
所述第二绝缘层401设于所述第二介电层208上。所述第二绝缘层401的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅。
所述第一钝化层402设于所述第二绝缘层401。所述第一钝化层402的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅。
所述平坦层403设于所述第一钝化层上402。所述平坦层403的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅。
所述透明电极层404设于所述平坦层403上，所述透明电极层404包括电容电极走线404a、公共电极走线404b和触控过桥走线404c，所述触控过桥走线404c连接于所述触控走线207a，所述电容电极走线404a连接于所述源极走线207b或者所述漏极走线207c，本实施例中所述电容电极走线404a连接于所述源极走线207b。所述透明电极层404与所述第二电极303形成所述紫外探测器30的电容。其中，当所述透明电极层404与所述第二电极303形成所述紫外探测器30的电容时，所述透明电极层404为BITO，所述第二电极303为TITO，BITO与TITO形成一电容，对所述紫外探测器30进行充放电。
所述第二钝化层405设于所述平坦层403和所述透明电极层404上。所述第二钝化层405的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅。
所述像素电极406设于所述第二钝化层405上且连接至所述源极走线207b或者所述漏极走线207c。在本实施例中，所述像素电极406连接至所述第一薄膜晶体管T1的源极走线207b，所述第一薄膜晶体管T1用于驱动所述像素电极406工作。
在本实施例中，显示面板100还包括一凹槽110，从所述第二钝化层405贯穿至所述第二介电层208的表面。其中，所述第一电极301从所述凹槽110的槽底延伸至所述第二绝缘层401下表面；所述感应层302从所述凹槽110中的第一电极301上延伸至所述第一钝化层402的下表面；所述第二电极303从所述凹槽110中的所述感应层302上沿所述凹槽110的槽壁延伸至所述第二钝化层405的表面。本实施例中，将紫外探测器30设置于所述凹槽110内，可以使得紫外探测器30上方没有其他膜层的遮挡，光线可以直接从所述凹槽110直射于紫外探测器30上，提高光线的透过率，从而提升紫外探测器30对环境中的紫外辐射的智能探测功能，因此，当该显示面板100应用于智能手机或手表等其他设备上时，该设备可以精确地指导人们是否适合户外运动或者做好防护准备，提高人们的出行品质。
在本实施例中，所述基板10与所述薄膜晶体管层20、所述紫外探测器30、第二绝缘层401、第一钝化层402、平坦层403、透明电极层404、第二钝化层405、像素电极406等部件形成所述显示面板100的阵列基板。所述显示面板100还包括其他部件，如与所述阵列基板相对设置的彩膜基板，在此不一一赘述。本实施例采用所述紫外探测器30与驱动电路(即薄膜晶体管层20)堆叠的方案，极大地提高了传感器在阵列基板中的摆放自由度，降低了开口率损失，提升背板的品质，降低功耗。
如图2所示，图2为本申请实施例提供的显示面板的制备方法流程图。
本实施例还提供一种显示面板的制备方法，包括如下步骤S1)-S3)。
S1)提供一基板。
S2)形成一薄膜晶体管层于所述基板上，所述薄膜晶体管层具有阵列排布的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括用以控制像素的第一薄膜晶体管和用以控制紫外探测器的第二薄膜晶体管。
S3)形成一紫外探测层于所述薄膜晶体管层上方且电连接至所述第二薄膜晶体管。
具体的，在实际工作中，所示显示面板的制备方法的具体步骤如下：
步骤一、形成一遮光层于所述基板上。
如图3所示，图3为本申请实施例提供的遮光层形成的结构示意图。
所述基板为玻璃基板(glass)，所述遮光层201的材质包括但不限于非晶硅，主要是对后续形成的薄膜晶体管T1、T2进行遮光处理。
步骤二、形成一缓冲层于所述遮光层上。
如图4所示，图4为本申请实施例提供的有源层形成的结构示意图。
所述缓冲层202的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅，具有良好的缓冲效果。
步骤三、形成一有源层于所述缓冲层上，所述有源层正对于所述遮光层。
如图4所示，所述有源层203设于所述缓冲层202上且正对于所述遮光层201。所述有源层203先是形成一a-Si，经过准分子激光退火之后，然后将a-Si转变为poly Si，并采用曝光蚀刻方法形成图案，最后对poly-Si层进行磷(p)离子掺杂，形成N+掺杂区，进而形成有源层203。
步骤四、形成一第一绝缘层于所述有源层和所述缓冲层上。
如图5所示，图5为本申请实施例提供的栅极层形成的结构示意图。
所述第一绝缘层204设于所述有源层203和所述缓冲层202上。所述第一绝缘层204的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅，具有良好的绝缘效果。
步骤五、形成一栅极层于所述第一绝缘层上，所述栅极层正对于所述有源层。
如图5所示，所述栅极层205设于所述第一绝缘层204上，且正对于所述有源层203。所述栅极层205具有多条扫描线。所述栅极层205的材料为金属，该金属可以为铜、钼、铝等的单层或叠层结构。本实施例中，通过所述栅极层205遮挡磷(p)离子轻掺杂，形成N-区。
步骤六、形成第一介电层于第一金属层和所述第一绝缘层上。
如图6所示，图6为本申请实施例提供的第一通孔形成的结构示意图。
所述第一介电层206设于所述栅极层205和所述第一绝缘层204上。所述第一介电层206的材质包括但不限于硅氧化物、硅氮化合物，例如，所述第一介电层206可以为SiNx/SiOx的叠层结构。通过所述第一绝缘层204和所述第一介电层206将所述栅极层205完全包覆，有利于提高所述栅极层205的阻隔水氧的能力。
步骤七、形成一第一通孔，所述第一通孔从所述第一介电层贯穿至所述有源层表面。
如图6所示，所述第一通孔111形成所述源极走线207b和漏极走线207c的搭接孔。
步骤八、形成一第一金属层，所述第一金属层填充所述第一通孔形成源极走线和漏极走线，且部分覆于所述第一介电层表面形成触控走线。
如图7所示，图7为本申请实施例提供的第一金属层形成的结构示意图。
所述第一金属层207具有触控走线207a、源极走线207b和漏极走线207c，设于所述第一介电层206上，其中所述源极走线207b和所述漏极走线207c还分别连接至所述有源层203。所述触控走线207a主要用以驱动显示面板100实现触控功能，所述源极走线207b和所述漏极走线207c可以形成显示面板100的数据线。
步骤九、形成一第二介电层于所述第一金属层上。
如图8所示，图8为本申请实施例提供的第二通孔形成的结构示意图。
所述第二介电层208设于所述第一介电层206上且覆盖所述第一金属层207。所述第二介电层208的材质包括但不限于氮化硅、氧化硅，所述第一介电层206和所述第二介电层208将所述第一金属层207完全包覆，有利于提高所述第一金属层207的阻隔水氧的能力。
步骤十、形成一第二通孔，所述第二通孔从所述第二介电层贯穿至所述第一金属层表面；
如图8所示，对所述第二介电层208进行挖孔处理下形成的第二通孔112，该第二通孔为所述第二薄膜晶体管T2与所述紫外探测器30的接触孔。
步骤十一、形成第一电极于所述薄膜晶体管层上，所述第一电极电连接至所述第二薄膜晶体管。
如图9所示，图9为本申请实施例提供的第一电极形成的结构示意图。
在所述第二通孔112内沉积金属材料形成第一电极301，所述第一电极301通过所述第二通孔112电连接至所述第二薄膜晶体管T2的所述漏极走线207c，所述第二薄膜晶体管T2用于驱动紫外探测器30实现紫外线的探测功能。
步骤十二、形成第二绝缘层于所述第二介电层上且延伸至部分第一电极的表面。
如图10所示，图10为本申请实施例提供的第二绝缘层形成的结构示意图。
在所述第二介电层208上沉积氮化硅、氧化硅等材料形成所述第二绝缘层401，所述第二绝缘层401部分延伸至所述第一电极301的表面。
步骤十三、形成第三通孔113。
如图10所示，对所述第二绝缘层401进行挖孔处理，形成第三通孔113，所述第三通孔113贯穿至所述第一电极301的表面。
步骤十四、形成感应层于所述第一电极上，且部分感应层延伸至所述第二绝缘层的表面，用以感应紫外光的强度。
如图11所示，图11为本申请实施例提供的感应层形成的结构示意图。
在所述第三通孔113沉积铟镓锌氧化物(IGZO)、氧化锌(ZnO)、氧化镓(Ga2O3)中的至少一种材料形成感应层302，部分感应层302延伸至所述第二绝缘层的表面401。当所述感应层302的材料为铟镓锌氧化物(IGZO)时，所述感应层302的光学带隙在3.1eV～3.3eV左右，可以满足400nm以下的紫外光探测需求。当所述感应层302的材料为氧化锌(ZnO)或者氧化镓(Ga2O3)时，所述感应层302的光学带隙大于3.2eV，也可用于紫外探测，与铟镓锌氧化物(IGZO)相比，铟镓锌氧化物(IGZO)该材料普遍使用于各面板厂，工艺成熟，易于实现大面积量产。
步骤十五、形成第一钝化层于所述第二绝缘层，且部分延伸至所述感应层的表面。
如图12所示，图12为本申请实施例提供的第四通孔形成的结构示意图。
在所述第二绝缘层401上表面沉积氮化硅、氧化硅等材料形成所述第一钝化层402。
步骤十六、形成第四通孔，所述第四通孔从所述第一钝化层贯穿至所述第一金属层207的表面。
如图12所示，对所述第一钝化层402进行挖孔处理形成第四通孔114，所述第四通孔114从所述第一钝化层402贯穿至所述第一薄膜晶体管T1的源极走线207b和所述第二薄膜晶体管T2的漏极走线207c的表面。
步骤十七、形成平坦层于所述第一钝化层上，所述平坦层具有第五通孔和第六通孔。
如图13所示，图13为本申请实施例提供的第五、第六通孔形成的结构示意图。
采用掩膜板在所述第一钝化层402上表面形成平坦层403，所述第五通孔115连通至所述第四通孔114，所述第六通孔116连通至所述第四通孔114。
步骤十八、形成透明电极层于所述平坦层上，所述透明电极层包括电容电极走线、公共电极走线和触控过桥走线，所述触控过桥走线连接于所述触控走线，所述电容电极走线连接于所述源极走线或者所述漏极走线，所述透明电极层与所述第二电极形成所述紫外探测器的电容。
如图14所示，图14为本申请实施例提供的透明电极层形成的结构示意图。
在所述第五通孔115沉积ITO材料形成透明电极层404，所述透明电极层404进行图案化处理形成电容电极走线404a和公共电极走线404b。
步骤十九、形成第二钝化层于所述平坦层和所述透明电极层上。
如图15所示，图15为本申请实施例提供的第七通孔形成的结构示意图。
在所述平坦层403上表面沉积氮化硅、氧化硅等材料形成第二钝化层405，所述第二钝化层405具有第七通孔117，其中，所述第七通孔117连通至所述第六通孔116。
步骤二十、形成像素电极于所述第二钝化层上且连接至所述源极走线或者所述漏极走线。
如图16所示，图16为本申请实施例提供的像素电极形成的结构示意图。
在所述第七通孔117沉积ITO等材料形成像素电极406，所述像素电极406连接至所述第一薄膜晶体T1的源极走线207b。
步骤二十一、形成第二电极于所述感应层上。
如图1所示，在所述感应层302形成第二电极303上，其中，一凹槽110，从所述第二钝化层405贯穿至所述第二介电层208的表面；所述第一电极301从所述凹槽110的槽底延伸至所述第二绝缘层401下表面；所述感应层302从所述凹槽110中的第一电极301上延伸至所述第一钝化层402的下表面；所述第二电极303从所述凹槽110中的所述感应层302上沿所述凹槽110的槽壁延伸至所述第二钝化层405的表面。本实施例中，将紫外探测器30设置于所述凹槽110内，可以使得紫外探测器30上方没有其他膜层的遮挡，光线可以直接从所述凹槽110直射于紫外探测器30上，提高光线的透过率，从而提升紫外探测器30对环境中的紫外辐射的智能探测功能，因此，当该显示面板100应用于智能手机或手表等其他设备上时，该设备可以精确地指导人们是否适合户外运动或者做好防护准备，提高人们的出行品质。
本发明提供一种显示面板及其制备方法，将紫外探测器集成于阵列基板的凹槽内，使得紫外探测器上方没有其他膜层的遮挡，光线可以直接从所述凹槽直射于紫外探测器上，提高光线的透过率，可实现智能手机或手表等设备对环境中的紫外光进行智能探测，使人们在出行或旅游时随时随地关注到当地紫外辐射的强度有多大，指导人们是否适合户外运动或者做好防护准备，提高人们的出行品质。此外，本发明采用紫外探测器与驱动电路(即薄膜晶体管层)堆叠的方案，极大地提高了传感器在阵列基板中的摆放自由度，降低了开口率损失，提升背板的品质，降低功耗。
以上对本申请实施例所提供的一种显示面板及其制备方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种显示面板，其特征在于，包括：
基板；
薄膜晶体管层，设于所述基板上，所述薄膜晶体管层具有阵列排布的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括用以控制像素的第一薄膜晶体管和用以控制紫外探测器的第二薄膜晶体管；
紫外探测器，设于所述薄膜晶体管层的上方且电连接至所述第二薄膜晶体管；其中，所述紫外探测器包括：第一电极，电连接至所述第二薄膜晶体管；感应层，设于所述第一电极上，用以感应紫外光的强度；以及第二电极，设于所述感应层上；以及
透明电极层，设于所述薄膜晶体管层上方，所述透明电极层包括电容电极走线、公共电极走线和触控过桥走线，所述触控过桥走线连接于位于所述薄膜晶体管层的触控走线，所述电容电极走线连接于位于所述薄膜晶体管层的源极走线或者漏极走线，所述透明电极层与所述第二电极形成所述紫外探测器的电容。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述感应层的材料包括铟镓锌氧化物、氧化锌、氧化镓中的至少一种；
所述感应层的厚度为50nm-500nm。
3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述薄膜晶体管层包括：
遮光层；
缓冲层，设于所述遮光层上；
有源层，设于所述缓冲层上且正对于所述遮光层；
第一绝缘层，设于所述有源层和所述缓冲层上；
栅极层，设于所述第一绝缘层上，且正对于所述有源层；
第一介电层，设于所述栅极层和所述第一绝缘层上；
第一金属层，具有所述触控走线、所述源极走线和所述漏极走线，设于所述第一介电层上，其中所述源极走线和所述漏极走线还分别连接至所述有源层；以及
第二介电层，设于所述第一介电层上且覆盖所述第一金属层；
所述第一电极贯穿所述第二介电层且与所述第二薄膜晶体管的所述漏极走线连接。
4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，还包括
第二绝缘层，设于所述第二介电层上；
第一钝化层，设于所述第二绝缘层；
平坦层，设于所述第一钝化层上；
所述透明电极层设于所述平坦层上；
第二钝化层，设于所述平坦层和所述透明电极层上；以及
像素电极，设于所述第二钝化层上且连接至所述源极走线或者所述漏极走线。
5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，还包括一凹槽，从所述第二钝化层贯穿至所述第二介电层的表面；
其中，所述第一电极从所述凹槽的槽底延伸至所述第二绝缘层下表面；所述感应层从所述凹槽中的第一电极上延伸至所述第一钝化层的下表面；所述第二电极从所述凹槽中的所述感应层上沿所述凹槽的槽壁延伸至所述第二钝化层的表面。
6.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供一基板；
形成一薄膜晶体管层于所述基板上，所述薄膜晶体管层具有阵列排布的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括用以控制像素的第一薄膜晶体管和用以控制紫外探测器的第二薄膜晶体管；
形成一紫外探测层于所述薄膜晶体管层上方且电连接至所述第二薄膜晶体管；其中，所述形成一紫外探测层于所述薄膜晶体管层的步骤，具体包括如下步骤：形成第一电极于所述薄膜晶体管层上，所述第一电极电连接至所述第二薄膜晶体管；形成感应层于所述第一电极上，用以感应紫外光的强度；以及形成第二电极于所述感应层上；以及
形成透明电极层于所述薄膜晶体管层上方，所述透明电极层包括电容电极走线、公共电极走线和触控过桥走线，所述触控过桥走线连接于位于所述薄膜晶体管层的触控走线，所述电容电极走线连接于位于所述薄膜晶体管层的源极走线或者漏极走线，所述透明电极层与所述第二电极形成所述紫外探测器的电容。
7.根据权利要求6所述的显示面板的制备方法，其特征在于，
所述形成一薄膜晶体管层于所述基板上的步骤，具体包括如下步骤：
形成一遮光层于所述基板上；
形成一缓冲层于所述遮光层上；
形成一有源层于所述缓冲层上，所述有源层正对于所述遮光层；
形成一第一绝缘层于所述有源层和所述缓冲层上；
形成一栅极层于所述第一绝缘层上，所述栅极层正对于所述有源层；
形成第一介电层于所述栅极层和所述第一绝缘层上；
形成一第一通孔，所述第一通孔从所述第一介电层贯穿至所述有源层表面；
形成一第一金属层，所述第一金属层填充所述第一通孔形成所述源极走线和所述漏极走线，且部分覆于所述第一介电层表面形成所述触控走线；
形成一第二介电层于所述第一金属层上；以及
形成一第二通孔，所述第二通孔从所述第二介电层贯穿至所述第一金属层表面；
其中，所述第一电极设于所述第二介电层上，且通过所述第二通孔与所述第二薄膜晶体管的所述漏极走线连接。
8.根据权利要求7所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述形成一第二通孔的步骤之后，还包括：
形成第二绝缘层于所述第二介电层上；
形成第一钝化层于所述第二绝缘层；
形成平坦层于所述第一钝化层上；
形成所述透明电极层于所述平坦层上；
形成第二钝化层于所述平坦层和所述透明电极层上；以及
形成像素电极于所述第二钝化层上且连接至所述源极走线或者所述漏极走线；
其中，一凹槽，从所述第二钝化层贯穿至所述第二介电层的表面；
所述第一电极从所述凹槽的槽底延伸至所述第二绝缘层下表面；所述感应层从所述凹槽中的第一电极上延伸至所述第一钝化层的下表面；所述第二电极从所述凹槽中的所述感应层上沿所述凹槽的槽壁延伸至所述第二钝化层的表面。
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